DE1954441C3

DE1954441C3 - Ionengetterpumpe

Info

Publication number: DE1954441C3
Application number: DE1954441A
Authority: DE
Inventors: Max-Josef Dr.-Ing. Zuerich Schoenhuber (Schweiz)
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1968-11-01
Filing date: 1969-10-29
Publication date: 1979-03-29
Also published as: FR2022353A6; DE1954441A1; GB1284290A; DE1954441B2; US3583829A

Description

Das Hauptpatent betrifft eine Ionen-Getterpumpe mit zwei Elektroden, von denen mindestens eine Elektrode mindestens teilweise aus Gettermaterial besteht und mit Mitteln zum Zünden und Aufrechterhalten eines Lichtbogens zwischen diesen Elektroden, wobei nach dem Hauptpatent 15 39 151 die Elektroden über die zur Zündung notwendigen Elektrodenflächen hinausgehende, ausgedehnte sich konzentrisch gegenüberliegende Zylinderflächen aufweisen, derart, daß der Lichtbogen in dem Zwischenraum und zugleich auch der Kathodenfleck auf der Oberfläche der Kathode wandert, und mindestens ein Zylinder wenigstens aus zwei miteinander verbundenen Teilen verschiedenen Durchmessers besteht.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese Ionen-Getterpumpe noch weiter zu verbessern, so daß durch besondere konstruktive Maßnahmen und Erdung dann eine Einsparung eines eigenen Pumpengehäuses sowie eine zuverlässige Begrenzung der Kathodenfleckauswandemng (Kathodenfleckbarriere) und damit eine sichere Verhinderung einer Bestäubung der Elektrodenisolierung, sowie eine weitgehende Verhinderung einer Elektrodenzerstäubung in den Rezipienten hinein, erzielt wird. Außerdem soll eine Unabhängigkeit von einer KühlflüssigkeitsvefSörgung erreicht werden.

Diese Aufgabe wird bei einer Ionen-Getterpumpe der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß mindestens entlang einer axialen Ausdehnung, die größer ist als der übrige Abstand zwischen den Eiektrodenzylindern, eine wenigstens 1,1 fache Abstandsvergrößerung zwischen den Zylindern vorliegt und daß mindestens ein Zylinder zugleich den größeren

Teil des Pumpengehäuses bildet

Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen. An Hand der Fig. 1 bis 3 werden Ausführungsbeispiele der Erfindung erläutert:

F i g. 1 zeigt eine Ionen-Getter-Pumpe für Bogenentladung mit innen konzentrisch zur Hohlanode angeordneter doppelwandiger Hohlkathode;

F i g. 2 zeigt eine Ausführung mit außen, konzentrisch zur Hohlanode, angeordneter Hohlkathode;

F i g. 3 zeigt eine zugehörige elektrische Schaltung.

In F i g. 1 ist auf das Vakuumgefäß (Rezipient) 1 die Ionen-Getterpumpe aufgesetzt Diese wird von den als Anode geschalteten konzentrischen Zylindern 9 und 2 umschlossen. Nach oben ist der Pumpenraum mit einem metallischen Deckel 3 abgedeckt Unten ist die mit Gasdurchtrittsöffnungen versehene Scheibenanode eingebaut Konzentrisch in diesem Anodengefäß ist die doppelwardige Kathode 8, 12, 13 angeordnet Ihr unterer Zylindermantel (12) größeren Durchmessers ist nach unten durch die Kathodenscheibe 4 abgeschlossen. Nach oben schließt sich ein Zylindermantel (13) kleineren Durchmessers an. Zwischen Anodenscheibe 5 sowie Anodenzylinder 9 und Kathodenscheibe 4 sowie Kathodenzylinder 8 soll der Lichtbogen brennen.

Außerdem ist noch eine durch einen Isolator 7 elektrisch isoliert eingeführte Zündelektrode 6 vorhanden. Diese besteht mindestens teilweise aus einem schwer schmelzenden Metall, während die Anode 5, 9 und die Kathode 4, 8 wenigstens teilweise aus Getterwerkstoff oder aus einer auf einem voren (gasten si> Grundmetall aufgebrachten Getterschicht von mindestens 0,5 mm Dicke hergestellt sind.

Die Anode (5,9) ist teilweise gitterförmig ausgeführt, um den Durchtritt der Gasreste aus dem Rezipient 1 in die Pumpe zu erleichtern. Die Kathodenscheibe 4 steht in einem geringen Abstand der Anodenscheibe 5 gegenüber. Die Zündelektrode 6 ist an dieser Stelle in einem noch geringeren Abstand zur Kathodenscheibe 4 angeordnet Ihr wird zunächst ein Hochspannungsimpuls zugeführt, so daß ein Lichtbogen zwischen der Zündelektrode 6 und der Kathodenscheibe 4 eingeleitet wird. Dieses Ziehen eines Lichtbogens ist selbst dann durchführbar, wenn in der Pumpe bereits Hochvakuum herrscht. Ausgangspunkt ist ein Kathodenfleck, der auf der Kathodenscheibe 4 gebildet wird. Durch den dabei 4Ί erzeugten E'ektrodendampf, dessen Ionisation und die einhergehende Vorionisation des Raumes zwischen Kathode 4, 8 und Anode 5, 9 wird über den auf der Kathode 4, 8 infolge des Zündbogens bereits bestehenden Kathodenfleck der Stromkreis des Gleichrichters 31 (Fig. 3) geschlossen, und es kann aus der Niederspannungsquelle, die entsprechend energiereich sein muß, ein hoher Strom von mehreren hundert Ampere für die Aufrechterhaltung eines starken Niedervoltlichtbogp'.is fließen. Dabei erhöht sich zumindest im Fein- und Hochvakuumbereich die Anzahl der Kathodenflecke da sich bei Oberschreiten einer vom Elektrodenwerkstoff abhängigen Gren/stromstärke ein Kathodenfleck in zwei oder mehrere feilflecke aufteilt. Zugleich wird durch das Auswandern der Kathodenflekke auch in Elektrodenpartien mit vergrößertem Elektrodenabstand die Länge der einzelnen Lichtbogen-Plasmasäulen verlängert Somit wird das Volumen des aufrechterhaltenen und in seiner Stromstärke Vergrößerten Lichtbogens größer als das des Ursprunglieh erzeugten Lichtbogens sein Und damit auch der in den Lichtbogen eintretende, mögliche Gasstrom, so daß auf diese Weise eine genügend große Sauggeschwindigkeit auch im Hochvakuum erzielt wird.

Da diese »Lichtbogen-Ionen-Getterpumpe« auch in Abschaltintprvallen als Sorptionspumpe weiterarbeiten und mit den von der Elektrodenabdampfung herrührenden aktiven Oberflächenfilmen wirkungsvoll unedle Gase pumpen soll, sind die unter anderem zu diesem Zwecke der Kathode vorgelagerten Oberflächen möglichst groß zu machen, indem beispielsweise die teilweise mit Gasdurchtrittsöffnungen versehene Anodenscheibe 5 mindestens teilweise in Form eines Schrägschlitzgitters 5 mit gegebenenfalls flüssigkeitsgekühlten Stegen 1 ausgeführt ist und indem diesen Gasdurchtrittsöffnungen ein die Elektrodenverdampfung gegen den Rezipienten 1 hin abfangendes, gekühltes Blendensystem 11 vorgesehen ist

Nun isit von ganz entscheidender Bedeutung für ein zuverlässiges Funktionieren der Pumpe, daß einerseits eine möglichst große Elektrodenobertlächii zum Wandern der Kathodenfiecke bereitgestellt wird als Voraussetzung für eine genügend große Pumpkapazität, beispielsweise durch Verbinden der . fteibenförmigen Elektroden (4,5) mit koaxial angeordneter Zylindern (8, 9) und daß andererseits aber eine zuverlässige Eingrenzung der Kathodenfleckwanderung vorgesehen ist, um die von den Kathodenflecken ausgehende Elektrod-i.nverdampfung von der Elektrodenisolierung 17 sicher fernzuhalten (Kathodenfleckbarriere).

Die durch koaxiale Zylinder (8, 9) vergrößerte Elektrodenoberfläche wird dadurch begrenzt, daß mindestens einer der beiden Zylinder, in Fig. 1 beispielsweise Zylinder 8, aus mindestens zwei miteinander verbundenen Teilzylindern verschiedenen Durchmessers (12, 13) besteht, so daß mindestens entlang einer axialen Ausdehnung, die größer ist als der übrige Abstand der koaxialen Zylinder innerhalb des Lichtbogenraumes, eine wenigstens 1,1 fache Abstandsvergrößerung 14 zwischen den Zylindern hergestellt ist. Exakt ist diese Abstandsvergrößerung so vorzunehmen, daß dort die Summenspannung aus Kathodenfail und dem Produkt aus Säulengradient und Elektrodei abstand größer ist als die Nennspannung der Niederspannungsquelle vermindert um den ohmschen Spannungsfall bei Pumpenriennstrom im Speisekreis. Dadurch erlischt automatisch jeder Kathodenfleck, der auswandert auf den zum Zwecke einer derartigen Abstandsvergrößerung mit geändertem Durchmesser ausgeführten Teilzylinder 13 bzw. in das entsprechende Teilgebiet 14 der Pumpe, und ein die Funktionsfähigkeit der Ionen-Getterpumpe zerstörendes Einwandern der Kathodenflekke in die die Elektrodenisolierung 17 schützenden Spalte 15 und Umlenkungen 16 ist ausgeschlossen.

In gleichem Ausmaße wie durch Verlassen der aktiven, zur Kathodenfleckwanderung vorgesehenen Oberfl.'.clt-.e Kathodenflecke erlöschen, teilen sich automatisch andere noch im erlaubten Elektrodenbereich (4 und 12) befindliche Flecke, so daß bei gleichbleibender Gesamtstromstärke die Gesamtzahl der Kathodenflecke auf diese Weise konstant bleibt und ein stetiger Pumpenbetrieb gesichert ist.

Zur Erzeugung enger Spalte 15 bzw. Umlenkungen 16 und damit einer sicheren Abschirmung der Elektrodenisolierung 17 ist an dem inneren Elektföden-Zyliiider 8 bzw. 13 an der dem aktiven Elektrodenbereich abgewandten Seite ein flanschartiges Ansatzstück 20 vorgesehen.

Will ffian nun die Pumpv/irkung einer Lichtbogenlonen-Gctterpumpe noch verstärken, so kann man die hohlzylindrischen Elektroden (8, 9) kühlen, indem man

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zu diesem Zwecke durch das Innere der Elektroden ein beispielsweise flüssiges Kühlmittel umlaufen läßt. In vielen Fällen ist jedoch eine solche Flüssigkeitsdurchlaufkühlung unerwünscht öder umständlich. Gemäß Fig. 1 und Fig.2 ist deshalb eine Kühlungsart vorgeschlagen, bei der die Zylinderelektroden (8, 9) wenigstens teilweise in ihrem Innern einen abgeschlossenen Hohlraum (18, 19) besitzen Und neben einer Kühlflüssigkeit auch deren Dampfphase enthalten und daß wenigstens ein Teil dieser Hohlräume eine "Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung aufweist.

Als Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung an einer solchen Elektroden Hohlraum-Innenwand können in an sich bekannter Weise feine Nuten, eine poröse Schicht öder ein feines Maschengilter vorgesehen sein. Diese Oberflächenstruktur ist in Fig. 1 bzw. Fig.2 nicht besonders gezeichnet. Wird nun eine Menge einer Kühlflüssigkeit, die ausreicht, die Kapillaren auszufüllen, eingefüllt und deren Siedepunkt je nach Kühlflüssigkeit zwischen 50⁰C und 300° C gewählt, so kann die Elektrodentemperatur selbst bei großer Wärmeentwicklung in den Kathodenflecken im Mittel unterhalb der Siedetemperatur der Kühlflüssigkeit gehalten werden und einmal an der Elektrodenoberfläche okkludierte, ab- oder adsorbierte Gase bleiben im Elektrodeninneren bzw. an der Kathodenoberfläche 4 und 12 genügend festgehalten. Als zweckmäßige Kühlflüssigkeiten können Wasser oder beispielsweise organische Kühlflüssigkeiten verwendet werden, deren Eignung noch erhöht wird, wenn der Kühlflüssigkeit ein Benetzungsmittel zugesetzt wird und durch teilweises Evakuieren der Elektroden-Hohlräume (18, 19) eine Siedepunktserniedrigung verursacht wird. Die im aktiven Elektrodenoberflächenbereich verdampfende Kühlflüssigkeit kondensiert wieder an den diesem Bereich abseits gelegenen Zonen des Hohlraumes und durch die Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung wird das Kondensat, unabhängig von der Montage und Lage der Ionen-Getterpumpe, wieder zur zu kühlenden Elektrodenpartie zurücktransportiert. Die mit 21 und 22 bezeichneten Teile stellen Kühlrippen dar, die die bei der Kühlflüssigkeitskondensation entstehende Wärme an die Umgebung weiter transportieren.

Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß F i g. 1 ist zwischen Rezipient 1 und dem Anschlußflansch 23 der Ionen-Getter-Pumpe eine elektrische Niederspannungs-Isolierung 24 in gleicher Weise wie zwischen den Flanschen 3 und 25 angebracht Die Verbindung von Flansch 3 und 25 sowie von Flansch 23 mit Rezipient 1 ist vakuumdicht ausgeführt Auch der Isolator 7 für die Zündelektrodeneinführung 26, der beispielsweise aus einem beidseitig metallisierten Aluminiumoxidrohr bestehen kann, ist auf der einen Seite mit dem Zündelektroden-Anschlußflansch 26 und auf der anderen Seite mit dem Kathodenzylinder 8 vakuumdicht verbunden. Zum Schutz des Isolators für die Zündelektrode gegen Bestäubung ist ebenfalls ein Spaltsystem zwischen Isolatoroberfläche und Zündelektrode vorzusehen, das in den F i g. 1 und 2 nicht gezeichnet ist

Fig.? zeigt eine Pumpenausführung, bei der die Anode 9 innen angeordnet ist und aus zwei Teilzylindern (12 und 13) verschiedenen Durchmessers aufgebaut ist Koaxial um die Anode bildet die Kathode mit ihrem Zylindermantel weitgehend das Pumpengehäuse, in dem es auf Erdpotential liegt gemiß F i g. 3. Die kreisförmigen Kathoden- und Anoden-Scheiben 4,5 schließen die Elektroden-Zylinder 8, 9 stirnseitig ab. Die zum Rezipienten 1 führenden Gasdurchtrittsöffnungen sind im Zylindermanlei 8 der Kathode angebracht an einer Stelle, wohin durch eine Abstandsvergrößerung Zwischen den Zylindern 8, 9 entgegengesetzter Spannung eine Kalhodenfleckauswanderung nicht mehr stattfinden kann. Das flanschartige Ansatzstück 20 auf dem verengten Zylindermantel 13 der Anode dient in einer den GasdurchlriU zum Rezipienten nicht störenden Anordnung zur Erzeugung enger Spalte 15 bzw. Urhlenkuhgeh 16 und damit einer sicheren Abschirmung der Eiektrodenisolierung 17 von etwaiger Bestäubung, in den Zylindermantel 8 der Kathode ist durch einen Isolator 7 elektrisch isoliert (eingeführt) eine Zündelektrode 6 in einem geringen Absland angeordnet. Der zunächst unmittelbar nach dem Zünden des Zündbogens in kleiner Länge brennende Lichtbogen wird alsbald auf benachbarte Bereiche übergreifen und bei einem Brennen zwischen Anode 5, 12 und Kathode 4, 8 in die Länge gezogen.

Diese Ausführung gemäß F i η 2 kann an Stelle der

2ö Zündelektrode auch mit einem beweglichen Zündstift versehen sein. Diese Mittel zum Zünden des Lichtbogens körnen zweckmäßig auch an der scheibenförmigen Teilelektrode 4 angebracht werden.
Zur Erleichterung der l.ichtbogenzündung kann die Zündelektrodenspitze bzw. die ihr gegenüberliegende Anode 5, 12 mindestens teilweise aus einem radioaktiven Isotop bestehen, das cc- oderß-Strahlen aussendet.

\ber P'ich ohne die in Fig.2 gezeichnete Zündelektrode 6 (bzw. eines Zündstifts) kann bei diesem Ausführungsbeispiel der Lichtbogen in einfacher Weise gezündet werden, indem beispielsweise die Kathodenscheibe 4 innerhalb des Zylinders 8 beweglich ausgeführt ist, so daß die Elektroden 4, 5 mindestens beim Einschalten der Pumpe wenigstens teilweise miteinander verbunden sind, und ein Antrieb, beispielsweise ein außerhalb des mit einem Faltenbalg versehenen Pumpengehäuses angebrachter Elektromagnet, eine Verbindung und Trennung sowie eine Abstandsvergrößerung der Elektroden 4, 5 herstellen läßt

F i g. 3 zeigt die elektrische Schaltung. Eine Schalteinrichtung als Mittel zum Zünden des Lichtbogens umfaßt einen Impulstransformator 34, einen Kondensator 36 und einen Aufladegleichrichter 39. Eine weitere Schalteinrichtung als Mittel zum Aufrechterhalten des Lichtbogens umfaßt einen Gleichrichtertransformator 30 und einen Gleichrichter 31 mit Oberspannungsschutz 32. Als Mittel zur Entkoppelung zwischen der den Lichtbogen zündenden Hochspannungsquelle und der zur Aufrechterhaltung des Lichtbogens dienenden Niederspannungsquelle dient eine Hilfselektrode *\ die in geringem Abstand zur kathodischen Hauptelektrode (4,8) der Ionen-Getterpumpe angebracht ist

Die Wirkungsweise ist nun folgende: zunächst werden die Schalter 29 für den Anschluß über Sicherungen 28 an das Drehstromnetz 27 und Schalter 38 geschlossen, wodurch der Kondensator 36 über den Gleichrichter 39 und über die Widerstände 40 und die Sicherung 37 aus dem Netz 41 aufgeladen wird. Beim Drücken des Druckknopfes 35 entlädt sich der Kondensator 36 an die primäre Wicklung der Zündspule 34 und diese liefert an die Zündelektrode 6 und die Kathode 4, S der Ionen-Getterpumpe einen Hochspannungsimpuls zum Zünden eines Lichtbogens bzw. mindestens eines Kathodenflecks. Hierbei wird der Raum zwischen Kathode 4, S and Anode 5, 9 vorionisiert, so daß über den auf der Kathode 4, 8 infolge des Zündbogens bereits bestehenden Kathoden-

fleck der Stromkreis des Gleichrichters 31 geschlossen Wird Und ein hoher Strom für eine stromstarke Lichtbogenentladung mit mehreren Kathodenflecken entstehen kann. Dabei kann die Kathode durch Erdung (F i g* 3) als Pumpengehäuse dienen.

Ist das Pumpen beendet, so wird der Schalter 29 wieder geöffnet. Das Öffnen Und Schließen des

Schalters 29 sowie die Betätigung des Druckknopfcs 35 kann auch automatisch vor sich gehen, wenn ein Druckwächter beim Verschlechtern des Vakuums das Gerät einschaltet und beim Erreichen des gewünschten Vakuums wieder ausschaltet. Diese Automatik ist in F i g. 3 nicht eingezeichnet.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

909 613/71

Claims

Patentansprüche:

1. Ionen-Getterpumpe mit zwei Elektroden, von denen mindestens eine Elektrode mindestens teilweise aus Gettermaterial besteht, und mit Mitteln zum Zünden und Aufrechterhalten eines Lichtbogens zwischen diesen Elektroden, wobei nach dem Hauptpatent 15 39 151 die Elektroden über die zur Zündung notwendigen Elektrodenflächen hinausgehende, ausgedehnte, sich konzentrisch gegenüberliegende Zylinderflächen aufweisen, derart, daß der Lichtbogen in dem Zwischenraum und zugleich auch der Kathodenfleck auf der Oberfläche der Kathode wandert, und mindestens ein Zylinder wenigstens aus zwei miteinander verbundenen Teilen verschiedenen Durchmessers besteht, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens entlang einer axialen Ausdehnung, die größer ist als der übrige Abstand zwischen den Elektrodenzylindem, eine wenigstens 1,1 fache Abstandsvergrößerung zwischen den Zylindern vorliegt und mindestens ein Zylinder zugleich den größeren Teil des Pumpengehäuses bildet

2. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens einen Gasdurchtrittsöffnung in Richtung zum Rezipienten ein Blendensystem (11) vorgelagert ist

3. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Blendensystem flüssigkeitsgekühlt ist.

4. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gitter.örmig ausgebildete Elektrode wenigstens teilweise in Form eines Schrägschlitzgitters ausgeführt is:

5. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Zündung des Lichtbogens einen Antrieb gegebenenfalls mit Hilfe einer Spule umfassen, der wenigstens eine der Elektroden mindestens beim Einschalten gegen die auf Gegenpotentiai liegende zweite Elektrode bewegt, wobei eine Verbindung und Trennung sowie eine Abstandsvergrößerung der Elektrode herstellbar ist.

6. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zur Zündung des Lichtbogens zusätzlich zu den Elektroden mindestens eine Hilfselektrode vorgesehen ist und die Schalteinrichtung einen Impulstransformator aufweist, zur Erzeugung einer Zündspannung zwischen der sowohl in der Haupt- als auch Hilfsentladungsstrecke als Kathode geschalteten Elektrode und der benachbart dieser Elektrode angebrachten Hilfselektrode.

7. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Hilfselektrode bzw. die ihr gegenüberliegende Elektrode mindestens teilweise aus einem radioaktiven Isotop besteht.

8. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Elektroden wenigstens teilweise in ihrem Inneren einen abgeschlossenen Hohlraum,besitzt und neben einer Kühlflüssigkeit auch deren Dampfphase enthält und daß wenigstens ein Teil dieses Hohlraumes eine Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung aufweist

9. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch I₁ dadurch gekennzeichnet, daß als Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung an der Elektroden-Hohlraum-ln-

nenwand feine Nuten vorgesehen sind.

10. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung an der Elektroden-Hohlraum-Innenwand eine poröse Schicht vorgesehen ist

11. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß als Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung an der Elektroden-Hohlraum-Innenwand ein feinmaschiges Netz vorgesehen i't

12. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Siedepunkt der Kühlflüssigkeit bei Atmosphärendruck zwischen 50⁰C und 300° C liegt

13. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß als Kühlflüssigkeit Wasser vorgesehen ist

14. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 1.2, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlflüssigkeit ein Benetzungsmittel zugesetzt ist

15. Ionen-Getterpumpe nach einem der Ansprüche 12 bis 14. dadurch gekennzeichnet daß der Elektroden-Hohlraum zusätzlich ein bei Raumtemperatur nicht kondensierbares Fremdgas enthält, dessen Partialdruck bei Raumtemperatur kleiner als Atmosphärendruck ist

16. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, d-tß mindestens an einem Elektrodenzylinder mindestens teilweise Kühlrippen angeordnet sind.

17. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß die Getterschicht wenigstens eine Dicke von 0,5 mm hat