DE60317659T2 - Vakuumpumpe und verfahren zur erzeugung von unterdruck - Google Patents
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Description
- TECHNISCHES GEBIET
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine Pumpe zur Erzeugung von Unterdruck oder Vakuum, wobei die Pumpe eine Pumpe vom Schraubenspindel-Typ in Verbindung mit einem Ejektor umfasst. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Bereitstellung von Unterdruck in einem industriellen Verfahren.
- HINTERGRUND UND STAND DER TECHNIK
- Vakuumpumpen vom Schraubenspindel-Typ sind bereits bekannt, z. B. aus der
SE 0002129-5 US-A-3 265 293 . Schraubenspindelpumpen dieser Art umfassen einen Kompressionsbereich, worin in einander greifende Rotorkörper zur Kompression eines Gases, das zwischen die Rotorkörper eingezogen wird, rotieren. Der Kompressionsbereich wird durch einen Expansionsbereich angetrieben, der in einander greifende Rotorkörper aufweist, die durch die Expansion eines Antriebsgases, wie z. B. Pressluft, das in den Expansionsbereich eingeführt wird, dazu veranlasst werden, zu rotieren. - Durch Druckluft-betriebene Vakuumpumpen vom Ejektor-Typ zur Erzeugung eines Unterdrucks sind z. B. bereits aus
SE 9800943-4 - Diese zwei Arten von Pumpen weisen verschiedene Betriebscharakteristika auf. In diesem Zusammenhang ist der Ejektor durch einen schnellen anfänglichen Effekt innerhalb eines oberen Druckbereichs unter Atmosphärendruck charakterisiert, während die Schraubenspindelpumpe durch eine höhere Effizienz innerhalb eines niedrigeren Druckbereichs charakterisiert ist. Die Schraubenspindelpumpe ist auch durch einen beträchtlichen Temperaturanstieg im komprimierten Gas oder Luft nach Auslass aus dem Kompressionsbereich der Schraubenspindelpumpe charakterisiert.
- In Industrieanlagen, die auf Vakuumbetrieb angewiesen sind, besteht das Bedürfnis, die zur Evakuierung eines Raums, wie z. B. dem Luftvolumen, das unter einer Saugkammer eingeschlossen ist, erforderlichen Wiederholungen zu reduzieren. Eine Methode zur Befriedigung dieses Wunsches ist es, die Produktion von Unterdruck zu dezentralisieren, indem man die Vakuumquellen in der Nähe der Vakuumverbraucher positioniert, und so lange Wege zur Verteilung von Unterdruck und Verringerung des Gesamtvolumens von zu evakuierender Luft vermeidet. Bei bestimmten Anwendungen, die durch Unterdrück betrieben werden, kann jedoch die erhöhte Temperatur in der komprimierten Auslassluft der Schraubenspindelpumpe eine freie Dezentralisierung der Vakuumquellen blockieren. Dies trifft z. B. in der pharmazeutischen und Nahrungsmittelindustrie sowie in der Verpackungsindustrie zu.
- Die vorliegende Erfindung zielt darauf ab, dem vorstehenden Bedürfnis zu entsprechen, und die vorstehend angesprochenen Probleme durch Bereitstellen einer Vakuumpumpe, die eine Schraubenspindelpumpe ver bunden mit einem Ejektor aufweist, wie im anliegenden Vorrichtungsanspruch 1 und anliegendem Verfahrensanspruch 8 definiert, zu lösen.
- ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
- Die Erfindung stellt eine Vakuumpumpe bereit, die eine Schraubenspindelpumpe mit einem Kompressionsbereich und einem Expansionsbereich umfasst, wobei der Auslass aus dem Kompressionsbereich mit mindestens einem Ejektor zum Ablassen von komprimiertem Gas durch den Ejektor in Verbindung steht, und worin der Expansionsbereich über eine erste Ventileinrichtung mit einer Quelle für Antriebsgas verbunden werden kann, um die Schraubenspindelpumpe und den Ejektor parallel zu betreiben.
- Das Ventil ist vorzugsweise so angeordnet, um die Schraubenspindelpumpe mit der gleichen Quelle für Antriebsgas, die den Ejektor betreibt, zu verbinden, und das Ventil wird zum Betreiben der Schraubenspindelpumpe in Reaktion auf einen durch den Ejektor ausgebildeten Unterdruck geöffnet.
- Zusätzlich kann eine zweite Ventileinrichtung vorgesehen sein, um eine Evakuierverbindung zum Ejektor zu schließen, wenn die erste Ventileinrichtung geöffnet ist, um die Schraubenspindelpumpe anzutreiben. Vorzugsweise steht der Expansionsbereich der Schraubenspindelpumpe mit dem Auslassbereich des Ejektors in Verbindung, um die Auslassgase aus dem Ejektor mit Antriebsgas, das durch die Schraubenspindelpumpe entspannt wird, zu vermischen.
- Bereitgestellt wird auch ein Verfahren zur Versorgung eines industriellen Verfahrens mit Unterdruck, worin zuerst mindestens ein Ejektor verwendet wird, um den Druck auf ein vorbestimmtes niedrigeres Niveau zu verringern, von wo aus der Druck mit Hilfe einer Schraubenspindelpumpe, die so angeordnet ist, um durch und parallel mit dem Ejektor zu arbeiten, weiter vermindert wird.
- Weitere Ausgestaltungen und Vorteile sind in den Unteransprüchen definiert.
- ZEICHNUNGEN
- Die Erfindung wird nachstehend weiter erläutert, wobei Bezug auf die anliegenden Zeichnungen genommen wird, worin bedeuten:
-
1 ein Fließschema und -diagramm, das eine typische Anordnung in einer erfindungsgemäßen Vakuumpumpe zeigt, und -
2 ist ein Ausführungsbeispiel, das die erfinderische Anordnung der1 , realisiert durch den Verbund einer Schraubenspindelpumpe und eines Ejektors in einer Pumpenstruktur, zeigt. - DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
- In
1 ist schematisch eine Vakuumpumpe dargestellt, die eine Schraubenspindelpumpe2 in Verbund mit mindestens einem Ejektor1 zeigt. Der Ejektor1 kann z. B. ein Mehrstufen-Ejektor sein, der durch Druckluft aus einer Hochdruckquelle P über die Leitung3 betrieben wird. Durch Entspannung durch die Düsen des Ejektors erzeugt die Druckluft oder ein anderes Antriebsgas einen Unterdruck, der verursacht, dass sich Klappenventile in den Ejektoröffnungen öffnen und mit einer Evakuierungskammer über eine Leitung4 in Verbindung stehen. Das Antriebsgas und das evakuierte Gas oder Luft werden aus der Ejektoröffnung, wie durch den Pfeil p veranschaulicht, abgeführt. - Von einem vorbestimmten Druckniveau unterhalb von Atmosphärendruck ausgehend, ist die Schraubenspindelpumpe
2 vorgesehen, um parallel mit dem Ejektor1 zu arbeiten. Für diesen Zweck ist ein elektrisch betriebenes Druckluftventil5 angeordnet, um Antriebsgas zur Schraubenspindelpumpe über eine Leitung6 zu liefern, wenn der Druck in der evakuierten Kammer V auf ein vorbestimmtes niedrigeres Niveau reduziert ist, wie z. B. 300 mbar, verringert von einem Atmosphärendruck von ca. 1000 mbar. Ein elektrisch oder Vakuum-betriebenes Ventil oder ein Einwegventil können gleichzeitig betrieben werden, um die direkte Verbindung über die Leitung4 zwischen dem Ejektor und der evakuierten Kammer V zu schließen. Vorteilhafterweise wird ein Vakuumrelais, in1 nicht dargestellt, angeordnet, um den Druck in der evakuierten Kammer V zu überwachen, um das Ventil/die Ventile zu steuern. - Die Schraubenspindelpumpe
2 umfasst einen Expansionsbereich7 , der in einander wirkende Rotoren aufweist, die durch das entspannende Antriebsgas angetrieben werden. Der Entspannungsbereich7 betreibt einen Kompressionsbereich8 , der in einander wirkende Rotoren aufweist, der mit der evakuierten Kammer V über eine Einlassöffnung9 in Verbindung steht und mit dem Ejektor1 über eine Auslassöffnung10 in Verbindung steht. Der Auslass vom Expansionsbereich7 der Schraubenspindel steht mit der Ejektoröffnung über eine Leitung11 in Verbindung. Die Leitung11 öffnete sich stromabwärts von der Ejektoröffnung, um das entspannte Antriebsgas aus der Schraubenspindelpumpe in den Abstrom aus dem Ejektor einzuführen. Auf diese Weise wird entspanntes Antriebsgas niedrigerer Temperatur mit dem Abgas aus dem Ejektor gemischt, wobei letzteres das komprimierte Gas erhöhter Temperatur aus der Schraubenspindelpumpe umfasst.2 veranschaulicht schematisch ein Ausführungsbeispiel und schlägt eine Realisierung der Anordnung der1 durch Verbund einer Schraubenspindelpumpe und eines Ejektors in einer üblichen Pumpenstruktur vor. Die Strukturdetails sind aus Gründen der Klarheit aus der Zeichnung weggelassen. - Die Vakuumpumpe
100 umfasst einen Vakuumstutzen V, die zur Verbindung mit einem durch Vakuum betriebenen Verfahren angeordnet ist, ein Einlassstutzen101 für Antriebsgas und ein Auslassstutzen102 für Antriebsgas und evakuiertes Gas. In dieser Ausführungsform ist der Ejektor103 als Mehrstufen-Ejektor dargestellt, der in Reihe angeordnete Düsen104 aufweist, und Öffnungen105 , die mit dem Vakuumstutzen V über einen Durchgang106 in Verbindung stehen. Die Fließverbindung durch den Durchgang106 wird durch ein Einwegventil gesteuert, oder durch ein vakuumgesteuertes oder elektrisch gesteuertes Ventil107 vom NO-Typ (normalerweise offen). Der Ejektor kann von dem Typ sein, der mit einen rotationssymmetrischen Körper, der Öffnungen105 und Klappenventile108 in der Zylinderwand des Ejektors integriert aufweist, mit Öffnungen an der Innenseite einer Muffe109 , ausgebildet ist. - Eine in der Pumpe
100 eingebaute Schraubenspindelpumpe umfasst einen Expansionsbereich110 und einen Kompressionsbereich111 . Der Expansionsbereich weist in einander greifende positive und negative Rotorkörper auf, die über Wellen112 mit entsprechenden Rotorkörpern des Kompressionsbereichs operativ verbunden sind, um die Rotationsbewegungen zwischen den Rotorkörpern zu übertragen. Für eine umfassende Beschreibung der Struktur und den Betrieb einer Schraubenspindelpumpe wird auf die Literatur Bezug genommen, weil Schraubenspindelpumpen an sich üblich sind, und die weitere Beschreibung sich auf die unterscheidenden technischen Merkmale der vorliegenden Erfindung bezieht. - Der Expansionsbereich
110 weist einen Einlass113 für Antriebsgas auf, geliefert über den Antriebsgaseinlass101 als Ergebnis des Öffnens eines elektrisch gesteuerten Druckluftventils114 vom NC-Typ (norma lerweise geschlossen). Der Auslass115 des Expansionsbereiches steht mit dem Pumpenauslass102 über eine Leitung116 in Verbindung und öffnet sich stromabwärts von der Ejektoröffnung. Der Kompressionsbereich111 steht mit dem Vakuumstutzen V über einen Einlass117 für aus der Vakuumöffnung evakuiertem Abzugsgas in Verbindung und mit dem Ejektor103 über einen Auslass118 zum Ablassen von komprimiertem Gas in Verbindung. Obwohl in der Zeichnung bloß angedeutet, werden die Rotorkörper der Schraubenspindelpumpe zur Rotation im Pumpenkörper für eine gasdichte und reibungsverringerte Rotation bei entsprechenden Rotationsgeschwindigkeiten gelagert. - Es wird nun der Betrieb der Vakuumpumpe
100 erläutert. Antriebsgas, im allgemeinen Luft, wird über den Ejektor103 zugeführt, was die Ejektoröffnung105 dazu veranlasst, als Ergebnis des zwischen den Ejektordüsen erzeugten Druckabfalls zu öffnen, und Gas wird gegen den Ejektor aus dem Vakuumstutzen V auf an sich bekannte Weise abgezogen. Nach Erreichen eines vorbestimmten Unterdruckniveaus, z. B. 300 mbar, das mittels eines Vakuumrelais oder des druckbetriebenen Ventils107 verfolgt und bestimmt wird, öffnet sich das Ventil114 , um Antriebsgas über den Einlass113 zum Expansionsbereich110 der Schraubenspindelpumpe zu leiten. Das sich expandierende Antriebsgas zwingt die Rotorkörper des Expansionsbereichs zur Rotation, und das entspannte Antriebsgas wird über die Auslassöffnung115 und die Leitung116 zum Ejektorablass102 stromabwärts von der Ejektoröffnung ausgeführt. Das aus dem Expansionsbereich ausgeführte entspannte Antriebsgas weist eine niedrige relative Temperatur auf, die typischerweise in der Größenordnung von 10°C oder weniger liegt. - Der Expansionsbereich
110 arbeitet wie ein Motor, dessen Rotation über Wellen112 zum Kompressionsbereich111 der Schraubenspindelpumpe übertragen wird. Auf diese Weise wird Gas vom Vakuumstutzen V über den Einlass117 in den Kompressionsbereich gezogen, wo es komprimiert und an den Ejektor über den Auslass118 aus dem Kompressionsbereich abgelassen wird. Das komprimierte Gas weist eine erhöhte Temperatur auf, typischerweise in der Größenordnung von 60°C und sogar mehr, z. B., wenn der Druck an der Vakuumöffnung auf ca. 5 mbar verringert ist. Das heiße komprimierte Gas wird in den Ejektor gezogen, um mit dem durch den Ejektor hindurch gezwungenen Antriebsgas gemischt zu werden, und weiter mit dem entspannten Antriebsgas des Expansionsbereichs der Schraubenspindelpumpe stromabwärts von der Ejektoröffnung gemischt zu werden. Auf diese Weise hat das Gas oder die Luft, die aus der Auslassöffnung102 ausgeführt wird, nach dem Ablassen normale Raumtemperatur oder sogar weniger erreicht. - Die Vakuumpumpe
100 ist durch einen schnellen anfänglichen Effekt innerhalb einer oberen Druckregion unterhalb von Atmosphärendruck charakterisiert, und eine hohe Effizienz innerhalb eines niedrigeren Druckbereichs, bis hinunter zu sehr geringen Drücken oder Vakuum. Diese betrieblichen Vorteile werden durch den Verbund eines Ejektors und einer Schraubenspindelpumpe erzielt. Erfindungsgemäß wird die Effizienz weiter durch einen Verbund erhöht, durch den die Schraubenspindelpumpe über den Ejektor betrieben wird. Durch eine extensive Verwendung des Antriebsgases zum Kühlen des komprimierten Gases, das die Schraubenspindelpumpe verlässt, kann die erfindungsgemäße Pumpe in dezentralisierten Vakuumsystemen betrieben werden, und ebenfalls bei Anwendungen, wo die Temperatur kritisch ist, und worin ein so niedrig wie möglicher Druck gewünscht wird. - Die vorliegende Erfindung kann in von den obigen Ausführungsformen verschiedenen Ausführungsformen realisiert werden. Es können z. B. mehrere Ejektoren verbunden sein, um parallel von ein und derselben An triebsgasquelle betrieben zu werden. In Anwendungen, bei denen die Temperatur weniger kritisch ist, kann das Antriebsgas aus der Schraubenspindelpumpe getrennt aus dem Expansionsbereich abgeführt werden. Eine andere Modifikation kann vorsehen, dass das entspannte Antriebsgas über Leitungen vom Expansionsbereich zum Abkühlen des Kompressionsbereichs oder seinem Auslass zirkuliert wird. Anstelle eines druckgesteuerten Ventils kann die Verbindung zwischen dem Vakuumstutzen und dem Ejektor ein automatisches Einwegventil aufweisen, und ein Vakuumrelais kann vorgesehen sein, um ein Signal zu erzeugen, das das Ventil im Einlass zum Expansionsbereich aktiviert. Alle diese und andere Modifikationen, die für einen Durchschnittsfachmann beim Lesen dieser Patentspezifikation als offensichtlich angesehen werden, waren vorhersehbar und sind von der Erfindung, wie beansprucht, umfasst.
Claims (10)
- Vakuumpumpe, umfassend eine Schraubenspindelpumpe mit einem Kompressionsbereich (
8 ) und eifern Expansionsbereich (7 ), dadurch gekennzeichnet, dass ein Auslass (10 ) aus dem Kompressionsbereich mit zumindest einem Ejektor (1 ) in Verbindung steht, um komprimiertes Gas durch den Ejektor zu entlassen, und dass der Expansionsbereich (7 ) über eine erste Ventileinrichtung (5 ) mit einer Quelle (P) für Antriebsgas verbunden werden kann, um die Schraubenspindelpumpe und den Ejektor parallel zu betreiben. - Die Vakuumpumpe gemäß Anspruch 1, wobei Ventileinrichtung (
5 ) so vorgesehen ist, dass die Schraubenspindelpumpe (7 ,8 ) mit derselben Quelle für Antriebsgas, die den Ejektor (1 ) betreibt, verbunden werden kann und wobei die Ventileinrichtung auf einen durch den Ejektor erzeugten Unterdruck hin geöffnet wird, um die Schraubenspindelpumpe zu betreiben. - Die Vakuumpumpe gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei eine zweite Ventileinrichtung vorgesehen ist, um eine Evakuierverbindung (
4 ) zu dem Ejektor zu schließen, wenn die erste Ventileinrichtung geöffnet ist, um die Schraubenspindelpumpe zu betreiben. - Die Vakuumpumpe gemäß Anspruch 1, wobei der Expansionsbereich (
7 ) der Schraubenspindelpumpe mit einem Auslass (102 ) des Ejektors in Verbindung (11 ) steht, um die Auslassgase des Ejektors mit Antriebsgas, das durch die Schraubenspindelpumpe entspannt wird, zu vermischen. - Die Vakuumpumpe gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, wobei der Ejektor ein mehrstufiger Ejektor ist.
- Die Vakuumpumpe gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Schraubenspindelpumpe und der Ejektor integral in einem gemeinsamen Pumpenkörper angeordnet sind.
- Die Vakuumpumpe gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die erste Ventileinrichtung (
5 ) zum Versorgen der Schraubenspindelpumpe mit Antriebsgas ein elektrisch kontrolliertes Ventil vom NC-Typ ist, und die zweite Ventileinrichtung zum Verschließen der Evakuierverbindung (4 ) zu dem Ejektor ein elektrisch kontrolliertes Ventil vom NO-Typ ist. - Verfahren zum Beaufschlagen eines industriellen Verfahrens mit Unterdruck, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Ejektor (
1 ) zuerst verwendet wird, um den Druck auf ein vorbestimmtes niederes Niveau zu bringen, von wo aus der Druck mit Hilfe einer Schraubenspindelpumpe (7 ,8 ), die so vorgesehen ist, dass sie durch und parallel zu dem Ejektor arbeitet, weiter vermindert wird. - Das Verfahren gemäß Anspruch 8, wobei das Antriebsgas für die Schraubenspindelpumpe mit dem Auslassgas des Ejektors vermischt wird, um die Temperatur des Auslassgases zu vermindern.
- Das Verfahren gemäß Anspruch 8, wobei die Schraubenspindelpumpe und der Ejektor durch ein und dieselbe Antriebsgasquelle (P) betrieben wird, und das Antriebsgas über eine Ventileinrichtung (
15 ) zu der Schraubenspindelpumpe in Folge eines durch den Ejektor erzeugten Unterdrucks geleitet wird.
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE60317659D1 DE60317659D1 (de) | 2008-01-03 |
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WO (1) | WO2003093678A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009047083A1 (de) * | 2009-11-24 | 2011-05-26 | J. Schmalz Gmbh | Druckluftbetriebener Unterdruckerzeuger oder Unterdruckgreifer |
DE102012220442A1 (de) * | 2012-11-09 | 2014-05-15 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpensystem zur Evakuierung einer Kammer sowie Verfahren zur Steuerung eines Vakuumpumpensystems |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100624563B1 (ko) | 2004-11-18 | 2006-09-18 | 오토르 주식회사 | 이젝터 펌프 |
KR100629994B1 (ko) * | 2005-12-30 | 2006-10-02 | 한국뉴매틱(주) | 진공 이젝터 펌프 |
KR100730323B1 (ko) * | 2007-03-15 | 2007-06-19 | 한국뉴매틱(주) | 필터 카트리지를 이용한 진공 시스템 |
ATE548268T1 (de) * | 2008-11-06 | 2012-03-15 | 4F4Fresh Ab | Vorrichtung für das verpacken von lebensmitteln |
IL215426A (en) * | 2011-09-27 | 2017-10-31 | Dan Geva | Complex vacuum pump |
GB2509183A (en) * | 2012-12-21 | 2014-06-25 | Xerex Ab | Vacuum ejector with tripped diverging exit flow nozzle |
GB2509184A (en) * | 2012-12-21 | 2014-06-25 | Xerex Ab | Multi-stage vacuum ejector with moulded nozzle having integral valve elements |
GB2509182A (en) | 2012-12-21 | 2014-06-25 | Xerex Ab | Vacuum ejector with multi-nozzle drive stage and booster |
JP6575013B2 (ja) | 2012-12-21 | 2019-09-18 | ピアブ・アクチエボラグ | 楕円形の末広がりセクションを有する真空エジェクタノズル |
FR3008145B1 (fr) * | 2013-07-04 | 2015-08-07 | Pfeiffer Vacuum Sas | Pompe a vide primaire seche |
DE102013107537B4 (de) * | 2013-07-16 | 2015-02-19 | J. Schmalz Gmbh | Mehrstufiger Ejektor |
US20150167697A1 (en) * | 2013-12-18 | 2015-06-18 | General Electric Company | Annular flow jet pump for solid liquid gas media |
WO2015144254A1 (fr) * | 2014-03-24 | 2015-10-01 | Ateliers Busch Sa | Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide |
US20170045051A1 (en) * | 2014-05-01 | 2017-02-16 | Ateliers Busch Sa | Pumping method in a system for pumping and system of vacuum pumps |
EP3201469B1 (de) * | 2014-10-02 | 2020-03-25 | Ateliers Busch S.A. | Pumpsystem zur vakuumerzeugung und verfahren zum pumpen mit diesem pumpsystem |
GB201418117D0 (en) | 2014-10-13 | 2014-11-26 | Xerex Ab | Handling device for foodstuff |
KR101685998B1 (ko) | 2016-09-21 | 2016-12-13 | (주)브이텍 | 프로파일을 이용한 진공 펌프 |
US10598285B2 (en) | 2017-03-30 | 2020-03-24 | Quest Engines, LLC | Piston sealing system |
US10590813B2 (en) | 2017-03-30 | 2020-03-17 | Quest Engines, LLC | Internal combustion engine |
US10465629B2 (en) | 2017-03-30 | 2019-11-05 | Quest Engines, LLC | Internal combustion engine having piston with deflector channels and complementary cylinder head |
US10753308B2 (en) | 2017-03-30 | 2020-08-25 | Quest Engines, LLC | Internal combustion engine |
US10989138B2 (en) | 2017-03-30 | 2021-04-27 | Quest Engines, LLC | Internal combustion engine |
US10590834B2 (en) | 2017-03-30 | 2020-03-17 | Quest Engines, LLC | Internal combustion engine |
US11041456B2 (en) | 2017-03-30 | 2021-06-22 | Quest Engines, LLC | Internal combustion engine |
US10526953B2 (en) | 2017-03-30 | 2020-01-07 | Quest Engines, LLC | Internal combustion engine |
US10724428B2 (en) | 2017-04-28 | 2020-07-28 | Quest Engines, LLC | Variable volume chamber device |
US10883498B2 (en) | 2017-05-04 | 2021-01-05 | Quest Engines, LLC | Variable volume chamber for interaction with a fluid |
US11060636B2 (en) | 2017-09-29 | 2021-07-13 | Quest Engines, LLC | Engines and pumps with motionless one-way valve |
WO2019147963A1 (en) | 2018-01-26 | 2019-08-01 | Quest Engines, LLC | Method and apparatus for producing stratified streams |
WO2019147797A2 (en) | 2018-01-26 | 2019-08-01 | Quest Engines, LLC | Audio source waveguide |
KR102344214B1 (ko) * | 2021-05-18 | 2021-12-28 | (주)브이텍 | 진공 이젝터 펌프 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB966752A (en) * | 1959-09-08 | 1964-08-12 | Svenska Rotor Maskiner Ab | Improvements in and relating to screw rotor compressors or vacuum pumps |
SE427955B (sv) * | 1980-05-21 | 1983-05-24 | Piab Ab | Multiejektor |
DE3025525A1 (de) * | 1980-07-05 | 1982-01-28 | Jürgen 4477 Welver Volkmann | Ejektorvorrichtung |
GB2208411B (en) * | 1987-06-25 | 1990-10-31 | Plessey Co Plc | Rotary pump system |
US4880358A (en) * | 1988-06-20 | 1989-11-14 | Air-Vac Engineering Company, Inc. | Ultra-high vacuum force, low air consumption pumps |
KR100190310B1 (ko) * | 1992-09-03 | 1999-06-01 | 모리시따 요오이찌 | 진공배기장치 |
DE19524609A1 (de) * | 1995-07-06 | 1997-01-09 | Leybold Ag | Vorrichtung zum raschen Evakuieren einer Vakuumkammer |
SE511716E5 (sv) * | 1998-03-20 | 2009-01-28 | Piab Ab | Ejektorpump |
IL125791A (en) * | 1998-08-13 | 2004-05-12 | Dan Greenberg | Vacuum pump |
SE9903287L (sv) * | 1999-09-15 | 2000-11-20 | Piab Ab | Koppling vid ejektor, samt moduluppbyggt aggregat för alstrande av undertryck med hjälp av åtminstone en tryckluftdriven ejektor |
SE517211C2 (sv) | 2000-06-07 | 2002-05-07 | Svenska Rotor Maskiner Ab | Tryckluftdriven vakuumpump av skruvrotortyp |
US6682313B1 (en) * | 2000-12-04 | 2004-01-27 | Trident Emergency Products, Llc | Compressed air powered pump priming system |
DE60101368T2 (de) * | 2001-02-22 | 2004-10-14 | Varian S.P.A., Leini | Vakuumpumpe |
WO2003065781A1 (en) * | 2002-01-29 | 2003-08-07 | Telefonaktiebolaget Lm Ericsson | Cabinet cooling |
-
2002
- 2002-05-03 SE SE0201335A patent/SE519647C2/sv not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-04-29 WO PCT/SE2003/000679 patent/WO2003093678A1/en active IP Right Grant
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- 2003-04-29 US US10/513,296 patent/US7452191B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009047083A1 (de) * | 2009-11-24 | 2011-05-26 | J. Schmalz Gmbh | Druckluftbetriebener Unterdruckerzeuger oder Unterdruckgreifer |
DE102009047083B4 (de) * | 2009-11-24 | 2011-12-08 | J. Schmalz Gmbh | Druckluftbetriebener Unterdruckerzeuger oder Unterdruckgreifer |
DE102009047083C5 (de) * | 2009-11-24 | 2013-09-12 | J. Schmalz Gmbh | Druckluftbetriebener Unterdruckerzeuger oder Unterdruckgreifer |
DE102012220442A1 (de) * | 2012-11-09 | 2014-05-15 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpensystem zur Evakuierung einer Kammer sowie Verfahren zur Steuerung eines Vakuumpumpensystems |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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EP1502029A1 (de) | 2005-02-02 |
US20050232783A1 (en) | 2005-10-20 |
US7452191B2 (en) | 2008-11-18 |
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