JPH07105337B2 - パターン刻印装置 - Google Patents
パターン刻印装置Info
- Publication number
- JPH07105337B2 JPH07105337B2 JP8434394A JP8434394A JPH07105337B2 JP H07105337 B2 JPH07105337 B2 JP H07105337B2 JP 8434394 A JP8434394 A JP 8434394A JP 8434394 A JP8434394 A JP 8434394A JP H07105337 B2 JPH07105337 B2 JP H07105337B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- display device
- crystal display
- liquid crystal
- original image
- laser light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を用いて除去
加工を施して試料上にパターンを刻印するパターン刻印
装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来技術としては、特公昭５０−３５２
７５号公報が知られている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】本発明に係るプリント
基板、高密度モジュール用配線パターン、フォトマスク
等の各種パターンの形成の公知例でない従来例を図１に
示す。図１に於いて、レーザ発振器１から発生したレー
ザ光２は凹レンズ３によって拡大され、コリメートレン
ズ４によって平行光にされて原画５に照射される。原画
５を通過したレーザ光は投影レンズ６を経て試料７の表
面に集光照射される。この際、投影レンズ６は原画５の
像を試料７の表面に縮小投影されるように配置されてお
り、試料面には、原画５の縮小像が瞬時にして焼付けら
れる。 【０００４】以上の例では、試料面に加工したいと思う
像の拡大像を一旦原画に作り、これを光路中にセットし
てやる必要があり、像が変わると、そのたびに原画を交
換してやらなければならないという課題を有していた。 【０００５】本発明の目的は、上記課題を解決すべく、
透過形液晶表示装置に駆動表示される原画情報の記憶部
への記憶を容易にし、しかも透過形液晶表示装置を用い
て原画の入れ替えを即時に可能にして透過形液晶表示装
置を損傷させることなく原画をタイミングよく透過レー
ザ光として試料上に縮小投影照射して高速で除去加工し
てパターンを試料上に転写刻印することができるように
したパターン刻印装置を提供することにある。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、複数の原画情報を記録した記録媒体と、
該記録媒体により入力された複数の原画情報を記憶する
記憶部と、第１制御信号により上記記憶部に記憶された
複数の原画情報から所望の原画情報を選択読出して駆動
表示する透過形液晶表示装置と、第２制御信号により上
記透過形液晶表示装置にレーザ光を照射するレーザ発振
器および該レーザ発振器から出射されるレーザ光を上記
透過形液晶表示装置に表示された所望の原画全域に亘っ
て透過形液晶表示装置を損傷しないようなパワー密度の
レーザ光を入射させる光学系を有するレーザ光照射手段
と、上記透過形液晶表示装置に表示された所望の原画を
試料上に縮小投影して除去加工して刻印する投影レンズ
と、第１制御信号と第２制御信号とにより上記透過形液
晶表示装置と上記レーザ発振器とのタイミングを制御す
る信号制御手段とを備えたことを特徴とするパターン刻
印装置である。また本発明は、複数の原画画像を入力す
る画像入力手段と、該画像入力手段により入力された複
数の原画画像に基づく複数の原画情報を記憶する記憶部
と、第１制御信号により上記記憶部に記憶された複数の
原画情報から所望の原画情報を選択読出して駆動表示す
る透過形液晶表示装置と、第２制御信号により上記透過
形液晶表示装置にレーザ光を照射するレーザ発振器およ
び該レーザ発振器から出射されるレーザ光を上記透過形
液晶表示装置に表示された所望の原画全域に亘って透過
形液晶表示装置を損傷しないようなパワー密度のレーザ
光を入射させる光学系を有するレーザ光照射手段と、上
記透過形液晶表示装置に表示された所望の原画を試料上
に縮小投影して除去加工して刻印する投影レンズと、第
１制御信号と第２制御信号とにより上記透過形液晶表示
装置と上記レーザ発振器とのタイミングを制御する信号
制御手段とを備えたことを特徴とするパターン刻印装置
である。 【０００７】 【作用】前記構成により、透過形液晶表示装置に駆動表
示される原画情報の記憶部への記憶を容易にし、しかも
記憶部に記憶された複数の原画情報から選択して所望の
原画情報を透過形液晶表示装置に表示するだけの簡単な
構成により原画の入れ替えを容易にし、更に透過形液晶
表示装置の表示とレーザ発振器とのタイミングを制御し
て、透過形液晶表示装置を損傷させることなくレーザ光
を入射させて透過形液晶表示装置に表示された所望の原
画を試料上に刻印を行うのに十分なパワー密度になるよ
うに縮小投影することにより、鮮明で正確な所望のパタ
ーンを高速で除去加工して転写刻印することができる。 【０００８】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳述
する。 【０００９】即ち、図２は本発明の実施例を示す図であ
る。図に於いて新しく設けたものは、透過形液晶表示装
置１０、信号制御部１１、撮像管１２、撮像レンズ１
４、原画１３である。透過形液晶表示装置１０は、信号
制御部１１によって制御をうける。この際の制御は、透
過形液晶表示装置に対してどの画像パターンを表示させ
るかということ、及びその表示時期の設定である。信号
制御部１１によって制御をうけた表示装置10に対してコ
リメータレンズ４を介して送出されてきた平行レーザ光
を入射する。 【００１０】この表示装置１０に入射したレーザ光は上
記画像パターンに対応する位置を介して該表示装置１０
の投影レンズ６側に出力する。この出力したレーザ光は
投影レンズ６を介して試料７に照射し、試料面上に画像
パターンを形成する。 【００１１】透過形液晶表示装置１０は、レーザ光の入
射面に対してガラス−透明電極−液晶本体部−透明電極
−ガラス−偏光板を一体化させて形成させた構造となっ
ている。上記２つの透明電極は相互にマトリックスにな
るように配置されている。このマトリックス構成の電極
によって表示位置の設定が行われる。マトリックス電極
の選択制御が信号制御部１１によってなされる。 【００１２】信号制御部１１への表示画像パターンは撮
像管１２で撮像された原画１３である。信号制御部１１
は、撮像管12から得られる映像信号を一時的にメモリに
記憶させ、表示モードに該メモリから読出し表示装置10
に表示させている。信号制御１１の具体的構成図を図３
に示す。 【００１３】先ず、撮像管（画像入力手段）１２からの
映像信号を信号変換部１１０に入力し、メモリ（記憶
部）１１２に記憶可能なデータ、例えば２値信号に変換
する。この変換された映像信号を書込み読出し回路１１
１を介してメモリ１１２に送り、アドレスに従ってメモ
リ１１２に記憶させる。メモリ１１２は、１つの表示パ
ターン分の容量を持つものであっても、複数の表示パタ
ーン分の容量を持つものであってもよい。表示に際して
は、書込み読出し回路１１１を読出しモードとしてメモ
リ１１２を駆動し、信号変換部１１３に必要なデータを
読出す。 【００１４】この信号変換部１１３は、メモリ１１２か
ら読出された２値信号を液晶表示装置１０を駆動するに
必要な信号、即ちＸ，Ｙ信号に変換する。このＸ，Ｙ信
号を表示装置１０に送り、必要な表示を行う。信号変換
部１１０、１１３、読出し書込み回路１１１は制御回路
１１４の制御をうける。 【００１５】この制御回路１１４での制御は、第１にモ
ード指定、第２にそのタイミング指定である。制御回路
１１４は、更に、レーザ発振器１の制御も行っている。
モニタ用テレビ１５については省略している。 【００１６】次に具体的数値事例に基づく説明を行う。
レーザ光のバワー密度は液晶を損傷しない程度に選ぶ。
例えば１０4Ｗ／cm2以下になるようにビーム径を約３０
０mmとし、レーザ出力は７ＭＷを用いた。透過形液晶表
示装置５を通過したレーザ光は約１／１００に縮少投影
するための投影レンズ１０に入り、液晶表示された平面
像を試料７の表面に１／１００の寸法で焼付けた。この
時の試料面上に最大パワー密度は約１０8Ｗ／cm2に達し
た。試料７は、ガラス基板上に数１００Åの金属膜を蒸
着したものを使用し、レーザ光が照射すると、金属膜が
除去され、液晶パターンが１／１００の寸法でそのまま
瞬時に転写できた。 【００１７】以上の実施例に於いて、表示パターンの種
類を光路以外で設定できるため極めて汎用性の高いパタ
ーン形成が可能になった。更に、パターンの拡大、縮少
もメモリのデータそのものを拡大、縮少可能なため、汎
用性が高まった。 【００１８】次に、他の実施例を説明する。上記実施例
では、信号制御部１１への入力情報を撮像管１７から与
えたが、この他に図４、図５の如きやり方もある。 【００１９】図４は、ビデオ信号記録部（記録媒体）１
６を設け、該ビデオ信号記録部１６からの情報を原画情
報として与えてなるものである。 【００２０】図５は、ビデオ信号を無線方式によって伝
達してなるものであって、ビデオ信号送信器１８から無
線によりビデオ信号をビデオ信号受信器（画像入力手
段）１７に送り、更に信号処理部１１に原画情報として
入力せしめている。但し、この２つの実施例ではメモリ
１１２は必ずしも必要としない。前者の実施例によれ
ば、パターン情報をビデオ信号記録部１６にストックし
ておくことにより、必要なパターンを必要な時に形成す
ることができる利点を持つ。後者の実施例によれば、パ
ターン形成を行う部所とそのパターン供給部所とが離れ
ている場合の遠隔操作に好適である。 【００２１】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
透過形液晶表示装置に駆動表示される原画情報の記録部
への記録を容易にし、しかも記憶部に記憶された複数の
原画情報から選択して所望の原画情報を透過形液晶表示
装置に表示するだけの簡単な構成により原画の入れ替え
を容易にし、更に透過形液晶表示装置の表示とレーザ発
振器とのタイミングを制御して、透過形液晶表示装置を
損傷させることなくレーザ光を入射させて透過形液晶表
示装置に表示された所望の原画を試料上に刻印を行うの
に十分なパワー密度になるように縮小投影することによ
り、鮮明で正確な所望のパターンを高速で除去加工して
転写刻印することができる効果を奏する。 【００２２】また本発明によれば、透過形液晶表示装置
を損傷することなく、鮮明で正確なパターンを試料上に
転写刻印することができる効果を奏する。
加工を施して試料上にパターンを刻印するパターン刻印
装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来技術としては、特公昭５０−３５２
７５号公報が知られている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】本発明に係るプリント
基板、高密度モジュール用配線パターン、フォトマスク
等の各種パターンの形成の公知例でない従来例を図１に
示す。図１に於いて、レーザ発振器１から発生したレー
ザ光２は凹レンズ３によって拡大され、コリメートレン
ズ４によって平行光にされて原画５に照射される。原画
５を通過したレーザ光は投影レンズ６を経て試料７の表
面に集光照射される。この際、投影レンズ６は原画５の
像を試料７の表面に縮小投影されるように配置されてお
り、試料面には、原画５の縮小像が瞬時にして焼付けら
れる。 【０００４】以上の例では、試料面に加工したいと思う
像の拡大像を一旦原画に作り、これを光路中にセットし
てやる必要があり、像が変わると、そのたびに原画を交
換してやらなければならないという課題を有していた。 【０００５】本発明の目的は、上記課題を解決すべく、
透過形液晶表示装置に駆動表示される原画情報の記憶部
への記憶を容易にし、しかも透過形液晶表示装置を用い
て原画の入れ替えを即時に可能にして透過形液晶表示装
置を損傷させることなく原画をタイミングよく透過レー
ザ光として試料上に縮小投影照射して高速で除去加工し
てパターンを試料上に転写刻印することができるように
したパターン刻印装置を提供することにある。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、複数の原画情報を記録した記録媒体と、
該記録媒体により入力された複数の原画情報を記憶する
記憶部と、第１制御信号により上記記憶部に記憶された
複数の原画情報から所望の原画情報を選択読出して駆動
表示する透過形液晶表示装置と、第２制御信号により上
記透過形液晶表示装置にレーザ光を照射するレーザ発振
器および該レーザ発振器から出射されるレーザ光を上記
透過形液晶表示装置に表示された所望の原画全域に亘っ
て透過形液晶表示装置を損傷しないようなパワー密度の
レーザ光を入射させる光学系を有するレーザ光照射手段
と、上記透過形液晶表示装置に表示された所望の原画を
試料上に縮小投影して除去加工して刻印する投影レンズ
と、第１制御信号と第２制御信号とにより上記透過形液
晶表示装置と上記レーザ発振器とのタイミングを制御す
る信号制御手段とを備えたことを特徴とするパターン刻
印装置である。また本発明は、複数の原画画像を入力す
る画像入力手段と、該画像入力手段により入力された複
数の原画画像に基づく複数の原画情報を記憶する記憶部
と、第１制御信号により上記記憶部に記憶された複数の
原画情報から所望の原画情報を選択読出して駆動表示す
る透過形液晶表示装置と、第２制御信号により上記透過
形液晶表示装置にレーザ光を照射するレーザ発振器およ
び該レーザ発振器から出射されるレーザ光を上記透過形
液晶表示装置に表示された所望の原画全域に亘って透過
形液晶表示装置を損傷しないようなパワー密度のレーザ
光を入射させる光学系を有するレーザ光照射手段と、上
記透過形液晶表示装置に表示された所望の原画を試料上
に縮小投影して除去加工して刻印する投影レンズと、第
１制御信号と第２制御信号とにより上記透過形液晶表示
装置と上記レーザ発振器とのタイミングを制御する信号
制御手段とを備えたことを特徴とするパターン刻印装置
である。 【０００７】 【作用】前記構成により、透過形液晶表示装置に駆動表
示される原画情報の記憶部への記憶を容易にし、しかも
記憶部に記憶された複数の原画情報から選択して所望の
原画情報を透過形液晶表示装置に表示するだけの簡単な
構成により原画の入れ替えを容易にし、更に透過形液晶
表示装置の表示とレーザ発振器とのタイミングを制御し
て、透過形液晶表示装置を損傷させることなくレーザ光
を入射させて透過形液晶表示装置に表示された所望の原
画を試料上に刻印を行うのに十分なパワー密度になるよ
うに縮小投影することにより、鮮明で正確な所望のパタ
ーンを高速で除去加工して転写刻印することができる。 【０００８】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳述
する。 【０００９】即ち、図２は本発明の実施例を示す図であ
る。図に於いて新しく設けたものは、透過形液晶表示装
置１０、信号制御部１１、撮像管１２、撮像レンズ１
４、原画１３である。透過形液晶表示装置１０は、信号
制御部１１によって制御をうける。この際の制御は、透
過形液晶表示装置に対してどの画像パターンを表示させ
るかということ、及びその表示時期の設定である。信号
制御部１１によって制御をうけた表示装置10に対してコ
リメータレンズ４を介して送出されてきた平行レーザ光
を入射する。 【００１０】この表示装置１０に入射したレーザ光は上
記画像パターンに対応する位置を介して該表示装置１０
の投影レンズ６側に出力する。この出力したレーザ光は
投影レンズ６を介して試料７に照射し、試料面上に画像
パターンを形成する。 【００１１】透過形液晶表示装置１０は、レーザ光の入
射面に対してガラス−透明電極−液晶本体部−透明電極
−ガラス−偏光板を一体化させて形成させた構造となっ
ている。上記２つの透明電極は相互にマトリックスにな
るように配置されている。このマトリックス構成の電極
によって表示位置の設定が行われる。マトリックス電極
の選択制御が信号制御部１１によってなされる。 【００１２】信号制御部１１への表示画像パターンは撮
像管１２で撮像された原画１３である。信号制御部１１
は、撮像管12から得られる映像信号を一時的にメモリに
記憶させ、表示モードに該メモリから読出し表示装置10
に表示させている。信号制御１１の具体的構成図を図３
に示す。 【００１３】先ず、撮像管（画像入力手段）１２からの
映像信号を信号変換部１１０に入力し、メモリ（記憶
部）１１２に記憶可能なデータ、例えば２値信号に変換
する。この変換された映像信号を書込み読出し回路１１
１を介してメモリ１１２に送り、アドレスに従ってメモ
リ１１２に記憶させる。メモリ１１２は、１つの表示パ
ターン分の容量を持つものであっても、複数の表示パタ
ーン分の容量を持つものであってもよい。表示に際して
は、書込み読出し回路１１１を読出しモードとしてメモ
リ１１２を駆動し、信号変換部１１３に必要なデータを
読出す。 【００１４】この信号変換部１１３は、メモリ１１２か
ら読出された２値信号を液晶表示装置１０を駆動するに
必要な信号、即ちＸ，Ｙ信号に変換する。このＸ，Ｙ信
号を表示装置１０に送り、必要な表示を行う。信号変換
部１１０、１１３、読出し書込み回路１１１は制御回路
１１４の制御をうける。 【００１５】この制御回路１１４での制御は、第１にモ
ード指定、第２にそのタイミング指定である。制御回路
１１４は、更に、レーザ発振器１の制御も行っている。
モニタ用テレビ１５については省略している。 【００１６】次に具体的数値事例に基づく説明を行う。
レーザ光のバワー密度は液晶を損傷しない程度に選ぶ。
例えば１０4Ｗ／cm2以下になるようにビーム径を約３０
０mmとし、レーザ出力は７ＭＷを用いた。透過形液晶表
示装置５を通過したレーザ光は約１／１００に縮少投影
するための投影レンズ１０に入り、液晶表示された平面
像を試料７の表面に１／１００の寸法で焼付けた。この
時の試料面上に最大パワー密度は約１０8Ｗ／cm2に達し
た。試料７は、ガラス基板上に数１００Åの金属膜を蒸
着したものを使用し、レーザ光が照射すると、金属膜が
除去され、液晶パターンが１／１００の寸法でそのまま
瞬時に転写できた。 【００１７】以上の実施例に於いて、表示パターンの種
類を光路以外で設定できるため極めて汎用性の高いパタ
ーン形成が可能になった。更に、パターンの拡大、縮少
もメモリのデータそのものを拡大、縮少可能なため、汎
用性が高まった。 【００１８】次に、他の実施例を説明する。上記実施例
では、信号制御部１１への入力情報を撮像管１７から与
えたが、この他に図４、図５の如きやり方もある。 【００１９】図４は、ビデオ信号記録部（記録媒体）１
６を設け、該ビデオ信号記録部１６からの情報を原画情
報として与えてなるものである。 【００２０】図５は、ビデオ信号を無線方式によって伝
達してなるものであって、ビデオ信号送信器１８から無
線によりビデオ信号をビデオ信号受信器（画像入力手
段）１７に送り、更に信号処理部１１に原画情報として
入力せしめている。但し、この２つの実施例ではメモリ
１１２は必ずしも必要としない。前者の実施例によれ
ば、パターン情報をビデオ信号記録部１６にストックし
ておくことにより、必要なパターンを必要な時に形成す
ることができる利点を持つ。後者の実施例によれば、パ
ターン形成を行う部所とそのパターン供給部所とが離れ
ている場合の遠隔操作に好適である。 【００２１】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
透過形液晶表示装置に駆動表示される原画情報の記録部
への記録を容易にし、しかも記憶部に記憶された複数の
原画情報から選択して所望の原画情報を透過形液晶表示
装置に表示するだけの簡単な構成により原画の入れ替え
を容易にし、更に透過形液晶表示装置の表示とレーザ発
振器とのタイミングを制御して、透過形液晶表示装置を
損傷させることなくレーザ光を入射させて透過形液晶表
示装置に表示された所望の原画を試料上に刻印を行うの
に十分なパワー密度になるように縮小投影することによ
り、鮮明で正確な所望のパターンを高速で除去加工して
転写刻印することができる効果を奏する。 【００２２】また本発明によれば、透過形液晶表示装置
を損傷することなく、鮮明で正確なパターンを試料上に
転写刻印することができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る公知例でない従来例を示す図であ
る。 【図２】本発明の実施例を示す図である。 【図３】本発明の実施例を示す図である。 【図４】本発明の他の実施例を示す図である。 【図５】図は本発明の他の実施例を示す図である。 【符号の説明】 １…レ−ザ発信器、７…試料、１０…透過型液晶表示装
置、１１…信号制御部、１２…撮象管。
る。 【図２】本発明の実施例を示す図である。 【図３】本発明の実施例を示す図である。 【図４】本発明の他の実施例を示す図である。 【図５】図は本発明の他の実施例を示す図である。 【符号の説明】 １…レ−ザ発信器、７…試料、１０…透過型液晶表示装
置、１１…信号制御部、１２…撮象管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １．複数の原画情報を記録した記録媒体と、該記録媒体
により入力された複数の原画情報を記憶する記憶部と、
第１制御信号により上記記憶部に記憶された複数の原画
情報から所望の原画情報を選択読出して駆動表示する透
過形液晶表示装置と、第２制御信号により上記透過形液
晶表示装置にレーザ光を照射するレーザ発振器および該
レーザ発振器から出射されるレーザ光を上記透過形液晶
表示装置に表示された所望の原画全域に亘って透過形液
晶表示装置を損傷しないようなパワー密度のレーザ光を
入射させる光学系を有するレーザ光照射手段と、上記透
過形液晶表示装置に表示された所望の原画を試料上に縮
小投影して除去加工して刻印する投影レンズと、第１制
御信号と第２制御信号とにより上記透過形液晶表示装置
と上記レーザ発振器とのタイミングを制御する信号制御
手段とを備えたことを特徴とするパターン刻印装置。２ ．複数の原画画像を入力する画像入力手段と、該画像
入力手段により入力された複数の原画画像に基づく複数
の原画情報を記憶する記憶部と、第１制御信号により上
記記憶部に記憶された複数の原画情報から所望の原画情
報を選択読出して駆動表示する透過形液晶表示装置と、
第２制御信号により上記透過形液晶表示装置にレーザ光
を照射するレーザ発振器および該レーザ発振器から出射
されるレーザ光を上記透過形液晶表示装置に表示された
所望の原画全域に亘って透過形液晶表示装置を損傷しな
いようなパワー密度のレーザ光を入射させる光学系を有
するレーザ光照射手段と、上記透過形液晶表示装置に表
示された所望の原画を試料上に縮小投影して除去加工し
て刻印する投影レンズと、第１制御信号と第２制御信号
とにより上記透過形液晶表示装置と上記レーザ発振器と
のタイミングを制御する信号制御手段とを備えたことを
特徴とするパターン刻印装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8434394A JPH07105337B2 (ja) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | パターン刻印装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8434394A JPH07105337B2 (ja) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | パターン刻印装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1086803A Division JPH02307A (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | パターン形成装置及びその方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06302488A JPH06302488A (ja) | 1994-10-28 |
| JPH07105337B2 true JPH07105337B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=13827871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8434394A Expired - Lifetime JPH07105337B2 (ja) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | パターン刻印装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07105337B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50159677A (ja) * | 1974-05-10 | 1975-12-24 | ||
| JPS5333370A (en) * | 1976-09-09 | 1978-03-29 | Nippon Electric Co | Drawing device |
| JPS5372575A (en) * | 1976-12-10 | 1978-06-28 | Thomson Csf | Pattern transfer optical device |
| JPS54111832A (en) * | 1978-02-22 | 1979-09-01 | Hitachi Ltd | Exposure device |
-
1994
- 1994-04-22 JP JP8434394A patent/JPH07105337B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50159677A (ja) * | 1974-05-10 | 1975-12-24 | ||
| JPS5333370A (en) * | 1976-09-09 | 1978-03-29 | Nippon Electric Co | Drawing device |
| JPS5372575A (en) * | 1976-12-10 | 1978-06-28 | Thomson Csf | Pattern transfer optical device |
| JPS54111832A (en) * | 1978-02-22 | 1979-09-01 | Hitachi Ltd | Exposure device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06302488A (ja) | 1994-10-28 |
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