FI81915C - Kapacitiv accelerationsgivare och förfarande för framställning därav - Google Patents
Kapacitiv accelerationsgivare och förfarande för framställning därav Download PDFInfo
- Publication number
- FI81915C FI81915C FI874942A FI874942A FI81915C FI 81915 C FI81915 C FI 81915C FI 874942 A FI874942 A FI 874942A FI 874942 A FI874942 A FI 874942A FI 81915 C FI81915 C FI 81915C
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- electrode
- edge
- central electrode
- central
- sensor
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/0802—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Micromachines (AREA)
Claims (5)
1. Kapacitiv accelerometer med kiselstomme, innefattande tvä väsentligen skivformiga, parallella sidoelektrodkonstruktioner (15) som ligger pä ett avständ frän varandra och innefattar fasta sido-elektroder (4, 6')/ - en väsentligen skivformig centrumelektrodkons-truktion (16) anordnad mellan de fasta sidoelekt-rodkonstruktionerna (15), vilken centrumelektrod-konstruktion innefattar - ett stomelement (3), som är förenad med sidoelektrodanordningar (15), och - ätminstone en i närheten av sido-elektroderna (4, 6') anordnad centrum-elektrod (17) med ett skaftparti (2) och ett spetsparti (1), varvid centrum- :* elektroden (17) är förenad med stomele- mentet (3) via sitt skaftparti (2), sä att den är omgiven frän sidorna av stomelementen, och skaftpartiet (2) är väsentligen tunnare än spetspartiet (1), kännetecknad av att - centrumelektrodkonstruktionen (16) är symmetrisk med avseende pä sidoelektrodernas (15) medianplan (s), - centrumelektroden (17) är väsentligen balkformig och den omges av ett U-format spär, som gär igenom : · stomelementet, - centrumelektrodens (17) spetsparti (1) är nästan lika tjockt som stomelementet (3), pä ett sädant 14 81915 sätt att det mellan sidoelektroderna (4, 6') och centrumelektroden (17) utbildas av spetspartiets (1) tjocklek bestämda smala elektrodgap (7), och - sidoelektrodkonstruktlonerna (15) är förenade medelst ett elektrisk isolerande skikt (5) herme-tiskt med centrumelektrodkonstruktionens (16) stomelement (3), varvid varje centrumelektrod (17) är i ett hermetiskt sluten utrymme och elektrod-konstruktionerna är i normaltillstSnd galvaniskt ätskilda frän varandra utan externa kopplingar.
2. Accelerometer enligt patentkrav 1, känneteck-n a d av att centrumelektrodanordningen (16) är rektangel-formig.
3. Accelerometer enligt patentkrav 1 eller 2, k ä n n e -tecknad av att ett pelarlikt elektriskt förbindelse-organ (10), med vilken kontaktomrädena (6) hos sidoelektro-derna kan bringas pä samma nivä, är elektriskt avskilt frän centrumelektrodkonstruktionen.
4. Förfarande för tillverkning av en kapacitiv accelerometer, enligt vilket förfarande ' - tvä skivformiga sidoelektrodkonstruktioner (15) innefattande fasta sidoelektroder (4, 6') bildas, och - en centrumelektrodkonstruktion (16) innefattande en centrumelektrod (17) anordnas mellan de fasta V] sidoelektrodkonstruktlonerna (15), kännetecknat av att - centrumelektrodkonstruktionen (16) tillverkas av ett homogent enkristalligt halvledarstycke genom etsning av ett centrumelektrodomräde (12) under processfas I pä bäda sidor om dess centrumsektion II is 81915 - kantomrädena (13) hos det centrala elektrodomrädet (12) etsas ytterligare under processfas II pä bäda sldor om halvledarstycket för att pä centrum-elektrodomrädet (12) kvarlämna ett balkliknande, centrumelektrodmönster (17’), som är förenat med det icke-etsade halvledarstycket och som uppvisar den tjocklek som definierats under fas I (fig. 8), - skaftparti (14) av det centrala elektrodmönstret (17') etsas ytterligare under processfas III (fig. 9) p& bäda sidor tillsammans med kantomrSdet (13) tills kantomrädet (13) etsas igenom och skaftpar-tiet (14) erhäller önskad tjocklek, och - sidoelektroderna (1) fästs hermetiskt vid cent-rumelektrodkonstruktionen (16).
5. Förfarande enligt patentkrav 4, kännetecknat av att när sidoelektroderna (15) fästs vid centrumelektrod-anordningen (16) anordnas ett lämpligt gastryck i det av sidoelektroderna avgränsade utrymmet för att garantera goda frekvensegenskaper hos accelometern. i» ·
Priority Applications (10)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI874942A FI81915C (sv) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | Kapacitiv accelerationsgivare och förfarande för framställning därav |
ES8803392A ES2012420A6 (es) | 1987-11-09 | 1988-11-08 | Acelerometro capacitivo y metodo de fabricacion del mismo. |
FR888814564A FR2622975B1 (fr) | 1987-11-09 | 1988-11-08 | Accelerometre capacitif et son procede de fabrication |
IT48532/88A IT1224301B (it) | 1987-11-09 | 1988-11-08 | Accelerometro capacitivo e metodo per produrlo |
SE8804039A SE468067B (sv) | 1987-11-09 | 1988-11-08 | Kapacitiv accelerometer och saett foer tillverkning av denna |
DE3837883A DE3837883A1 (de) | 1987-11-09 | 1988-11-08 | Kapazitiver beschleunigungsmesser und verfahren zu seiner herstellung |
KR1019880014655A KR890008569A (ko) | 1987-11-09 | 1988-11-08 | 용량성 가속도계 및 그 제조방법 |
CN88107822A CN1022136C (zh) | 1987-11-09 | 1988-11-09 | 容性加速度计及其制造方法 |
GB8826263A GB2212274A (en) | 1987-11-09 | 1988-11-09 | Capacitive accelerometer and its fabrication method |
JP63283533A JPH01259265A (ja) | 1987-11-09 | 1988-11-09 | キャパシチブ加速度計およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI874942A FI81915C (sv) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | Kapacitiv accelerationsgivare och förfarande för framställning därav |
FI874942 | 1987-11-09 |
Publications (4)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI874942A0 FI874942A0 (fi) | 1987-11-09 |
FI874942A FI874942A (fi) | 1989-05-10 |
FI81915B FI81915B (fi) | 1990-08-31 |
FI81915C true FI81915C (sv) | 1990-12-10 |
Family
ID=8525381
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI874942A FI81915C (sv) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | Kapacitiv accelerationsgivare och förfarande för framställning därav |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01259265A (sv) |
KR (1) | KR890008569A (sv) |
CN (1) | CN1022136C (sv) |
DE (1) | DE3837883A1 (sv) |
ES (1) | ES2012420A6 (sv) |
FI (1) | FI81915C (sv) |
FR (1) | FR2622975B1 (sv) |
GB (1) | GB2212274A (sv) |
IT (1) | IT1224301B (sv) |
SE (1) | SE468067B (sv) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4983485A (en) * | 1988-04-13 | 1991-01-08 | Shikoku Chemicals Corporation | Positively chargeable toner |
JPH0623782B2 (ja) * | 1988-11-15 | 1994-03-30 | 株式会社日立製作所 | 静電容量式加速度センサ及び半導体圧力センサ |
US5228341A (en) * | 1989-10-18 | 1993-07-20 | Hitachi, Ltd. | Capacitive acceleration detector having reduced mass portion |
US6864677B1 (en) | 1993-12-15 | 2005-03-08 | Kazuhiro Okada | Method of testing a sensor |
JPH03210478A (ja) * | 1990-01-12 | 1991-09-13 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体加速度センサ |
DE4000903C1 (sv) * | 1990-01-15 | 1990-08-09 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De | |
JP2786321B2 (ja) * | 1990-09-07 | 1998-08-13 | 株式会社日立製作所 | 半導体容量式加速度センサ及びその製造方法 |
DE4222472C2 (de) * | 1992-07-09 | 1998-07-02 | Bosch Gmbh Robert | Beschleunigungssensor |
JP2533272B2 (ja) * | 1992-11-17 | 1996-09-11 | 住友電気工業株式会社 | 半導体デバイスの製造方法 |
FR2698447B1 (fr) * | 1992-11-23 | 1995-02-03 | Suisse Electronique Microtech | Cellule de mesure micro-usinée. |
DE10111149B4 (de) * | 2001-03-08 | 2011-01-05 | Eads Deutschland Gmbh | Mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor |
DE10117630B4 (de) * | 2001-04-09 | 2005-12-29 | Eads Deutschland Gmbh | Mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor |
EP1243930A1 (de) | 2001-03-08 | 2002-09-25 | EADS Deutschland Gmbh | Mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor |
DE10117257A1 (de) * | 2001-04-06 | 2002-10-17 | Eads Deutschland Gmbh | Mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor |
JP2005077349A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Mitsubishi Electric Corp | 加速度センサ |
US8342022B2 (en) | 2006-03-10 | 2013-01-01 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Micromechanical rotational speed sensor |
EP2259018B1 (en) | 2009-05-29 | 2017-06-28 | Infineon Technologies AG | Gap control for die or layer bonding using intermediate layers of a micro-electromechanical system |
GB2518050A (en) * | 2012-04-30 | 2015-03-11 | Hewlett Packard Development Co | Control Signal Based On a Command Tapped By A User |
CN106771361B (zh) * | 2016-12-15 | 2023-04-25 | 西安邮电大学 | 双电容式微机械加速度传感器及基于其的温度自补偿系统 |
CN117368525A (zh) * | 2017-04-06 | 2024-01-09 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 石英摆式加速度计 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH642461A5 (fr) * | 1981-07-02 | 1984-04-13 | Centre Electron Horloger | Accelerometre. |
JPS6197572A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-16 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体加速度センサの製造方法 |
US4744249A (en) * | 1985-07-25 | 1988-05-17 | Litton Systems, Inc. | Vibrating accelerometer-multisensor |
US4679434A (en) * | 1985-07-25 | 1987-07-14 | Litton Systems, Inc. | Integrated force balanced accelerometer |
DE3625411A1 (de) * | 1986-07-26 | 1988-02-04 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Kapazitiver beschleunigungssensor |
DE3703793A1 (de) * | 1987-02-07 | 1988-08-18 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Detektorelement |
-
1987
- 1987-11-09 FI FI874942A patent/FI81915C/sv not_active IP Right Cessation
-
1988
- 1988-11-08 ES ES8803392A patent/ES2012420A6/es not_active Expired - Fee Related
- 1988-11-08 IT IT48532/88A patent/IT1224301B/it active
- 1988-11-08 DE DE3837883A patent/DE3837883A1/de not_active Ceased
- 1988-11-08 FR FR888814564A patent/FR2622975B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1988-11-08 SE SE8804039A patent/SE468067B/sv unknown
- 1988-11-08 KR KR1019880014655A patent/KR890008569A/ko not_active Application Discontinuation
- 1988-11-09 CN CN88107822A patent/CN1022136C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1988-11-09 JP JP63283533A patent/JPH01259265A/ja active Pending
- 1988-11-09 GB GB8826263A patent/GB2212274A/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE8804039D0 (sv) | 1988-11-08 |
FR2622975B1 (fr) | 1991-07-12 |
CN1022136C (zh) | 1993-09-15 |
DE3837883A1 (de) | 1989-05-18 |
JPH01259265A (ja) | 1989-10-16 |
ES2012420A6 (es) | 1990-03-16 |
IT1224301B (it) | 1990-10-04 |
FI81915B (fi) | 1990-08-31 |
IT8848532A0 (it) | 1988-11-08 |
FI874942A0 (fi) | 1987-11-09 |
GB2212274A (en) | 1989-07-19 |
FI874942A (fi) | 1989-05-10 |
SE468067B (sv) | 1992-10-26 |
KR890008569A (ko) | 1989-07-12 |
FR2622975A1 (fr) | 1989-05-12 |
CN1033110A (zh) | 1989-05-24 |
GB8826263D0 (en) | 1988-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI81915C (sv) | Kapacitiv accelerationsgivare och förfarande för framställning därav | |
US5488864A (en) | Torsion beam accelerometer with slotted tilt plate | |
US6035714A (en) | Microelectromechanical capacitive accelerometer and method of making same | |
US6286369B1 (en) | Single-side microelectromechanical capacitive acclerometer and method of making same | |
US5495761A (en) | Integrated accelerometer with a sensitive axis parallel to the substrate | |
CA2467503C (en) | Accelerometer | |
JP5184880B2 (ja) | 加速度計 | |
US6805008B2 (en) | Accelerometer with folded beams | |
US5780885A (en) | Accelerometers using silicon on insulator technology | |
US5095752A (en) | Capacitance type accelerometer | |
US6718605B2 (en) | Single-side microelectromechanical capacitive accelerometer and method of making same | |
EP0386464B1 (en) | Closed-loop capacitive accelerometer with spring constraint | |
JPH06302832A (ja) | 加速度センサ | |
JP2012225920A (ja) | マイクロ−電子機械システム(mems)デバイス | |
US6874363B1 (en) | Trapped charge field bias vibrating beam accelerometer | |
CN109798972A (zh) | 微机械惯性传感器 | |
US6973829B2 (en) | Semiconductor dynamic quantity sensor with movable electrode and fixed electrode supported by support substrate | |
GB2280307A (en) | Semiconductor acceleration sensor and testing method thereof | |
US20190271717A1 (en) | Accelerometer sensor | |
JPH09318656A (ja) | 静電容量式加速度センサ | |
JP2004170145A (ja) | 容量式力学量センサ | |
CN216593886U (zh) | 微机电谐振式压力敏感结构 | |
JP2001044450A (ja) | 半導体力学量センサ | |
Shoji et al. | Diode integrated capacitive accelerometer with reduced structural distortion | |
Zou et al. | Structure design and fabrication of symmetric force-balance micromachining capacitive accelerometer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FG | Patent granted |
Owner name: VAISALA OY |
|
MA | Patent expired |