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Die
Erfindung betrifft ein Vakuumpump-System. Ferner betrifft die Erfindung
die Verwendung einer Mehrstufen-Vakuumpumpe, insbesondere zur Erzeugung
niedriger Drücke im Bereich von insbesondere 10–10 mbar.
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Beispielsweise
zur Stoffanalyse mit Hilfe von Massen-Spektrometrie werden Vakuumpump-Systeme
mit mehreren seriell hintereinander angeordneten Vakuumkammern genutzt.
In den Vakuumkammern nimmt das Vakuum stufenweise ab. Hierzu ist
jede Vakuumkammer über eine Saugleitung mit einer Vakuumpumpe
verbunden. Zur hochauflösenden Analyse mittels Massen-Spektrometrie
oder anderen Analyseverfahren ist es beispielsweise bekannt, Flüssigkeit
zu zerstäuben. Diese wird sodann in einer ersten Vakuumkammer,
die mit etwa 2 bis 4 mbar betrieben wird, ionisiert. Hierbei erfolgt
eine Ionisierung von etwa 10 bis 15% des Stoffes. Durch das Vorsehen
eines elektrischen Feldes kann ein Abscheiden und somit ein Erzeugen
eines Ionenstrahls erfolgen. Die nicht im Ionenstrahl gebundenen
Partikel werden aus der ersten Vakuumkammer abgesaugt. An die erste
Vakuumkammer schließen sich mehrere weitere Vakuumkammern
an, in denen die Ionen beispielsweise durch elektrische Felder weiter
voneinander getrennt werden und stets die nicht im Ionenstrahl verbleibenden
Partikel abgesaugt werden. In den einzelnen Kammern finden bei unterschiedlichen Drücken
massenspektrometrische Messungen, Zentrifugalanalysen oder TOF-Analysen
(Time of Flight-Analysen) statt. In der letzten Kammer mit dem niedrigsten
Druck kann beispielsweise eine Detektorplatte angeordnet sein, auf
der die verbleibenden Ionen auftreffen. In den einzelnen Kammern
herrschen beispielsweise stufenweise Drücke von 2 bis 4
mbar, 10–3 mbar, 10–5 mbar,
10–8 mbar und in der Kammer mit
dem niedrigsten Druck 10-10 mbar. Derart
geringe Drücke können nur dadurch erzielt werden,
dass die einzelnen Kammern jeweils mit Turbomolekularpumpen verbunden
sind. Zur Erzeugung extrem niedriger Drücke von 10–8 mbar oder 10–10 mbar
ist das Hintereinanderschalten mehrerer Turbomolekularpumpen je
Kammerabsaugung erforderlich.
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Das
Vorsehen von einzelnen Turbomolekularpumpen je Vakuumkammer führt
zu hohen Investitionskosten und hohem Platzbedarf. Ferner ist die Montage
und auch die Lecksuche äußerst aufwendig.
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Aus
DE 43 31 589 ist ein Vakuumpump-System
mit beispielsweise vier hintereinander seriell angeordneten Vakuumkammern
bekannt. Die erste Vakuumkammer, in der das höchste Vakuum
von beispielsweise 2 bis 4 mbar herrscht, ist mit einer gegen Atmosphäre
pumpenden Vorvakuumpumpe verbunden. Die drei weiteren, sich an die
erste Vakuumkammer anschließenden Vakuumkammern sind durch (separate)
Saugleitungen mit einer Mehrstufen-Vakuumpumpe, einer sogenannte
MI-Pumpe (Multi-Inlet-Pumpe) verbunden. Hierbei ist die Saugseite
bzw. der Einlass der einzelnen Vakuumstufen über die jeweilige
Saugleitung mit der entsprechenden Vakuumkammer verbunden. Der Auslass
bzw. die Druckseite der einzelnen Vakuumstufen ist jeweils mit dem
Einlass der in Pumprichtung nachgeordneten Vakuumstufe verbunden.
Der Einlass der obersten Vakuumstufe ist somit mit derjenigen Vakuumkammer
verbunden, in der der geringste Druck herrscht.
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Der
Auslass dieser obersten Vakuumstufe ist sodann mit dem Einlass der
sich daran anschließenden nächsten Vakuumstufe
höheren Druckes bzw. der Zwischen-Vakuumstufe verbunden,
wobei mit dem Einlass dieser Vakuumstufe zusätzlich auch
die Saugleitung einer weiteren Vakuumkammer verbunden ist. Hierbei
handelt es sich um die Vakuumkammer mit dem zweitniedrigsten Druck.
Der Auslass der Zwischen-Vakuumstufe ist mit dem Einlass der höchsten
Vakuumstufe verbunden, mit dem wiederum auch eine Saugleitung verbunden
ist. Diese Saugleitung ist mit der Vakuumkammer mit dem drittniedrigsten
Vakuum verbunden. Der Auslass der höchsten Vakuumstufe
der in
DE 43 31 589 beschriebenen
Mehrstufen-Vakuumpumpe ist sodann mit der Vorvakuumpumpe verbunden.
Da die einzelnen Vakuumpumpen der Mehrstufen-Vakuumpumpen nicht gegen
Atmosphäre pumpen müssen, können die Kosten
erheblich reduziert werden.
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Das
Verwenden von Mehrstufen-Vakuumpumpen ist jedoch für die
Erzielung äußerst niedriger Drücke nicht
möglich, da ansonsten die Lager der Pumpe im niedrigen
Druckbereich geschädigt würden. Üblicherweise
gelten Drücke dauerhaft < 10–3 mbar auf der Lagerseite als kritisch.
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Aufgabe
der Erfindung ist es, das Einsatzgebiet von Mehrstufen-Vakuumpumpen
zu vergrößern, insbesondere auch bei Vakuumpump-Systemen
mit sehr niedrigen Enddrücken Mehrstufen-Vakuumpumpen einsetzen
zu können.
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Die
Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch
ein Vakuumpumpsystem gemäß Anspruch 1 bzw. der
Verwendung einer Mehrstufen-Vakuumpumpe gemäß Anspruch
11.
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Das
erfindungsgemäße Vakuumpumpsystem weist mehrere
seriell bzw. hintereinander angeordnete Vakuumkammern auf, wobei
der Druck in den Vakuumkammern stufenweise abnimmt. Zur Erzeugung
des Vakuums in den einzelnen Vakuumkammern sind diese über
Saugleitungen mit mindestens einer Mehrstufen-Vakuumpumpe verbunden. Die
Mehrstufen-Vakuumpumpe weist mindestens zwei, vorzugsweise drei
Vakuumstufen auf, die jeweils eine eigene Vakuumpumpe darstellen.
Von der obersten bzw. ersten Stufe der Mehrstufen-Vakuumpumpe wird
der geringste Druck erzeugt. Von der letzten Stufe der Mehrstufen-Vakuumpumpe
wird der bezogen auf die Mehrstufen-Vakuumpumpe höchste Druck
erzeugt. So wird beispielsweise von der obersten Vakuumstufe ein
Druck von 10–5 mbar und von der
letzten Vakuumstufe ein Druck von 10–3 mbar
erzeugt. Ein Einlass der obersten Vakuumstufe ist über eine
Saugleitung mit einer der Vakuumkammern verbunden. Die in der obersten
Vakuumstufe vorgesehene Vakuumpumpe, bei der es sich vorzugsweise
um eine Turbomolekularpumpe handelt, fördert somit in Richtung
einer nachgeschalteten Vakuumstufe bzw. in Richtung der letzten
Vakuumstufe.
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Erfindungsgemäß ist
ein Auslass der letzten Vakuumstufe verschlossen. Dies hat zur Folge,
dass das von der vorgeschalteten Vakuumstufe geförderte Medium
gegen die letzte Vakuumstufe verdichtet wird. Das Medium strömt
somit nach Austreten aus der vorgeschalteten Vakuumstufe in Richtung
der letzte Vakuumstufe, wird jedoch nicht durch die Pumpe in der
letzten Vakuumstufe weiter gefördert, sondern strömt
an dem entsprechenden Anschluss der Mehrstufen-Vakuumpumpe nach
außen. Dieser Anschluss wird bei üblicher, nicht
erfindungsgemäßen Verwendung, als Einlass für
die letzte Vakuumstufe verwendet, die im herkömmlichen
Betrieb in Richtung des ursprünglichen Auslasses fördert,
der jedoch erfindungsgemäß verschlossen ist. Das
erfindungsgemäße Verschließen des Auslasses
der letzten Vakuumstufe hat zur Folge, dass in dieser letzten Vakuumstufe
ein vorgegebener Druck, der beispielsweise nicht geringer als 10–3 mbar sein sollte, herrscht. Es ist
somit erfindungsgemäß möglich eine Mehrstufen-Vakuumpumpe
zu verwenden, bei der die Lagerung der vorzugsweise für
alle Stufen gemeinsamen Rotorwelle im Bereich der letzten Vakuumstufe
erfolgt. Die der letzten Vakuumstufe vorgeschalteten Vakuumstufen
weisen somit eine fliegend gelagerte Rotorwelle auf. Wenn in der
letzten Vakuumstufe ein Druck von 10–3 mbar
herrscht und die Mehrstufen-Vakuumpumpe beispielsweise drei Vakuumpumpen aufweist,
ist es möglich, durch die der letzten Vakuumstufe unmittelbar
vorgeschaltete Vakuumstufe einen Druck von 10–8 mbar
und durch die wiederum vorgeschaltete oberste bzw. erste Stufe der
Mehrstufen-Vakuumpumpe sogar einen Druck von 10–10 mbar betriebssicher
zu erzeugen. Durch das erfindungsgemäße Verschließen
des Auslasses der höchsten Vakuumstufe erfolgt bezogen
auf das Vakuum ein Kapseln der Lager innerhalb der höchsten
Vakuumstufe. Hierdurch ist eine Zerstörung von Lagerfett,
das üblicherweise bei Drücken von weniger als
10–3 mbar erfolgt, vermieden. Es
ist erfindungsgemäß somit möglich Mehrstufen-Vakuumpumpen
bzw. MI-Pumpen in Bereichen einzusetzen, in denen dies bisher nicht möglich
war. Durch das erfindungsgemäße Kapseln der letzten
Vakuumstufe bzw. durch das Verschließen des Auslasses der
letzten Vakuumstufe können mit derartigen MI-Pumpen deutlich
geringere Drücke von bis zu 10–10 mbar
erzeugt werden.
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Mit
dem Auslass der letzten wirksamen bzw. mediumfördernden
Vakuumstufe der Mehrstufen-Vakuumpumpe ist eine Vorvakuumpumpe verbunden, wobei
es sich bei der Vorvakuumpumpe, um eine Drehschieber- eine Scroll-,
eine Schrauben, eine Membranpumpe oder wiederum um eine Mehrstufen-Vakuumpumpe
handeln kann.
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Vorzugsweise
weist die Mehrstufen-Vakuumpumpe zusätzlich zu der obersten
und der letzten Vakuumstufe mindestens eine Zwischen-Vakuumstufe
auf. Besonders bevorzugt ist das Verwenden einer Triele-Inlet-Pumpe,
das heißt einer Mehrstufen-Vakuumpumpe mit drei Einlässen
und einem mit der letzten Vakuumstufe verbundenen – erfindungsgemäß verschlossenen – Auslass.
Erfindungsgemäß wird die Mehrstufen-Vakuumpumpe
jedoch nicht wie herkömmlich angeschlossen. Vielmehr werden
nur die Einlässe der obersten Vakuumstufe und der Zwischen-Vakuumstufe
als Einlässe genutzt und über Saugleitungen mit
den entsprechenden Vakuumkammern verbunden. Der Auslass der letzten
Vakuumstufe wird verschlossen und der herkömmlich als dritter
Einlass dienende Einlass der letzten Vakuumstufe wird als Auslass
genutzt. In allgemeiner Form sind beim Vorhandensein mehrere Zwischen-Vakuumstufen
jeweils der Auslass einer Zwischen-Vakuumstufe mit dem Einlass der
nachgeschalteten Zwischen-Vakuumstufe verbunden, wobei der Einlass
jeweils auch mit einem mit einer Vakuumkammern verbundenen Saugrohr
verbunden ist.
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Bei
einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist eine zweite
Mehrstufen-Vakuumpumpe vorgesehen, die ggf. die Vorvakuumpumpe ersetzt. Es
ist jedoch auch möglich, dass der zweiten Mehrstufen-Vakuumpumpe
noch eine zusätzliche Vorvakuumpumpe vorgeschaltet ist.
Vorzugsweise ist somit die zweite Mehrstufen-Vakuumpumpe zwischen der
Vorvakuumpumpe und der ersten Mehrstufen-Vakuumpumpe angeordnet.
Die zweite Mehrstufen-Vakuumpumpe ist vorzugsweise wie vorstehend
anhand der ersten Mehrstufen-Vakuumpumpe beschrieben, ausgebildet
bzw. vorteilhaft weitergebildet. Besonders bevorzugt ist es hierbei,
dass der Einlass der obersten Vakuumstufe der zweiten Mehrstufen-Vakuumpumpe
mit dem Auslass der ersten Mehrstufen-Vakuumpumpe verbunden ist.
Hierbei ist zu berücksichtigen, dass der erfindungsgemäße
Auslass der ersten Mehrstufen-Vakuumpumpe bei herkömmlichem
Anschluss der Mehrstufen-Vakuumpumpe dem dritten Einlass entspricht,
der dort aufgrund des Verschließens des herkömmlichen
Auslasses der letzten Stufe als Auslass genutzt wird.
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Die
Einlässe der obersten Vakuumstufe und/oder der Zwischen-Vakuumstufe
sind jeweils über eine gesonderte Saugleitung mit jeweils
einer Vakuumkammer, in der unterschiedliche Drücke erzeugt
werden, verbunden. Die letzte Vakuumstufe ist nicht mit der Vakuumkammer
verbunden, da die Vakuumpumpe der letzten Vakuumstufe kein Medium aus
einer der Vakuumkammern fördert, sondern als stauende Pumpe
fungiert.
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Bei
einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Mehrstufen-Vakuumpumpen,
bei der es sich insbesondere um eine Dreistufen- Vakuumpumpe handelt,
ist die oberste Vakuumstufe und die mindestens eine Zwischen-Vakuumstufe
als Turbomolekularpumpe ausgebildet. Die letzte Vakuumstufe weist
vorzugsweise eine Holweck-Vakuumpumpe auf.
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In
besonders bevorzugter Ausführungsform ist bei dem Vorsehen
von zwei Mehrstufen-Vakuumpumpen der Auslass der zweiten Mehrstufen-Vakuumpumpe
mit einer Vorvakuumpumpe verbunden. Bei letzterer kann es sich beispielsweise
um eine Drehschieberpumpe oder eine Roots-Pumpe oder ein Vakuumpump-System
handeln.
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Ferner
betrifft die Erfindung die Verwendung einer Mehrstufen-Vakuumpumpe,
insbesondere einer Mehrstufen-Vakuumpumpe wie vorstehend beschrieben.
Die Mehrstufen-Vakuumpumpe weist mehrere Anschlüsse auf,
wobei ein Auslass der letzten Vakuumstufe verschlossen ist. Hierdurch
sind die bei Mehrstufen-Vakuumpumpen im Bereich der letzten Vakuumstufe
angeordneten Lager gekapselt. Vorzugsweise ist die Mehrstufen-Vakuumpumpe
wie vorstehend anhand des Vakuumpump-Systems beschrieben, angeschlossen
und erfindungsgemäß weitergebildet.
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Nachstehend
wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen
näher erläutert.
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Es
zeigen:
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1 eine
schematische Ansicht einer ersten einfachen Ausführungsform,
und
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2 eine
bevorzugte Ausführungsform zur Erzeugung von Hochvakuum
in der letzten Kammer des Vakuumpump-Systems.
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In 1 ist
eine prinzipielle Grund-Ausführungsform der Erfindung dargestellt.
In diesem Ausführungsbeispiel weist das Vakuumpump-System drei Vakuumkammern 10, 11, 12 auf.
Hierbei wird in einer ersten Vakuumkammern 10 beispielsweise
ein noch relativ hoher Druck von 3 bis 4 mbar, in der sich anschließenden
Vakuumkammer 11 ein niedrigerer Druck von 10–3 mbar
und in der letzten Vakuumkammer 12 der niedrigste Druck
von 10–5 mbar erzeugt. In den Vakuumkammer 10, 11, 12 erfolgt
beispielsweise ein Untersuchen eines durch eine Zuleitung 14 zugeführten
Gases. Dieses kann in der Kammer 10 ionisiert werden. Durch
ein elektrisches Feld wird sodann ein Ionenstrahl erzeugt, der durch
die Öffnung 16 in die zweite Kammer 11 gelangt.
In dieser erfolgt ggf. bereits ein erstes Untersuchen des Gases
mit Hilfe von Massen-Spektroskopie oder anderen Analyseverfahren.
Durch weitere Ionisierung oder Trennung der Teilchen mittels elektrischer
Felder wird ein für die weitere Untersuchung erzeugter
Ionenstrahl durch die Öffnung 18 in die dritte
Kammer 12 geleitet. In dieser erfolgt sodann beispielsweise
eine Analyse durch Massen-Spektroskopie.
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Das
Vakuum in der ersten Vakuumkammer 10 wird im dargestellten
Ausführungsbeispiel durch Verbinden der Vakuumkammer 10 über
eine Saugleitung 20 mit einer Vorvakuumpumpe 22 erzeugt.
Bei der Vorvakuumpumpe handelt es sich beispielsweise um eine Drehschieberpumpe
Die Vorvakuumpumpe 22 fördert das aus der Kammer 10 abgepumpte
Gas gegen die Atmosphäre in Richtung eines Pfeils 24.
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Erfindungsgemäß ist
zur Erzeugung eines Vakuums in den Vakuumkammer 11, 12 eine
Mehrstufen-Vakuumpumpe 26 vorgesehen. Hierbei handelt es
sich beispielsweise um eine Vakuumpumpe mit drei Einlässen
der Anmelderin, die beispielsweise unter der Bezeichnung Turbovac,
TW 400/300/25 vertrieben wird. Die erfindungsgemäß vorgesehene Mehrstufen-Vakuumpumpe 26 weist
drei Vakuumpumpen 28, 30, 32 auf. Ferner
weist die Mehrstufen-Vakuumpumpe 26 vier Anschlüsse 34, 36, 38, 40 auf.
Im herkömmlichen Betrieb handelt es sich bei den Anschlüssen 34, 36, 38,
um Einlässe und bei dem Anschluss 40 um den Auslass.
Erfindungsgemäß erfolgt jedoch ein anderes Anschließen
der Mehrstufen-Vakuumpumpe 26. Die beiden Anschlüsse 34, 36 dienen
als Einlässe und sind dementsprechend mit Saugrohren 42, 44 verbunden,
die jeweils mit der Kammer 12 bzw. 11 verbunden
sind. Der dritte, üblicherweise ebenfalls als Einlass dienende
Anschluss 28 ist erfindungsgemäß als
Auslass genutzt und über eine Leitung 46 mit dem
Saugrohr 20 zusammengeführt und mit der Vorvakuumpumpe 22 verbunden.
Der üblicherweise als Auslass dienende Anschluss 40 ist
verschlossen.
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Zur
Erzeugung des im dargestellten Ausführungsbeispiel niedrigsten
Druck in der Vakuumkammer 12 erfolgt ein Absaugen durch
die Saugleitung 42 mittels der Pumpe 28, bei der
es sich üblicherweise um eine Turbomolekularpumpe handelt.
Die Pumpe 28 bildet somit die oberste Vakuumstufe. Die Pumpe 28 pumpt
das Medium in Richtung der nachfolgenden Vakuumstufe nächst
höheren Drucks, die durch die Pumpe 30 gebildet
ist, bei der es sich üblicherweise ebenfalls um eine Turbomolekularpumpe handelt.
Die Turbomolekularpumpe 30 ist nicht nur über
eine Verbindungsleitung 48 mit der Pumpe 28 sondern
auch mit der Saugleitung 44 verbunden, durch die Gas aus
der Kammer 11 gesaugt wird. Die Pumpe 30 fördert
das Medium über den erfindungsgemäß als
Auslass dienenden Anschluss 38 durch das Rohr 46 in
Richtung der Vorvakuumpumpe 22. Die Pumpe 32,
bei der es sich üblicherweise um eine Holweck-Pumpe handelt,
pumpt gegen den verschlossenen Auslass 40.
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Da
der Auslass 40 verschlossen ist, herrscht innerhalb der
Mehrstufen-Vakuumpumpe 26 im Bereich der letzten Vakuumstufe,
die durch die Pumpe 32 gebildet ist, ein relativ hoher
Druck. Dieser ist im dargestellten Ausführungsbeispiel
größer als 10–3 mbar.
Die erfindungsgemäß vorzugsweise verwendeten Mehrstufen-Vakuumpumpen
sind derart aufgebaut, dass die Rotoren sämtlicher Pumpen 28, 30, 32 auf
einer gemeinsamen Welle angeordnet sind. Die Welle ist im Bereich
der letzten Vakuumstufe, das heißt im Bereich der Pumpe 32,
gelagert. Die Rotoren der Pumpen 28, 30 sind fliegend
gelagert. Das erfindungsgemäße Anschließen
der Mehrstufen-Vakuumpumpe durch Verschließen des Auslasses 40 und Nutzen
des Anschlusses 38 als Auslass hat zur Folge, dass die
Lager in der letzten Vakuumstufe, das heißt im Bereich
der Pumpe 32, vor zu niedrigem Druck geschützt
sind.
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Im
dargestellten Ausführungsbeispiel bildet die Pumpe 28 somit
die oberste Vakuumstufe, die Pumpe 30 die Zwischen-Vakuumstufe
und die Pumpe 32 die letzte Vakuumstufe der Mehrstufen-Vakuumpumpe 26.
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Eine
weitere gegenüber der 1 vereinfachte
Ausführungsform besteht darin, dass die Mehrstufen-Vakuumpumpe
nur zwei Anschlüsse sowie einen Auslass und dementsprechend
nur zwei Pumpen aufweist. Ein derartiges System kann sodann zusammen
mit einer Vorvakuumpumpe 22 beliebiger Bauart zur Erzeugung
von Vakuum in zwei Kammern verwendet werden. Bezogen auf die 1 entfällt
bei diesem System die Vakuumkammer 12, die Pumpe 28 und
die entsprechenden Anschlüsse.
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Bei
dem in 2 dargestellten Ausführungsbeispiel wird
in insgesamt fünf Vakuumkammern, das heißt in
den Vakuumkammern 10, 11, 12 und zwei
zusätzlichen Vakuumkammern 50, 52 Vakuum
erzeugt. Beispielsweise wird in der Kammer 50 ein Vakuum von
10–8 mbar und in der Vakuumkammer 52 ein
Vakuum von 10–10 mbar erzeugt.
Hierdurch ist eine genauere Analyse in den weiteren Kammern 50, 52 möglich,
wobei entsprechend dem in 1 dargestellten
Ausführungsbeispiel die Analysevorrichtungen nicht dargestellt
sind.
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In
dem in 2 dargestellten Ausführungsbeispiel sind
die selben oder ähnliche Bauteile mit den selben Bezugszeichen
bezeichnet.
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Die
Kammer 50 ist über eine Öffnung 49 mit der
Kammer 12 und die Kammer 52 über ein Öffnung 51 mit
der Kammer 50 verbunden.
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Erfindungsgemäß sind
in diesem Ausführungsbeispiel zwei Mehrstufen-Vakuumpumpen 26 vorgesehen,
die im Wesentlichen wie anhand 1 aufgebaut
sind.
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Die
in 2 rechte, erste Mehrstufen-Vakuumpumpe 26 weist
wiederum eine oberste, durch die Pumpe 28 ausgebildete
Stufe, eine zwischen durch die Pumpe 30 ausgebildete Vakuumstufe
und eine letzte durch die Pumpe 32 ausgebildete Vakuumstufe auf.
Die beiden Stufen 28, 30 sind über Saugleitungen 56, 58 mit
den Kammern 52 bzw. 50 verbunden. Der Auslass 40 der
letzten Vakuumstufe 32 ist wiederum verschlossen, so dass
das Medium über den Anschluss 38 aus der Mehrstufen-Vakuumpumpe 26 in
eine Leitung 60 gefördert wird. Die Leitung 60 ist mit
der Vakuumkammer 12 sowie der zweiten in 2 linken
Mehrstufen-Vakuumpumpe 26 verbunden.
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Die
bezogen auf die zweite bzw. linke Mehrstufen-Vakuumpumpe 26 oberste
durch die Pumpe 28 gebildete Vakuumstufe pumpt somit das
Medium in Richtung der durch die Pumpe 30 gebildeten Zwischen-Vakuumstufe
der zweiten Mehrstufen-Vakuumpumpe 26, wobei gleichzeitig
aus der Kammer 11 Medium durch die Saugleitung 62 angesaugt
wird. Über den wiederum als Auslass dienenden Anschluss 38 wird
das Medium in die Leitung 64 gepumpt, die mit der Saugleitung 20 zusammengeführt ist.
Die letzte, durch die Pumpe 32 gebildete Vakuumstufe der
zweiten Mehrstufen-Vakuumpumpe 26 pumpt wiederum gegen
den verschlossenen Auslass 40.
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Da
erfindungsgemäß die beiden Mehrstufen-Vakuumpumpen
vorzugsweise jeweils derart aufgebaut sind, dass die drei Pumpen 28, 30, 32 von
einer gemeinsamen Welle getragen werden, deren Lagerung im Bereich
der letzten Vakuumstufe, das heißt im Bereich der Pumpe 32 erfolgt,
ist es erfindungsgemäß möglich, auch
mit Mehrstufen-Vakuumpumpen Drücke von 10–10 mbar
zu erzeugen. Dies ist bei einem herkömmlichen Anschluss
einer Mehrstufen-Vakuumpumpe nicht möglich, da die sich
in dem Bereich der letzten Vakuumstufe 32 befindlichen
Lager beschädigt würden.
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Bei
dem in 2 dargestellten Ausführungsbeispiel dient
die in 2 linke, zweite Mehrstufen-Vakuumpumpe 26 somit
als Vorvakuumpumpe bezogen auf die erste in 2 rechte
Mehrstufenvakuumpumpe 26.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - DE 4331589 [0004, 0005]