DE4136950A1 - Mehrstufiges vakuumpumpsystem - Google Patents
Mehrstufiges vakuumpumpsystemInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein mehrstufiges Vakuum-Pumpsystem mit
Zwischenabsaugung zwischen den einzelnen Stufen.
Vakuumpumpen, die solchen Pumpsystemen entsprechen, werden zum
Beispiel bei Gasanalysatoren, welche von ihrem Funktionsprin
zip her nur unter Vakuum arbeiten können, eingesetzt. Das Va
kuumsystem derartiger Gasanalysatoren soll am Beispiel eines
Massenspektrometers, welches unter anderem mit einer zweistu
figen Drehschieberpumpe ausgerüstet ist, dargestellt werden.
Für die Aufrechterhaltung des Vakuums in der Analysenkammer
wird ein Hochvakuumsystem, bestehend aus einer zweistufigen
Drehschieberpumpe und einer Hochvakuumpumpe, die zum Beispiel
eine Turbomolekular- oder Diffusionspumpe sein kann, verwendet.
Zweistufige Drehschieberpumpen sind hier zweckmäßig, da sie
ein Endvakuum erzeugen, welches als optimales Vorvakuum für
die damit verbundene Hochvakuumpumpe dient.
Das zu untersuchende Gas, welches in der Regel unter Atmosphä
rendruck zur Verfügung steht, muß unter reduziertem Druck dem
Gasanalysensystem zugeführt werden. Die Druckreduktionsstufe
wird hierbei vielfach durch eine weitere Drehschieberpumpe in
Verbindung mit einer Kapillarstufe am Gaseinlaß gebildet. Da
die Ansprüche an das Endvakuum in diesem Fall niedriger sind
als bei der Hochvakuumpumpe, ist eine einstufige Drehschieber
pumpe ausreichend.
Somit wären zwei Drehschieberpumpen zum Betrieb des Gasanaly
sensystems notwendig.
Man kann jedoch bei konstant anfallenden kleinen Gasmengen in
der Druckreduktionsstufe den Einsatz einer zweiten Drehschie
berpumpe vermeiden. Dazu wird als Drehschieberpumpe für das
Hochvakuumsystem eine solche mit einem Zwischenabsauganschluß
zwischen den beiden Stufen verwendet. Über diesen Zwischenab
sauganschluß wird die Druckreduktionsstufe mit Hilfe der zwei
ten Stufe der Drehschieberpumpe evakuiert. Damit dient die
Drehschieberpumpe gleichzeitig als zweistufige Pumpe zur
Erzeugung des Vorvakuums für die Hochvakuumpumpe und als ein
stufige Pumpe zum Evakuieren der Druckreduktionsstufe.
Solche Pumpen sind bekannt, haben aber den Nachteil, daß der
Enddruck der Drehschieberpumpe sehr stark vom Druck am Zwi
schenabsauganschluß abhängt. Dies kann akzeptiert werden,
solange konstante Betriebsbedingungen an dieser Stelle herr
schen und keine allzu großen Gasmengen gepumpt werden. Wenn
jedoch unterschiedliche oder größere Gasmengen am Zwischen
absauganschluß anfallen, z. B. beim Austausch der Kapillar
stufe oder beim Abpumpen von zusätzlichen Bauteilen, wird der
Druckanstieg im Vorvakuum der Hochvakuumpumpe unzulässig hoch.
Dieses dem Stand der Technik entsprechende Vakuumsystem ist
also, wie an diesem Beispiel gezeigt wurde, nur begrenzt ein
setzbar.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Pumpsystem zu
entwickeln, welches für die obengenannten Anwendungsgebiete
universell einsetzbar ist. Insbesondere soll erreicht werden,
daß beim Anfall von größeren oder variablen Gasmengen am Zwi
schenabsauganschluß eines mehrstufigen Pumpsystems, dessen
Arbeitsweise und die Arbeitsweise einer sich anschließenden
Hochvakuumpumpe nicht beeinträchtigt werden.
Die Aufgabe wird durch den kennzeichnenden Teil des ersten
Patentanspruches gelöst. Die Ansprüche 2 bis 5 stellen wei
tere Ausgestaltungsmöglichkeiten der Erfindung dar.
Durch das zusätzliche Ventil zwischen dem Zwischenabsaugan
schluß und der der Hochvakuumseite zugewandten ersten Pump
stufe wird eine entscheidende Verbesserung des Pumpsystems
erreicht. Bei geringem oder keinem Gasanfall am Zwischenab
sauganschluß bleibt das Ventil offen, und es ergibt sich bei
dem hier angeführten Beispiel eine zweistufige Drehschieber
pumpe mit ihrer vollen Funktion. Bei größerem Gasanfall
schließt das Ventil, und die beiden Pumpstufen arbeiten wie
zwei einstufige Pumpen, wobei die zweite, der Seite des höhe
ren Druckes zugewandte Stufe den großen Gasanfall gegen At
mosphäre abpumpt, ohne daß der Druck in der ersten, der
Hochvakuumseite zugewandten Stufe wesentlich erhöht wird.
Dadurch wird eine Beeinträchtigung der Arbeitsweise der
Hochvakuumpumpe vermieden.
Die Vorbelastung des zusätzlichen Ventils kann mechanisch,
zum Beispiel durch Federn, erfolgen. Dadurch wird es möglich,
den Zeitpunkt des Schließens und Öffnens in Abhängigkeit vom
Druck vorzugeben.
Da der Druck am Ausgang der ersten Pumpstufe niedriger ist
als am Ausgang der zweiten Pumpstufe, ist es sinnvoll, die
Vorbelastung des zusätzlichen Ventils nicht größer zu machen
als die des in der Regel vorhandenen Ausstoßventils der zwei
ten Pumpstufe.
Bei dieser Konstruktion kann noch ein Nachteil auftreten wel
cher die Dampfverträglichkeit der ersten Pumpstufe betrifft.
Bei geschlossenem Ventil zwischen den Pumpstufen steigt der
Druck auf der Ausstoßseite der ersten Stufe an. Somit nimmt
auch der Partialdruck der Dämpfe zu. Um diesen Anstieg in
Grenzen zu halten und ein Kondensieren zu vermeiden, wird pa
rallel zu dem Ventil eine Bypassleitung angebracht, welche
die Ausstoßseite der ersten Stufe mit der Ansaugseite der
zweiten Stufe verbindet. Der Querschnitt dieser Leitung muß
so groß sein, daß beim Arbeitsdruck der Pumpe die dann noch
anfallende Dampfmenge von der zweiten Stufe abgepumpt werden
kann. Andererseits muß beachtet werden, daß die Rückströmung
von der zweiten in die erste Stufe in solchen Grenzen gehalten
wird, daß sie sich nicht störend auf das Hochvakuum auswirkt.
Der optimale Querschnitt richtet sich nach den Druckverhält
nissen und Saugvermögen in den beiden Pumpstufen. Zweckmä
ßigerweise wird die Bypassleitung so gestaltet, daß ihr
Querschnitt durch an sich bekannte Mittel, wie z. B. Blenden,
variiert werden kann.
Die der Erfindung zugrundeliegende Idee wurde hier am Beispiel
einer zweistufigen Drehschieberpumpe erläutert. Die Anwendbar
keit der Erfindung ist jedoch nicht auf diese Pumpen beschränkt,
sondern erstreckt sich allgemein auf mehrstufige Vakuumpumpen
und -Pumpsysteme.
Anhand der Abbildung soll die Erfindung näher erläutert wer
den.
Das Pumpsystem besteht aus der Pumpstufe 1, welche der Hoch
vakuumpumpe 3 zugewandt ist und aus der folgenden Pumpstufe
2, welche über das Ventil 4 mit der Atmosphäre verbunden ist.
Über die Hochvakuumpumpe 3 wird die Analysenkammer 5 evakuiert.
Zwischen den beiden Pumpstufen 1 und 2 befindet sich der Zwi
schenabsauganschluß 6, welcher zum Beispiel mit der Kapillar
stufe 7 verbunden ist. Die Pumpstufe 2 und die Kapillarstufe 7
bilden zusammen die Druckreduktionsstufe für das zu untersu
chende Gas. Zwischen dem Zwischenabsauganschluß 6 und der der
Hochvakuumseite zugewandten Pumpstufe 1 befindet sich ein zu
sätzliches Ventil 8, welches als vorbelastetes Druckventil
ausgebildet sein kann. Darüberhinaus sind die beiden Pump
stufen 1 und 2 über die Bypassleitung 9 miteinander verbun
den.
Claims (5)
1. Mehrstufiges Vakuum-Pumpsystem mit Zwischenabsaugan
schlüssen (6) zwischen den einzelnen Pumpstufen, dadurch
gekennzeichnet, daß zwischen einem Zwischenabsauganschluß
(6) und der jeweils der Hochvakuumseite zugewandten Pump
stufe (1) ein zusätzliches Ventil (8) angebracht ist.
2. Mehrstufiges Vakuum-Pumpsystem nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das zusätzliche Ventil (8) ein Druck
ventil mit variabler Vorbelastung ist.
3. Mehrstufiges Vakuum-Pumpsystem nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Vorbelastung des zusätzlichen
Ventils (8) kleiner oder gleich der Vorbelastung des
Ausstoßventils (4) ist.
4. Mehrstufiges Vakuum-Pumpsystem nach einem der Ansprüche
1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausstoßseite
der jeweils der Hochvakuumseite zugewandten Pumpstufe
(1) mit der Ansaugseite der folgenden Pumpstufe (2)
durch eine Bypassleitung (9) parallel zu dem zusätzli
chen Ventil (8) verbunden ist, deren Querschnitt so be
messen ist, daß beim Arbeitsdruck der Pumpstufe (1) die
dann noch anfallende Dampfmenge von der folgenden Pump
stufe (2) abgepumpt wird und daß der Gasanfall in dieser
Pumpstufe nur in solch geringem Maße in die der Hochva
kuumseite zugewandten Pumpstufe (1) zurückströmt, daß
das Hochvakuum nicht wesentlich beeinträchtigt wird.
5. Mehrstufiges Vakuum-Pumpsystem nach Anspruch 4, dadurch
gekennzeichnet, daß der Querschnitt der Bypassleitung (9)
durch an sich bekannte Mittel variabel ausgeführt ist.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE4136950A DE4136950A1 (de) | 1991-11-11 | 1991-11-11 | Mehrstufiges vakuumpumpsystem |
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- 1992-10-17 DE DE59202713T patent/DE59202713D1/de not_active Expired - Fee Related
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