EP1581673B1 - Anode zur galvanisierung - Google Patents
Anode zur galvanisierung Download PDFInfo
- Publication number
- EP1581673B1 EP1581673B1 EP03813909A EP03813909A EP1581673B1 EP 1581673 B1 EP1581673 B1 EP 1581673B1 EP 03813909 A EP03813909 A EP 03813909A EP 03813909 A EP03813909 A EP 03813909A EP 1581673 B1 EP1581673 B1 EP 1581673B1
- Authority
- EP
- European Patent Office
- Prior art keywords
- anode
- shield
- electroplating
- metal
- active layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 4
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 abstract description 18
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 abstract description 10
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract description 7
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract description 7
- 239000012876 carrier material Substances 0.000 description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 6
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 2
- UGWKCNDTYUOTQZ-UHFFFAOYSA-N copper;sulfuric acid Chemical compound [Cu].OS(O)(=O)=O UGWKCNDTYUOTQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- -1 platinum metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 239000003011 anion exchange membrane Substances 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 1
- 239000003010 cation ion exchange membrane Substances 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009918 complex formation Effects 0.000 description 1
- XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M cyanate Chemical compound [O-]C#N XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000005246 galvanizing Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- PGGZKNHTKRUCJS-UHFFFAOYSA-N methanesulfonic acid;tin Chemical compound [Sn].CS(O)(=O)=O PGGZKNHTKRUCJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003334 potential effect Effects 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 150000003464 sulfur compounds Chemical class 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/10—Electrodes, e.g. composition, counter electrode
Definitions
- the invention relates to an anode for electroplating.
- insoluble anodes are known in the art. These generally consist of a carrier material and an active layer.
- a carrier material usually titanium, niobium and others are used. In any case, however, materials are used which are self-passivating under the electrolysis conditions, so, for example, it is also possible to use nickel in alkaline baths.
- the active layer is usually an electron-conducting layer. It usually consists of materials such as platinum, iridium, mixed oxides with platinum metals or diamond.
- the active layer may be located directly on the surface of the carrier material, but it may also be located on a substrate which is attached to the carrier material spaced therefrom. As a substrate, for example, such materials can be used, which also come into consideration as a carrier material.
- additives are added to the baths which act as brighteners, increase the hardness and increase the scattering. These are mostly organic compounds.
- Anodes are often used here, whose base body consists of titanium and whose active layer consists of platinum or mixed oxide. This active layer is during operation very fast (related calculated on the power conversion in Ah / m 2 ) compared to active layers in the base metal electroplating. This is due, for the most part, to the attack of additives on this active layer, which dissolve the platinum metals of the layer by complex formation. Moreover, certain types of baths can also interfere with cyanate and carbonate formation.
- the EP 0 471 577 A1 discloses an electrolyzer having an upper electrode and a lower electrode and wherein each of the opposing surfaces of the two electrodes is covered by a respective membrane. Each electrode and the adjacent membrane are mounted in a support structure.
- the invention also relates to the method of electroplating according to claim 8 and to the use of the anode according to claim 9.
- the anode for electroplating according to the invention is characterized in that it comprises an anode base body and a shield, wherein the anode base body has a carrier material and an active layer, the shield is attached to the anode base body spaced therefrom and the substance -transport reduced to the anode base body and away from it, the shield is made of metal or plastic and metal and the shield is electrically connected to the anode main body.
- the anode according to the invention is preferably an anode in which the carrier material is self-passivating under electrolysis conditions.
- the active layer is preferably electron-conducting.
- the shield consists of metal. This metal should be largely corrosion resistant under anode conditions. It is further particularly preferred if the shield consists of a metal mesh, an expanded metal or a perforated plate.
- the shield is made of plastic and metal, as it allows different desirable material properties to be combined.
- the metallic shielding can bring about an additional potential effect, while with plastic, an effective transport obstacle is more easily achieved.
- a combination of two metal meshes and an interposed fine tissue or membrane of plastic therefore constitutes a preferred embodiment of the present invention.
- a particular advantage of this arrangement the very simple installation proves.
- the shield of the anode according to the invention is electrically conductively connected to the anode base body.
- positively charged additives must overcome an electrostatic barrier in addition to the mechanical barrier.
- the efficiency of shielding This can be significantly increased.
- Such a charged metallic shield acts electrostatically, but can not act electrochemically due to the oxide layer forming on the surface of the shield.
- the shielding in particular has a distance to the anode base of 0.01 to 100 mm, preferably from 0.05 to 50 mm, more preferably from 0.1 to 20 mm and most preferably from 0.5 to 10 mm.
- the shield is not parallel to the anode body, e.g. in the case of a corrugated metal sheet used as a shielding, the above-mentioned values relate to the mean distance between the shielding and the anode base body.
- the effect of a shield located at this distance from the anode base body is particularly great since the additive molecules or ions must first travel a certain distance. This is a particular advantage e.g. against a shield applied directly to the anode-body surface and only a few microns thick.
- a reduction in the surface area of the active layer of the anode base body is not present in the anode according to the invention, which represents a further advantage over the aforementioned anode with a shield located directly on the active layer.
- a shield of the anode base body is also possible, but this is preferably also front and rear attached.
- Another preferred embodiment of the present invention is an anode in which the configuration of the shield in its shape, the arrangement and the distance to the anode base body is such that the gas bubbles produced at the anode during operation are brought together.
- the gases produced at the anode rise in the form of small bubbles up.
- the number of bubbles increases towards the top and therefore leads to an inhomogeneous shielding of the anode.
- the anode according to the invention leads to a reduction in the number of bubbles, since the bubbles are brought together and thus are larger. Since the additive degradation is in part a gas-liquid reaction, this change in the surface to volume ratio causes a further reduction in additive degradation.
- By decreasing the shielding caused by the bubbles advantageously, there is also an increase in the deposition rate.
- Another advantage is that the layer of metal deposited on the cathode side becomes more homogeneous as the inhomogeneity of the shielding caused by the bubbles is reduced.
- the anode according to the invention thus also helps to save material.
- the gradient caused by the remaining bubbles on the height of the anode and thus also the cathode can advantageously be compensated, for example, by the fact that the active layer of the anode base body tapers towards the bottom, or can also be compensated by using expanded metals with different surface factors.
- the anode according to the invention advantageously allows use even in strongly alkaline solutions, since the anode in operation by the above-described local pH lowering of the anode environment in the resulting medium is essentially corrosion resistant.
- the anode in operation by the above-described local pH lowering of the anode environment in the resulting medium is essentially corrosion resistant.
- the anode described above may be connected according to the invention as a cathode.
- the shield In cathodic switching of the anode, the shield is non-self-passivating. It is therefore advantageous if a large surface is present, since this reduces the current density and thus the cathodic overvoltage. This leads to a longer service life of the cathode connected as an anode.
- the invention further relates to methods of electroplating in which an anode is used as described above.
- a cathodic circuit of the anode ie, the anode is the cathode, of importance, - this is the case, inter alia, in so-called reverse pulse method.
- the polarity reversal can occur at different times of the galvanization process.
- a series of pulses are initially applied to the printed circuit board lying at cathodic potential and the anode according to the invention lying at anodic potential.
- the polarization is reversed for a few milliseconds, so the circuit board is then at anodic potential, while the anode according to the invention acts as a cathode.
- the iron object is first set to anodic potential to cause activation of the surface.
- the anode according to the invention is the cathode.
- the polarization is reversed and the anode according to the invention, which is now at anodic potential, is used in the usual way for the galvanization of the iron object, which is now at cathodic potential.
- the shielding of the anode causes a reduction in the current density at the polarity reversal, which is advantageous for the life of the anode.
- the additive degradation was investigated under the operating conditions of a sulfuric acid copper bath in DC operation.
- the additive used was a sulfur compound.
- As anodes two DC plates with an active layer of mixed oxide were used. In this case, the first consisted only of the anode body and the second anode according to the invention of anode body and shield.
- As the cathode a brass plate was used in each case.
- the additive consumption when using the two anodes would be measured cyclovoltametrisch and is in FIG. 1 applied against the flowed ampere hours. It can be clearly seen that the additive degradation when using the second anode according to the invention is reduced by a factor of 2.5 to 3 compared with the additive degradation when using the first anode.
- Bubble formation under production conditions in a sulfuric acid copper bath was investigated for the copper plating of wells under reverse pulse plating conditions.
- the first anode consisted only of an anode base composed of a titanium support material and an active layer of mixed oxide having a size of 1100 mm ⁇ 500 mm ⁇ 1.5 mm.
- the second anode according to the invention also consisted of a base body which consisted of titanium as a carrier material and a mixed oxide as the active layer and had the same size as the main body of the first anode, and a shield of titanium expanded metal.
- the same stream was passed through both anodes, and at the first anode the usual bubbling and a vigorously agitated bath were observed.
- the second anode according to the invention however, the formation of bubbles was greatly reduced.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Anode zur Galvanisierung.
- Viele galvanische Verfahren wie Verkupfern, Vernickeln, Verzinken, Verzinnen u.a. werden bisher überwiegend mit löslichen Anoden betrieben. Es handelt sich dabei häufig um Plattenanoden aus dem betreffenden Metall oder um Metallstücke in Ti-tankörben.
- In Edelmetallbädern, wie z.B. Gold- und Platinmetallbädern, ist es hingegen üblich, mit unlöslichen Anoden zu arbeiten.
- Durch die zunehmende Automatisierung in der Galvanik zur Beschichtung von Großserien geht man aber tendenziell auch in den Bereichen, in denen bisher üblicherweise mit löslichen Anoden gearbeitet wurde, zur Verwendung von unlöslichen Anoden über. Zu Anwendungen dieser Bereiche zählen z.B. das Verkupfern von Leiterplatten, Tiefdruckzylindern u.a., das Verwickeln von Motorzylindern u.a..
- Aus dem Stand der Technik sind eine Reihe solcher unlöslichen Anoden bekannt. Diese bestehen im Allgemeinen aus einem Trägermaterial und einer Aktiv-Schicht. Als Tägermaterial werden üblicherweise Titan, Niob u.a. verwendet. In jedem Fall werden aber Materialien verwendet, die unter den Elektrolysebedingungen selbstpassivierend sind, so ist z.B. auch ein Einsatz von Nickel in alkalischen Bädern möglich. Die Aktiv-Schicht ist üblicherweise eine elektronenleitende Schicht. Sie besteht meist aus Materialien wie Platin, Iridium, Mischoxiden mit Platinmetallen oder Diamant. Die Aktiv-Schicht kann sich dabei direkt auf der Oberfläche des Trägermaterials befinden, sie kann sich aber auch auf einem Substrat befinden, das von dem Trägermaterial beabstandet an diesem befestigt ist. Als Substrat können z.B. solche Materialien dienen, die auch als Trägermaterial in Betracht kommen.
- Bei den meisten der genannten Galvanisierungs-Verfahren werden den Bädern Additive zugesetzt, die als Glanzbildner wirken, die Härte steigern und die Streuung erhöhen. Hierbei handelt es sich meist um organische Verbindungen.
- Während der Galvanisierung entsteht an unlöslichen Anoden meist Sauerstoff, bei chloridhaltigen Bädern Chlor. Diese Gase, die an der Anode gebildet werden und im Falle vertikal angeordneter Anoden an diesen emporsteigen, können die Additive oxidieren und diese teilweise oder auch vollständig abbauen. Dies hat zwei negative Effekte: Zum Einen müssen die zum Teil recht teuren Additive laufend ersetzt werden, womit die Verwendung der technisch sehr vorteilhaften unlöslichen Anoden aus wirtschaftlichen Erwägungen wieder in Frage gestellt wird, und zum Anderen stören die Abbauprodukte der Additive, was zur Folge hat, dass die Bäder häufiger ausgetauscht werden müssen, was ebenfalls unwirtschaftlich und darüberhinaus auch umweltschädlich ist.
- Ein weiteres Problem ergibt sich in Edelmetallbädern, in denen es seit jeher üblich ist, mit unlöslichen Anoden zu arbeiten. Hier werden häufig Anoden verwendet, deren Grundkörper aus Titan besteht und deren Aktiv-Schicht aus Platin- oder Mischoxid besteht. Diese Aktiv-Schicht wird beim Betrieb sehr schnell (bezogen auf den Stromumsatz in Ah/m2) im Vergleich zu Aktiv-Schichten in der Unedelmetallgalvanik abgebaut. Dies ist zum überwiegenden Teil dem Angriff von Additiven auf diese Aktiv-Schicht zuzuschreiben, welche die Platinmetalle der Schicht durch Komplexbildung lösen. Bei bestimmten Badtypen kann darüber hinaus ausserdem die Cyanat- und Carbonat-Bildung stören.
- Zur Lösung dieser Probleme wurde bisher versucht, organische Verbindungen von der Anode fernzuhalten. Dies geschah durch die Verwendung einer Membran, die im Falle einer Kationen- oder Anionen-Austauschermembran geladene Additive ganz abhält oder im Falle einer Diffusionsmembran den Fluß der Additive zur Anode stark reduziert. Diese Lösung bedingt aber einen geschlossenen Kasten mit einem Anolyten um die Anode, eine Entmischung des Elektrolyten und erfordert eine höhere Spannung. Sie ist also nur unter Inkaufnahme weiterer Nachteile anwendbar. Ausserdem ist dieses Verfahren in Fällen, in denen z.B. Formanoden eingesetzt werden, wie z.B. bei der Innenbeschichtung von Rohren, gar nicht anwendbar.
- Die
EP 0 471 577 A1 offenbart eine Elektrolysevorrichtung, die eine obere Elektrode und eine untere Elektrode aufweist und bei der jede der gegenüberliegenden Flächen der beiden Elektroden durch jeweils eine Membran bedeckt ist. Jede Elektrode und die benachbarte Membran sind in einer Stützstruktur angebracht. - Es ist daher Aufgabe der Erfindung, Anoden bereitzustellen, die zu einem deutlich verringerten Additiv-Abbau führen und gleichzeitig'die Nachteile der Verwendung einer Membran vermeiden.
- Diese Aufgabe wird überraschenderweise durch die Anode gemäß der Ansprüche 1 bis 7 gelöst. Die Erfindung betrifft ebenfalls das Verfahren zur Galvanisierung gemäß Anspruch 8 sowie die Verwendung der Anode gemäß Anspruch 9.
- Die erfindungsgemäße Anode zur Galvanisierung zeichnet sich dadurch aus, dass sie einen Anoden-Grundkörper und eine Abschirmung aufweist, wobei der Anoden-Grundkörper ein Trägermaterial und eine Aktiv-Schicht aufweist, die Abschirmung von dem Anoden-Grundkörper beabstandet an diesem befestigt ist und den Stoff-transport zu dem Anoden-Grundkörper hin und von ihm weg verringert, die Abschirmung aus Metall oder Kunststoff und Metall besteht und die Abschirmung mit dem Anoden-Grundkörper elektrischen-Strom-leitend verbunden ist.
- Bei der erfindungsgemäßen Anode handelt es sich bevorzugt um eine Anode, bei der das Trägermaterial unter Elektrolysebedingungen selbstpassivierend ist.
- Naturgemäß ist bei der beschriebenen erfindungsgemäßen Anode die Aktivschicht bevorzugt elektronenleitend.
- In einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anode besteht die Abschirmung aus Metall. Dieses Metall sollte unter Anodenbedingungen weitgehend korrosionsbeständig sein. Dabei ist es weiterhin besonders bevorzugt, wenn die Abschirmung aus einem Metallnetz, einem Streckmetall oder einem Lochblech besteht.
- Es ist außerdem besonders vorteilhaft, wenn die Abschirmung aus Kunststoff und Metall besteht, da so verschiedene wünschenswerte Materialeigenschaften miteinander kombiniert werden können. Die metallische Abschirmung kann einen zusätzlichen Potentialeffekt bewirken, während mit Kunststoff einfacher ein wirksames Transporthindernis erzielt wird. Eine Kombination aus zwei Metallgittern und einem sich dazwischen befindenden feinen Gewebe oder einer Membran aus Kunststoff bildet daher eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Als besonderer Vorteil dieser Anordnung erweist sich die sehr einfache Montage.
- Die Abschirmung der erfindungsgemäßen Anode ist mit dem Anoden-Grundkörper elektrischleitend verbunden. Dadurch, dass die Abschirmung ebenfalls auf anodisches Potential gelegt wird, müssen positiv geladene Additive zusätzlich zu der mechanischen Barriere ausserdem eine elektrostatische Barriere überwinden. Die Effizienz der Abschirmung kann dadurch noch deutlich gesteigert werden. Eine derartig geladene metallische Abschirmung wirkt elektrostatisch, kann aber auf Grund der sich auf der Oberfläche der Abschirmung ausbildenden Oxidschicht nicht elektrochemisch wirken.
- Erfindungsgemäß hat die Abschirmung insbesondere einen Abstand zum Anoden-Grundkörper von 0,01 bis 100 mm, bevorzugt von 0,05 bis 50 mm, besonders bevorzugt von 0,1 bis 20 mm und ganz besonders bevorzugt von 0,5 bis 10 mm. Ist die Abschirmung nicht parallel zum Anodengrundkörper, wie z.B. bei einem als Abschirmung verwendeten Wellblech, so beziehen sich die oben genannten Werte auf den mittleren Abstand der Abschirmung zum Anoden-Grundkörper. Der Effekt einer in diesem Abstand zum Anoden-Grundkörper befindlichen Abschirmung ist besonders gross, da die Additiv-Moleküle bzw. Ionen zunächst eine bestimmte Wegstrecke zurücklegen müssen. Dies ist ein besonderer Vorteil z.B. gegenüber einer Abschirmung, die direkt auf der Anoden-Grundkörper-Oberfläche aufgebracht und nur wenige Mikrometer dick ist. Eine Verringerung der Oberfläche der Aktiv-Schicht des Anoden-Grundkörpers liegt bei der erfindungsgemäßen Anode nicht vor, was einen weiteren Vorteil gegenüber der genannten Anode mit direkt auf der Aktiv-Schicht befindlicher Abschirmung darstellt.
- Bei den in der Galvanik häufig an Stelle von Plattenanoden eingesetzten Streckmetallanoden, die stets vorne und hinten eine Aktiv-Schicht haben, ist eine Abschirmung des Anoden-Grundkörpers ebenfalls möglich, diese wird allerdings bevorzugt ebenfalls vorne und hinten angebracht werden.
- Eine weitere bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist eine Anode, bei der die Ausgestaltung der Abschirmung in ihrer Form, der Anordnung und dem Abstand zum Anoden-Grundkörper so ist, dass die an der Anode während des Betriebs entstehenden Gasblasen zusammengeführt werden.
- Bei im Wesentlichen senkrecht angebrachten, glatten Anoden steigen die an der Anode entstehenden Gase in Form kleiner Bläschen nach oben. Die Bläschenzahl nimmt nach oben hin zu und führt daher zu einer inhomogenen Abschirmung der Anode. Vorteilhafterweise führt die erfindungsgemäße Anode zu einer Verringerung der Bläschenzahl, da die Bläschen zusammengeführt werden und somit größer sind. Da es sich bei dem Additiv-Abbau teilweise um eine Gas-Flüssigkeits-Reaktion handelt, bewirkt diese Veränderung des Verhältnisses von Oberfläche zu Volumen eine weitere Verringerung des Additiv-Abbaus. Durch die Abnahme der durch die Bläschen verursachten Abschirmung kommt es vorteilhafterweise ausserdem zu einer Erhöhung der Abscheidungsgeschwindigkeit. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass die Schicht des auf der Kathodenseite abgeschiedenen Metalls homogener wird, da die durch die Bläschen verursachte Inhomogenität der Abschirmung verringert wird. Bei vorgegebener Mindestschichtdicke hilft die erfindungsgemäße Anode also ausserdem, Material zu sparen. Um käthodisch eine im Wesentlichen homogene Schicht zu erhalten, kann der durch die verbliebenen Bläschen über die Höhe der Anode und damit auch der Kathode bewirkte Gradient vorteilhafterweise z.B. dadurch kompensiert werden, dass sich die Aktiv-Schicht des Anoden-Grundkörpers nach unten hin verjüngt, oder auch dadurch kompensiert werden, dass Streckmetalle mit unterschiedlichen Oberflächenfaktoren eingesetzt werden.
- Durch das veränderte Verhältnis von Oberfläche zu Volumen werden vorteilhafterweise auch noch andere Reaktionen verringert oder vollständig unterdrückt. So kann die Bildung von z.B. Sn(IV) in Sn(II)-Bädern oder die Bildung von Cr(VI) in Cr(III)-Bädern verringert werden, was erhebliche Vorteile im Betrieb mit sich bringt, da z.B. Sn(IV) als SnO2 ausfällt und viele Probleme wie das Maskieren der Anoden und das Verstopfen von Umwälzpumpen zur Folge hat. Zudem ist die Vermeidung von Cr(VI) erstrebenswert, da Cr(III)-Bäder bereits bei geringen Cr(VI)-Konzentrationen nicht mehr zufriedenstellend arbeiten.
- Das Auftreten einer geringeren Anzahl an Bläschen, die dafür ein entsprechend größeres Volumen aufweisen, führt außerdem dazu, dass das Mitreißen von Bestandteilen der Aktivschicht der Anode beim Abreißen der entstehenden Bläschen von dieser verringert und somit die Betriebszeit der Anode gesteigert wird.
- Besonders vorteilhaft kann es weiterhin sein, dass bei der Entwicklung von Sauerstoff in unmittelbarer Umgebung der Anode H+-Ionen zurückbleiben, die den pH-Wert an der Anode erniedrigen. Für Anoden, die nicht bei pH-Werten größer 12 eingesetzt werden können, ermöglicht die erfindungsgemäße Anode vorteilhafterweise einen Einsatz auch in stark alkalischen Lösungen, da die Anode im Betrieb durch die oben beschriebene lokale pH-Wert-Erniedrigung der Anodenumgebung in dem so entstehenden Medium im Wesentlichen korrosionsfest ist. Nach Beendigung der Polarisation sind solche Anoden natürlich aus dem Bad zu entfernen.
- Die oben beschriebene Anode kann erfindungsgemäß auch als Kathode geschaltet sein. Bei kathodischer Schaltung der Anode ist die Abschirmung nicht-selbstpassivierend. Es ist daher vorteilhaft, wenn eine große Oberfläche vorliegt, da diese die Stromdichte und damit die kathodische Überspannung verringert. Dies führt zu einer längeren Betriebsdauer der als Kathode geschalteten Anode.
- Die Erfindung betrifft weiterhin Verfahren zur Galvanisierung, in denen eine Anode wie oben beschrieben verwendet wird. Dabei ist neben der üblichen anodischen Verwendung der erfindungsgemäßen Anode auch eine kathodische Schaltung der Anode, d.h. die Anode stellt die Kathode dar, von Bedeutung, - dies ist unter anderem bei sogenannten reverse-pulse-Verfahren der Fall. Bei diesen reverse-pulse-Verfahren kann die Umpolung zu unterschiedlichen Zeitpunkten des Galvanisierungsverfahrens erfolgen. Z.B. werden bei der Kupfer-Beschichtung der Bohrlöcher von Leiterplatten zunächst eine Reihe von Impulsen auf die zu beschichtende auf kathodischem Potential liegende Leiterplatte und die auf anodischem Potential liegende erfindungsgemäße Anode gegeben. Am Ende wird für wenige Millisekunden die Polarisierung vertauscht, dabei liegt die Leiterplatte dann also auf anodischem Potential, während die erfindungsgemäße Anode als Kathode fungiert. Anders wird z.B. beim Hartverchromen eines Gegenstands aus Eisen häufig zunächst der Eisengegenstand auf anodisches Potential gesetzt, um eine Aktivierung der Oberfläche zu bewirken. Bei diesem als "Anätzen" bezeichneten Verfahrensschritt ist die erfindungsgemäße Anode die Kathode. Nach einem Zeitraum im Minutenbereich wird dann die Polarisierung vertauscht und die erfindungsgemäße Anode, die nunmehr auf anodischem Potential liegt, wird in üblicher Weise zur Galvanisierung des nunmehr auf kathodischem Potential liegenden Eisengegenstands verwendet. In beiden Fällen bewirkt die Abschirmung der Anode eine Absenkung der Stromdichte bei der Umpolung, was vorteilhaft für die Lebensdauer der Anode ist.
- Die Verwendung einer Anode wie oben beschrieben zur Galvanisierung ist ein weiterer Gegenstand der Erfindung.
- Die Erfindung wird im Folgenden durch Beispiele näher erläutert.
- Der Additiv-Abbau wurde unter den Arbeitsbedingungen eines schwefelsauren Kupferbades im Gleichstrombetrieb untersucht. Als Additiv diente dabei eine Schwefelverbindung. Als Anoden wurden zwei Gleichstromplatten mit einer Aktiv-Schicht aus Mischoxid verwendet. Dabei bestand die erste nur aus dem Anoden-Grundkörper und die zweite, erfindungsgemäße Anode aus Anoden-Grundkörper und Abschirmung. Als Kathode wurde jeweils eine Messingplatte verwendet. Die Additiv-Verbräuche bei Verwendung der beiden Anoden würde cyclovoltametrisch gemessen und ist in
Figur 1 gegen die geflossenen Amperestunden aufgetragen. Es ist deutlich erkennbar, dass der Additiv-Abbau bei Verwendung der erfindungsgemäßen zweiten Anode um den Faktor 2,5 bis 3 gegenüber dem Additiv-Abbau bei Verwendung der ersten Anode reduziert ist. - Die Bläschenbildung wurde unter Produktionsbedingungen in einem schwefelsauren Kupferbad für die Verkupfezung von Bohrlöchern unter Reverse-Pulse-Plating-Bedingungen untersucht. Dazu wurden zwei Anoden an der Seitenwand einer vertikalen Beschichtungsanlage nebeneinandergehängt. Die erste Anode bestand nur aus einem Anoden-Grundkörper, der sich aus einem Trägermaterial aus Titan und einer Aktiv-Schicht aus Mischoxid zusammensetzte und eine Größe von 1100 mm x 500 mm x 1,5 mm hatte. Die erfindungsgemäße zweite Anode bestand ebenfalls aus einem Grundkörper, der aus Titan als Trägermaterial und einem Mischoxid als AktivSchicht bestand und dieselbe Größe wie der Grundkörper der ersten Anode hatte, und einer Abschirmung aus Titanstreckmetall. Im Betrieb wurde durch beide Anoden derselbe Strom geleitet und bei der ersten Anode wurde die übliche Blasenbildung und ein dadurch stark bewegtes Bad beobachtet. Bei der erfindungsgemäßen zweiten Anode war die Bläschenbildung dagegen stark reduziert.
- Zur Untersuchung der Sn(IV)-Konzentration in Sn(II)-Bädern wurden unter üblichen-Abscheidungsbedingungen im Gleichstrombetrieb in einem Bad mit Zinn-Methansulfonsäure die Konzentrationen der beiden Spezies gemessen. Als Anoden wurden zwei Gleichstromplatten mit einer Aktiv-Schicht aus Mischoxid verwendet. Die erste Anode bestand nur aus dem Anoden-Grundkörper, die zweite bestand erfindungsgemäß aus Anoden-Grundkörper und Abschirmung. Als Kathode während der versuchsweise durchgeführten Abscheidungen diente eine Messingplatte.
- Vor der Abscheidung wurden im Bad der nur aus Anoden-Grundkörper bestehenden ersten Anode folgende Konzentrationen gemessen: Sn(II): 40,8 g/l, Sn(IV): 7,7 g/l, womit sich eine Gesamt-Sn-Konzentration von 48,5 g/l ergibt.
Nach der Abscheidung wurden im Bad der ersten Anode folgende Werte gemessen:
Sn(II): 33,1 g/l, Sn(IV): 9,4 g/l, womit sich eine Gesamt-Sn-Konzentration von 42,5 g/l ergibt. - Im Bad der erfindungsgemäßen zweiten Anode, die aus Anoden-Grundkörper und Abschirmung bestand wurden vor der Abscheidung folgende Konzentrationen gemessen:
Sn(II): 39,0 g/l, Sn(IV): 10,5 g/l, womit sich eine Gesamt-Sn-Konzentration an Sn von 49,5 g/l ergibt.
Nach der Abscheidung wurden im Bad der ersten Anode folgende Werte gemessen:
Sn(II): 34,3 g/l, Sn(IV): 8,5 g/l, womit sich eine Gesamt-Sn-Konzentration von 42,8 g/l ergibt. - Diese Ergebnisse zeigen deutlich, dass im Bad der nur aus Anoden-Grundkörper bestehenden Anode die Sn(IV)-Konzentration während des Betriebs zunimmt. Im Gegensatz dazu sinkt die Sn(IV)-Konzentration bei Verwendung der erfindungsgemäßen Anode sogar.
Claims (9)
- Anode zur Galvanisierung, die einen Anoden-Grundkörper und eine Abschirmung aufweist, wobei der Anoden-Grundkörper ein Trägermaterial und eine Aktiv-Schicht aufweist, die Abschirmung von dem Anoden-Grundkörper beabstandet an diesem befestigt ist und den Stofftransport zu dem Anoden-Grundkörper hin und von ihm weg verringert, die Abschirmung aus Metall oder aus Kunststoff und Metall besteht und die Abschirmung mit dem Anoden-Grundkörper elektrischen-Strom-leitend verbunden ist
- Anode nach Anspruch 1, bei der das Trägermaterial unter Elektrolysebedingungen selbstpassivierend ist.
- Anode nach Anspruch 1 oder 2, bei der die Aktivschicht elektronenleitend ist.
- Anode nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der die Abschirmung aus einem Metallnetz, einem Streckmetall oder einem Lochblech besteht.
- Anode nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei der die Abschirmung einen Abstand zum Anoden-Grundkörper von 0,01 bis 100 mm, bevorzugt von 0,05 bis 50 mm, besonders bevorzugt von 0,1 bis 20 mm und ganz besonders bevorzugt von 0,5 bis 10 mm hat.
- Anode nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der die Ausgestaltung der Abschirmung in ihrer Form, der Anordnung und dem Abstand zum Anoden-Grundkörper so ist, dass die an der Anode während der Galvanisierung entstehenden Gasblasen zusammengeführt werden.
- Anode nach einem der Ansprüche 1 bis 6, die als eine Kathode geschaltet ist.
- Verfahren zur Galvanisierung, bei dem eine Anode nach einem der Ansprüche 1 bis 7 verwendet wird.
- Verwendung einer Anode gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7 zur Galvanisierung.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10261493A DE10261493A1 (de) | 2002-12-23 | 2002-12-23 | Anode zur Galvanisierung |
DE10261493 | 2002-12-23 | ||
PCT/EP2003/014785 WO2004059045A2 (de) | 2002-12-23 | 2003-12-23 | Anode zur galvanisierung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
EP1581673A2 EP1581673A2 (de) | 2005-10-05 |
EP1581673B1 true EP1581673B1 (de) | 2011-03-23 |
Family
ID=32478077
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
EP03813909A Expired - Lifetime EP1581673B1 (de) | 2002-12-23 | 2003-12-23 | Anode zur galvanisierung |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7943032B2 (de) |
EP (1) | EP1581673B1 (de) |
JP (1) | JP4346551B2 (de) |
KR (1) | KR101077000B1 (de) |
CN (1) | CN101027432B (de) |
AT (1) | ATE503043T1 (de) |
AU (1) | AU2003296716A1 (de) |
DE (2) | DE10261493A1 (de) |
ES (1) | ES2363278T3 (de) |
WO (1) | WO2004059045A2 (de) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5156175B2 (ja) * | 2004-10-29 | 2013-03-06 | Fdkエナジー株式会社 | ニッケル光沢メッキを施した電池 |
EP1712660A1 (de) | 2005-04-12 | 2006-10-18 | Enthone Inc. | Unlösliche Anode |
EP1717351A1 (de) * | 2005-04-27 | 2006-11-02 | Enthone Inc. | Galvanikbad |
DE102005051632B4 (de) | 2005-10-28 | 2009-02-19 | Enthone Inc., West Haven | Verfahren zum Beizen von nicht leitenden Substratoberflächen und zur Metallisierung von Kunststoffoberflächen |
US20090095927A1 (en) * | 2005-11-04 | 2009-04-16 | Mccarthy Matthew | Thermally actuated valves, photovoltaic cells and arrays comprising same, and methods for producing same |
EP2009147A1 (de) * | 2007-06-20 | 2008-12-31 | METAKEM Gesellschaft für Schichtchemie der Metalle GmbH | Anodenanordnung zum Galvanisieren |
TWI384094B (zh) * | 2008-02-01 | 2013-02-01 | Zhen Ding Technology Co Ltd | 電鍍用陽極裝置及包括該陽極裝置之電鍍裝置 |
FR2927909B1 (fr) * | 2008-02-26 | 2010-03-26 | Serme | Cache souple pour support galvanique, support et procede de mise en oeuvre |
EP2848714B1 (de) * | 2008-04-22 | 2016-11-23 | Rohm and Haas Electronic Materials LLC | Verfahren zum Nachfüllen von Indiumionen in Indium-Elektroplattierzusammensetzungen |
DE202008006707U1 (de) | 2008-05-16 | 2008-08-07 | Saueressig Gmbh & Co. | Vorrichtung zum Glavanisieren von Werkstücken |
US8236163B2 (en) * | 2009-09-18 | 2012-08-07 | United Technologies Corporation | Anode media for use in electroplating processes, and methods of cleaning thereof |
TWI422714B (zh) * | 2010-11-24 | 2014-01-11 | Intech Electronics Co Ltd | 電鍍裝置及其電鍍槽中的電極板結構 |
CN102477576A (zh) * | 2010-11-30 | 2012-05-30 | 加贺开发科技有限公司 | 电镀装置及其电镀槽中的电极板结构 |
CN103820839A (zh) * | 2014-01-14 | 2014-05-28 | 杭州三耐环保科技有限公司 | 一种高效抑制电积酸雾的阴阳极板结构及其实现方法 |
CN104073862A (zh) * | 2014-07-11 | 2014-10-01 | 张钰 | 一种用于碱性锌镍合金电镀的不溶性阳极装置 |
US10428439B2 (en) * | 2015-11-16 | 2019-10-01 | Intel Corporation | Predictive capability for electroplating shield design |
EP4219801A1 (de) | 2019-01-24 | 2023-08-02 | Atotech Deutschland GmbH & Co. KG | Membrananodensystem zur elektrolytischen abscheidung von zink-nickel-legierungen |
CN110029381B (zh) * | 2019-04-25 | 2020-12-15 | 首钢集团有限公司 | 一种高镀锡量镀锡板的生产方法 |
CN113106527A (zh) * | 2021-04-19 | 2021-07-13 | 深圳市宇开源电子材料有限公司 | 不溶性阳极及脉冲电镀设备 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5213300Y2 (de) * | 1971-02-01 | 1977-03-25 | ||
US3875041A (en) * | 1974-02-25 | 1975-04-01 | Kennecott Copper Corp | Apparatus for the electrolytic recovery of metal employing improved electrolyte convection |
US4075069A (en) * | 1975-04-10 | 1978-02-21 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Processes for preventing the generation of a mist of electrolyte and for recovering generated gases in electrowinning metal recovery, and electrodes for use in said processes |
JPS59226189A (ja) * | 1983-06-06 | 1984-12-19 | Nippon Steel Corp | 鉄系電気メツキにおけるメツキ液の通電酸化抑制方法 |
GB8327300D0 (en) * | 1983-10-12 | 1983-11-16 | Deso Inc | Acid mist reduction |
JP2722259B2 (ja) * | 1989-09-14 | 1998-03-04 | ペルメレック電極株式会社 | 電極保護体 |
JPH0452296A (ja) * | 1990-06-20 | 1992-02-20 | Permelec Electrode Ltd | 銅めっき方法 |
JPH08376Y2 (ja) * | 1990-08-15 | 1996-01-10 | 株式会社アルメックス | 不溶解性陽極を用いたメッキ装置 |
JPH086198B2 (ja) * | 1990-08-15 | 1996-01-24 | 株式会社アルメックス | 水平搬送型メッキ装置 |
JP3468545B2 (ja) * | 1993-04-30 | 2003-11-17 | ペルメレック電極株式会社 | 電解用電極 |
JPH07316861A (ja) * | 1994-05-24 | 1995-12-05 | Permelec Electrode Ltd | 電極構造体 |
JP3188361B2 (ja) * | 1994-06-27 | 2001-07-16 | ペルメレック電極株式会社 | クロムめっき方法 |
DE19545231A1 (de) * | 1995-11-21 | 1997-05-22 | Atotech Deutschland Gmbh | Verfahren zur elektrolytischen Abscheidung von Metallschichten |
JP3523197B2 (ja) * | 1998-02-12 | 2004-04-26 | エーシーエム リサーチ,インコーポレイティド | メッキ設備及び方法 |
DE19834353C2 (de) * | 1998-07-30 | 2000-08-17 | Hillebrand Walter Gmbh & Co Kg | Alkalisches Zink-Nickelbad |
DE19845506A1 (de) * | 1998-10-02 | 2000-04-06 | Wieland Edelmetalle | Verfahren zur Herstellung von prothetischen Formteilen für den Dentalbereich und prothetisches Formteil |
US6120658A (en) * | 1999-04-23 | 2000-09-19 | Hatch Africa (Pty) Limited | Electrode cover for preventing the generation of electrolyte mist |
US6254742B1 (en) * | 1999-07-12 | 2001-07-03 | Semitool, Inc. | Diffuser with spiral opening pattern for an electroplating reactor vessel |
US6156169A (en) * | 1999-10-06 | 2000-12-05 | Jyu Lenq Enterprises Co., Ltd. | Electroplating anode titanium basket |
DE60023190T3 (de) | 2000-06-15 | 2016-03-10 | Coventya, Inc. | Zink-nickel-elektroplattierung |
US6755960B1 (en) * | 2000-06-15 | 2004-06-29 | Taskem Inc. | Zinc-nickel electroplating |
US6402909B1 (en) * | 2000-10-02 | 2002-06-11 | Advanced Micro Devices, Inc. | Plating system with shielded secondary anode for semiconductor manufacturing |
US6425991B1 (en) * | 2000-10-02 | 2002-07-30 | Advanced Micro Devices, Inc. | Plating system with secondary ring anode for a semiconductor wafer |
US6391170B1 (en) * | 2000-12-01 | 2002-05-21 | Envirotech Pumpsystems, Inc. | Anode box for electrometallurgical processes |
US6852209B2 (en) * | 2002-10-02 | 2005-02-08 | Applied Materials, Inc. | Insoluble electrode for electrochemical operations on substrates |
-
2002
- 2002-12-23 DE DE10261493A patent/DE10261493A1/de not_active Withdrawn
-
2003
- 2003-12-23 WO PCT/EP2003/014785 patent/WO2004059045A2/de active Application Filing
- 2003-12-23 DE DE50313572T patent/DE50313572D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-12-23 US US10/540,232 patent/US7943032B2/en active Active
- 2003-12-23 KR KR1020057011715A patent/KR101077000B1/ko active IP Right Grant
- 2003-12-23 ES ES03813909T patent/ES2363278T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2003-12-23 CN CN2003801072596A patent/CN101027432B/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-12-23 JP JP2004563184A patent/JP4346551B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-12-23 AU AU2003296716A patent/AU2003296716A1/en not_active Abandoned
- 2003-12-23 AT AT03813909T patent/ATE503043T1/de active
- 2003-12-23 EP EP03813909A patent/EP1581673B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU2003296716A8 (en) | 2004-07-22 |
DE50313572D1 (de) | 2011-05-05 |
WO2004059045A3 (de) | 2005-02-24 |
US7943032B2 (en) | 2011-05-17 |
ES2363278T3 (es) | 2011-07-28 |
CN101027432B (zh) | 2010-09-29 |
WO2004059045A2 (de) | 2004-07-15 |
JP2006511712A (ja) | 2006-04-06 |
DE10261493A1 (de) | 2004-07-08 |
KR101077000B1 (ko) | 2011-10-26 |
US20060124454A1 (en) | 2006-06-15 |
CN101027432A (zh) | 2007-08-29 |
AU2003296716A1 (en) | 2004-07-22 |
EP1581673A2 (de) | 2005-10-05 |
KR20050085863A (ko) | 2005-08-29 |
JP4346551B2 (ja) | 2009-10-21 |
ATE503043T1 (de) | 2011-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1581673B1 (de) | Anode zur galvanisierung | |
DE60306772T2 (de) | Elektrode für gasentwicklung und deren herstellungsverfahren | |
EP1717351A1 (de) | Galvanikbad | |
EP1102875A2 (de) | Alkalisches zink-nickelbad | |
DE3043571A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur durchfuehrung eines elektrolytischen prozesses | |
EP1712660A1 (de) | Unlösliche Anode | |
DE10013339C1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Regulieren der Konzentration von Metallionen in einer Elektrolytflüssigkeit sowie Anwendung des Verfahrens und Verwendung der Vorrichtung | |
EP0638664A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Regenerierung einer Metallionen und Schwefelsäure enthaltenden Lösung | |
DE2404167C2 (de) | Zelle zur elektrolytischen Gewinnung von Metallen sowie Metallgewinnungsverfahren | |
WO2002072921A2 (de) | Verfahren und vorrichtung zur rückgewinnung von metallen mit pulsierenden kathodischen strömen, auch in kombination mit anodischen koppelprozessen | |
DE102007040005A1 (de) | Verfahren zum Abscheiden funktioneller Schichten aus einem Galvanikbad | |
EP1015667B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur konzentrationsregulierung von stoffen in elektrolyten | |
EP0801692A2 (de) | Galvanikanlage | |
DE3029364A1 (de) | Verfahren zur herstellung von kathoden mit niedriger wasserstoffueberspannung und ihre verwendung | |
DE4232958C1 (de) | ||
DD215589B5 (de) | Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung bei erzwungener Konvektion | |
EP1080252B1 (de) | Verfahren zur galvanischen verkupferung von substraten | |
EP1518828B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur anodischen Oxidation von Cyaniden in wässrigen Lösungen | |
DE102005027735A1 (de) | Elektrochemische Zelle | |
DE3045968A1 (de) | Elektrolytisches bad, herstellung von palladiumbeschichtungen unter verwendung des elektrolytischen bades und regenerierung des elektrolytischen bades | |
DE4218916C2 (de) | Verwendung einer Gitteranode zur elektrolytische Entgiftung oder Regeneration einer Cyanid enthaltenden wäßrigen Lösung | |
DE60121337T2 (de) | Verfahren zur verbesserung einer elektrode | |
DE2940741A1 (de) | Verfahren zur elektrolytischen gewinnung von nickel | |
DE4134656C2 (de) | Verfahren zum Elektroplattieren von Nickel mit reduziertem Aufbau von Nickelionen | |
DE10060127B4 (de) | Elektrolytisches Eisenabscheidungsbad und Verfahren zum elektrolytischen Abscheiden von Eisen und Anwendungen des Verfahrens |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PUAI | Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012 |
|
17P | Request for examination filed |
Effective date: 20050714 |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: A2 Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR |
|
AX | Request for extension of the european patent |
Extension state: AL LT LV MK |
|
DAX | Request for extension of the european patent (deleted) | ||
RIN1 | Information on inventor provided before grant (corrected) |
Inventor name: MENARD, STEPHANE Inventor name: WURM, JOERG |
|
17Q | First examination report despatched |
Effective date: 20080228 |
|
GRAP | Despatch of communication of intention to grant a patent |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1 |
|
GRAS | Grant fee paid |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3 |
|
GRAA | (expected) grant |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210 |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: B1 Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: GB Ref legal event code: FG4D Free format text: NOT ENGLISH |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: CH Ref legal event code: EP |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: IE Ref legal event code: FG4D |
|
REF | Corresponds to: |
Ref document number: 50313572 Country of ref document: DE Date of ref document: 20110505 Kind code of ref document: P |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: DE Ref legal event code: R096 Ref document number: 50313572 Country of ref document: DE Effective date: 20110505 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: NL Ref legal event code: T3 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: ES Ref legal event code: FG2A Ref document number: 2363278 Country of ref document: ES Kind code of ref document: T3 Effective date: 20110728 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: SE Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110323 Ref country code: GR Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110624 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: CH Ref legal event code: NV Representative=s name: KATZAROV S.A. |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: CY Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110323 Ref country code: FI Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110323 Ref country code: BG Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110623 Ref country code: SI Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110323 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: IE Ref legal event code: FD4D |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: PT Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110725 Ref country code: EE Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110323 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: CZ Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110323 Ref country code: RO Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110323 Ref country code: SK Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110323 |
|
PLBE | No opposition filed within time limit |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261 |
|
STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: IE Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110323 |
|
26N | No opposition filed |
Effective date: 20111227 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: DK Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110323 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: DE Ref legal event code: R097 Ref document number: 50313572 Country of ref document: DE Effective date: 20111227 |
|
BERE | Be: lapsed |
Owner name: METAKEM G.- FUR SCHICHTCHEMIE DER METALLE MBH Effective date: 20111231 Owner name: MICROPULSE PLATING CONCEPTS Effective date: 20111231 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: MC Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20111231 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: BE Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20111231 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: LU Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20111223 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: HU Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20110323 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: FR Ref legal event code: PLFP Year of fee payment: 13 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: TR Payment date: 20160118 Year of fee payment: 14 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: FR Ref legal event code: PLFP Year of fee payment: 14 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: FR Ref legal event code: PLFP Year of fee payment: 15 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: CH Ref legal event code: PCAR Free format text: NEW ADDRESS: AVENUE DES MORGINES 12, 1213 PETIT-LANCY (CH) |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: NL Payment date: 20191212 Year of fee payment: 17 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: AT Payment date: 20191125 Year of fee payment: 17 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: GB Payment date: 20201217 Year of fee payment: 18 Ref country code: CH Payment date: 20201215 Year of fee payment: 18 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: NL Ref legal event code: MM Effective date: 20210101 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: AT Ref legal event code: MM01 Ref document number: 503043 Country of ref document: AT Kind code of ref document: T Effective date: 20201223 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: NL Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20210101 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: AT Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20201223 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: DE Payment date: 20211116 Year of fee payment: 19 Ref country code: FR Payment date: 20211125 Year of fee payment: 19 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: IT Payment date: 20211129 Year of fee payment: 19 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: ES Payment date: 20220105 Year of fee payment: 19 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: TR Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20201223 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: CH Ref legal event code: PL |
|
GBPC | Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee |
Effective date: 20211223 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: GB Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20211223 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: LI Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20211231 Ref country code: CH Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20211231 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: DE Ref legal event code: R119 Ref document number: 50313572 Country of ref document: DE |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: DE Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20230701 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: FR Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20221231 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: IT Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20221223 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: ES Ref legal event code: FD2A Effective date: 20240131 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: ES Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20221224 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: ES Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20221224 |