EP0337192B1 - Gasentladungschalter - Google Patents

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Publication number
EP0337192B1
EP0337192B1 EP89105562A EP89105562A EP0337192B1 EP 0337192 B1 EP0337192 B1 EP 0337192B1 EP 89105562 A EP89105562 A EP 89105562A EP 89105562 A EP89105562 A EP 89105562A EP 0337192 B1 EP0337192 B1 EP 0337192B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
electrodes
gas discharge
discharge
region
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP89105562A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0337192A1 (de
Inventor
Robert Dr. Seeböck
David Walter Dr. Branston
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of EP0337192A1 publication Critical patent/EP0337192A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0337192B1 publication Critical patent/EP0337192B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J17/00Gas-filled discharge tubes with solid cathode
    • H01J17/38Cold-cathode tubes
    • H01J17/40Cold-cathode tubes with one cathode and one anode, e.g. glow tubes, tuning-indicator glow tubes, voltage-stabiliser tubes, voltage-indicator tubes
    • H01J17/44Cold-cathode tubes with one cathode and one anode, e.g. glow tubes, tuning-indicator glow tubes, voltage-stabiliser tubes, voltage-indicator tubes having one or more control electrodes

Definitions

  • the invention relates to a gas discharge switch according to the preamble of claim 1 or 19 for a low-pressure gas discharge between at least two coaxial electrodes which are provided with coaxial bores and form a gas discharge path in a central discharge region and form an insulation region at their edges in which the electrodes coexist are connected gas-tight to an insulator.
  • the gas discharge is ignited by injecting charge carriers into the rear of the cathode.
  • the pressure p of the ionizable gas filling and the distance D between the electrodes on the discharge path are selected so that the ignition voltage of a controlled gas discharge decreases with increasing pressure p.D.
  • Such switches are particularly suitable as switches for high-current and high-voltage circuits.
  • the ignition voltage for a given gas discharge path and its usual graphical representation as a function of the product of gas pressure p and electrode spacing D in the ignition characteristic curve are known to be an important aid for identifying electrical discharge apparatuses, taking into account the probability of ignition.
  • the infinitely large plate capacitor and its ignition characteristic are generally used for comparison.
  • the practical embodiment of such discharge paths has electrodes with finite dimensions.
  • Low-pressure gas discharge lines are known to be suitable as switches for high currents up to about 2 MA and high voltages up to about 100 kV.
  • These gas discharge switches operate with a pressure of the working gas, preferably hydrogen, of less than 133.3 Pa (1 Torr) with an electrode spacing of less than 1 cm with a voltage above 10 kV in the left branch of the Paschen curve. Since these switches can only switch a current on, but cannot switch it off again, they are particularly suitable for discharging large capacitors.
  • the gas discharge switch contains an anode and a cathode, which are arranged coaxially to one another and form a central discharge region, a subsequent shielding region and an insulation region at their edges.
  • the shielding area consists of a coaxial annular cylindrical channel.
  • the electrodes are then bent radially in the insulation region and are each connected to one of the flat sides of an insulator in the form of an annular disk.
  • the distance of the electrodes in their axial direction is approximately as large as on the discharge gap.
  • there is a risk of breakdown on the isolator Proc. IEE, Vol. 111, No. 1, January 1964, pp. 203 to 213.
  • Gas discharge switches with coaxial holes in the electrodes can be controlled by a pulsed low-pressure gas discharge.
  • the main discharge is initiated by a hollow cathode discharge and ignited by injection of charge carriers.
  • a control device is provided which has a hole provided Contains cage that surrounds the cathode rear space.
  • the discharge path is separated by the cage from the area of a pre-ionization discharge, which is a glow discharge.
  • Various auxiliary electrodes for shielding and potential control can also be provided between the cage and the area of the glow discharge (Sci. Instr. 19 (1986), The Inst. Of Physics, Great Britain, pp. 466 to 470).
  • the invention is based on the object of simplifying and improving the known embodiment of a gas discharge switch with electrodes which are arranged parallel to one another and provided with coaxial bores.
  • the object is alternatively achieved by the characterizing features of claim 1 or claim 19.
  • the electrode spacing in the discharge area is larger than in the insulation area and in the shielding area
  • a localization of the discharge is obtained in the discharge area, in particular on the discharge path.
  • the location of the discharge is obtained solely by the fact that the recesses increase the effective distance of the parallel electrodes on the discharge path. Evaporation of the insulator is prevented in both cases since a direct line of sight with the insulator is avoided.
  • FIG. 1 schematically shows an embodiment of a gas discharge switch according to the invention as a cross section.
  • FIG. 2 shows an advantageous further embodiment of the electrodes outside the discharge area.
  • An embodiment of the gas discharge switch for higher voltages is shown in Figure 3.
  • An advantageous embodiment of the cathode rear space with the pre-discharge space is illustrated in FIGS. 4 and 5.
  • FIG. 6 shows an embodiment with a special pre-ionization electrode.
  • FIG. 7 shows an embodiment with a control of the gas discharge by means of a sliding discharge.
  • An embodiment with a special electron source for the gas discharge switch is illustrated in FIG. 8.
  • FIG. 9 shows two embodiments of gas stores for the gas discharge switch.
  • two electrodes 2 and 3 of which the electrode 2 is connected, for example, as a cathode and the electrode 3 as an anode and which each form a rotating body, are arranged coaxially to one another.
  • the axis of rotation indicated by dash-dotted lines is designated by 4.
  • the electrodes 2 and 3 are provided with coaxial bores 5 and 6, on which a discharge gap 10 is formed.
  • the electrodes 2 and 3 consist of electrically conductive metal, for example stainless steel, and can preferably also have inserts 8 and 9 on the discharge gap made of a high-melting metal, for example tungsten or molybdenum or also their alloys.
  • a discharge region 11 is formed around the discharge path 10 and is formed approximately by the space between the electrodes 2 and 3 with the extended distance D. the discharge area between the inserts 8 and 9 is obtained.
  • the diameter of the bores 5 and 6 is preferably chosen to be smaller than the distance D of the electrodes 2 and 3 in the discharge area 11.
  • This distance D of, for example, about 2 to 8 mm, preferably about 4 to 6 mm, in particular about 5 mm, is larger, preferably substantially larger than the distance d 1 of the electrodes in the insulation region 13 in the axial direction of the electrodes 2, 3 at the inner edge of an annular disk Insulator 16 and also larger than the distance d2 in the shielding area 12 between the discharge area 11 and the insulator 16, to which the edges of the electrodes 2 and 3 are attached in a gastight manner.
  • the distance d 1 is at least as large as the distance d 2 and can be, for example, approximately 0.5 to 6 mm, preferably approximately 2 to 4 mm, in particular approximately 3 mm.
  • the annular disk-shaped insulator 16 with the thickness A is extended by a base 23 made of electrically insulating material, which at the same time serves to extend the insulation path between the outer ends of the electrodes 2 and 3.
  • a hollow cylindrical extension of the housing 26 forms a pre-ionization hollow cathode 28 which surrounds a hollow cathode area 32 and projects into the anode area 31 of the pre-ionization space 30.
  • the housing 26 is provided with openings 27 and separated from the hollow cathode region 32 by a gas-permeable metallic partition 29.
  • the partition 29 is provided with openings and can in particular consist of a fine-mesh grid or a network.
  • the pre-ionization chamber 30 is surrounded by a cup-shaped control electrode (keep alife electrode) 33, which rests on an annular insulator 34, which is connected to the electrode 2 in a gas-tight manner.
  • At least one of the electrodes 2 and 3, for example the cathode 2 is provided between the discharge region 11 and the insulator 16 with at least one substantially ring-shaped screen 18, which projects into a likewise substantially ring-shaped recess 21 in the anode 3.
  • a filling with ionizable gas is chosen so that the ignition voltage of the gas discharge switch decreases when the product of the electrode distance D at the discharge path 10 and the gas pressure p increases.
  • a rapid spark-like gas discharge at the discharge path 10 is initiated with a pre-discharge in the pre-ionization chamber 30 with the aid of the control electrode 33 or when the breakdown voltage is exceeded.
  • a magnetic field can be provided which passes through the pre-ionization space 30 and is oriented approximately parallel to the axis of rotation 4. With this magnetic field, the burning voltage can be reduced and thus the pressure range accessible for triggering can be increased.
  • the opposite surfaces of the electrodes 2 and 3 or of the inserts 8 and 9 are on the discharge path 10 Provided with recesses (14 and 15), the surface of which in each case forms the shell of a rotating hollow body, the base of which faces the discharge region 11 and the top surface of which lies in the bore 5 or 6.
  • the electrodes 2 and 3 are each provided with a screen 18 and 19 between the discharge region 11 and the insulator 16, which protrude into a corresponding recess 21 and 22 of the opposite electrode.
  • two diffusion barriers are formed in the shielding area 12 between the discharge area 11 and the insulator 16, which prevent diffusion of the metal vapor from the discharge area 11 to the insulator 16.
  • an intermediate electrode 41 is also provided between the electrodes 2 and 3, which is also provided with a coaxial bore 42 and forms a series connection of discharge paths 44 and 45 with the bores 5 and 6.
  • the intermediate electrode 41 is provided with two annular shields 46 and 47, which each protrude into a corresponding recess 48 or 49 of the other two electrodes. These screens 46 and 47 also serve as diffusion barriers for a metal deposit. In this embodiment, a corresponding increase in the switching voltage is obtained.
  • further intermediate electrodes can also be provided for higher voltages.
  • FIG 4 is only a special embodiment of the Cathode rear space 25 indicated with the pre-discharge space 30.
  • an auxiliary electrode is provided which serves as a blocking electrode 52 and is arranged between two ring-shaped insulators 55 and 56.
  • This blocking electrode 52 is essentially hollow cylindrical and its the lower end shields the openings 27 in the housing 26.
  • a positive potential is preferably applied to this blocking electrode 52, which engages into the housing 26 through the openings 27 and prevents premature triggering of the switching operation. Diffusion of metal vapor to the insulator 55 is therefore not possible.
  • a projection 53 of the pre-ionization electrode 32, which shields the insulator 56, can expediently be provided for the second insulator 56.
  • the blocking electrode 52 is integrated in the control electrode 33. For this purpose, this is extended so far that its lower end covers the openings 27 of the housing 26 of the cathode rear space 25.
  • the potential of the blocking electrode 51 with respect to the cathode potential is thus equal to the operating voltage of the pre-ionization discharge in the pre-ionization chamber 30 and can be adjusted by the height h 1 to the required size.
  • the height h1 will therefore generally be at least a few cm.
  • a particularly advantageous embodiment is obtained in that the housing of the control electrode 33 is provided with a window 51 for coupling microwaves.
  • This window can preferably be made of plastic or quartz.
  • the cup-shaped pre-ionization electrode is separated from the cathode 2 by a decoupling electrode 54, which is used for control and is separated from the control electrode 33 and the electrode 2 by electrical insulation 57 and 58, respectively.
  • the decoupling electrode 54 serves to decouple the pre-ionization in the pre-ionization space 30 from the discharge path 10.
  • a trigger electrode 60 is provided in the form of an annular disc, which is provided with a thin intermediate layer 59, shown somewhat more intensely in the figure, made of a material with a higher specific electrical resistance than metal, for example organic insulators, preferably plastics, in particular Mylar, or also semiconductors and graphite, are separated from the housing 26 of the cathode rear space 25.
  • the thickness of the intermediate layer 59 can preferably be at most about 0.1 to 0.2 mm and will generally not substantially exceed 0.5 mm.
  • the control device for the sliding discharge can expediently be provided with a housing 61, which can be made of metal, for example.
  • the inner diameter D7 of the intermediate layer 59, over the surface of which the sliding discharge is ignited, can preferably be selected to be larger than the inner diameter d7 of the housing 26 of the cathode rear space 25 Housing 26 shielded from a discharge on the discharge path 10.
  • the distance of the location of the sliding discharge on the surface of the intermediate layer 59 determined by the arrow 66 from the discharge gap 10 is essentially determined by the height h 2 of the cathode rear space 25.
  • This height can preferably be used to limit the erosion of the sliding discharge gap and thus to increase the service life of the gas discharge switch if possible be chosen large.
  • the height h 2 can preferably be at least approximately twice the inner diameter d7 of the housing 26.
  • a hot cathode 62 can also be provided in the pre-ionization chamber 30, which is assigned a heating device, for example a heating coil 63, which can be connected to a heating current source 65 via a suitable switch 64.
  • a heating device for example a heating coil 63
  • the electron current is controlled by the decoupling electrode 54.
  • the gas discharge switch according to FIG. 9 can also be provided with an internal hydrogen reservoir, which can consist, for example, of a metallic gas storage 68 for hydrogen or deuterium.
  • This gas storage can consist, for example, of palladium, titanium or tantalum, in the grid of which hydrogen is stored.
  • the gas accumulator 68 is also provided with a heating device, which can consist, for example, of a heating coil 70 which is connected to a heating current source, not shown in the figure.
  • the gas reservoir of the gas store 68 can serve as a pressure control system for the gas discharge switch.
  • the burning voltage of the pre-ionization discharge or its pressure can be measured and the gas addition can be regulated as a function thereof.
  • an electrically controlled gas metering valve 71 or a diaphragm valve can also be provided according to FIG. 9, which regulates the gas supply from an external gas reservoir 69 in the event of a drop in pressure or an increase in the operating voltage until the pressure or operating voltage have reached their normal working value again.

Landscapes

  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Circuit Breakers (AREA)

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf einen Gasentladungsschalter nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 oder 19 für eine Niederdruckgasentladung zwischen wenigstens zwei koaxialen Elektroden, die mit koaxialen Bohrungen versehen sind und in einem zentralen Entladungsbereich eine Gasentladungsstrecke und an ihren Rändern einen Isolationsbereich bilden, in dem die Elektroden mit einem Isolator gasdicht verbunden sind. Die Zündung der Gasentladung erfolgt durch Injektion von Ladungsträgern im Kathodenrückraum. Der Druck p der ionisierbaren Gasfüllung und der Abstand D der Elektroden an der Entladungsstrecke sind so gewählt, daß die Zündspannung einer gesteuerten Gasentladung mit steigendem Druck p.D abnimmt. Solche Schalter sind besonders geeignet als Einschalter für Hochstrom- und Hochspannungskreise.
  • Die Zündspannung für eine vorgegebene Gasentladungsstrecke und ihre übliche graphische Darstellung in Abhängigkeit vom Produkt aus Gasdruck p und Elektrodenabstand D in der Zündkennlinie bildet bekanntlich unter entsprechender Berücksichtigung der Zündwahrscheinlichkeit ein wichtiges Hilfsmittel zur Kennzeichnung von elektrischen Entladungsapparaten. Bei der Ermittlung der elektrischen Spannungsfestigkeit einer vorgegebenen Gasentladungsstrecke wird im allgemeinen der unendlich große Plattenkondensator und seine Zündkennlinie zum Vergleich herangezogen. Die praktische Ausführungsform solcher Entladungsstrecken hat jedoch Elektroden mit endlichen Abmessungen. Während es zur Ermittlung des rechten Astes der Zündkennlinie (Paschenkurve), d.h. also zur Untersuchung des sogenannten Weitdurchschlagsgebietes einschließlich des Spannungs-Minimums, genügt, lediglich zwei ebene, gegebenenfalls an den Rändern mit einem sogenannten Rogowski-Profil versehene abgerundete Platten parallel zueinander anzuordnen, ist eine derartige konstruktive Anordnung zur Untersuchung von Zündkennlinien im linken Teil der Paschenkurve, d.h. im sogenannten Nahdurchschlagsgebiet, unbrauchbar, weil dann Umwegentladungen auftreten können. Solche Umwegentladungen kann man durch eine Elektrodenkonstruktion mit ebenen Plattenelektroden vermeiden, die koaxial zueinander angeordnet und an ihren Rändern mit einem relativ zum Elektrodenabstand kleinen Krümmungsradius voneinander abgebogen und entlang der inneren zylindrischen Isolatoroberfläche geführt sind. Es wird somit zwischen dem abgebogenen, zylinderförmigen Randgebiet der Elektroden und der Innenwand des hohlzylindrischen Isolators stets ein Spalt gebildet.
  • Niederdruck-Gasentladungsstrecken sind bekanntlich als Schalter für hohe Ströme bis zu etwa 2 MA und hohe Spannungen bis zu etwa 100 kV geeignet. Diese Gasentladungsschalter arbeiten mit einem Druck des Arbeitsgases, vorzugsweise Wasserstoff, von weniger als 133,3 Pa (1 Torr) bei einem Elektrodenabstand von weniger als 1 cm mit einer Spannung oberhalb 10 kV im linken Ast der Paschenkurve. Da diese Schalter einen Strom nur einschalten, jedoch nicht wieder ausschalten können, sind sie besonders geeignet zum Entladen großer Kondensatoren. Der Gasentladungsschalter enthält eine Anode und eine Kathode, die koaxial zueinander angeordnet sind und einen zentralen Entladungsbereich, einen anschließenden Abschirmbereich und an ihren Rändern einen Isolationsbereich bilden. Der Abschirmbereich besteht aus einem koaxial verlaufenden ringzylindrischen Kanal. Anschließend sind die Elektroden im Isolationsbereich radial abgebogen und jeweils mit einer der Flachseiten eines ringscheibenförmigen Isolators verbunden. Im Isolationsbereich am inneren Rand des Isolators ist der Abstand der Elektroden in ihrer Achsrichtung etwa so groß wie an der Entladungsstrecke. Bei dieser Ausführungsform besteht die Gefahr eines Durchschlags am Isolator (Proc. IEE, Bd. 111, Nr. 1, Januar 1964, S. 203 bis 213).
  • Gasentladungsschalter mit koaxialen Bohrungen in den Elektroden, sogenannte Pseudofunkenschalter, können durch eine gepulste Niederdruck-Gasentladung gesteuert werden. Die Hauptentladung wird eingeleitet durch eine Hohlkathodenentladung und gezündet durch Injektion von Ladungsträgern. Zu diesem Zweck ist eine Steuereinrichtung vorgesehen, die einen mit Löchern versehenen Käfig enthält, der den Kathodenrückraum umgibt. Die Entladungsstrecke ist durch den Käfig vom Bereich einer Vorionisationsentladung, das ist eine Glimmentladung, getrennt. Zwischen dem Käfig und dem Bereich der Glimmentladung können noch verschiedene Hilfselektroden zur Abschirmung und Potentialsteuerung vorgesehen sein (Sci. Instr. 19 (1986), The Inst. of Physics, Great Britain, S. 466 bis 470).
  • Es ist ferner bekannt, daß in einem Gasentladungsschalter zur Beschleunigung von Elektronen und Ionen eine größere Anzahl von Elektroden, die mit koaxialen Bohrungen versehen sind, in einem verhältnismäßig geringen Abstand koaxial zueinander angeordnet sein können. Die Elektroden an den Enden des von allen Elektroden gebildeten Stapels und gegebenenfalls auch ein Teil der inneren Elektroden sind an eine Gleichspannung angeschlossen. In dieser bekannten Ausführungsform liegt jedoch der Isolator im direkten "Sichtbereich" der Entladungsstrecke, so daß eine Bedampfung der inneren Oberfläche des Isolators und eine Bestrahlung mit Photonen aus dem Entladungsbereich nicht ausgeschlossen ist (US-Patent US-A-4 335 465).
  • Demgegenüber liegt der Erfindung nun die Aufgabe zugrunde, die bekannte Ausführungsform eines Gasentladungsschaltars mit Elektroden, die parallel zueinander angeordnet und mit koaxialen Bohrungen versehen sind, zu vereinfachen und zu verbessern.
  • Die Aufgabe ist erfindungsgemäß alternativ durch die kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 oder des Anspruches 19 gelöst. In der ersten Ausführungsform des Gasentladungsschalters, bei dem der Elektrodenabstand im Entladungsbereich größer ist als im Isolationsbereich und im Abschirmbereich, erhält man eine Lokalisierung der Entladung im Entladungsbereich, insbesondere an der Entladungsstrecke. In der zweiten Ausführungsform des Gasentladungsschalters erhält man die Lokalisierung der Entladung allein dadurch, daß durch die Ausnehmungen der wirksame Abstand der parallelen Elektroden an der Entladungsstrecke vergrößert ist. In beiden Fällen wird eine Bedampfung des Isolators verhindert, da eine direkte Sichtverbindung mit dem Isolator vermieden ist.
  • Besonders vorteilhafte weitere Ausgestaltungen gehen aus den Unteransprüchen hervor.
  • Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf die Zeichnung Bezug genommen, in deren Figur 1 eine Ausführungsform eines Gasentladungsschalters gemäß der Erfindung als Querschnitt schematisch veranschaulicht ist. Figur 2 zeigt eine vorteilhafte weitere Ausgestaltung der Elektroden außerhalb des Entladungsbereichs. Eine Ausführungsform des Gasentladungsschalters für höhere Spannungen ist in Figur 3 dargestellt. Jeweils eine vorteilhafte Ausführungsform des Kathodenrückraums mit dem Vorentladungsraum ist in den Figuren 4 und 5 veranschaulicht. Eine Ausführungsform mit einer besonderen Vorionisationselektrode zeigt Figur 6. In Figur 7 ist eine Ausführungsform mit einer Steuerung der Gasentladung durch eine Gleitentladung dargestellt. Eine Ausführungsform mit einer besonderen Elektronenquelle für den Gasentladungsschalter ist in Figur 8 veranschaulicht. Figur 9 zeigt zwei Ausführungsformen von Gasspeichern für den Gasentladungsschalter.
  • In der Ausführungsform eines Gasentladungsschalters gemäß Figur 1 sind zwei Elektroden 2 und 3, von denen die Elektrode 2 beispielsweise als Kathode und die Elektrode 3 als Anode geschaltet ist und die jeweils einen Rotationskörper bilden, koaxial zueinander angeordnet. Die strichpunktiert angedeutete Rotationsachse ist mit 4 bezeichnet. Die Elektroden 2 und 3 sind mit koaxialen Bohrungen 5 bzw. 6 versehen, an denen eine Entladungsstrecke 10 gebildet wird. Die Elektroden 2 und 3 bestehen aus elektrisch leitendem Metall, beispielsweise Edelstahl, und können an der Entladungsstrecke vorzugsweise noch mit Einsätzen 8 und 9 aus einem hochschmelzenden Metall, beispielsweise Wolfram oder Molybdän oder auch aus deren Legierungen, bestehen. Um die Entladungsstrecke 10 wird ein Entladungsbereich 11 gebildet, der etwa durch den Raum zwischen den Elektroden 2 und 3 mit dem erweiterten Abstand D gebildet wird, insbesondere ergibt sich der Entladungsbereich zwischen den Einsätzen 8 und 9. Der Durchmesser der Bohrungen 5 und 6 wird vorzugsweise kleiner als der Abstand D der Elektroden 2 und 3 im Entladungsbereich 11 gewählt. Dieser Abstand D von beispielsweise etwa 2 bis 8 mm, vorzugsweise etwa 4 bis 6 mm, insbesondere etwa 5 mm, ist größer, vorzugsweise wesentlich größer als der Abstand d₁ der Elektroden im Isolationsbereich 13 in Achsrichtung der Elektroden 2, 3 am inneren Rand eines ringscheibenförmigen Isolators 16 und auch größer als der Abstand d₂ im Abschirmbereich 12 zwischen dem Entladungsbereich 11 und dem Isolator 16, an dem die Ränder der Elektroden 2 und 3 gasdicht befestigt sind. Der Abstand d₁ ist mindestens so groß wie der Abstand d₂ und kann beispielsweise etwa 0,5 bis 6 mm, vorzugsweise etwa 2 bis 4 mm, insbesondere etwa 3 mm, betragen. Der ringscheibenförmige Isolator 16 mit der Dicke A ist durch einen Sockel 23 aus elektrisch isolierendem Material verlängert, der zugleich zur Verlängerung des Isolationsweges zwischen den äußeren Enden der Elektroden 2 und 3 dient.
  • Oberhalb der Entladungsstrecke 10 befindet sich eine Steuereinrichtung 24 mit einem Gehäuse 26, das einen Kathodenrückraum 25 umschließt. Ein hohlzylindrischer Fortsatz des Gehäuses 26 bildet eine Vorionisationshohlkathode 28, die einen Hohlkathodenbereich 32 umgibt und in den Anodenbereich 31 des Vorionisationsraumes 30 hineinragt. Das Gehäuse 26 ist mit Öffnungen 27 versehen und durch eine gasdurchlässige metallische Trennwand 29 vom Hohlkathodenbereich 32 getrennt. Die Trennwand 29 ist mit Öffnungen versehen und kann insbesondere aus einem feinmaschigen Gitter oder auch einem Netz bestehen. Der Vorionisationsraum 30 ist von einer topfförmigen Steuerelektrode (keep alife electrode) 33 umgeben, die auf einem ringförmigen Isolator 34 ruht, der mit der Elektrode 2 gasdicht verbunden ist.
  • Mindestens eine der Elektroden 2 und 3, beispielsweise die Kathode 2, ist zwischen dem Entladungsbereich 11 und dem Isolator 16 mit mindestens einem im wesentlichen ringförmigen Schirm 18 versehen, der in eine ebenfalls im wesentlichen ringförmige Ausnehmung 21 der Anode 3 hineinragt. Mit dieser Ausführungsform des Gasentladungsschalters ist eine Diffusion von der Entladungsstrecke 10 zum Isolator 16 sowie eine Bestrahlung des Isolators durch UV- und Röntgenphotonen aus dem Entladungsbereich 11 praktisch ausgeschlossen.
  • Eine Füllung mit ionisierbarem Gas wird so gewählt, daß die Zündspannung des Gasentladungsschalters abnimmt, wenn das Produkt aus dem Elektrodenabstand D an der Entladungsstrecke 10 und dem Gasdruck p zunimmt. Eine schnelle funkenähnliche Gasentladung an der Entladungsstrecke 10 wird eingeleitet mit einer Vorentladung im Vorionisationsraum 30 mit Hilfe der Steuerelektrode 33 oder wenn die Durchbruchspannung überschritten wird. Mit einem Abstand D an der Entladungsstrecke von beispielsweise etwa 4 mm und einem Abstand d₁ im Isolationsbereich 13 und d₂ im Abschirmbereich 12 von beispielsweise jeweils etwa 2 mm sowie einer Gasfüllung mit Helium und einem Druck p = 60 Pa und somit einem Produkt p x D = 240 Pa mm
    Figure imgb0001
    erhält man eine Spannungsfestigkeit der Entladungsstrecke 10 von mindestens 20 kV.
  • In einer besonderen Ausführungsform des Gasentladungsschalters kann ein Magnetfeld vorgesehen sein, das den Vorionisationsraum 30 durchsetzt und etwa parallel zur Rotationsachse 4 gerichtet ist. Mit diesem Magnetfeld kann die Brennspannung vermindert und damit der für die Triggerung zugängliche Druckbereich vergrößert werden.
  • In der Ausführungsform des Gasentladungsschalters gemäß Figur 2 sind die einander gegenüberliegenden Oberflächen der Elektroden 2 und 3 oder der Einsätze 8 und 9 an der Entladungsstrecke 10 mit Ausnehmungen (14 bzw. 15) versehen, deren Oberfläche jeweils den Mantel eines Rotationshohlkörpers bildet, dessen Grundfläche dem Entladungsbereich 11 zugewandt ist und dessen Deckfläche in der Bohrung 5 bzw. 6 liegt. Mit dieser Gestaltung der Elektroden 2 und 3 findet die Gasentladung im Entladungsbereich 11 immer in unmittelbarer Nähe der Bohrungen 5 und 6 statt.
  • Die Elektroden 2 und 3 sind zwischen dem Entladungsbereich 11 und dem Isolator 16 jeweils mit einem Schirm 18 bzw. 19 versehen, die in eine entsprechende Ausnehmung 21 bzw. 22 der gegenüberliegenden Elektrode hineinragen. In dieser Ausführungsform entstehen im Abschirmbereich 12 zwischen dem Entladungsbereich 11 und dem Isolator 16 hintereinander zwei Diffusionssperren, die eine Diffusion des Metalldampfes aus dem Entladungsbereich 11 zum Isolator 16 verhindern.
  • In der Ausführungsform des Gasentladungsschalters gemäß Figur 3 ist eine Reihenschaltung von Entladungsstrecken vorgesehen, die eine entsprechend höhere Schaltspannung ermöglicht. In dieser Ausführungsform ist zwischen den Elektroden 2 und 3 noch eine Zwischenelektrode 41 vorgesehen, die ebenfalls mit einer koaxialen Bohrung 42 versehen ist und mit den Bohrungen 5 und 6 eine Reihenschaltung von Entladungsstrecken 44 und 45 bildet. Die Zwischenelektrode 41 ist mit zwei ringförmigen Schirmen 46 und 47 versehen, die jeweils in eine entsprechende Ausnehmung 48 bzw. 49 der beiden anderen Elektroden hineinragen. Diese Schirme 46 und 47 dienen ebenfalls als Diffusionssperren für einen Metallniederschlag. In dieser Ausführungsform erhält man eine entsprechende Erhöhung der Schaltspannung. Neben der dargestellten Ausführungsform des Gasentladungsschalters mit einer Zwischenelektrode 41 können für höhere Spannungen auch noch weitere Zwischenelektroden vorgesehen sein.
  • In Figur 4 ist lediglich eine besondere Ausgestaltung des Kathodenrückraumes 25 mit dem Vorentladungsraum 30 angedeutet. In dieser Ausführungsform ist eine Hilfselektrode vorgesehen, die als Blockierelektrode 52 dient und zwischen zwei ringförmigen Isolatoren 55 und 56 angeordnet ist. Diese Blockierelektrode 52 ist im wesentlichen hohlzylindrisch gestaltet und ihr unteres Ende schirmt die Öffnungen 27 im Gehäuse 26 ab. An diese Blockierelektrode 52 wird vor dem Schaltvorgang vorzugsweise ein positives Potential angelegt, das durch die Öffnungen 27 in das Gehäuse 26 hineingreift und eine vorzeitige Auslösung des Schaltvorgangs verhindert. Eine Diffusion von Metalldampf zum Isolator 55 ist somit nicht möglich. Für den zweiten Isolator 56 kann zweckmäßig ein Ansatz 53 der Vorionisationselektrode 32 vorgesehen sein, die den Isolator 56 abschirmt.
  • In der Ausführungsform gemäß Figur 5 ist die Blockierelektrode 52 in die Steuerelektrode 33 integriert. Zu diesem Zweck ist diese soweit verlängert, daß ihr unteres Ende die Öffnungen 27 des Gehäuses 26 des Kathodenrückraumes 25 überdeckt. Das Potential der Blockierelektrode 51 gegenüber dem Kathodenpotential ist somit gleich der Brennspannung der Vorionisationsentladung im Vorionisationsraum 30 und kann durch dessen Höhe h₁ auf die benötigte Größe eingestellt werden. Die Höhe h₁ wird deshalb im allgemeinen wenigstens einige cm betragen.
  • Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform erhält man dadurch, daß das Gehäuse der Steuerelektrode 33 mit einem Fenster 51 zum Einkoppeln von Mikrowellen versehen ist. Dieses Fenster kann vorzugsweise aus Kunststoff oder Quarz bestehen.
  • In der Ausführungsform des Gasentladungsschalters gemäß Figur 6 ist die topfförmige Vorionisierungselektrode von der Kathode 2 durch eine Entkopplungselektrode 54 getrennt, die zur Steuerung dient und von der Steuerelektrode 33 und der Elektrode 2 jeweils durch eine elektrische Isolation 57 bzw. 58 getrennt ist. In dieser Ausführungsform des Gasentladungsschalters ohne Vorionisationshohlkathode dient die Entkopplungselektrode 54 zur Entkopplung der Vorionisierung im Vorionisationsraum 30 von der Entladungsstrecke 10.
  • In der Ausführungsform des Gasentladungsschalters gemäß Figur 7 mit einer Steuerung durch eine Gleitentladung ist eine Triggerelektrode 60 in der Form einer Ringscheibe vorgesehen, die mit einer in der Figur etwas verstärkt dargestellten dünnen Zwischenlage 59 aus einem Material mit einem höheren spezifischen elektrischen Widerstand als Metall, beispielsweise organische Isolatoren, vorzugsweise Kunststoffe, insbesondere Mylar, oder auch Halbleiter sowie Graphit, vom Gehäuse 26 des Kathodenrückraumes 25 getrennt ist. Die Dicke der Zwischenlage 59 kann vorzugsweise höchstens etwa 0,1 bis 0,2 mm betragen und wird im allgemeinen 0,5 mm nicht wesentlich überschreiten. Die Steuereinrichtung für die Gleitentladung kann zweckmäßig mit einem Gehäuse 61 versehen sein, das beispielsweise aus Metall bestehen kann. Durch Anlegen eines Steuerspannungspulses zwischen der Triggerelektrode 60 und der Kathode wird über die Oberfläche der dünnen Zwischenlage 59, gegebenenfalls nach vorherigem Formieren mit höheren Spannungen, eine Gleitentladung erzwungen. Durch diese Gleitentladung werden Ladungsträger und Plasma in den Kathodenrückraum 25 injiziert, die den Schaltvorgang an der Entladungsstrecke 10 auslösen.
  • Der Innendurchmesser D₇ der Zwischenlage 59, über deren Oberfläche die Gleitentladung gezündet wird, kann vorzugsweise größer gewählt werden als der Innendurchmesser d₇ des Gehäuses 26 des Kathodenrückraumes 25. Dadurch wird die durch einen Pfeil 66 angedeutete freie Oberfläche der Zwischenlage 59 durch die Oberkante des Innenmantels des Gehäuses 26 gegenüber einer Entladung an der Entladungsstrecke 10 abgeschirmt.
  • Der Abstand des Ortes der Gleitentladung an der durch den Pfeil 66 bestimmten Oberfläche der Zwischenlage 59 von der Entladungsstrecke 10 wird wesentlich bestimmt durch die Höhe h₂ des Kathodenrückraumes 25. Diese Höhe kann zur Begrenzung der Erosion der Gleitentladungsstrecke und damit zur Erhöhung der Lebensdauer des Gasentladungsschalters vorzugsweise möglichst groß gewählt werden. In der praktischen Ausführungsform des Gasentladungsschalters kann die Höhe h₂ vorzugsweise wenigstens etwa das Doppelte des Innendurchmessers d₇ des Gehäuses 26 betragen.
  • In der Ausführungsform gemäß Figur 8 kann im Vorionisationsraum 30 auch eine Glühkathode 62 vorgesehen sein, der eine Heizeinrichtung, beispielsweise eine Heizwendel 63, zugeordnet ist, die über einen geeigneten Schalter 64 an eine Heizstromquelle 65 angeschlossen sein kann. In dieser Ausführungsform mit einer indirekt oder gegebenenfalls auch direkt geheizten Glühkathode 62 wird der Elektronenstrom durch die Entkopplungselektrode 54 gesteuert.
  • Ferner kann der Gasentladungsschalter gemäß Figur 9 auch mit einem internen Wasserstoffreservoir versehen sein, das beispielsweise aus einem metallischen Gasspeicher 68 für Wasserstoff oder Deuterium bestehen kann. Dieser Gasspeicher kann beispielsweise aus Palladium, Titan oder Tantal bestehen, in dessen Gitter Wasserstoff gespeichert ist. Der Gasspeicher 68 ist ebenfalls mit einer Heizeinrichtung versehen, die beispielsweise aus einer Heizwendel 70 bestehen kann, die an eine in der Figur nicht dargestellte Heizstromquelle angeschlossen ist. Das Gasreservoir des Gasspeichers 68 kann in Verbindung mit der Erfindung als Druckregelungssystem für den Gasentladungsschalter dienen. In dieser Ausführungsform kann beispielsweise die Brennspannung der Vorionisationsentladung oder deren Druck gemessen werden und in Abhängigkeit davon die Gaszugabe geregelt werden.
  • Zur Gaszugabe kann gemäß Figur 9 auch ein elektrisch gesteuertes Gasdosierventil 71 oder auch ein Membranventil vorgesehen sein, das bei Druckabfall oder Brennspannungsanstieg die Gaszuführung aus einem externen Gasspeicher 69 regelt, bis Druck oder Brennspannung wieder ihren normalen Arbeitswert erreicht haben.

Claims (20)

  1. Gasentladungsschalter für eine Niederdruckgasentladung mit folgenden Merkmalen:
    a) wenigstens zwei je einen Rotationskörper bildende nebeneinander entlang einer Achse gelegene koaxiale Elektroden (2, 3) bilden die Anode und Kathode der Niederdruckgasentladung,
    b) in einem zentralen Entladungsbereich (11), in dem diese Elektroden (2, 3) mit koaxialen Bohrungen (5, 6) versehen sind, wird zwischen den Elektroden (2, 3) eine Entladungsstrecke (10) gebildet,
    c) die Ränder der Elektroden (2, 3) liegen in einem Isolationsbereich (13) und sind am Isolator (16) gasdicht befestigt,
    d) es sind Mittel zur Zündung der Gasentladung durch Injektion von Ladungsträgern in einem Kathodenrückraum (25) vorgesehen, der mittels der Öffnung (5) in der Kathode (2) mit dem Entladungsbereich (11) verbunden ist und von einem Gehäuse (26) umgeben ist,
    gekennzeichnet durch folgende weitere Merkmale:
    e) der Abstand D der Elektroden (2, 3) im Entladungsbereich (11) ist größer als der Abstand d₁ der Elektroden (2, 3) im Isolationsbereich (13) in Achsrichtung der Elektroden (2, 3) am inneren Rand eines ringscheibenförmigen Isolators (16), in dem die Elektroden (2, 3) jeweils mit einer der Flachseiten des Isolators (16) verbunden sind, und
    f) dieser Abstand d₁ ist mindestens so groß wie der Abstand d₂ der Elektroden (2, 3) in einem zwischen dem Entladungsbereich (11) und dem Isolationsbereich (13) gebildeten Abschirmbereich (12), in dem Mittel zur Abschirmung des Isolators (16) vorgesehen sind derart, daß eine direkte Sichtverbindung von der Entladungsstrecke (10) zum Isolator (16) vermieden wird (Figur 1).
  2. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand d₂ der Elektroden (2, 3) im Abschirmbereich (12) höchstens die Hälfte des Abstands D der Elektroden (2, 3) an der Entladungsstrecke (10) beträgt.
  3. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand d₁ der Elektroden (2, 3) im Isolationsbereich (13) annähernd gleich der Dicke A des Isolators (16) ist.
  4. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Elektroden zwischen dem Entladungsbereich (11) und dem Isolationsbereich (13) mit einem im wesentlichen ringförmigen Schirm (18) versehen ist, der in eine im wesentlichen ringförmige Ausnehmung (21) der anderen Elektrode hineinragt (Figur 2).
  5. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Elektroden (2, 3) wenigstens eine Zwischenelektrode (41) mit einer koaxialen Bohrung (42) vorgesehen ist, so daß eine Reihenschaltung von wenigstens zwei Entladungsstrecken (44, 45) in Richtung der Rotationsachse (4) gebildet wird (Figur 3).
  6. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Glimmentladung im Kathodenrückraum (25) zur Steuerung der Gasentladung im Entladungsbereich (11).
  7. Gasentladungsschalter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein hohlzylindrisches Gehäuse (26) einen Kathodenrückraum (25) bildet und mit einer hohlzylindrischen Vorionisationshohlkathode (28) versehen ist, die einen Hohlkathodenbereich (32) umschließt und deren offenes Ende dem Anodenbereich (31) eines Vorionisationsraumes (30) gegenübersteht.
  8. Gasentladungsschalter nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Mantel des Gehäuses (26) mit Öffnungen (27) versehen ist, denen eine Blockierelektrode (52) zugeordnet ist (Figur 4).
  9. Gasentladungsschalter nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorionisationsraum (30) in einem Magnetfeld angeordnet ist.
  10. Gasentladungsschalter nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Blockierelektrode (52) gegen eine Steuerelektrode (33) und die Kathode (2) elektrisch isoliert ist.
  11. Gasentladungsschalter nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Blockierelektrode (52) in der Steuerelektrode (33) integriert ist (Figur 5).
  12. Gasentladungsschalter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerelektrode (33) mit einem Fenster (51) zum Einkoppeln von Mikrowellen versehen ist.
  13. Gasentladungsschalter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Steuerelektrode (33) eine Entkopplungselektrode (54) zugeordnet ist (Figur 6).
  14. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Komponente des Arbeitsgases aus Quecksilber Hg besteht.
  15. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Injektion von Ladungsträgern im Kathodenrückraum (25) zur Zündung der Gasentladung im Entladungsbereich (11) durch eine Gleitentladung (Figur 7).
  16. Gasentladungsschalter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß als Elektronenquelle eine Glühkathode (62) vorgesehen ist, die außerhalb des Kathodenrückraumes (25) im Vorionisierungsraum (30) angeordnet ist (Figur 8).
  17. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Steuerung der Zuführung des Arbeitsgases in Abhängigkeit von der Brennspannung der Vorionisationsentladung oder vom Druck p des Arbeitsgases.
  18. Gasentladungsschalter nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß zur Gasdruckregelung ein Gasreservoir (68, 69) vorgesehen ist (Figur 9).
  19. Gasentladungsschalter für eine Niederdruckgasentladung mit folgenden Merkmalen:
    a) Wenigstens zwei je einen Rotationskörper bildende nebeneinander entlang einer Achse gelegene koaxiale Elektroden (2, 3) bilden die Anode und Kathode der Niederdruckgasentladung,
    b) in einem zentralen Entladungsbereich (11), in dem diese Elektroden (2, 3) mit koaxialen Bohrungen (5, 6) versehen sind, wird zwischen den Elektroden (2), 3) eine Entladungsstrecke (10) gebildet,
    c) die Ränder der Elektroden (2, 3) liegen in einem Isolationsbereich (13) und sind am Isolator (16) gasdicht befestigt,
    d) es sind Mittel zur Zündung der Gasentladung durch Injektion von Ladungsträgern in einem Kathodenrückraum (25) vorgesehen, der mittels der Öffnung (5) in der Kathode (2) mit dem Entladungsbereich (11) verbunden ist und von einem Gehäuse (26) umgeben ist,
    gekennzeichnet durch folgendes weiteres Merkmal:
    e) die einander gegenüberliegenden Oberflächen der Elektroden (2, 3) an der Entladungsstrecke (10) sind jeweils mit einer Ausnehmung (14 bzw. 15) versehen, deren Oberfläche den Mantel eines Rotationshohlkörpers bildet, dessen Grundfläche dem Entladungsbereich (11) zugewandt ist und dessen Deckfläche in der Bohrung (5, 6) der Elektrode (2, 3) liegt (Figur 2).
  20. Gasentladungsschalter nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (2, 3) an der Entladungsstrecke (10) mit Einsätzen (8, 9) aus einem hochschmelzenden Metall versehen sind, deren einander zugewandten Oberflächen wenigstens einen Teil der Ausnehmung bilden (Figur 3).
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE58908057D1 (de) * 1988-04-11 1994-08-25 Siemens Ag Gasentladungschalter.
DE3904013A1 (de) * 1989-02-10 1990-08-16 Knorr Bremse Ag Klotzbremseinrichtung fuer schienenfahrzeuge
DE3904031A1 (de) * 1989-02-10 1990-08-16 Siemens Ag Gasentladungsschalter
EP0433480B1 (de) * 1989-12-20 2000-04-12 Siemens Aktiengesellschaft Hohlelektrodenschalter
EP0473813A1 (de) * 1990-09-03 1992-03-11 Siemens Aktiengesellschaft Hohlelektrodenschalter
EP0473814B1 (de) * 1990-09-03 1995-05-24 Siemens Aktiengesellschaft Hohlelektrodenschalter
DE59106733D1 (de) * 1991-04-25 1995-11-23 Siemens Ag Gasentladungsschalter.
DE9117007U1 (de) * 1991-04-25 1995-01-26 Siemens Ag Gasentladungsschalter
US5126638A (en) * 1991-05-13 1992-06-30 Maxwell Laboratories, Inc. Coaxial pseudospark discharge switch
GB9502423D0 (en) * 1995-02-08 1995-03-29 Eev Ltd Gas discharge device
KR0166644B1 (ko) * 1995-11-28 1999-01-15 박주탁 대전력 의사방전 스위치
DE10118210B4 (de) * 2001-04-11 2012-02-23 Dehn + Söhne Gmbh + Co. Kg Gekapselter Überspannungsableiter mit einer Funkenstreckenanordnung
US20070281007A1 (en) * 2004-08-27 2007-12-06 Jacob Jules S Mucoadhesive Oral Formulations of High Permeability, High Solubility Drugs
DE102010011592A1 (de) * 2010-03-16 2011-09-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Hohlkathoden-Plasmaquelle sowie Verwendung der Hohlkathoden-Plasmaquelle
US9153427B2 (en) 2012-12-18 2015-10-06 Agilent Technologies, Inc. Vacuum ultraviolet photon source, ionization apparatus, and related methods
US11482394B2 (en) * 2020-01-10 2022-10-25 General Electric Technology Gmbh Bidirectional gas discharge tube
CN113709958B (zh) * 2021-08-30 2022-10-28 西安交通大学 一种基于金属薄片堆栈层叠的微腔放电等离子体喷射装置
CN113721066B (zh) * 2021-09-10 2022-12-27 华北电力大学 一种传导电流测量装置及方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1358043A (en) * 1970-07-21 1974-06-26 Atomic Energy Authority Uk Electrical spark gap switch apparatus
JPS5032414B2 (de) * 1973-06-09 1975-10-21
US3854068A (en) * 1973-12-26 1974-12-10 Gen Electric Shield structure for vacuum arc discharge devices
US4019079A (en) * 1976-05-07 1977-04-19 The United States Of America As Represented By The United States Energy Research And Development Administration Gas injected vacuum switch
DE2804393A1 (de) * 1978-02-02 1979-08-09 Christiansen Jens Verfahren zur erzeugung hoher gepulster ionen- und elektronenstroeme
US4596945A (en) * 1984-05-14 1986-06-24 Hughes Aircraft Company Modulator switch with low voltage control
EP0259045A3 (de) * 1986-08-30 1989-10-25 English Electric Valve Company Limited Gasentladungsvorrichtungen
DE58908057D1 (de) * 1988-04-11 1994-08-25 Siemens Ag Gasentladungschalter.

Also Published As

Publication number Publication date
US5075592A (en) 1991-12-24
JPH01298670A (ja) 1989-12-01
US4939416A (en) 1990-07-03
DE58908057D1 (de) 1994-08-25
EP0337192A1 (de) 1989-10-18
ATE108946T1 (de) 1994-08-15

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