EP1833622B1 - Verfahren zum reinigen einer vakuum-schraubenpumpe - Google Patents

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EP1833622B1
EP1833622B1 EP05815780A EP05815780A EP1833622B1 EP 1833622 B1 EP1833622 B1 EP 1833622B1 EP 05815780 A EP05815780 A EP 05815780A EP 05815780 A EP05815780 A EP 05815780A EP 1833622 B1 EP1833622 B1 EP 1833622B1
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gas
cleaning
cleaning fluid
screw
flushing
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EP1833622A1 (de
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Uwe ZÖLLIG
Olaf Stahlschmidt
Christian Beyer
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Leybold GmbH
Original Assignee
Leybold Vakuum GmbH
Leybold Vacuum GmbH
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto 
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
    • F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0092—Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning

Definitions

  • the invention relates to a method for cleaning a dry-compressing vacuum screw pump with internal compression.
  • Dry-compressing vacuum screw pumps with internal compression ie with non-isochoric compression, are operated without a lubricating, sealing and cleaning liquid.
  • Certain condensate-rich, heavily loaded vacuum processes eg sintering or soldering, can lead to deposits on the pump rotors and / or the pump chamber. This increases the friction between the pump rotors and the pump chamber, so that the screw pump can finally start poor or not at all, significant vibration can occur during operation or a total loss of the screw pump can be caused. Therefore, the dry-compressing screw pump is cleaned regularly.
  • the object of the invention is to provide a simple method for cleaning a dry-compressing vacuum screw pump with internal compression.
  • the screw pump is operated at its rated speed for cleaning. A speed reduction for cleaning is not required. In this way, eliminates the technical effort for a speed reduction, which, depending on the nature of the electric drive motor, can be significant.
  • At least ten parts by volume of purge gas come to one part by volume of rinsing liquid.
  • the internal compression screw pump can be purged without any speed reduction at rated speed.
  • the purge gas in the cleaning fluid ensures that the pressure increase in the pump chamber's pump chambers is moderate.
  • the purge gas comes from a source other than the vacuum gas.
  • the purge gas is not the gas that is pumped out of a vacuum container to create a vacuum. During the evacuation no evacuation takes place.
  • the cleaning fluid is preferably mixed in a volume ratio of flushing liquid / flushing gas of at least 1: 100, preferably of at least 1: 1000.
  • the mixing of the cleaning fluid with water as the rinsing liquid can be used, but tap water can also be used depending on the application. In any case, the flushing liquid water is inexpensive and available almost everywhere.
  • the mixing of the cleaning fluid with air takes place as a purge gas.
  • the ambient air can be used in most cases.
  • the purge gas is thus available in a simple manner and inexpensively practically everywhere.
  • the purge gas has a pressure of at least 500 mbar, and may have approximately atmospheric pressure. The ambient air can therefore be used slightly throttled or unthrottled to mix the cleaning fluid.
  • nitrogen and / or argon can be used as purge gas.
  • Nitrogen and argon are less aggressive and are therefore suitable as purge gas in particularly sensitive applications or environments.
  • a gas ballast valve of the screw pump is opened during the cleaning.
  • the vacuum line leading to the gas inlet of the vacuum pump is closed before the introduction of the cleaning fluid, and after the completion of the cleaning fluid inlet, the vacuum line is opened again. In this way, penetration of the cleaning fluid into the vacuum line or the connected vacuum vessel is reliably prevented.
  • the figure shows schematically the structure of a system with a vacuum screw pump for operating the cleaning method according to the invention.
  • the vacuum container 14 may be part of a sintering system, a plasma CVD system or another system in which there is the possibility that the pumped by the screw pump 12 gas Contains components that can lead to deposits in the screw pump 12.
  • the screw pump 12 has a gas inlet 16, which is connected with the interposition of valves 18,20,22 to the vacuum container 14, to a rinsing liquid container 24 and, if necessary, to a purge gas container 28.
  • the screw pump 12 rotates at a speed of, for example, 8000 rpm.
  • the vacuum valve 18 is opened while the other two valves 20, 22 are closed.
  • the vacuum tank 14 is evacuated in this way.
  • the screw pump 12 is regularly cleaned or rinsed after a specified period of operation.
  • the vacuum valve 18 is closed, so that the evacuation operation is interrupted. Subsequently, the purge gas valve 22 is opened, so that the purge gas, for example, ambient air, is sucked by the screw pump 12.
  • purge gas and nitrogen or argon can be used, which is stored in a corresponding purge gas container 28.
  • the rinsing liquid valve 20 is opened, so that the rinsing liquid is sucked by the screw pump 12.
  • Tap water is used as the rinsing liquid, but other liquids are also suitable.
  • the purge gas and the purge liquid mix in front of the gas inlet 16 of the screw pump 12 to a cleaning fluid which is approximately from 0.2 to 3.0 l / min. Rinse fluid and approximately 4000 - 8000 standard liters / min. Purging gas exists. In the present case, approximately 1.0 liter per minute of rinse is mixed with the purge gas.
  • the purge gas valve 22 By the purge gas valve 22, the purge gas passes approximately at atmospheric pressure in the screw pump 12, but at least approximately 500 mbar.
  • the total cleaning fluid consumption and the duration of the cleaning depends on the degree of contamination of the screw pump 12.
  • the cleaning can be terminated when the color of the flushing fluid leaving the screw pump 12 is clear and no longer discolored. According to experience, between 3.0 and 8.0 liters of rinsing liquid are required for cleaning, so that cleaning takes a few minutes. After the actual cleaning process, the purge gas valve 22 remains open for a few minutes to ensure the fastest possible drying of the interior of the screw pump 12.
  • the purge gas valve 22 remains open for 5-10 minutes to accelerate the drying of the interior of the screw pump 12.
  • a gas ballast valve of the screw pump 12, if any, is opened. As a result, the drying is accelerated after the actual cleaning process.

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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Reinigen einer trocken verdichtenden Vakuum-Schraubenpumpe mit innerer Verdichtung.
  • Trocken verdichtende Vakuum-Schraubenpumpen mit innerer Verdichtung, d.h. mit nicht isochorer Verdichtung, werden ohne eine schmierende, dichtende und reinigende Flüssigkeit betrieben. Bei bestimmten kondensatreichen, stark belastenden Vakuumprozessen, z.B. Sintern oder Löten, kann es zu Ablagerungen auf den Pumpenrotoren und/oder dem Schöpfraum-Gehäuse kommen. Dadurch erhöht sich die Reibung zwischen den Pumpenrotoren und dem Schöpfraum-Gehäuse, so dass sich die Schraubenpumpe schließlich schlecht oder gar nicht mehr starten lässt, im Betrieb erhebliche Vibrationen auftreten können bzw. ein Totalschaden der Schraubenpumpe verursacht werden kann. Daher wird die trocken verdichtende Schraubenpumpe regelmäßig gereinigt.
  • Eine manuelle Reinigung ist wegen der Notwendigkeit einer Öffnung des Schöpfraum-Gehäuses zeitaufwändig und arbeitsintensiv.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, ein einfaches Verfahren zum Reinigen einer trocken verdichtenden Vakuum-Schraubenpumpe mit innerer Verdichtung zu schaffen.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit dem Merkmal des Patentanspruches 1 gelöst.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren besteht aus den Verfahrensschritten
    • Betrieb der Schraubenpumpe mit Nenndrehzahl
    • Mischen eines Reinigungsfluides aus einer Spülflüssigkeit und einem Spülgas im Volumenverhältnis von mindestens 1:10, und
    • Einleiten des Reinigungsfluides in den Gaseinlass der Schraubenpumpe.
  • Das Einleiten des Reinigungsfluides erfolgt durch den Haupt-Gaseinlass der Schraubenpumpe, der auch zum Evakuieren verwendet wird. Ein separater Einlass zum Einleiten des Reinigungsfluides wird nicht benötigt. Die Schraubenpumpe wird zum Reinigen mit ihrer Nenndrehzahl betrieben. Eine Drehzahlabsenkung zur Reinigung ist nicht erforderlich. Auf diese Weise entfällt der technische Aufwand für eine Drehzahlabsenkung, der, je nach Art des elektrischen Antriebmotors, erheblich sein kann.
  • Auf ein Volumenteil Spülflüssigkeit kommen mindestens zehn Volumenteile Spülgas bezogen auf einen atmosphärischen Gasdruck des Spülgases. Durch Vorsehen einer erheblichen Menge Spülgas in dem Reinigungsfluid kann die Schraubenpumpe mit innerer Verdichtung ohne jede Drehzahlabsenkung bei Nenndrehzahl gespült werden. Das Spülgas in dem Reinigungsfluid sorgt dafür, dass der Druckanstieg in den Schöpfräumen der Schraubenpumpe moderat ausfällt.
  • Das Spülgas kommt aus einer anderen Quelle als das Vakuumgas. Das Spülgas ist nicht das Gas, das zur Erzeugung eines Vakuums aus einem Vakuumbehälter abgepumpt wird. Während der Reinigung erfolgt keine Evakuierung.
  • Mit dem Reinigungsverfahren kann die regelmäßige Reinigung der Schraubenpumpe ohne jede Demontage schnell und preiswert vorgenommen werden.
  • Vorzugsweise wird das Reinigungsfluid in einem Volumenverhältnis Spülflüssigkeit/Spülgas von mindestens 1:100, vorzugsweise von mindestens 1:1000 gemischt.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung erfolgt das Mischen des Reinigungsfluides mit Wasser als Spülflüssigkeit. Es kann destilliertes Wasser verwendet werden, es kann jedoch auch, je nach Anwendung, Leitungswasser verwendet werden. In jedem Fall ist die Spülflüssigkeit Wasser preiswert und nahezu überall erhältlich.
  • Vorzugsweise erfolgt das Mischen des Reinigungsfluides mit Luft als Spülgas. Hierzu kann in den meisten Fällen die Umgebungs-Luft verwendet werden. Das Spülgas ist also auf einfache Weise und preiswert praktisch überall verfügbar. Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung hat das Spülgas einen Druck von mindestens 500 mbar, und kann annähernd atmosphärischen Druck aufweisen. Die Umgebungs-Luft kann daher geringfügig gedrosselt oder ungedrosselt zur Mischung des Reinigungsfluides genutzt werden.
  • Vorzugsweise kann als Spülgas Stickstoff und/oder Argon verwendet werden. Stickstoff und Argon sind wenig aggressiv und eignen sich daher als Spülgas in besonders sensiblen Anwendungen bzw. Umgebungen.
  • Vorzugsweise wird während des Reinigens ein Gasballast-Ventil der Schraubenpumpe geöffnet. Hierdurch können die gereinigten Teile der Schraubenpumpe, insbesondere die Wellendichtungen, schneller trocknen.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird vor dem Einleiten des Reinigungsfluides die zum Gaseinlass der Vakuumpumpe führende Vakuumleitung geschlossen, und wird nach dem Beenden der Reinigungsfluideinleitung die Vakuumleitung wieder geöffnet. Auf diese Weise wird ein Eindringen des Reinigungsfluides in die Vakuumleitung bzw. das angeschlossene Vakuumgefäß zuverlässig vermieden.
  • Im Folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Figur näher erläutert.
  • Die Figur zeigt schematisch den Aufbau einer Anlage mit einer Vakuum-Schraubenpumpe zum Betrieb des erfindungsgemäßen Reinigungsverfahrens.
  • In der Figur ist eine Vakuum-Anordnung. 10 dargestellt, die der Evakuierung eines Vakuumbehälters 14 dient. Der Vakuumbehälter 14 kann Teil einer Sinter-Anlage, einer Plasma-CVD-Anlage oder einer anderen Anlage sein, bei der die Möglichkeit besteht, dass das durch die Schraubenpumpe 12 abgepumpte Gas Bestandteile enthält, die zu Ablagerungen in der Schraubenpumpe 12 führen können.
  • Die Schraubenpumpe 12 weist einen Gaseinlass 16 auf, der unter Zwischenschaltung von Ventilen 18,20,22 an den Vakuumbehälter 14, an einen Spülflüssigkeits-Behälter 24 und, wenn erforderlich, an einen Spülgas-Behälter 28 angeschlossen ist.
  • Im Pumpbetrieb dreht die Schraubenpumpe 12 mit einer Drehzahl von beispielsweise 8000 U/min.. Im Pumpbetrieb ist das Vakuum-Ventil 18 geöffnet, während die beiden anderen Ventile 20,22 geschlossen sind. Im Pumpbetrieb wird auf diese Weise der Vakuumbehälter 14 evakuiert.
  • Die Schraubenpumpe 12 wird nach einer festgelegten Betriebsdauer regelmäßig gereinigt bzw. gespült.
  • Zum Spülen der Schraubenpumpe 12 wird zunächst das Vakuum-Ventil 18 geschlossen, so dass der Evakuierbetrieb unterbrochen ist. Anschließend wird das Spülgas-Ventil 22 geöffnet, so dass das Spülgas, beispielsweise Umgebungs-Luft, von der Schraubenpumpe 12 angesaugt wird. Als Spülgas kann auch Stickstoff oder Argon verwendet werden, das in einem entsprechenden Spülgas-Behälter 28 gelagert ist.
  • Anschließend wird das Spülflüssigkeits-Ventil 20 geöffnet, so dass die Spülflüssigkeit von der Schraubenpumpe 12 angesaugt wird. Als Spülflüssigkeit wird Leitungswasser verwendet, es sind jedoch auch andere Flüssigkeiten geeignet. Das Spülgas und die Spülflüssigkeit vermischen sich vor dem Gaseinlass 16 der Schraubenpumpe 12 zu einem Reinigungsfluid, das ungefähr aus 0,2 - 3,0 l/min. Spülflüssigkeit und ungefähr 4000 - 8000 Standardliter/min. Spülgas besteht. Im vorliegenden Fall wird ungefähr 1,0 Liter pro Minute Spülflüssigkeit mit dem Spülgas gemischt.
  • Durch das Spülgas-Ventil 22 gelangt das Spülgas ungefähr mit atmosphärischem Druck in die Schraubenpumpe 12, mindestens jedoch mit ungefähr 500 mbar.
  • Der Reinigungsfluid-Gesamtverbrauch und die Dauer der Reinigung hängt vom Grad der Verunreinigung der Schraubenpumpe 12 ab. Die Reinigung kann beendet werden, wenn die Farbe der aus der Schraubenpumpe 12 austretenden Spülflüssigkeit klar, und nicht mehr verfärbt ist. Erfahrungsgemäß werden für die Reinigung zwischen 3,0 und 8,0 Litern Spülflüssigkeit benötigt, so dass die Reinigung wenige Minuten dauert. Nach dem eigentlichen Reinigungsvorgang bleibt das Spülgas-Ventil 22 noch einige Minuten geöffnet, um eine schnellstmögliche Trocknung des Inneren der Schraubenpumpe 12 zu gewährleisten.
  • Versuche haben ergeben, dass 20 - 30 Sekunden nach dem Öffnen des Spülflüssigkeits-Ventils 20 ein Dampfstrahl von 2-3 Sekunden am Auslass der Schraubenpumpe 12 austritt. Dies kann damit erklärt werden, dass die Spalte in der Schraubenpumpe 12 zwischen den Schraubenrotoren bzw. zwischen den Schraubenrotoren und dem Gehäuse durch die eintretende Flüssigkeit abgedichtet werden, wodurch das Saugvermögen sprunghaft ansteigt. Durch die starke Komprimierung des Spülgases erfolgt eine schnelle und starke Aufheizung, so dass die Spülflüssigkeit im Schöpfraum verdampft. Der Wasserdampf wird durch den Gasauslass der Schraubenpumpe 12 ausgestoßen, und die Spalten sind wieder relativ schlecht abgedichtet. Der beschriebene Zyklus beginnt nunmehr von Neuem.
  • Nach der eigentlichen Reinigung bleibt das Spülgas-Ventil 22 noch 5-10 Minuten geöffnet, um die Trocknung des Innenraumes der Schraubenpumpe 12 zu beschleunigen. Während und/oder nach der Reinigung wird ein Gasballast-Ventil der Schraubenpumpe 12, soweit vorhanden, geöffnet. Hierdurch wird die Trocknung nach dem eigentlichen Reinigungsvorgang beschleunigt.

Claims (10)

  1. Verfahren zum Reinigen einer trocken verdichtenden Vakuum-Schraubenpumpe (12) mit innerer, nicht-isochorer Verdichtung, mit den Verfahrensschritten:
    - Betrieb der Schraubenpumpe (12) mit Nenndrehzahl
    - Mischen eines Reinigungsfluides aus einer Spülflüssigkeit und einem Spülgas im Volumenverhältnis von mindestens 1:10, und
    - Einleiten des Reinigungsfluides in den Gaseinlass (16) der Schraubenpumpe (12).
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Spülgas aus einer anderen Quelle kommt als das Vakuumgas.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Mischen des Reinigungsfluides in einem Volumenverhältnis von mindestens 1:100, vorzugsweise von mindestens 1:1000 erfolgt.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Mischen des Reinigungsfluides mit Wasser als Spülflüssigkeit erfolgt.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Mischen des Reinigungsfluides mit Luft als Spülgas erfolgt.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Spülgas einen Druck von mindestens 500 mbar hat.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Spülgas annähernd atmosphärischen Druck hat.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Spülgas Stickstoff und/oder Argon ist.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass während der Reinigung ein Gasballast-Ventil der Schraubenpumpe (12) geöffnet ist.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte:
    - vor dem Einleiten des Reinigungsfluides: Schließen der zum Gaseinlass (16) der Vakuumpumpe (12) führenden Vakuumleitung (24), und
    - nach dem Beenden der Reinigungsfluid-Einleitung: Öffnen der Vakuumleitung (24).
EP05815780.1A 2004-12-22 2005-12-05 Verfahren zum reinigen einer vakuum-schraubenpumpe Not-in-force EP1833622B2 (de)

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DE (2) DE102004063058A1 (de)
WO (1) WO2006067032A1 (de)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006039529A1 (de) * 2006-08-23 2008-03-06 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Verfahren zur Abreaktion selbstentzündlicher Stäube in einer Vakuumpumpvorrichtung
FI120544B (fi) * 2007-12-13 2009-11-30 Optogan Oy HVPE-reaktorijärjestely
DE102008021971A1 (de) * 2008-05-02 2009-11-05 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Reinigen von Vakuumpumpen
DE102008030788A1 (de) * 2008-06-28 2009-12-31 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Verfahren zum Reinigen von Vakuumpumpen
DE102008053522A1 (de) 2008-10-28 2010-04-29 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Verfahren zum Reinigen einer Vakuumpumpe
DE102009043133B4 (de) * 2009-09-23 2012-08-09 Roth & Rau Ag Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen eines Pumpenraumes einer Vakuumpumpe
DE102011015464B4 (de) * 2010-11-30 2012-09-06 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Vakuumpumpeinrichtung und -verfahren für staubhaltige Gase
DE102011005464B4 (de) * 2011-03-11 2014-07-17 Fmp Technology Gmbh Fluid Measurements & Projects Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks
DE102011108092A1 (de) * 2011-07-19 2013-01-24 Multivac Sepp Haggenmüller Gmbh & Co. Kg Reinigungsverfahren und -system für Vakuumpumpe
JP2017089462A (ja) * 2015-11-06 2017-05-25 エドワーズ株式会社 真空ポンプの判断システム、および真空ポンプ
CN108714587A (zh) * 2018-06-06 2018-10-30 南京采孚汽车零部件有限公司 一种泵类产品内部清洗装置
CN108775286A (zh) * 2018-08-03 2018-11-09 深圳市石金科技股份有限公司 一种干式真空泵的清洁装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6415190A (en) * 1987-07-10 1989-01-19 Hitachi Ltd Injection washer for scroll compressor part
JPH0617283A (ja) † 1992-07-02 1994-01-25 Sumitomo Metal Ind Ltd 加工性、成形性に優れためっきＡｌ板およびその製造方法
JP3013652B2 (ja) * 1993-06-01 2000-02-28 富士通株式会社 排気装置とその清浄化方法
DE19522554A1 (de) * 1995-06-21 1997-01-02 Sihi Ind Consult Gmbh Verfahren zum Reinigen der Schöpfraumoberflächen eines Rotationskolbenverdichters
DE19522557A1 (de) * 1995-06-21 1997-01-02 Sihi Ind Consult Gmbh Drehkolbenverdichter, insbesondere Vakuumpumpe
US6090222A (en) * 1998-11-16 2000-07-18 Seh-America, Inc. High pressure gas cleaning purge of a dry process vacuum pump
DE19962445A1 (de) * 1999-12-22 2001-06-28 Leybold Vakuum Gmbh Trockenverdichtende Vakuumpumpe mit Gasballasteinrichtung
US6494959B1 (en) * 2000-01-28 2002-12-17 Applied Materials, Inc. Process and apparatus for cleaning a silicon surface
US6858264B2 (en) * 2002-04-24 2005-02-22 Micron Technology, Inc. Chemical vapor deposition methods
US7819646B2 (en) * 2002-10-14 2010-10-26 Edwards Limited Rotary piston vacuum pump with washing installation

Also Published As

Publication number Publication date
EP1833622B8 (de) 2010-08-11
EP1833622B2 (de) 2013-08-21
JP2008524511A (ja) 2008-07-10
US20080135066A1 (en) 2008-06-12
EP1833622A1 (de) 2007-09-19
DE502005009881D1 (de) 2010-08-19
JP4819828B2 (ja) 2011-11-24
KR20070086062A (ko) 2007-08-27
DE102004063058A1 (de) 2006-07-13
KR101280493B1 (ko) 2013-07-01
WO2006067032A1 (de) 2006-06-29

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