ES2593843T3 - Aparato para recubrimiento de placas de impresión calcográfica - Google Patents

Aparato para recubrimiento de placas de impresión calcográfica Download PDF

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Abstract

Un aparato (1) para recubrimiento de placas de impresión calcográfica que comprende: - una cámara (3) de vacío que posee un espacio (30) interno adaptado para recibir al menos una placa (10) de impresión calcográfica que va a ser recubierta; - un sistema (4) de vacío acoplado a la cámara (3) de vacío y que está adaptado para crear vacío en el espacio (30) interno de la cámara (3) de vacío; y - un sistema (5) de deposición en fase de vapor (PVD) adaptado para llevar a cabo la deposición de material de recubrimiento resistente al desgaste bajo condiciones de vacío sobre una superficie (10a) grabada de la placa (10) de impresión calcográfica, de manera que el sistema (5) de deposición en fase de vapor incluye al menos un blanco (51, 52) de material de recubrimiento que comprende una fuente el material de recubrimiento resistente al desgaste que va a ser depositado sobre la superficie (10a) grabada de la placa (10) de impresión calcográfica, en el que la cámara (3) de vacío está dispuesta de tal manera que la placa (10) de impresión calcográfica que va a ser recubierta descansa en posición sustancialmente vertical en el espacio (30) interno de la cámara (3) de vacío con su superficie (10a) grabada mirando en la dirección del al menos un blanco (51, 52) de material de recubrimiento, y en el que el aparato (1) para recubrimiento de placa de impresión calcográfica comprende adicionalmente un portador (6) móvil ubicado en el seno del espacio (30) interno de la cámara (3) de vacío y está adaptado para sujetar y desplazar de manera cíclica la placa (10) de impresión calcográfica enfrente de y más allá del al menos un blanco (51, 52) de material de recubrimiento.

Description

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DESCRIPCION
Aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica Campo tecnico
La presente invencion se refiere genericamente a un aparato para recubrimiento de placa de impresion calcografica para el recubrimiento de placas de impresion calcografica tal como se utilizan en la produccion de documentos seguros. De manera mas precisa, la presente invencion se refiere a un aparato para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal que sea capaz de llevar a cabo el recubrimiento de placas de impresion calcografica mediante deposition en fase de vapor (PVD, Physical Vapour Deposition) de un material de recubrimiento resistente al desgaste, tal como, pero sin estar limitado a, cromo.
Antecedentes de la invencion
En la tecnica de la impresion segura, los documentos seguros, tales como billetes de banco, implican tlpicamente una as! denominada operation de impresion calcografica que utiliza placas de impresion calcografica (o medios de impresion de ese tipo) que poseen complejos patrones curvillneos grabados en la superficie de las placas de impresion calcografica (ver, por ejemplo, las Publicaciones Internacionales Numero WO 03/103962 A1, WO 2007/119203 A1 y WO 2009/138901 A1).
Hoy en dla, las placas de impresion calcografica para la produccion de documentos seguros se fabrican tlpicamente mediante el grabado con laser de una placa precursora de pollmero (ver, por ejemplo, el documento WO 03/103962 A1) o mediante el grabado con laser directo de una placa metalica (ver, por ejemplo, los documentos WO 03/103962 A1 y WO 2009/138901 A1). Soluciones alternativas incluyen el grabado mecanico directo de una placa metalica utilizando cinceles giratorios o dispositivos similares, o bien el decapado de una placa metalica que ha sido dotada previamente de una mascara resistente al decapado apropiada mediante tecnicas fotolitograficas. En todos los casos, antes de utilizarse en una prensa de impresion calcografica, las placas de impresion calcografica se dotan primero de un revestimiento resistente al desgaste, usualmente de cromo, con el fin de aumentar la dureza de superficie de la placa de impresion calcografica, y por lo tanto su resistencia al desgaste, as! como su resistencia a la corrosion.
Hasta la fecha, las placas de impresion calcografica estan comunmente cromadas mediante galvanoplastia (o “cromado mediante bano de cromo”), es decir, sometiendo a las placas de impresion calcografica sin recubrir a un proceso galvanico en un bano de cromo. El cromado mediante bano de cromo resulta sin embargo potencialmente problematico desde un punto de vista de salud debido a la produccion de compuestos de cromo hexavalente (o “cromo VI”) que necesitan un tratamiento apropiado y un manejo cuidadoso.
Una alternativa potencial al cromado mediante bano de cromo es la deposicion de cromo (o de recubrimientos resistentes al desgaste similares) mediante tecnicas de deposicion en fase de vapor (PVD). La PVD es un proceso en el que se eyectan atomos desde un blanco de material solido usualmente mediante bombardeo de iones o de atomos en un ambiente en vaclo y a continuation los atomos se depositan en un sustrato deseado.
La deposicion de materiales de recubrimiento resistentes al desgaste en medios de impresion, especialmente medios de impresion grabados, es ya conocida como tal en la tecnica. La Patente de EE. UU. N° US 5.252.360 (y la correspondiente Patente Europea N° EP 0 446 762 B1), por ejemplo, describen un proceso para la protection de una placa o rodillo grabado, por ejemplo para impresion por huecograbado, donde un cuerpo base de metal cuya superficie esta dotada de celdas grabadas es recubierto con al menos una capa de un metal o un compuesto metalico con el fin de aumentar la resistencia al desgaste y la resistencia a la corrosion de la placa o rodillo grabado. De acuerdo con la Patente de EE. UU. N° US 5.252.360, se dota en primer lugar a la superficie de la placa o rodillo grabado de una capa intermedia densa de un componente que contiene metal o de un componente que contiene ceramica y que tiene un grosor entre 10 y 15 Dm aproximadamente y una dureza Vickers de al menos 850 HV. Esta capa intermedia se aplica, por ejemplo, mediante espray o de manera electrolltica. A continuacion, la superficie de esta capa intermedia se pule y se limpia, y es sometida despues a condiciones de vaclo. Mientras se mantiene bajo condiciones de vaclo, el cuerpo base es calentado para propositos de templado hasta una temperatura comprendida en el intervalo entre al menos 240°C y alrededor de 480°C durante un perlodo de tiempo comprendido en el intervalo entre al menos 1 hora hasta alrededor de 4 horas. A continuacion, al final del periodo de templado, mientras el cuerpo base grabado templado con su capa intermedia se somete de manera continua a condiciones de vaclo y se mantiene en una condition de calentamiento entre 200°C y 480°C, se forma una capa resistente al desgaste de un compuesto metalico que tiene una dureza Vickers de al menos 2.000 HV mediante deposicion en fase de vapor con un grosor comprendido en el intervalo entre 4 Dm y 8 Dm, de manera que esta capa resistente al desgaste depositada por vapor es finalmente pulida.
La Patente de EE. UU. N° US 5.252.360 no describe o no se refiere de manera especlfica a ningun tipo de aparato para recubrimiento particular para llevar a cabo la deposicion PVD en fase de vapor del material resistente al desgaste.
La Publication de Patente de Alemania N° DE 195 16 883 A1 describe de manera similar un medio de impresion
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grabado para impresion por huecograbado, de manera que el medio de impresion por huecograbado esta dotado de una fina capa de material de recubrimiento resistente al desgaste. El documento DE 195 16 883 A1 contiene una referencia vaga al uso de un aparato para recubrimiento mediante vaclo para llevar a cabo la deposicion del material de recubrimiento resistente al desgaste, pero no describe de manera precisa el aparato para recubrimiento mediante vaclo relevante.
Los aparatos de recubrimiento por PVD son conocidos en la tecnica para aplicaciones diferentes al recubrimiento de placas de impresion. Estos aparatos no resultan sin embargo directamente apropiados para el procesamiento de placas de impresion calcografica para la produccion de documentos seguros. Los aparatos de recubrimiento por PVD conocidos son tlpicamente bien demasiado pequenos o bien demasiado grandes y son ademas incapaces de depositar recubrimientos con las propiedades y el grosor deseados tal como se requiere en el contexto de la produccion de placas de impresion calcografica. Tal es el caso, por ejemplo, del aparato para recubrimiento por PVD descrito en la Patente de EE. UU. N° US 4.892.451 que se refiere de manera especlfica al procesamiento de discos de almacenamiento de datos, tales como CDs y discos magneticos, obleas semiconductoras, y sustratos similares en forma de placa para propositos opticos y/o electronicos.
De manera similar, el metodo de recubrimiento descrito en la Publicacion de Patente de EE. UU. N° US 2011/0139246 A1 es de aplicacion especlfica al deposito de una capa delgada de oxido conductor transparente (TCO, Transparent Conductive Oxide) en un sustrato para ser utilizado en dispositivos fotovoltaicos, cuyo metodo no es trasladable de manera directa al recubrimiento de placas de impresion calcografica para la produccion de documentos seguros.
Se requiere, por lo tanto, una solucion mejorada.
Resumen de la invencion
Una finalidad generica de la invencion es, por lo tanto, proporcionar un aparato para recubrimiento mejorado en comparacion con las soluciones ya conocidas en la tecnica y que resulte mas apropiado para el recubrimiento de placas de impresion calcografica que se utilizan para impresion segura.
Una finalidad adicional de la invencion consiste en proporcionar tal aparato para recubrimiento que pueda permitir de manera fiable y eficiente el recubrimiento de placas de impresion calcografica con una capa de material de recubrimiento resistente al desgaste.
Otra finalidad adicional de la invencion consiste en proporcionar tal aparato para recubrimiento que sea facil de utilizar y que facilite las operaciones de mantenimiento.
Estas finalidades se consiguen gracias al aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica definido en las reivindicaciones.
De acuerdo con la invencion, se proporciona por consiguiente un aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica que comprende una camara de vaclo que posee un espacio interno adaptado para recibir al menos una placa de impresion calcografica que va a ser recubierta, un sistema de vaclo acoplado a la camara de vaclo para crear un vaclo en el espacio interno de la camara de vaclo, y un sistema de deposicion en fase de vapor (PVD) para la deposicion de material de recubrimiento resistente al desgaste bajo condiciones de vaclo sobre una superficie grabada de la placa de impresion calcografica, de manera que el sistema de deposicion en fase de vapor incluye al menos un blanco de material de recubrimiento que comprende una fuente del material de recubrimiento resistente al desgaste que va a ser depositado sobre la superficie grabada de la placa de impresion calcografica. La camara de vaclo esta dispuesta de tal manera que la placa de impresion calcografica que va a ser recubierta descansa en posicion sustancialmente vertical en el espacio interno de la camara de vaclo con su superficie grabada mirando en la direction de al menos un blanco de material de recubrimiento. El aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica comprende adicionalmente un portador movil ubicado en el seno del espacio interno de la camara de vaclo y adaptado para sujetar y mover de manera clclica la placa de impresion calcografica enfrente de y mas alla del al menos un blanco de material de recubrimiento.
De acuerdo con la invencion, una placa de impresion calcografica puede dotarse de manera apropiada de un recubrimiento de material resistente al desgaste. La configuration de la camara de vaclo asociada al movimiento clclico del portador movil que sujeta la placa de impresion calcografica garantiza que puede formarse un recubrimiento de alta calidad en la superficie grabada de la placa de impresion calcografica. Esta disposition permite adicionalmente una configuracion global razonablemente compacta del aparato para recubrimiento. La verticalidad de la camara de vaclo es ventajosa adicionalmente debido a que reduce de manera sustancial el riesgo de la calda de impurezas y partlculas similares sobre la superficie grabada de la placa de impresion calcografica.
De acuerdo con una realization preferida de la invencion, el sistema de deposicion en fase de vapor es un sistema de deposicion por pulverization catodica que comprende al menos un blanco de pulverization en la forma de un magnetron que actua como blanco de material de recubrimiento, un suministro de gas de pulverizacion para suministrar un gas de pulverizacion al espacio interno de la camara de vaclo, y un sistema de ionization para provocar la pulverizacion del material de recubrimiento resistente al desgaste del al menos un blanco de
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pulverizacion y la deposicion del material de recubrimiento resistente al desgaste pulverizado sobre la superficie grabada de la placa de impresion calcografica. En este contexto, el sistema de deposicion por pulverizacion catodica puede comprender de manera ventajosa al menos dos blancos de pulverizacion que comprenden, cada uno de ellos, una fuente de un material de recubrimiento resistente al desgaste que va a ser depositado, tal como cromo o titanio puros. En el contexto de la presente invencion, la deposicion por pulverizacion catodica ha demostrado ser una tecnica de recubrimiento PVD particularmente apropiada que esta bien adaptada al recubrimiento de placas de impresion calcografica.
En una realizacion ventajosa, la camara de vaclo y el portador movil estan dispuestos de tal manera que la placa de impresion calcografica que va a ser recubierta esta inclinada hacia atras, de manera que el un angulo de inclinacion entre la superficie grabada de la placa de impresion calcografica y un plano vertical no supera preferiblemente los 20 grados.
De acuerdo con una realizacion adicional, el portador movil esta adaptado para trasladar la placa de impresion calcografica hacia adelante y hacia atras en el seno del espacio interno de la camara de vaclo y a lo largo de un camino de traslacion enfrente del al menos un blanco de material de recubrimiento. En el contexto de la invencion, deberla apreciarse que el movimiento clclico de la placa de impresion calcografica podrla tener lugar de una manera diferente a la traslacion, como por ejemplo mediante rotacion u oscilacion alrededor de un eje de rotacion. El movimiento de traslacion se prefiere, sin embargo, puesto que simplifica de manera significativa la configuration de la camara de vaclo y de manera global el aparato para recubrimiento.
En el contexto de la realizacion descrita anteriormente, la camara de vaclo puede mostrar de manera ventajosa una forma alargada con unas extremidades primera y segunda en ambos extremos del camino de traslacion del portador movil, donde la primera extremidad de la camara de vaclo esta dotada de una primera compuerta estanca, de manera que la primera compuerta estanca proporciona un acceso al espacio interno de la camara de vaclo para permitir la carga de una placa de impresion calcografica que va a ser recubierta o la descarga de una placa de impresion calcografica ya recubierta. La primera extremidad de la camara de vaclo puede estar acoplada de manera conveniente a una sala limpia desde la que se lleva a cabo la carga o la descarga de placas de impresion calcografica en la camara de vaclo o desde la camara de vaclo. Adicionalmente, la segunda extremidad de la camara de vaclo puede estar dotada de una segunda compuerta estanca, de manera que la segunda compuerta estanca proporciona un acceso adicional al espacio interno de la camara de vaclo para propositos de mantenimiento.
De acuerdo con una realizacion ventajosa, se proporcionan paneles protectores desmontables en al menos la pared interna trasera de la camara de vaclo detras del portador movil. Estos paneles protectores desmontables estan disenados para favorecer y facilitar operaciones de mantenimiento.
En otra realizacion adicional, el portador movil esta adaptado para recibir un soporte de placa de impresion calcografica sobre el cual se monta la placa de impresion calcografica, de manera que el soporte de placa de impresion calcografica es desmontable del portador movil junto con la placa de impresion calcografica.
De acuerdo con una realizacion preferida de la invencion, la camara de vaclo comprende una abertura frontal que se comunica con el espacio interno de la camara de vaclo y que aloja un panel estanco retractil sobre el que se ubica el al menos un blanco de material de recubrimiento, de manera que el panel estanco retractil puede ser desplazado entre una position retralda existente durante las operaciones de mantenimiento, proporcionando de este modo acceso al espacio interno de la camara de vaclo a traves de la abertura frontal, y una posicion de trabajo en la que la abertura frontal esta cerrada de una manera estanca mediante el panel estanco retractil, llevando de este modo al al menos un blanco de material de recubrimiento a una posicion de funcionamiento dentro de la abertura frontal.
En este contexto particular, el panel estanco retractil puede hacerse girar de manera ventajosa alrededor de un extremo hacia adentro de la camara de vaclo, de manera que el panel estanco retractil descansa preferiblemente, en la posicion retralda, de manera sustancialmente horizontal con una superficie del al menos un blanco de material de recubrimiento orientada hacia arriba.
De manera incluso mas preferible, el aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica comprende adicionalmente un mecanismo de obturation para crear de manera selectiva una separation entre el espacio interno de la camara de vaclo y el al menos un blanco de material de recubrimiento ubicado en el panel estanco retractil.
De manera adicional, y en el contexto de un sistema de deposicion por pulverizacion catodica que actua como el sistema de deposicion en fase de vapor que comprende al menos un blanco de pulverizacion en la forma de un magnetron que actua como el blanco de material de recubrimiento, el aparato para recubrimiento puede estar dotado adicionalmente de un medio para conformar un campo magnetico del magnetron. Dicho medio puede incluir, en particular, un arrollamiento electrico que rodea la abertura frontal y esta ubicado en las vecindades del al menos un blanco de material de recubrimiento, cuando se lleva a la posicion de funcionamiento, de manera que el arrollamiento electrico esta excitado durante una operation de pulverizacion.
En una realizacion adicional, el sistema de vaclo comprende un sistema de bomba principal y al menos una bomba
de vaclo turbomolecular, de manera que la bomba de vaclo turbomolecular esta acoplada de manera preferible al espacio interno de la camara de vaclo a traves de una valvula de compuerta de control.
Realizaciones ventajosas adicionales de la invencion forman el objeto de la invencion de las reivindicaciones dependientes y se discutiran mas adelante.
5 Breve descripcion de los dibujos
Otras caracterlsticas propias y ventajas de la presente invencion se apreciaran de manera mas clara a partir de la lectura de la descripcion detallada que sigue de las realizaciones de la invencion que se presentan solamente a modo de ejemplos no restrictivos y que se ilustran mediante los dibujos adjuntos, en los cuales:
La Figura 1 es una vista en perspectiva de un aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica de 10 acuerdo con una realizacion preferida de la invencion;
La Figura 2 es una vista frontal del aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica de la Figura 1;
La Figura 3 es una vista lateral del aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica de la Figura 1;
La Figura 4 es una vista superior del aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica de la Figura 1;
La Figura 5 es un diagrama del aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica de la Figura 1 que 15 muestra de manera esquematica componentes funcionales adicionales del aparato;
La Figura 6 es un diagrama esquematico de la camara de vaclo del aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica que ilustra un movimiento de traslacion de un portador movil que sujeta la placa de impresion calcografica que va a ser recubierta;
Las Figuras 7A a 7C son vistas ilustrativas esquematicas que muestran un posible funcionamiento de un sistema de 20 vaclo acoplado a la camara de vaclo por medio del cual se crea vaclo en el espacio interno de la camara de vaclo; y
La Figura 8 ilustra de manera esquematica el aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica acoplado en una extremidad a una sala limpia en la que las placas de impresion calcografica que van a ser recubiertas se preparan antes de la operacion de recubrimiento y en la que las placas de impresion calcografica son manipuladas despues de la operacion de recubrimiento.
25 Descripcion detallada de realizaciones de la invencion
En el contexto de la presente invencion, la expresion “placa de impresion calcografica” designa de manera especlfica una placa de impresion grabada tal como se utiliza para la produccion de documentos seguros, tales como billetes de banco. Tales “placas de impresion calcografica” deben distinguirse de medios de impresion por huecograbado que se utilizan en impresion por huecograbado para la produccion de revistas o embalajes. En 30 impresion por huecograbado, un as! denominado cilindro de huecograbado se utiliza tlpicamente como medio de impresion, de manera que el cilindro de huecograbado esta dotado comunmente de una pluralidad de celdas de retencion de tinta de tamanos y/o profundidades variables, de manera que las celdas estan distribuidas de acuerdo con un patron uniforme y regular sobre la circunferencia del cilindro de huecograbado. En contraste, las placas de impresion calcografica tal como se utilizan en la tecnica de la impresion segura estan dotadas de patrones 35 curvillneos complejos e intrincados que estan grabados en la superficie de la placa de impresion (ver de nuevo las Publicaciones Internacionales Numero WO 03/103962 A1, WO 2007/119203 A1 y WO 2009/138901 A1, que se refieren a la produccion de placas de impresion calcografica para aplicaciones de impresion segura).
En el contexto de la presente invencion, se hara referencia a una tecnica de deposicion en fase de vapor (PVD) conocida como “deposicion por pulverizacion catodica”. La deposicion por pulverizacion catodica (o “pulverizacion”) 40 es un metodo PVD para depositar materiales de recubrimiento mediante pulverizacion; es decir, mediante la eyeccion de atomos de material de recubrimiento provenientes de un blanco de pulverizacion, que comprende una fuente solida de material de recubrimiento, sobre el sustrato que se desea recubrir. La eyeccion (o la pulverizacion) de los atomos del blanco de pulverizacion se lleva a cabo tlpicamente bombardeando el blanco de pulverizacion con atomos o iones bajo condiciones de vaclo, utilizando un gas inerte (tal como el argon) que esta ionizado en las 45 vecindades del blanco de pulverizacion para producir iones (en particular iones de argon Ar+) que son proyectados con alta energla contra el blanco de pulverizacion, provocando de este modo la eyeccion mediante pulverizacion de atomos del material de recubrimiento que son proyectados entonces de manera ballstica sobre el sustrato que va a ser recubierto. Los iones de alta energla son tlpicamente generados mediante un plasma que esta contenido en las vecindades del blanco de pulverizacion mediante un campo magnetico apropiado. Un gas reactivo (tal como el 50 nitrogeno) puede ser alimentado adicionalmente dentro de la camara de vaclo durante el proceso de pulverizacion para crear compuestos sobre la superficie del sustrato que esta siendo recubierto mediante la combinacion de los atomos pulverizados con el gas reactivo.
La Figura 1 es una vista en perspectiva de un aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica de
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acuerdo con una realizacion preferida de la invencion, de manera que el aparato para recubrimiento se designa genericamente mediante el numero 1 de referencia. Las Figuras 2 a 4 constituyen, respectivamente, una vista frontal, una vista lateral, y una vista superior del aparato 1 para recubrimiento de placas de impresion calcografica de la Figura 1. Las Figuras 5 a 8 son vistas ilustrativas adicionales y diagramas esquematicos adicionales del aparato 1 para recubrimiento de placas de impresion calcografica.
El aparato 1 para recubrimiento de placas de impresion calcografica comprende esencialmente un chasis 2 que sujeta una camara 3 de vaclo, de manera que la camara 3 de vaclo esta sujeta de una manera sustancialmente vertical por medio de cuatro elementos 21 de soporte vertical. De manera mas precisa, la camara 3 de vaclo posee un espacio 30 interno (ver tambien las Figuras 3, 5, 6, y 7A-C) que esta adaptado para recibir una placa 10 de impresion calcografica que va a ser recubierta, donde la camara 3 de vaclo esta dispuesta de tal manera que la placa 10 de impresion calcografica que va a ser recubierta descansa de manera sustancialmente vertical en el espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo con su superficie grabada, designada mediante el numero 10a de referencia, mirando en la direccion de una parte frontal del aparato 1 en el que esta ubicado al menos un blanco de material de recubrimiento de un sistema 5 de deposicion en fase de vapor (PVD), cuando esta situado en una posicion de funcionamiento (ver, por ejemplo, las Figuras 5 y 6). En este ejemplo, se proporcionan dos de tales blancos de material de recubrimiento designados mediante los numeros 51 y 52 de referencia. El sistema 5 PVD pretende llevar a cabo la deposicion, bajo condiciones de vaclo, de un material de recubrimiento resistente al desgaste sobre la superficie 10a grabada de la placa 10 de impresion calcografica, de manera que cada blanco 51, 52 de material de recubrimiento comprende una fuente de un material de recubrimiento resistente al desgaste deseado que va a ser depositado, tal como cromo o titanio puros (o materiales de recubrimiento similares apropiados para deposicion PVD).
De acuerdo con esta realizacion preferida, el sistema 5 PVD es un sistema de deposicion por pulverizacion catodica que comprende al menos un blanco de pulverizacion en la forma de un magnetron que actua como el blanco de material de recubrimiento (en este caso se proporcionan dos de tales magnetrones que actuan como blancos 51, 52), un suministro de gas de pulverizacion para suministrar un gas de pulverizacion (tal como argon) al espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo (un suministro de gas de pulverizacion tal se ilustra de manera esquematica en la Figura 5 como el componente 55), y un sistema de ionizacion para provocar la pulverizacion del material de recubrimiento resistente al desgaste de los blancos 51, 52 y la deposicion del material de recubrimiento resistente al desgaste pulverizado sobre la superficie 10a grabada de la placa 10 de impresion calcografica. En este ejemplo, los blancos 51, 52 de material de recubrimiento forman un catodo del sistema 5 de deposicion por pulverizacion catodica tal como resulta tlpico en la tecnica.
En este ejemplo preferido, la camara 3 de vaclo comprende una abertura 35a frontal que se comunica con el espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo y que aloja un panel 35 estanco retractil sobre el que estan ubicados los blancos 51, 52 de material de recubrimiento del sistema 5 PVD. Este panel 35 estanco retractil puede ser desplazado entre una posicion retralda existente durante las operaciones de mantenimiento (tal como se muestra en las Figuras 1 a 4 y 8), proporcionando de este modo acceso al espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo a traves de la abertura 35a frontal, y una posicion de trabajo (tal como se muestra en las Figuras 5 a 7A-C) en el que la abertura 35a frontal esta cerrada de una manera estanca por el panel 35 estanco retractil, llevando de este modo a los blancos 51, 52 de material de recubrimiento a una posicion de funcionamiento en el seno de la abertura 35a frontal.
Tal como se muestra en las Figuras, el panel 35 estanco retractil puede hacerse girar de manera ventajosa alrededor de un extremo (concretamente un extremo inferior) hacia adentro de la camara 3 de vaclo. Tal como se muestra adicionalmente en las Figuras 1 a 4, el panel retractil descansa preferiblemente, en la posicion retralda, en un plano sustancialmente horizontal con una superficie de los blancos 51, 52 de material de recubrimiento orientada hacia arriba, lo que facilita las operaciones de mantenimiento, tal como la sustitucion de cualquiera de los blancos 51, 52 de material de recubrimiento por un nuevo blanco. La actuacion sobre el panel 35 estanco retractil desde la posicion de trabajo hasta la posicion retralda, y viceversa, puede llevarse a cabo por medio de un mecanismo actuador apropiado, tal como un mecanismo actuador accionado por motor.
Un portador 6 movil se proporciona adicionalmente y esta ubicado en el seno del espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo, de manera que el portador 6 movil esta adaptado para sujetar y mover de manera clclica la placa 10 de impresion calcografica por delante de y mas alla de los blancos 51, 52 de material de recubrimiento. En el presente caso, la camara 3 de vaclo y el portador 6 movil estan dispuestos de manera que la placa 10 de impresion calcografica que va a ser recubierta esta inclinada hacia atras (ver Figura 3), de manera que el angulo de inclinacion entre la superficie 10a grabada de la placa 10 de impresion calcografica y un plano vertical no supera preferiblemente los 20 grados.
En la realizacion ilustrada, tal como se muestra de manera esquematica en las Figuras 5 y 6, el portador 6 movil esta adaptado para trasladar la placa 10 de impresion calcografica hacia adelante y hacia atras en el seno del espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo y a lo largo de un camino T de traslacion enfrente de y mas alla de los blancos 51, 52 de material de recubrimiento. La camara 3 de vaclo esta configurada, por consiguiente, para mostrar una forma alargada con extremidades primera y segunda, indicadas genericamente mediante las referencias I y II, en ambos extremos del camino T de traslacion del portador 6 movil.
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De manera adicional, el portador 6 movil esta adaptado de manera ventajosa para recibir un soporte 65 de placa de impresion calcografica (ver Figuras 2, 3, 5, 6) sobre el cual esta montada la placa 10 de impresion calcografica, de manera que el soporte 65 puede desmontarse del portador 6 movil junto con la placa 10 de impresion calcografica. El portador 6 en si mismo esta guiado a lo largo del camino T de traslacion por medio de ralles 61, 62 de guiado inferior y superior (ver Figura 3) que estan sujetos a paredes internas inferior y superior de la camara 3 de vaclo. La actuacion sobre el portador 6 movil a lo largo del camino T de traslacion se lleva a cabo mediante un mecanismo actuador adecuado, tal como un motor accionando un engranaje (no mostrado) que se engrana e interacciona con una cremallera 63 (visible en la Figura 3) ubicada en un lado trasero del portador 6 movil.
Tal como se muestra adicionalmente en las Figuras 1 a 3, los paneles 37 protectores desmontables se proporcionan en al menos una pared 37a interna trasera de la camara 3 de vaclo detras del portador 6 movil. Estos paneles 37 protectores desmontables estan disenados para facilitar las operaciones de limpieza y de retirada de residuos asociados al proceso de recubrimiento.
Una primera pared 31 estanca se proporciona como la primera extremidad I de la camara 3 de vaclo, de manera que la primera pared 31 estanca proporciona un acceso, designado mediante el numero 31a de referencia, al espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo para permitir la carga de una placa 10 de impresion calcografica que va a ser recubierta o la descarga de una placa 10 de impresion calcografica ya recubierta. Tal como se ilustra de manera esquematica en la Figura 8, la primera extremidad I de la camara 3 de vaclo esta acoplada preferiblemente a una sala 100 limpia desde la que se llevan a cabo las operaciones de carga o descarga de placas 10 de impresion calcografica hacia o desde la camara 3 de vaclo. Ello permite una manipulacion correcta, en un ambiente controlado, de las placas 10 de impresion calcografica antes y despues de la operacion de recubrimiento, evitando a la vez la necesidad de que el aparato 1 para recubrimiento este situado completamente dentro de la sala 100 limpia, de modo que un operario dentro de la sala 100 limpia tiene acceso al aparato 1 para recubrimiento a traves de la primera compuerta 31 estanca y del acceso 31a al espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo.
Tambien puede proporcionarse de manera adicional una segunda compuerta 32 estanca en la segunda extremidad II de la camara 3 de vaclo, de manera que la segunda compuerta 32 estanca proporciona un acceso adicional, designado mediante el numero 32a de referencia, al espacio 30 interno de la camara de vaclo para propositos de mantenimiento.
Durante una operacion de recubrimiento, el espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo esta cerrado de una manera estanca, y el panel 35 estanco retractil y las compuertas 31, 32 estancas estan cerradas y sujetas firmemente al armazon principal de la camara 3 de vaclo. Un sistema 4 de vaclo apropiado esta acoplado a la camara 3 de vaclo con el fin de crear vaclo en el espacio 30 interno de la camara de vaclo. Algunos componentes del sistema 4 de vaclo resultan visibles en las Figuras 1 a 4, incluyendo una as! denominada bomba 45 de vaclo turbomolecular (tal como se suministra, por ejemplo, por la companla Oerlikon Leybold Vacuum GmbH -
www.oerlikon.com/leyboldvacuum) y una valvula 46 de compuerta de control (tal como se suministra, por ejemplo, por la companla VAT Vakuumventile AG -
www.vatvalve.com) que estan montadas directamente en un lado frontal de la camara 3 de vaclo.
La Figura 5 es una ilustracion esquematica que muestra un diagrama del sistema 4 de vaclo utilizado en el contexto de la realizacion preferida de la invencion. Tal sistema 4 de vaclo comprende un sistema 40 de bomba de vaclo principal que comprende una primera bomba 41 de vaclo y una segunda bomba 42 de vaclo conectadas en serie (tales como las as! denominadas bombas ralz tal como se suministran por la companla Oerlikon Leybold Vacuum GmbH -
www.oerlikon.com/levboldvacuum). Tal como se muestra en la Figura 5, el sistema 40 de bomba de vaclo principal esta acoplado funcionalmente al espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo a traves de un conducto que comprende una primera valvula 401. El sistema 40 de bomba de vaclo principal esta acoplado adicionalmente al espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo a traves de la bomba 45 turbomolecular y un conducto que comprende una valvula 402 adicional. Tambien se proporciona una bomba 43 auxiliar, de manera que la bomba 43 auxiliar esta acoplada a la bomba 45 turbomolecular a traves de un conducto que comprende una tercera valvula 403. Tambien se proporciona una valvula 405 de descarga, de manera que la valvula 405 de descarga se libera al final del proceso de recubrimiento para permitir que la presion en el espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo vuelva a igualarse a la presion atmosferica. Tal como se ilustra adicionalmente en la Figura 5, el suministro 55 de gas de pulverizacion esta acoplado al espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo a traves de un conducto que comprende una valvula 455 para permitir la inyeccion del gas de pulverizacion requerido (tal como argon). Debera entenderse que puede proporcionarse mas de un suministro de gas de pulverizacion, as! como suministros adicionales de, por ejemplo, un gas reactivo (tal como nitrogeno), si resultase necesario.
Las Figuras 7A-C son vistas esquematicas que ilustran un posible funcionamiento del sistema 4 de vaclo en el que se crea vaclo en el espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo. Tal como se muestra en la Figura 7A, en una etapa inicial, se bombea aire desde el espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo a traves del conducto que comprende la valvula 401 por medio de una primera bomba 41 de vaclo del sistema 40 de bomba de vaclo principal (mientras en esta etapa inicial la segunda bomba 42 de vaclo permanece inactiva). La bomba 45 turbomolecular (que esta operativa) no esta acoplada al espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo en la etapa inicial y tambien esta desacoplada del sistema 40 de bomba de vaclo principal (con la valvula 402 en estado cerrado). La bomba 43 auxiliar (y la valvula 403 asociada) esta sin embargo activa con el fin de mantener una baja presion en el conducto
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aguas abajo de la bomba 45 turbomolecular. En una segunda etapa, tal como se ilustra en la Figura 7B, la segunda bomba 42 de vacio entra en juego con el fin de bombear un volumen de aire mayor hacia afuera del espacio 30 interno de la camara 3 de vacio. Cuando la presion dentro del espacio 30 interno de la camara 3 de vacio alcanza un nivel definido en el que la bomba 45 turbomolecular puede explotarse, las valvulas 401 y 403 son sucesivamente cerradas, mientras que se fuerza la apertura de la valvula 402. Al mismo tiempo, se fuerza la apertura de la valvula 46 de compuerta de control con el fin de acoplar la bomba 45 turbomolecular al espacio 30 interno de la camara 3 de vacio, permitiendo de este modo el bombeo de aire a traves de la bomba 45 turbomolecular y del sistema 40 de bomba de vacio principal. La valvula 46 de compuerta de control puede hacerse funcionar en un modo asi denominado de “estrangulamiento” para permitir un control y un ajuste apropiados del nivel de vacio dentro de la camara 3 de vacio.
Una vez que se ha creado un nivel de vacio adecuado en el espacio 30 interno de la camara 3 de vacio, la operacion de recubrimiento PVD puede iniciarse utilizando el sistema de deposicion por pulverizacion catodica descrito anteriormente. Durante la operacion de recubrimiento, el gas de pulverizacion (por ejemplo, argon) es inyectado en la camara 3 de vacio, donde el gas de pulverizacion esta ionizado para producir iones de alta energia (tales como iones Ar+ de argon) que son proyectados sobre los blancos 51, 52 de material de recubrimiento para producir la pulverizacion del material de recubrimiento y la re-deposicion del material de recubrimiento pulverizado sobre la superficie 10a grabada de la placa 10 de impresion calcografica. Durante este proceso, el portador 6 movil se hace funcionar de manera que desplace de manera ciclica la placa 10 de impresion calcografica enfrente de y mas alla de los blancos 51, 52 tal como se describe en las Figuras 5 y 6. Este proceso puede durar varios minutos e incluso prolongarse hasta un par de horas, dependiendo del grosor de material de recubrimiento deseado que uno quiere depositar sobre la superficie 10a grabada de la placa 10 de impresion calcografica, cuyo grosor tiene tipicamente un valor en el orden de unas cuantas micras.
Un refinamiento de la realizacion preferida descrita anteriormente puede consistir en proporcionar adicionalmente un medio para conformar un campo magnetico del magnetron o los magnetrones utilizados como blanco o blancos 51, 52 de material de recubrimiento. Ciertamente, algunos ensayos han demostrado que conformar el campo magnetico producido por los magnetrones puede tener un impacto positivo en el proceso de deposicion y/o en el uso de los blancos de material de recubrimiento. Un medio tal para conformar el campo magnetico del magnetron o los magnetrones puede incluir, por ejemplo, un arrollamiento 53 electrico que rodea a la abertura 35a frontal (ver Figuras 5 y 6) y que este situado en las vecindades del blanco o blancos 51, 52 de material de recubrimiento, cuando se lleva a la posicion de funcionamiento, de manera que el arrollamiento electrico esta excitado durante una operacion de pulverizacion. El campo electromagnetico resultante generado por el arrollamiento 53 electrico tiene el efecto de conformar el campo magnetico producido por el magnetron o magnetrones 51, 52 y puede ajustarse, si asi se requiere.
Un refinamiento adicional de la realizacion preferida descrita anteriormente puede consistir en proporcionar un mecanismo 36 de obturacion (ver Figuras 5 y 6) para crear de manera selectiva una separacion entre el espacio 30 interno de la camara 3 de vacio y los blancos 51, 52 de material de recubrimiento ubicados en el panel 35 estanco retractil. Este mecanismo 36 de obturacion resulta ventajoso ya que permite llevar a cabo una limpieza separada de la superficie de la placa 10 de impresion calcografica y de la superficie de los blancos 51, 52 de material de recubrimiento sin que ello tenga impacto en la calidad de la operacion de recubrimiento. De manera mas precisa, mediante el cierre del mecanismo 36 de obturacion, el sistema 5 de deposicion por pulverizacion catodica puede hacerse funcionar para producir la ablacion de una pequena capa de material de recubrimiento de la superficie de los blancos 51, 52 de material de recubrimiento, cuya superficie puede haberse oxidado como resultado de la exposicion de los blancos 51, 52 al aire ambiente, sin que ello conduzca a ninguna deposicion sobre la superficie 10a de la placa 10 de impresion calcografica. De manera similar, el portador 6 y la placa 10 de impresion calcografica pueden someterse brevemente a un potencial electrico para actuar como catodo y para que el gas de pulverizacion inyectado en el espacio 30 interno de la camara 3 de vacio provoque una interaccion con la superficie 10a de la placa 10 de impresion y se produzca la retirada de cualquier residuo o impureza no deseada que pueden permanecer sobre la superficie 10a de la placa 10 de impresion calcografica, sin que ello tenga un impacto negativo en los blancos 51, 52 de material de recubrimiento.
Pueden llevarse a cabo diversas modificaciones y/o mejoras en las realizaciones anteriormente descritas sin separarse del alcance de la invencion tal como se define en las reivindicaciones anexas. Por ejemplo, mientras que la deposicion por pulverizacion catodica se ha descrito en el contexto de la realizacion referida discutida anteriormente, podrian aplicarse potencialmente otros metodos de recubrimiento PVD, incluyendo evaporacion por haz de electrones. La pulverizacion, sin embargo, sigue siendo un metodo de recubrimiento PVD preferido y particularmente ventajoso en el contexto de la presente invencion.
De manera adicional, la camara de vacio podria estar configurada para alojar mas de una placa de impresion calcografica a la vez.
Lista de numeros de referenda utilizados en la presente memoria
1 aparato para recubrimiento de placas de impresion calcografica
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2 chasis de sujecion de la camara 3 de vaclo
3 camara de vaclo con espacio interno adaptado para recibir (al menos) una placa de impresion calcografica que va a ser recubierta
4 sistema de vaclo acoplado a la camara 3 de vaclo para crear vaclo en el espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo
5 sistema de pulverizacion para la deposicion mediante pulverizacion de material de recubrimiento resistente al desgaste sobre una superficie grabada de una placa de impresion calcografica
6 portador movil que sujeta la placa 10 de impresion calcografica que va a ser recubierta 10 placa de impresion calcografica
10a superficie grabada de placa de impresion calcografica (superficie que va a ser recubierta)
21 elementos de soporte vertical del chasis 2 que sujetan la camara 3 de vaclo
30 espacio interno de la camara 3 de vaclo
31 compuerta estanca en el lado I (carga/descarga de placa de impresion calcografica)
31a acceso al espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo para la carga/descarga de una placa de impresion calcografica
32 compuerta estanca (lado II)
32a acceso al espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo (por ejemplo, para operaciones de mantenimiento)
35 panel estanco retractil que porta el blanco o blancos 51, 52 de pulverizacion
35a abertura frontal que se comunica con el espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo (cerrada cuando el panel 35 estanco retractil esta en su posicion de trabajo, acoplado con la camara 3 de vaclo)
36 mecanismo de obturacion
37 paneles protectores desmontables
37a pared interna trasera de la camara 3 de vaclo
40 sistema de bomba de vaclo principal (por ejemplo, bombas de ralz)
41 primera bomba de vaclo
42 segunda bomba de vaclo
43 bomba auxiliar
45 bomba de vaclo turbomolecular
46 valvula de compuerta de control
51 (primer) blanco de pulverizacion que comprende una fuente del material de recubrimiento resistente al desgaste que va a ser pulverizado (tal como un magnetron de cromo)
52 (segundo) blanco de pulverizacion que comprende una fuente del material de recubrimiento resistente al desgaste que va a ser pulverizado (tal como un magnetron de cromo)
53 arrollamiento electrico que rodea a la abertura 35a frontal
55 suministro de gas de pulverizacion para el suministro de un gas de pulverizacion (tal como argon) al espacio interno de la camara 3 de vaclo
61 rail de guiado inferior del portador 6 movil
62 rail de guiado superior del portador 6 movil
63 cremallera para la traslacion del portador 6 movil 65 soporte de placa de impresion calcografica
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100 sala limpia
401 valvula entre el sistema 40 de bomba de vaclo principal y el espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo
402 valvula entre el sistema 40 de bomba de vaclo principal y la bomba 45 de vaclo turbomolecular
403 valvula entre la bomba 43 auxiliar y la bomba 45 de vaclo turbomolecular 405 valvula de descarga
455 valvula entre el suministro 55 de gas de pulverizacion y el espacio 30 interno de la camara 3 de vaclo
I primera extremidad de la camara 3 de vaclo (lado de carga/descarga del aparato 1 para recubrimiento de placa de impresion calcografica)
II segunda extremidad de la camara 3 de vaclo (opuesta al lado I)
T camino de traslacion del portador 6

Claims (15)

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    REIVINDICACIONES
    1. - Un aparato (1) para recubrimiento de placas de impresion calcografica que comprende:
    - una camara (3) de vacio que posee un espacio (30) interno adaptado para recibir al menos una placa (10) de impresion calcografica que va a ser recubierta;
    - un sistema (4) de vacio acoplado a la camara (3) de vacio y que esta adaptado para crear vacio en el espacio (30) interno de la camara (3) de vacio; y
    - un sistema (5) de deposicion en fase de vapor (PVD) adaptado para llevar a cabo la deposition de material de recubrimiento resistente al desgaste bajo condiciones de vacio sobre una superficie (10a) grabada de la placa (10) de impresion calcografica, de manera que el sistema (5) de deposicion en fase de vapor incluye al menos un blanco (51, 52) de material de recubrimiento que comprende una fuente el material de recubrimiento resistente al desgaste que va a ser depositado sobre la superficie (10a) grabada de la placa (10) de impresion calcografica,
    en el que la camara (3) de vacio esta dispuesta de tal manera que la placa (10) de impresion calcografica que va a ser recubierta descansa en position sustancialmente vertical en el espacio (30) interno de la camara (3) de vacio con su superficie (10a) grabada mirando en la direction del al menos un blanco (51, 52) de material de recubrimiento,
    y en el que el aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica comprende adicionalmente un portador (6) movil ubicado en el seno del espacio (30) interno de la camara (3) de vacio y esta adaptado para sujetar y desplazar de manera ciclica la placa (10) de impresion calcografica enfrente de y mas alla del al menos un blanco (51, 52) de material de recubrimiento.
  2. 2. - El aparato (1) para recubrimiento de placas de impresion calcografica tal como se define la reivindicacion 1, en el que el sistema (5) de deposicion en fase de vapor es un sistema de deposicion por pulverization catodica que comprende:
    - al menos un blanco de pulverizacion en la forma de un magnetron que actua como blanco (51, 52) de material de recubrimiento;
    - un suministro (55) de gas de pulverizacion adaptado para suministrar un gas de pulverizacion al espacio (30) interno de la camara (3) de vacio; y
    - un sistema de ionization adaptado para provocar la pulverizacion de un material de recubrimiento resistente al desgaste del al menos un blanco de pulverizacion y la deposicion del material de recubrimiento resistente al desgaste pulverizado sobre la superficie (10a) grabada de una placa (10) de impresion calcografica
  3. 3. - El aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal como se define la reivindicacion 2, en el que el sistema de deposicion por pulverizacion catodica comprende al menos dos blancos (51, 52) de pulverizacion que comprenden, cada uno de ellos, una fuente de un material de recubrimiento resistente al desgaste que va a ser pulverizado, de manera que la fuente de material de recubrimiento resistente al desgaste que va a ser pulverizado es preferiblemente cromo puro.
  4. 4. - El aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal como se define en cualquiera de las reivindicaciones precedentes, en el que la camara (3) de vacio y el portador (6) movil estan dispuestos de tal manera que la placa (10) de impresion calcografica que va a ser recubierta esta inclinada hacia atras,
    y en el que un angulo de inclination entre la superficie (10a) grabada de la placa (10) de impresion calcografica y un plano vertical no supera preferiblemente los 20 grados.
  5. 5. - El aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal como se define en cualquiera de las reivindicaciones precedentes, en el que el portador (6) movil esta adaptado para trasladar la placa (10) de impresion calcografica hacia adelante y hacia atras en el seno del espacio (30) interno de la camara (3) de vacio y a lo largo de un camino (T) de traslacion enfrente de y mas alla del al menos un blanco (51, 52) de material de recubrimiento.
  6. 6. - El aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal como se define en la reivindicacion 5, en el que la camara (3) de vacio posee una forma alargada con extremidades (I, II) primera y segunda en ambos extremos del camino (T) de traslacion el portador (6) movil y en el que la primera extremidad (I) de la camara (3) de vacio esta dotada de una primera compuerta (31) estanca, de manera que la primera compuerta (31) estanca proporciona un acceso (31a) al espacio (30) interno de la camara (3) de vacio para permitir la carga de una placa (10) de impresion calcografica que va a ser recubierta o la descarga de una placa (10) de impresion calcografica ya recubierta.
  7. 7. - El aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal como se define en la reivindicacion 6,
    5
    10
    15
    20
    25
    30
    35
    40
    45
    en el que la primera extremidad (I) de la camara (3) de vaclo esta acoplada a una sala (100) limpia desde la que se lleva a cabo la carga o la descarga de placas (10) de impresion calcografica hacia o desde la camara (3) de vaclo.
  8. 8. - El aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal como se define en las reivindicaciones 6 o 7, en el que la segunda extremidad (II) de la camara (3) de vaclo esta dotada de una segunda compuerta (32) estanca, de manera que la segunda compuerta (32) estanca proporciona un acceso (32a) adicional al espacio (30) interno de la camara (3) de vaclo para propositos de mantenimiento.
  9. 9. - El aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal como se define en cualquiera de las reivindicaciones precedentes, en el que se proporcionan paneles (37) protectores desmontables en al menos una pared (37a) interna trasera de la camara (3) de vaclo detras del portador (6) movil.
  10. 10. - El aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal como se define en cualquiera de las reivindicaciones precedentes, en el que el portador (6) movil esta adaptado para recibir un soporte (65) de placa de impresion calcografica sobre el que esta montada la placa (10) de impresion calcografica, de manera que el soporte (65) de placa de impresion calcografica puede desmontarse del portador (6) movil junto con la placa (10) de impresion calcografica.
  11. 11. - El aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal como se define en cualquiera de las reivindicaciones precedentes, en el que la camara (3) de vaclo comprende una abertura (35a) frontal que se comunica con el espacio (30) interno de la camara (3) de vaclo y que aloja un panel (35) estanco retractil sobre el que se ubica el al menos un blanco (51, 52) de material de recubrimiento, de manera que el panel (35) estanco retractil puede desplazarse entre una posicion retralda (figuras 1 a 4, 8) existente durante las operaciones de mantenimiento, proporcionando de este modo acceso al espacio (30) interno de la camara (3) de vaclo a traves de la abertura (35a) frontal, y una posicion de trabajo (figuras 5 a 7A-C) en el que la abertura (35a) frontal esta cerrada de una manera estanca mediante el panel (35) estanco retractil, llevando de este modo al al menos un blanco (51, 52) de material de recubrimiento a una posicion de funcionamiento en la abertura (35a) frontal.
  12. 12. - El aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal como se define en la reivindicacion 11, en el que el panel (35) estanco retractil puede hacerse girar alrededor de un extremo sobre la camara (3) de vaclo,
    y en el que, en la posicion retralda, el panel (35) estanco retractil descansa preferiblemente en un plano sustancialmente horizontal con una superficie del al menos un blanco (51, 52) de material de recubrimiento orientada hacia arriba.
  13. 13. - El aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal como se define en la reivindicacion 11 o 12, que comprende adicionalmente un mecanismo (36) de obturacion adaptado para crear de manera selectiva una separacion entre el espacio (30) interno de la camara (3) de vaclo y el al menos un blanco (51, 52) de material de recubrimiento ubicado en el panel (35) estanco retractil.
  14. 14. - El aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal como se define en cualquiera de las reivindicaciones 11 a 13, en el que el sistema (5) de deposicion en fase de vapor es un sistema de deposicion por pulverizacion catodica que comprende al menos un blanco de pulverizacion en la forma de un magnetron que actua como el blanco (51, 52) de material de recubrimiento y en el que el aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica comprende adicionalmente un medio adaptado para conformar un campo magnetico del magnetron,
    y en el que el medio adaptado para conformar el campo magnetico del magnetron incluye preferiblemente un arrollamiento (53) electrico que rodea la abertura (35a) frontal y que esta ubicado en las vecindades del al menos un blanco (51, 52) de material de recubrimiento, cuando se lleva a la posicion de funcionamiento, de manera que el arrollamiento (53) electrico esta excitado durante una operation de pulverizacion.
  15. 15. - El aparato (1) para recubrimiento de placa de impresion calcografica tal como se define en cualquiera de las reivindicaciones precedentes, en el que el sistema (4) de vaclo comprende un sistema (41) de bomba principal y al menos una bomba (45) de vaclo turbomolecular,
    y en el que la bomba (45) de vaclo turbomolecular esta preferiblemente acoplada al espacio (30) interno de la camara (3) de vaclo a traves de una valvula (46) de compuerta de control.
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