EP1899608A1 - Vakuum-drehschieberpumpe - Google Patents

Vakuum-drehschieberpumpe

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EP1899608A1
EP1899608A1 EP06763998A EP06763998A EP1899608A1 EP 1899608 A1 EP1899608 A1 EP 1899608A1 EP 06763998 A EP06763998 A EP 06763998A EP 06763998 A EP06763998 A EP 06763998A EP 1899608 A1 EP1899608 A1 EP 1899608A1
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EP
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chamber
channel
oil
vacuum rotary
rotary vane
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EP06763998A
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Eric Figoni
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Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
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    • F04C28/28—Safety arrangements; Monitoring

Definitions

  • the invention relates to a vacuum rotary vane pump.
  • Vacuum rotary vane pumps have a pump chamber arranged in a housing. Within the housing, a rotor is arranged eccentrically. Two or more sliders are usually connected to the rotor in slide slots. Due to the centrifugal force, the slides are printed during a rotation of the rotor against an inner wall of the pump chamber. To generate a vacuum, a suction opening of the vacuum rotary vane pump is connected to the space to be vacuumed. Due to the eccentricity of the rotor and the changing size of the chambers formed between the sliders, the medium is conveyed through an ejection channel.
  • the discharge channel usually extends from the pumping chamber into an oil chamber.
  • the object of the invention is to provide a vacuum rotary vane pump in which a full run of the pump chamber is avoided by structurally simple measures.
  • the suction chamber is connected to an oil chamber via an ejection channel, wherein a valve device is arranged between the oil chamber and the ejection channel.
  • the valve device serves to prevent backflow of medium, ie usually a mixture of oil and air, from the oil chamber into the pump chamber.
  • a compensation channel is also provided which connects the discharge channel to a region in which substantially atmospheric pressure prevails.
  • the compensation channel is connected to an air space of the oil chamber, wherein it is in the air space of the oil chamber is around the area of the oil chamber, which is located above the oil bath and in which essentially enriched with oil air is present.
  • the medium is expelled from the pump chamber into the discharge channel, the medium, which is usually a mixture of air and oil, enters the oil chamber through the valve device.
  • the medium which is usually a mixture of air and oil
  • a part of the oil present in the medium is pressed into the compensation channel and thus seals it off. It is thereby ensured that no fresh air is sucked in during operation via the compensation channel, or air with ambient pressure reaches the discharge channel. If a failure of the vacuum rotary vane pump or a deliberate stop the vacuum rotary vane pump, so is sucked through the compensation channel due to the pressure prevailing in the suction chamber lower pressure air.
  • the period of time to equalize the pressure in the pump chamber is very small.
  • Emulsion that can reduce noise. Since the air supply is very inaccurate and thus the degree of emulsion of the oil is inaccurate, the noise can be reduced only slightly.
  • Controlled and defined emulsification of the oil is also achieved by providing the equalization channel.
  • the compensation channel is at least partially filled with oil, while the medium is conveyed from a region of the pumping space between two adjacent slides into the discharge channel. If the trailing slide now subsequently passes through the opening of the ejection channel connected to the suction chamber, the oil reservoir stored in the compensation channel is conveyed into this space. In this case, a small amount of air from the Aus GmbHskanai is entrained, which leads to the emulsion of the oil.
  • the number and shape design of the compensation channels a good emulsification of the lubricant can be ensured depending on the lubricant used.
  • the provision of at least one compensation channel according to the invention thus also leads to a reduction in noise in rotational speed limits of the vacuum rotary vane pump.
  • Due to the small cross-sectional area of the at least one compensation channel ensures that only a small amount of air enters the pump.
  • the compensation channel or the compensation channels is formed as a groove in the housing, wherein the groove is partially covered.
  • the grooves are provided in a flange surface of the housing facing in the direction of the oil chamber, _ R _
  • grooves are preferably arranged within the ⁇ isch with ⁇ öammer attached to the flange. It is particularly preferred in this case to cover the grooves by a valve tongue of the valve device, so that the single groove or the grooves are covered by a small inlet opening which is connected to the air space of the oil chamber.
  • valve tongue which may also cover the grooves, the opening and closing of the ejection channel.
  • the valve tongue is made of an elastic, spring-back material! educated. A particularly good sealing of the valve tongue can be achieved if the area of the valve tongue which seals off the discharge channel is located in an oil bath, so that an additional contact pressure is built up. Due to the increased tightness, a further and more efficient evacuation can be carried out.
  • FIG. 1 is a schematic sectional view of a vacuum
  • Fig. 2 is a schematic sectional view taken along the line II-II in Fig. 1st
  • a vacuum rotary vane pump has a housing 10. Inside the housing 10, a rotor 14 is arranged in a suction chamber 12. The rotor 14 has in the illustrated embodiment, three slide slots 16, in each of which a slide 18 is arranged. The slides 18 are pressed by the rotation of the rotor 14 due to the centrifugal force against an inner wall 20 of the pump chamber. Via a suction opening 22, which is connected to the space to be evacuated, medium is sucked from the space to be evacuated into a first area 24 of the pumping chamber 12. The region 24 of the suction chamber 12 is bounded by two adjacent slides 18.
  • a region 28 of the pump chamber 12 located in front of the region 24 in rotation direction 26 is reduced by the rotation of the rotor 14, so that the medium contained therein is compressed. From the region 28, the medium is conveyed through an ejection channel 30 from the suction chamber 12 in the direction of an oil chamber 32.
  • the oil chamber 32 is attached to a flange 34 of the housing 10 of the rotary vacuum pump.
  • the oil chamber 32 has an oil space or an oil bath 34, in which the oil supplied via the discharge channel 30, in particular together with the air taken from the space to be evacuated, collects.
  • valve device 38 An outlet opening 36 of the ejection channel 30 is provided with a valve device 38.
  • the valve device is an elastic valve tongue, which is fastened to the flange 34 of the housing 10, for example by means of a screw or nut 40. It is particularly preferred to arrange the vent tongue in an oil bath 42 in the region of the outlet opening 36. For this purpose, a separate oil space is formed in the oil chamber 32 by an intermediate wall 44, wherein when the oil space is filled, the oil flows in the direction of an arrow 46.
  • an oil bath 42 is on a back of the valve tongue, d. H. in the direction of the oil bath 42 facing side of the Vent ⁇ lzunge, pressure exerted. As a result, the tightness of the valve device 38 is increased.
  • a plurality of compensation channels 50 are provided in a flange 48, which faces in the direction of the oil chamber 32.
  • the Ausgle ⁇ chskanäle 50 are formed by grooves provided in the flange 48, which are covered by the arranged in this area valve tongue 38. in this connection - / -
  • a plurality of equalization channels 50 are provided, which are preferably formed in a fan shape starting from the inlet opening 52.
  • an oil-enriched medium is thus conveyed from the region 28 in the direction of an arrow 56 into the discharge channel 30. Due to the pressure, the valve tongue is printed back, so that the medium in the direction of an arrow 58 in the oil bath 42 and in the oil chamber 32 passes. A portion of the oil is in this case pressed into the compensation channels 50 and thus causes a seal.
  • the oil reservoir present in the channels 50 together with a small amount of air sucked through the opening 52 from the air space 54 of the oil chamber 32, is sucked into the discharge channel 30 Air is emulsifying the oil and thus a noise reduction.
  • Ventil ⁇ nraum 38 avoided. Furthermore, a good seal is ensured and an influence of the valve tightness on the pumping power is avoided.

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Abstract

Eine Vakuum-Drehschieberpumpe weist einen Schöpfraum (12) in einem Gehäuse (10) auf. In dem Schöpfraum (12) ist ein Rotor (14) exzentrisch gelagert. Mit dem Rotor (14) sind verschiebbar Schieber (18) verbunden. Ferner ist mit dem Schöpfraum ( 12) und einer Ölkammer (32) ein Ausstoßkanal (30) verbunden. Zwischen dem Ausstoßkanal (30) und der Ölkammer (32) ist eine Ventileinrichtung (38) angeordnet, um ein Zurückströmen von Medium aus der Ölkammer (32) in den Schöpfraum (12) zu vermeiden. Erfindungsgemäß ist mindestens ein Ausgleichskanal (50) vorgesehen, der mit dem Ausstoßkanal (30) und der Ölkammer (32) verbunden ist.

Description

Vakuum-Drehschieberpumpe
Die Erfindung betrifft eine Vakuum-Drehschieberpumpe.
Vakuum Drehschieberpumpen weisen einen in einem Gehäuse angeordneten Schöpfraum auf. Innerhalb des Gehäuses ist ein Rotor exzentrisch angeordnet. Mit dem Rotor sind üblicherweise in Schieberschlitzen zwei oder mehr Schieber verbunden. Durch die Fliehkraft werden die Schieber während einer Drehung des Rotors gegen eine Innenwand des Schöpfraums gedruckt. Zur Erzeugung eines Vakuums ist eine Ansaugöffnung der Vakuum-Drehschieberpumpe mit dem zu vakuumierenden Raum verbunden. Auf Grund der Exzentrizität des Rotors und der sich verändernden Größe der zwischen den Schiebern ausgebildeten Kammern wird das Medium durch einen Ausstoßkanal gefördert. Zur Schmierung und um eine gute Abdichtung der Schieber an der Innenwand des Schöpfraums zu gewährleisten, ist stets eine gewisse Menge an Öl zur Ausbildung eines Ölfilms im Schöpfraum vorhanden. Da das ausgestoßene Medium somit mit Öl vermischt ist, verläuft der Ausstoßkanal üblicherweise vom Schöpfraum in eine Ölkammer. - ? -
Wird die Vakuum-Drehschieberpumpe beispielsweise durch einen Ausfall plötzlich angehalten, hat dies zur Folge, dass der Schöpfraum über die Schmiermittelzufuhr mit Öl voll läuft. Dies fuhrt zu einem erhöhten Drehmoment sowie zu einer erhöhten Geräuschentwicklung beim nächsten Starten der Pumpe. Ferner können auf Grund des erhöhten Drehmoments die Schieber beschädigt werden. Des weiteren besteht das Risiko, das Öl in den zu vakuumierenden Raum eintritt und dort zu Beschädigungen fuhrt. Es ist daher erforderlich, dass der Schöpfraum der Vakuum-Drehschieberpumpe nach dem Anhalten auf Atmosphärendruck gebracht wird, um ein Einströmen des Schmiermittels zu vermeiden. Hierzu ist es bekannt, eine mit einer Schließvorrichtung versehene Bohrung vorzusehen, die mit dem Schöpfraum verbunden ist. Dies ist relativ aufwändig, da eine gesondert anzusteuernde Schließvorrichtung, die hohen Dichtigkeitsanforderungen genügen muss, vorgesehen werden muss. Ferner ist beispielsweise bei einem Stromausfall ein Ansteuern der Schließvorrichtung nicht mehr sichergestellt.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vakuum-Drehschieberpumpe zu schaffen, bei der durch konstruktiv einfache Maßnahmen ein Volllaufen des Schöpfraums vermieden ist.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.
Bei der erfindungsgemäßen Vakuum-Drehschieberpumpe ist der Schöpfraum mit einer Ölkammer über einen Ausstoßkanal verbunden, wobei zwischen der Ölkammer und dem Ausstoßkanal eine Ventileinrichtung angeordnet ist. Die Ventileinrichtung dient dazu, ein Zurückströmen von Medium, d. h. üblicherweise einem Gemisch aus Öl und Luft, aus der Ölkammer in den Schöpfraum zu verhindere Erfindungsgemäß ist ferner ein Ausgleichskanal vorgesehen, der den Ausstoßkanal mit einem Bereich verbindet, in dem im Wesentlichen Atmosphärendruck herrscht. Vorzugsweise ist der Ausgleichskanal mit einem Luftraum der Ölkammer verbunden, wobei es sich bei dem Luftraum der Ölkammer um den Bereich der Ölkammer handelt, der oberhalb des Ölbades liegt und in dem im Wesentlichen ggf. mit Öl angereicherte Luft vorhanden ist.
Durch das Vorsehen eines derartigen Ausgleichkanals in Verbindung mit einer zwischen der Ölkammer und dem Ausstoßkanal angeordneten Ventϊleinrichtung erfolgt im Betrieb ein Herausdrucken des Mediums aus dem Schöpfraum in den Ausstoßkanal, wobei das Medium, bei dem es sich üblicherweise um ein Gemisch aus Luft und Öl handelt, durch die Ventileinrϊchtung in die Ölkammer gelangt. Ein Teil des in dem Medium vorhandenen Öls wird in den Ausgleichskanal gedrückt und dichtet diesen somit ab. Es ist hierdurch sichergestellt, dass während des Betriebs über den Ausgleichskanal keine frische Luft angesaugt wird, bzw. Luft mit Umgebungsdruck in den Ausstoßkanal gelangt. Erfolgt ein Ausfall der Vakuum- Drehschieberpumpe oder auch ein bewusstes Anhalten der Vakuum- Drehschieberpumpe, so wird durch den Ausgleichskanal auf Grund des in dem Schöpfraum herrschenden geringeren Drucks Luft angesaugt. Dies führt zu einem schnellen Druckausgleich in dem Schöpfraum, so dass der Schöpfraum schnell auf Atmosphärendruck gebracht wird. Dies hat zur Folge, dass der Schöpfraum nicht über die Schmiermittelversorgung mit Öl voll läuft. Hierdurch sind die Nachteile eines erhöhten Drehmoments beim nächsten Start und ein hierdurch ggf. hervorgerufenes Beschädigen der Schieber vermieden. Auch ein Öl- oder Schmiermϊtreleintritt in den zu vakuumierenden Raum ist hierdurch vermieden.
Die Zeitspanne zum Ausgleich des Drucks in dem Schöpfraum ist sehr gering.
Ein weiteres Problem von Vakuum-Drehschieberpumpen besteht darin, dass bei Rotationsgeschwindigkeiten des Rotors im Grenzbereich eine erhöhte Geräuschentwϊcklung festzustellen ist. Zur Reduzierung der Geräuschentwicklung weist das Gehäuse im Kompressionsbereich eine kleine Öffnung auf, durch die Luft einströmen kann. Hierdurch entsteht eine Öl- - A -
Emulsion, durch die die Geräuschentwicklung verringert werden kann. Da die Luftzufuhr sehr ungenau ist und somit auch der Grad der Emulsion des Öis ungenau ist, kann die Geräuschentwicklung nur geringfügig reduziert werden.
Ein kontrolliertes und definiertes Emulgieren des Öls wird durch das Vorsehen des Ausgleichskanals ebenfalls erreicht. Wie beschrieben, wird der Ausgleichskanal zumindest teilweise mit Öl gefüllt, während des Medium aus einem Bereich des Schöpfraums zwischen zwei benachbarten Schiebern in den Ausstoßkanal gefördert wird. Passiert der nachlaufende Schieber nun hieran anschließend die mit dem Schöpfraum verbundene Öffnung des Ausstoßkanals, wird der in dem Ausgleichskanal gespeicherte Ölvorrat in diesen Raum gefördert. Hierbei wird eine geringe Menge Luft aus dem Ausgleichskanai mitgesogen, die zur Emulsion des Öls führt. Insbesondere durch die Anzahl und die Formgestaltung der Ausgleichskanäle kann in Abhängigkeit des verwendeten Schmiermittels ein gutes Emulgieren des Schmiermittels gewährleistet werden. Das erfindungsgemäße Vorsehen mindestens eines Ausgleichskanals fuhrt somit auch zu einer Geräuschreduzierung in Drehzahl-Grenzbereichen der Vakuum- Drehschieberpumpe.
Auf Grund der geringen Querschnittfläche des mindestens einen Ausgleichkanals ist gewährleistet, dass nur eine geringe Menge Luft in die Pumpe gelangt. Insbesondere kann durch die Anzahl und durch die Querschnittsfläche sowie die Formgestaltung des mindestens einen Ausgleichskanals die in dem bzw. den Ausgleichskanälen zwischengespeicherte Ölmenge sowie die angesaugte Luftmenge bestimmt werden .
Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist der Ausgleichskanal oder die Ausgleichskanäle als Nut in dem Gehäuse ausgebildet, wobei die Nut teilweise abgedeckt ist. Dies hat den Vorteil, dass der Ausgleichskanal auf einfache Weise herstellbar ist. Insbesondere sind die Nuten in einer Flanschfläche des Gehäuses vorgesehen, die in Richtung der Ölkammer weist, _ R _
wobei die Nuten vorzugsweise bei an dem Flansch befestigter Öikammer innerhalb der Öikammer angeordnet sind. Besonders bevorzugt ist es hierbei, die Nuten durch eine Ventilzunge der Ventileinrichtung abzudecken, so dass die einzelne Nut bzw. die Nuten durch eine kleine Einlassöffnung, die mit dem Luftraum der Öikammer verbunden ist, abgedeckt sind.
Vorzugsweise erfolgt mit Hilfe der Ventilzunge, die ggf. auch die Nuten abdeckt, das Öffnen und Verschließen des Ausstoßkanals. Hierzu ist die Ventilzunge aus einem elastischen, rückfedernden Materia! ausgebildet. Eine besonders gute Abdichtung der Ventilzunge kann erreicht werden, wenn sich der Bereich der Ventilzunge, der den Ausstoßkanal abdichtet, in einem Ölbad befindet, so dass ein zusätzlicher Anpressdruck aufgebaut wird. Auf Grund der erhöhten Dichtigkeit kann ein weiteres und effizienteres Evakuieren durchgeführt werden.
Nachfolgend wird die Erfindung an Hand einer bevorzugten Ausfuhrungsform unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Schnittansicht einer Vakuum-
Drehschieberpumpe und
Fig. 2 eine schematische Schnittansicht entlang der Linie II-II in Fig. 1.
Eine Vakuum-Drehschieberpumpe weist ein Gehäuse 10 auf Innerhalb des Gehäuses 10 ist in einem Schöpfraum 12 ein Rotor 14 angeordnet. Der Rotor 14 weist im dargestellten Ausfuhrungsbeispiel drei Schieberschlitze 16 auf, in denen jeweils ein Schieber 18 angeordnet ist. Die Schieber 18 werden durch die Rotation des Rotors 14 auf Grund der Fliehkraft gegen eine Innenwand 20 des Schöpfraums gedrückt. Über eine Ansaugöffnung 22, die mit dem zu evakuierenden Raum verbunden ist, wird aus dem zu evakuierenden Raum Medium in einen ersten Bereich 24 des Schöpfraums 12 gesogen. Der Bereich 24 des Schöpfraums 12 ist durch zwei benachbarte Schieber 18 begrenzt. Ein in Drehrϊchtung 26 vor dem Bereich 24 befindlicher Bereich 28 des Schöpfraums 12 wird durch die Drehung des Rotors 14 verkleinert, so dass das darin befindliche Medium komprimiert wird. Aus dem Bereich 28 wird das Medium durch einen Ausstoßkanal 30 aus dem Schöpfraum 12 in Richtung einer Ölkammer 32 gefördert.
Die Ölkammer 32 ist an einem Flansch 34 des Gehäuses 10 der Vakuum- Drehschϊeberpumpe befestigt. Die Ölkammer 32 weist einen Ölraum bzw. ein Ölbad 34 auf, in dem sich das über den Ausstoßkanal 30 insbesondere zusammen mit der aus dem zu evakuierenden Raum entnommenen Luft zugeführte Öl sammelt.
Eine Auslassöffnung 36 des Ausstoßkanals 30 ist mit einer Ventileinrichtung 38 versehen. In dem dargestellten besonders bevorzugten Ausfuhrungsbeispiel handelt es sich bei der Ventileinrichtung um eine elastische Ventilzunge, die beispielsweise mit Hilfe einer Schraube oder Mutter 40 an dem Flansch 34 dos Gehäuses 10 befestigt ist. Besonders bevorzugt ist es, im Bereich der Auslassöffnung 36 die VentÜzunge in einem Ölbad 42 anzuordnen. Hierzu ist in der Ölkammer 32 durch eine Zwischenwand 44 ein gesonderter Ölraum gebildet, wobei bei gefülltem Ölraum das Öl in Richtung eines Pfeils 46 fließt. Durch das Vorsehen eines Ölbads 42 wird auf eine Ruckseite der Ventilzunge, d. h. die in Richtung des Ölbads 42 weisende Seite der Ventϊlzunge, Druck ausgeübt. Hierdurch wird die Dichtigkeit der Ventileinrichtung 38 erhöht.
In einer Flanschfläche 48, die in Richtung des Ölraums 32 weist, sind vorzugsweise mehrere Ausgleichskanäle 50 vorgesehen. Die Ausgleϊchskanäle 50 sind durch in der Flanschfläche 48 vorgesehene Nuten gebildet, die durch die in diesem Bereich angeordnete Ventilzunge 38 abgedeckt werden. Hierbei - / -
werden nicht die vollständigen Nuten durch die Ventilzunge abgedeckt, so dass eine Einlassöffnung 52 ausgebildet ist, die mit einem L uftraum 54 der Ölkammer 32 in Verbindung steht. Vorzugsweise sind, wie aus Fig. 2 ersichtlich, mehrere Ausgleichskanäle 50 vorgesehen, die vorzugsweise fächerförmig ausgehend von der Einlassöffnung 52 ausgebildet sind.
Durch Rotation des Rotors 14 wird somit ein mit Öl angereichertes Medium aus dem Bereich 28 in Richtung eines Pfeils 56 in den Ausstoßkanal 30 gefördert. Auf Grund des Drucks wird die Ventilzunge zuruckgedruckt, so dass das Medium in Richtung eines Pfeils 58 in das Ölbad 42 bzw. in die Ölkammer 32 gelangt. Ein Teil des Öls wird hierbei in die Ausgleichskanäle 50 gedrückt und bewirkt somit ein Abdichten.
Sobald der Bereich 28 im Wesentlichen entleert ist, wird der in den Kanälen 50 vorhandene Ölvorrat zusammen mit einer geringen Menge an Luft, die durch die Öffnung 52 aus dem Luftraum 54 der Ölkammer 32 angesaugt wird, in den Ausstoßkanal 30 gesogen, Durch das Mitziehen von Luft erfolgt ein Emulgieren des Öls und somit eine Geräuschreduktion.
Beim Anhalten der Pumpe, beispielsweise durch einen Ausfall, wird über die Öffnung 52 und die Ausgleichskanäle 50 aus dem Luftraum 54 Luft in den Schöpfraum 12 gesaugt, so dass ein Druckausgleich erfolgt und der Schöpfraum 12 im Wesentlichen auf Atmosphärendruck gebracht wird. Hierdurch ist sichergestellt, dass kein oder allenfalls nur geringe Mengen an Schmiermittel in den Schöpfraum gelangt. Ein Vollaufen des Schöpfraums 12 durch Schmiermittel ist hierdurch vermieden.
Aufgrund der Ölströmung bzw. Ölzϊrkulation im Bereich der Ventileinrichtung 38, insbesondere der Ventilzunge, ist sichergestellt, dass sich hier keine Ablagerungen bilden. Insbesondere ist eine Verschmutzung der Ventileinrichtung 38 vermieden. Hierdurch ist ein Verklemmung der - B -
Ventileϊnrichtung 38 vermieden. Ferner ist eine gute Abdichtung gewährleistet und ein Einfluss der Ventildichtigkeit auf die Pumpenlcistung vermieden.

Claims

Patentansprüche
1„ Vakuum-Drehschiebcrpumpe, mit
einem einen Schöpfraum (12) aufweisenden Gehäuse (10),
einem exzentrisch in dem Schöpfraum (12) angeordneten Rotor (14),
mit dem Rotor (14) verschiebbar verbundenen Schiebern (18),
einem mit dem Schöpfraum (12) und einer Ölkammer (32) verbundenen Ausstoßkanal (30),
einer zwischen der Ölkammer (32) und dem Ausstoßkanal (30) angeordneten Ventileinrichtung (38), um ein Zurückströmen von Medium aus der Ölkammer (32) in den Schöpfraum (12) zu unterbinden und
mindestens einem mit dem Ausstoßkanal (30) verbundenen Ausgleichskanal (50), an dem im Wesentlichen Atmosphärendruck anliegt.
2. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (50) mit einem Luftraum (54) der Ölkammer (32) verbunden ist.
3. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (50) im Bereich der Ventϊfeinrichtung (38) mit dem Ausstoßkanal (30) verbunden ist.
4. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 - 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal als teilweise abgedeckte Nut insbesondere in einem Flansch (34) des Gehäuses (10) ausgebildet isL
5. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 - 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Ventileinrichtung eine elastisch verformbare Ventϊlzunge (38) aufweist, die vorzugsweise zur Ausbildung des Ausgleichskanals (50) zusätzlich die Nut abdeckt.
6. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (50) derart angeordnet ist, dass er nach Abschluss des Mediumsausstoßes aus des Schöpfraum (12) einen Ölvorrat für die anschließende Kompression von Medium in dem Schöpfraum (12) aufweist..
7. Vakuum-Drehschieberpumpe, nach einem der Ansprüche 1- 6, gekennzeichnet durch mehrere Ausgleichskanäle (50), die vorzugsweise an einer mit der Atmosphäre verbundenen Kanaleintrittsöffnung (52) miteinander verbunden sind.
8. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 - 7, dadurch gekennzeichnet, dass die den Ausstoßkanal (30) verschließende Ventileinrichtung (38) im Bereich des Ausstoßkanals (30) in einem Ölbad (42) angeordnet ist.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202012002883U1 (de) 2012-03-22 2013-06-25 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuum-Drehschieberpumpe
DE202012002882U1 (de) 2012-03-22 2013-06-25 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuum-Drehschieberpumpe
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101398754B1 (ko) 2008-12-26 2014-05-27 히타치가세이가부시끼가이샤 포지티브형 감광성 수지 조성물, 레지스트 패턴의 제조 방법, 반도체 장치 및 전자 디바이스
IT1393277B1 (it) * 2009-03-17 2012-04-12 Vhit Spa Pompa per vuoto rotativa con un dispositivo di disaccoppiamento dal motore di azionamento
DE102010051610B4 (de) 2009-11-24 2023-10-26 Hanon Systems Efp Deutschland Gmbh Vakuumpumpe
JP2012167590A (ja) * 2011-02-14 2012-09-06 Nabtesco Automotive Corp ケーシングの製造方法及び真空ポンプ
CN103061820B (zh) * 2012-12-27 2013-12-04 潍坊天瑞重工凿岩机械有限公司 具有内置式供油器的气动滑片式钻机
DE102013200410B4 (de) * 2013-01-14 2017-12-07 Schwäbische Hüttenwerke Automotive GmbH Gaspumpe mit Druckentlastung zur Reduzierung des Anfahrdrehmoments
GB2533621B (en) * 2014-12-23 2019-04-17 Edwards Ltd Rotary screw vacuum pumps
CN105526171A (zh) * 2016-02-05 2016-04-27 无锡明治泵业有限公司 一种汽车真空泵降低泵腔内积油量的结构
CN105526174A (zh) * 2016-02-05 2016-04-27 无锡明治泵业有限公司 一种用于降低真空泵泵腔内积油量的机构
IT201700115881A1 (it) 2017-10-13 2019-04-13 D V P Vacuum Tech S P A Pompa per il vuoto lubrificata
CN112963349A (zh) * 2021-01-22 2021-06-15 淄博真空泵厂有限公司 新型水环真空机组
JP7052101B1 (ja) * 2021-01-27 2022-04-11 株式会社アルバック 真空ポンプ及び真空ポンプの復圧方法
WO2024078678A1 (de) 2022-10-10 2024-04-18 Busch Produktions Gmbh Verbesserte drehschieberpumpe

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3053439A (en) 1957-07-24 1962-09-11 Leybolds Nachfolger E Rotary vacuum pump
US3040973A (en) * 1958-12-02 1962-06-26 Prec Scient Company Vacuum pump
DE1123076B (de) 1959-04-18 1962-02-01 Leybolds Nachfolger E Rotierende mechanische Vakuumpumpe
US3326456A (en) * 1965-09-13 1967-06-20 Prec Scient Company Check valve for a vacuum pump
US3301474A (en) * 1965-09-24 1967-01-31 Bendix Balzers Vacuum Inc Oil sealed mechanical rotary vacuum pump
GB1140452A (en) * 1966-03-16 1969-01-22 Edwards High Vacuum Int Ltd Improvements relating to liquid sealed mechanical vacuum pumps
JPS4910005B1 (de) * 1969-01-20 1974-03-07
JPS4911645B1 (de) * 1969-09-22 1974-03-19
US3782868A (en) * 1971-11-26 1974-01-01 Componetrol Rotary vane pump
NL173343C (nl) 1972-03-29 1984-01-02 Philips Nv Inrichting voor het uitlezen van een schijfvormige registratiedrager met in optische vorm gecodeerde beeld-en/of geluidssignalen.
JPS5343209Y2 (de) 1973-10-26 1978-10-18
DE2401177A1 (de) * 1974-01-11 1975-07-24 Pfeiffer Vakuumtechnik Vorrichtung zur geraeuschdaempfung bei drehschieberpumpen
FR2383335A1 (fr) * 1977-03-08 1978-10-06 Leybold Heraeus Sogev Pompe mecanique a joint d'huile
JPS5343209U (de) * 1977-09-01 1978-04-13
JPS5676186U (de) 1979-11-17 1981-06-22
JPS57172482A (en) * 1981-04-17 1982-10-23 Hitachi Ltd Image position detecting system
DE3616515A1 (de) * 1986-05-16 1987-11-19 Mugioiu Dipl Ing Ioan Drehschiebervakuumpumpe
DE4016014C2 (de) * 1989-06-01 1998-02-19 Barmag Barmer Maschf Flügelzellen-Vakuumpumpe
DE3933047A1 (de) * 1989-10-04 1991-04-11 Barmag Barmer Maschf Fluegelzellen-vakuumpumpe
DE19961317C1 (de) * 1999-12-18 2001-06-28 Bayerische Motoren Werke Ag Vakuumpumpe, insbesondere Flügelzellenvakuumpumpe
DE10194275B4 (de) * 2000-10-11 2015-09-03 Magna Powertrain Hückeswagen GmbH Vakuumpumpe für einen Servoantrieb in einem Kraftfahrzeug
JP2002349458A (ja) 2001-05-22 2002-12-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 密閉型スクロール圧縮機
GB2380523A (en) 2001-06-27 2003-04-09 Luk Automobiltech Gmbh & Co Kg Vacuum generator
JP4294589B2 (ja) 2002-09-11 2009-07-15 エスペック株式会社 無電解メッキ液、及びこれを用いた無電解メッキ方法及び無電解メッキ被処理物
WO2004044431A2 (de) 2002-11-13 2004-05-27 Luk Automobiltechnik Gmbh & Co. Kg Vakuumpumpe
CN2688932Y (zh) * 2004-01-18 2005-03-30 吴允叔 旋转式防回油真空/压气两用泵

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2007006666A1 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202012002883U1 (de) 2012-03-22 2013-06-25 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuum-Drehschieberpumpe
DE202012002882U1 (de) 2012-03-22 2013-06-25 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuum-Drehschieberpumpe
DE202012002881U1 (de) 2012-03-22 2013-06-25 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuum-Drehschieberpumpe
WO2013139570A2 (de) 2012-03-22 2013-09-26 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuum-drehschieberpumpe
WO2013139570A3 (de) * 2012-03-22 2014-07-03 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuum-drehschieberpumpe

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