DE1954441A1 - Ionen-Getterpumpe zur Herstellung und Aufrechterhaltung eines Hochvakuums - Google Patents

Ionen-Getterpumpe zur Herstellung und Aufrechterhaltung eines Hochvakuums

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DE1954441A1 DE19691954441 DE1954441A DE1954441A1 DE 1954441 A1 DE1954441 A1 DE 1954441A1 DE 19691954441 DE19691954441 DE 19691954441 DE 1954441 A DE1954441 A DE 1954441A DE 1954441 A1 DE1954441 A1 DE 1954441A1
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Description

ι α ο η nt ι
Dr.-Ing. Max-Josef Schönhuber, 1000 Berlin 30, Europa Center - Edenhaus
Ionen-Getterpumpe zur Herstellung und Aufrechterhaltung eines
Hochrakuums
Die Erfindung betrifft eine Ionen-Getterpumpe zur Herstellung und Aufrechterhaltung eines Hochrakuums, bei der nach dem
Hauptpatent Mittel vorgesehen sind, die beim
Einschalten der Pumpe zwischen einer ersten Elektrode und einer auf anderem Potential liegenden zweiten Elektrode einen Lichtbogen zünden zum Zwecke der Erzeugung mindestens eines Kathodenflecks, in dessen Bereich die Oberfläche der aus einem getternden Werkstoff bestehenden Kathode geschmolzen wird, wobei diese Mittel entweder einen Zündstift und einen Antrieb, welcher die Elektroden beim Einschalten mindestens kurzzeitig kurzschließt, oder eine Schalteinrichtung, zur Erzeugung einer Zündspannung zwischen den Elektroden, umfassen, und dasa weitere Mittel zur Aufrechterhaltung des erzeugten Lichtbogens vorgesehen sind, so dass der Lichtbogen in dem zwischen den Elektroden gebildeten Raum wandert und
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gleichzeitig der Kathodenfleek auf der Oberfläche der Kathode bewegt wird, wobei diese weiteren Mittel eine Schalteinrichtung zum Anlegen einer Niedergleichspannung an die Elektroden umfassen, und dass der zwischen den Elektroden bestehende Zwischenraum über wenigstens eine Gasdurehtrittsöffnung mit dem Rezipienten verbunden ist.
Diese Ionen-Getterpumpe kann noch weiterhin verbessert werden und erlaubt dann eine Einsparung eines eigenen JPumpengehäuses sowie eine zuverlässige Begrenzung der Kathoden— fleckauswanderung und damit eine sichere Yerhinderung einer Bestäubung der Elektrodenisolierung sowie eine weitgehende Verhinderung einer Elektrodenzerstäubung in den Hezipienten hinein, ausserdem kann eine Unabhängigkeit von einer Kühl— flüssigkeitsversorgung erreicht werden.
Es wird dazu erfindungsgemäss vorgeschlagen, dass die Elektroden mindestens zum grösseren Teil aus mindestens annähernd koaxial angeordneten Zylindern bestehen, wobei die äussere Oberfläche des einen und die innere Oberfläche des anderen Zylinders aus einem .getternden Werkstoff bestehende Slektrodenoberflächen darstellen und mindestens ein Zylinder zugleich den grösseren Teil des Pumpengehäuses bildet und mindestens ein Zylinder wenigstens aus zwei miteinander verbundenen Teilen verschiedenen Durchmessers besteht, sodass entlang einer axialen Ausdehnung, die grosser ist als der übrige Abstand der annähernd koaxialen Zylinder, eine wenigstens 1,1-fache Abstandsvergrösserung zwischen den Zylindern hergestellt ist.
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Die Figuren 1 bis 3 zeigen Ausftihrungsbeispiele der Erfindung:
Fig. 1 zeigt eine Ausführung» bei der die als Kathode ge-· schaltete Hauptelektrode mit ihrem aus zwei miteinander verbundenen Teilen verschiedenen Durchmessers bestehenden (Kathoden-) Zylinder koaxial innerhalb der als Anode geschalteten Hauptelektrode bzw. des zugehörigen (Anoden-) Zylinders angeordnet ist·
Fig. 2 zeigt eine Ausführung, bei der die als Anode geschaltete Hauptelektrode mit ihrem aus zwei miteinander verbundenen Teilen verschiedenen Durchmessers bestehenden Anoden-Zylinder koaxial innerhalb der als Kathode geschalteten, das Pumpengehäuse bildenden Hauptelektrode bzw« des zugehörigen (Kathoden-) Zylinders angeordnet ist und bei der beispielsweise die zum Rezipienten führende (-n) Gasdurchtrittsöffnung(-en) in Form eines Pumpenanschlusses im (Kathoden-) Zylinder angeordnet ist (sind)·
Fig. 3 zeigt eine zugehörige elektrische Schaltung·
In Fig· 1 ist das Vakuumgefäss, kurz Eezipient genannt, mit 1 bezeichnet. Auf diesen ßezipient ist die Ionen-Getterpumpe aufgesetzt· Sie ist in die als Anode geschaltete, zum grösseren Teil aus dem Zylinder § (bzw· dessen Aussenwand 2) sowie aus der mit Gasdurchtrittsöffnungen versehenen Scheibe 5 bestehenden Hauptelektrode eingebaut9 die mit dem metallischen Deckel 3 abgedeckt ist· In dieses gleichzeitig als Anode dienende Gefäne ist die als Kathode ge-
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. schaltete Hauptelektrode mit ihrem aus zwei miteinander verbundenen Teilen (12,13) verschiedenen Durchmessers bestehenden (Kathoden-)Zylinder 8 und der ihn abschliessenden Scheibe 4 eingebaut. Zwischen diesen beiden Hauptelektroden soll der Lichtbogen brennen»
Ausserdem ist noch eine durch einen Isolator 7 elektrisch, isoliert eingeführte Hilfselektrode 6 vorhanden· Diese besteht mindestens teilweise aus einem schwer schmelzenden Metall, während die Hauptelektroden (4,8 bzw. 5»9) wenigstens teilweise aus Getterwerkstoff oder aus einer auf einem vorentgasten Grundmetall aufgebrachten Getterschicht von mindestens 0.5 mm Dicke hergestellt sind·
Die Anode (5,9) ist teilweise gitterförmig ausgeführt, um den Durchtritt der Gasreste aus dem Rezipient 1 in die Pumpe zu erleichtern. Die Kathode (4,8) steht mindestens teilweise in einem geringen Abstand der Anode (5»9) gegenüber. Die Hilfselektrode 6 ist an dieser Stelle in. einem geringen Abstand zur kathodisch geschalteten Hauptelektrode (4,8) angeordnet. Ihr wird zunächst ein Hochspannungsimpule zugeführt, so dass ein Lichtbogen zwischen der Hilfselektrode 6 und der kathodischen Hauptelektrode (4,8) eingeleitet wird» auch wenn in der Pumpe Hochvakuum herrscht, derart, dass mindestens ein Kathodenfleck auf der kathodischen Hauptelektrode (4ι8) gebildet wird· Durch den dabei erzeugten Elektrodendampf, dessen Ionisation und die einhergehende Vorionisation des Baumes zwischen den Hauptelektroden (4,8) und (5»9) wird über den auf der Kathode (4,8) infolge des
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Hilfsbogens bereits bestellenden Kathodenfleck der Stromkreis des Gleichrichters 31 (Fig.3) geschlossen und es kann aus der Niederspannungsquelle, die entsprechend energiereich sein muss, ein hoher Strom von mehreren hundert Ampere für die Aufrechterhaltung eines starken Hiedervoltlichtbogens fliessen. Dabei erhöht sich zumindest im Fein- und Hochvakuumbereich die Anzahl der Kathodenflecke, da sich bei Überschreiten einer vom Elektrodenwerkstoff abhängigen Grenzstromstärke ein Kathodenfleck in zwei oder mehrere Teilflecke aufteilt. Gleichzeitig wird durch das Auswandern der Kathodenflecke auch in Elektrodenpartien mit vergrössertem Elektrodenabstand die Länge der einzelnen Lichtbogen-Plasmasäulen verlängert. Somit wird das Volumen des aufrechterhaltenen und in seiner Stromstärke vergrösserten Lichtbogens grosser als das des ursprünglich erzeugten Lichtbogens sein und damit auch der in den Lichtbogen mögliche Gaseinstrom, so dass auf diese Weise eine genügend grosse Sauggeschwindigkeit auch im Hochvakuum erzielt wird.
Da diese "Lichtbogen-Ionen-Getterpumpe" auch in Abschaltintervallen als Sorptionspumpe weiterarbeiten und mit den von der Elektrodenabdampfung herrührenden aktiven Oberflächenfilmen wirkungsvoll unedle Gase pumpen soll, sind die u.a» zu diesem Zwecke der Kathode vorgelagerten Oberflächen möglichst gross zu machen, indem beispielsweise die als Anode geschaltete, teilweise mit Gasdurchtrittsöffnungen versehene Elektrode (5,9) mindestens teilweise in Form eines Schrägechlitzgitters 5 mit gegebenenfalls flüssigkeitsgekühlten
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Stegen 10 ausgeführt ist und indem diesen Gasdurchtrittsöffnungen ein die Elektrodemrerdampfung gegen den Rezipienten hin anfangendes, gekühltes Blendensystem 11 vorgesehen • ist·
Nun ist von ganz entscheidender Bedeutung, dass einerseits eine möglichst grosse Elektrodenoberfläche zum Wandern der Kathodenflecke bereitgestellt wird als Voraussetzung für eine genügend grosse Pumpkapazität, beispielsweise durch Verbinden der scheibenförmigen Elektroden (4,5) mit koaxial angeordneten Zylinder (8,9) und dass andererseits aber eine zuverlässige Eingrenzung der Eathodenfleckwanderung vorgesehen ist, um die von den Kathodenflecken ausgehende Elektrodenverdampfung von der Elektrodenisolierung 17 sicher fernzuhalten·
Erfindungsgemäss ist daher die durch koaxiale Zylinder (8»9) gebildete Elektrodenoberfläche dadurch zu begrenzen, dass mindestens einer der beiden Zylinder, in 3?ig· 1 beispielsweise Zylinder. 8, aus Blindest ens zwei miteinander verbundenen Teilen verschiedenen Durchmessers (12,13) besteht, so dass mindestens entlang einer axialen Ausdehnung, die grosser ist als der übrige Abstand der koaxialen Zylinder, eine wenigstens 1,1-fache Abstandsvergrösserung 14 zwischen den Zylindern hergestellt ist· Exakt ist diese Abstandsvergrösserung so vorzunehmen, dass dort die Summenspannung aus Kathodenfall und dem Produkt aus Säulengradient und Elektrodenabstand grosser ist als die Fennspannung der Niederspan-
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nungsquelle vermindert um den ohmschen Spannungsabfall bei Puapennennstrom im Speisekreis· Dadurch erlischt automatisch, jeder Kathodenfleck, der auswandert auf den zum Zwecke einer derartigen Abstandsvergrösserung mit geändertem Durchmesser ausgeführten Teilzylinder 13 bzw· in das entsprechende Teilgebiet 14· der Pumpe, und ein die Funktionsfähigkeit der Ionen-Getterpumpe zerstörendes Einwandern der Kathodenflecke in die die Elektrodenisolierung 17 schützenden Spalte 15 und Umlenkungen 16 ist ausgeschlossen·
Xn gleichem Ausmasse wie durch Verlassen der aktiven, zur Kathodenfleckwanderung vorgesehenen Oberfläche Kathodenflecke erlöschen, teilen sich automatisch andere noch im erlaubten Elektrodenbereich (4 und 12) befindliche Flecke, so dass bei gleichbleibender Gesamtstromstärke die Gesamtzahl der Kathodenflecke auf diese Weise konstant bleibt und ein kontinuierlicher Pumpenbetrieb gesichert ist·
Zur Erzeugung enger Spalte 15 bzw· Umlenkungen 16 und damit einer sicheren Abschirmung der Elektrodenisolierung 17 ist an dem inneren Elektroden-Zylinder 8 bzw· 13 an der dem aktiven Elektrodenbereich abgewandten Seite ein flanschartiges Ansatzstück 20 vorgesehen·
Will «an min die Pumpwirkung einer Lichtbogen-^onen-Getterpuape noch verstärken, so kann man die Zylinderelektroden (8,9) kühlen, indem man su diesem Zwecke in das Innere
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der Elektroden ein beispielsweise flüssiges Kühlmittel ein- und ausführt. In vielen Fällen ist jedoch eine solche Flüssigkeitsdurchlaufkühlung unerwünscht oder umständlich· Gemäss Fig.1 und Fig.2 ist deshalb eine Kühlungsart vorgeschlagen, bei der die Zylinderelektroden (8,9) wenigstens teilweise in ihrem Innern einen abgeschlossenen Hohlraum (18,19) besitzen und neben einer Kühlflüssigkeit auch deren Dampfphase enthalten und dass wenigstens ein Teil dieser Hohlräume eine Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung aufweist.
Als Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung an einer solchen Elektroden-Hohlraum-Innenwand können in an sich bekannter Weise feine Nuten, eine poröse Schicht oder ein feines Maschengitter vorgesehen sein. Diese Oberflächenstruktur ist in Fig.1 bzw. Fig·2 nicht besonders gezeichnet· Wird nun eine Menge einer Kühlflüssigkeit, die ausreicht, die Kapillaren auszufüllen, eingefüllt und deren Siedepunkt zwischen 500C und 35O0C gewählt, so kann die Elektrodentemperatur selbst bei grosser Wärmeentwicklung in den Kathodenflecken im Mittel unterhalb der Siedetemperatur der Kühlflüssigkeit gehalten werden und einmal an der Elektrodenoberfläche okkludierte, ab- oder adsorbierte Gase blei-* ben im Elektrodeninneren bzw. an der Elektrodenoberfläoiva (4 und 8) genügend festgehalten· AIa zweckmäsalge KüJbl-flüssigkeiten können Wasser oder beispielsweise organische Kühlflüssigkeiten verwendet werden, deren Eignung noch erhöht wird, wenn der Kühlflüssigkeit ein Benetzungsmittel
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• zugesetzt wird und durch teilweises Evakuieren der Elektroden-Hohlräume (18,19) eine Siedepunktserniedrigung verursacht wird. Die im aktiven Elektrodenoberflächenbereich verdampfende Kühlflüssigkeit kondensiert wieder an den diesem Bereich abseits gelegenen Zonen des Hohlraumes und durch die Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung wird das Kondensat, unabhängig von der Montage und Lage der Ionen-Getterpumpe, wieder zur zu kühlenden Elektrodenpartie zurücktransportiert. Die mit 21 und 22 bezeichneten Teile stellen Kühlrippen dar, die die bei der Kühlflüssigkeitskondensation entstehende Wärme an die Umgebung weiter transportieren»
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäss Fig.1 ist zwischen Rezipient 1 und dem Anschlussflansch 23 der Ionen-Getterpumpe eine elektrische Niederspannungs-Isolierung 24 in gleicher Weise wie zwischen den Planschen 3 und 25 angebracht. Die Verbindung von Plansch 3 und 25 sowie von Flansch 23 mit Reziplent 1 ist vakuumdicht ausgeführt. Auch der Isolator 7 für die Hilfselektrodeneinführung 26, der beispielsweise aus einem beidseitig metallisiertem Alumimiumoxydrohr bestehen kann, ist auf der einen Seite mit dem Hilfselektroden-Anschlussflansoh 26 und auf der anderen Seite mit dem kathodisch geschalteten Elektrodenzylinder 8 vakuumdicht verbunden· Zum Schutz des Isolators für die Hilfselektrode gegen Bestäubung ist ebenfalls ein Spaltsystem zwischen Ieolatcaroberfläche und Hilfselektrode vorzusehen, das in den Fig.1 und 2 nicht extra gezeichnet
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fig.2 zeigt eine Pumpenausführung, bei der die als Anode geschaltete, zu ihrem grösseren !Teil aus zwei Teilzylindern (12 und 13) verschiedenen Durchmessers bestehende Hauptelektrode 9 koaxial innerhalb der als Kathode geschalteten, zu ihrem grösseren Teil zylindrischen Hauptelektrode 8, die weitgehend das Pumpengehäuse bildet, angeordnet ist, wobei die kreisförmigen, die Zylinder (8,9) auf ihrer Stirnseite abschliessenden Scheiben (4,5) den übrigen Teil der Hauptelek— troden darstellen· Die zum Bezipienten 1 führ ende (—n) Gas— durchtrittsöffnung(-en) ist (sind) in der kathodischen Zylinderelektrode 8 angebracht an einer Stelle, wohin durch eine erfindungsgemäss vorgeschlagene Abstandsvergrösserung zwischen den Zylindern (8,9) eine Kathodenfleckauswanderung nicht mehr stattfinden kann» Das flanschartige Ansatzstück 20 auf der anodischen Zylinderelektrode 9 dient in einer den Gasdurchtritt zum Rezipienten nicht störenden Anordnung zur Erzeugung enger Spalte 15 bzw. Umlenkungen 16 und damit einer sicheren Abschirmung der Elektrodenisolierung 17 von etwaiger Bestäubung.. Zur kathodisch geschalteten Zylinderelektrode 8 ist, durch einen Isolator 7 elektrisch isoliert eingeführt, eine Hilfselektrode 6 in einem geringen Abstand angeordnet, wobei der zunächst unmittelbar nach dem Zünden des Hilfsbogens in kleiner Länge brennende Lichtbogen durch schliesslichen Übergang und einem Brennen zwischen den Hauptelektroden in die Länge gezogen wird·
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Diese Ausführung gemäss "Pig·2 kann an Stelle der Hilfselektrode auch mit einem beweglichen Zündstift versehen sein· Diese Mittel zum Zünden des Lichtbogens können zweckmässig auch an der scheibenförmigen Teilelektrode 4 angebracht werden·
Zur Erleichterung der Lichtbogenzündung kann die Hilfselektrodenspitze bzw· die ihr gegenüberliegende (Haupt-)Elektrode mindestens teilweise aus einem radiaktiven Isotop bestehen» das (X - oder ρ -Strahlen aussendet«
Aber auch ohne die in Fig.2 gezeichnete Hilfselektrode 6 (bzw. eines Zündstifts) kann bei diesem Ausführungsbeispiel der Lichtbogen in einfacher Weise gesundet werden, indem beispielsweise die scheibenförmige katliotische Elektrode 4 innerhalb des Zylinders 8 beweglich ausgeführt ist, so dass die Elektroden mindestens beim Einschalten der Pumpe wenigstens teilweise miteinander verbunden sinäj und ein Antrieb, beispielsweise ein außerhalb des mit einem Faltenbalg versehenen Pumpengehäuses angebrachter Elektromagnet, eine Verbindung und Trennung sowie eine AbstandsYergrösserung der Elektroden herstellen lässt·
Pig. 3 zeigt die elektrische Schaltung* Eise Sclxalteinrichtung als Mittel zum Zünden des Lichtbogens umfasst einen Impulstransformator 34, einen Kondensator 36 und einen Aufladögleichrlchter 39· Eine weitere Schalteinrichtung als Mittel zum Aufrechterhalten des LicMtogens umfasst
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einen Gleiehrichtertransformator 30 und einen Gleichrichter 31· Als Mittel zur Entkoppelung zwischen der den Lichtbogen zündenden Hochspannungsquelle und der zur Aufrechterhaltung des Lichtbogens dienenden Niederspannungsquelle dient eine Hilfselektrode 6, die in geringem Abstand zur kathodischen Hauptelektrode (4,8) der Ionen-Getterpumpe angebracht ist.
Me Wirkungsweise ist nun folgende: Zunächst werden die Schalter 29 und 38 geschlossen, wodurch der Kondensator 36 über den Gleichrichter 39 aus dem Hetz 41 aufgeladen wird# Beim Drücken des Druckknopfes 35 entlädt sich der Kondensator 36 an die primäre Wicklung der Zündspule 34 und diese liefert an die Hilfselektrode 6 und die als Kathode geschaltete Hauptelektrode (4,8) der Ionen-Getterpumpe einen Hochspannungsimpuls zum Zünden eines Lichtbogens bzw· mindestens eines Kathodenflecks. Hierbei wird der Kaum zwischen den Hauptelektroden (4,8) und (5,9) vorionisiert, so dass über den auf der Kathode (4,8) infolge des Hilfsbogens bereits bestehenden Kathodenfleck der Stromkreis des Gleichrichters 31 geschlossen wird und ein hoher Strom für eine stromstarke Lichtbogenentladung mit mehreren Kathodenflecken entstehen kann«
Ist das Pumpen beendet, so wird der Schalter 29 wieder geöffnet. Das Öffnen und Schliessen des Schalters 29 sowie die Betätigung des Druckknopfes 35 kann auch automatisch vor sich gehen, wenn ein Druckwächter beim Verschlechteren
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des Vakuums das Gerät einschaltet und beim Erreichen des gewünschten Vakuums wieder ausschaltet. Diese Automatik ist in Pig.3 nicht eingezeichnet«
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Claims (1)

  1. - 14 Pat ent ansprüche
    (λ J Ionen-Getterpumpe zur Herstellung und Aufrechterhaltung eines Hochvakuums mit Elektroden, zwischen denen eine elektrische Entladung erfolgt, bei der nach dem Patent Mittel vorgesehen sind, die beim Einschalten der Pumpe zwischen einer ersten Elektrode und einer auf anderem Potential liegenden zweiten Elektrode einen !lichtbogen zünden zum Zwecke der Erzeugung mindestens eines Kathodenflecks, in dessen Bereich die Oberfläche der aus einem getternden Werkstoff bestehenden Kathode geschmolzen wird, wobei diese Mittel entweder einen Zündstift und einen Antrieb, welcher die Elektroden beim Einschalten kurzzeitig kurzschließt, oder eine Schalteinrichtung, zur Erzeugung einer Zündspannung zwischen den Elektroden, umfassen, und daß weitere Mittel zur Aufrechterhaltung des erzeugten Lichtbogens vorgesehen sind, so daß der Lichtbogen in dem zwischen den Elektroden gebildeten Raum wandert und gleichzeitig der Kathodenfleck auf der Oberfläche der Kathode bewegt wird, wobei diese weiteren Mittel eine Schalteinrichtung zum Anlegen einer Niedergleichspannung an die Elektroden umfassen, und dass der zwischen den Elektroden bestehende Zwischenraum über wenigstens eine Gasdurchtrittsöffnung mit dem Rezipienten verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden mindestens zum gröss er en Teil aus mindestens annähernd koaxial angeordneten Zylinder bestehen, wobei die äussere Oberfläche des einen und die
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    innere Oberfläche des anderen Zylinders Elektrodenflachen darstellen, und mindestens ein Zylinder zugleich den grösseren Teil des Pumpengehäuses bildet und mindestens ein Zylinder wenigstens aus zwei miteinander verbundenen Teilen verschiedenen Durchmessers besteht, so dass mindestens entlang einer axialen Ausdehnung, die grosser ist als der übrige Abstand der annähernd koaxialen Zylinder, eine wenigstens 1,1-fache Abstands— vergrösserung zwischen den Zylindern vorliegt·
    2. Ionen-Getterpumpe gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Elektrode mit mindestens einer Gasdurchtrittsöffnung zum fiezipienten versehen ist·
    3. Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Elektrode Mindestens teilweise gitterförmig ausgebildet ist·
    4. Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, dass die gitterförmig ausgebildete Elektrode wenigstens teilweise in Form eines Schrägschlitzgitters ausgeführt ist.
    5· Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch 1 und den Ansprüchen 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens einen Gasdurchtrittsöffnung In Richtung zum Reaipienten ein Blendeneystem vorgelagert ist«
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    6. Ionen-Getterpumpe gemäsö Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Blendensystem flüssigkeitsgekühlt ist
    7. Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Zündung des Lichtbogens
    • einen Antrieb gegebenenfalls mit Hilfe einer Spule umfassen, der wenigstens eine der Elektrode mindestens beim Einschalten gegen die auf Gegenpotential liegende zweite Elektrode bewegt, wobei eine Verbindung und Trennung sowie eine Abstandsvergrösserung der Elektrode herstellbar ist.
    8. Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Mittel zur Entkoppelung zwischen der den Lichtbogen zündenden Hochspannungsquelle und der zur Aufrechterhaltung des Lichtbogens dienenden Niederspannungsquelle mindestens eine Hilfselektrode in geringer Entfernung zur kathodisch geschalteten (Haupt-)Elektrode vorgesehen ist.
    9. Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Hilfselektrode bzw· die ihr gegenüberliegende Elektrode mindestens teilweise aus einem radioaktiven Isotop besteht.
    10. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeiohnet, dass als Mittel zur Zündung des Lichtbogens zusätzlich zu den (Haupt-)Elektroden und mindestens einer Hilfselektrode eine Schalteinrichtung vorgesehen ist,
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    welche über einen Impulstransformator zwischen der sowohl in der Haupt- als auch Hilfsentladungsstrecke als Kathode geschalteten Elektrode und dieser in unmittelbarer Nähe der Kathode angebrachten Hilfselektrode einen Hilfsbogen mit mindestens einem Kathodenfleck, in dessen Bereich die Kathode geschmolzen wird, zünden mit einer Stromstärke, bei der der Lichtbogen über eine weitere Schalteinrichtung zwischen den (Haupt-) Elektroden zu brennen kommt und dort aufrechterhalten wird.
    11. Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der Elektroden flüssigkeitsgekühlt über Zu- und Ableitungen mit einer Kühleinrichtung verbunden ist.
    12· Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Elektroden wenigstens teilweise in ihrem Inneren einen abgeschlossenen Hohlraum besitzt und neben einer Kühlflüssigkeit auch deren Dampfphase enthält und dass wenigstens ein !Teil dieses Hohlraumes eine Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung aufweist.
    13· Ionen-Setterpumpe gemäss Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daea als Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung an der Elektroden-Hohlraua-Innenwand fein« lutea vorgesehen sind« ■
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    H. Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass als Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung an der Elektroden-Hohlraum-Innenwand eine poröse Schicht vorgesehen ist·
    15. Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch. 12, dadurch gekennzeichnet, dass als Oberflächenstruktur mit Kapillarwirkung an der Elektroden-Hohlraum-Innenwand ein feinmaschiges Netz vorgesehen ist.
    16. Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Siedepunkt der Kühl flüssigkeit bei Atmosphärendruck zwischen 5O°G und 3OO°G liegt.
    17. Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass als Kühlflüssigkeit Yasser Torgesehen ist·
    18. Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch 16» dadurch gekennzeichnet, dass der Kühlflüssigkeit ein Benetzungsmittel zugesetzt ist. ·
    19« Ionen-Getterpumpe gemäss einem der Ansprüche 16 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Elektroden-Hohlraum zusätzlich ein bei Raumtemperatur nicht kondensierbares Fremdgas enthält, dessen Partialdruck hei Raumtemperatur kleiner als Atmosphärendruck ist·
    20« Ionen-Getterpumpe gemäss Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens an eines Blektrodenzylinder
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    mindestens teilweise Kühlrippen angeordnet sind·
    21· Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden wenigstens teilweise aus Getterwerkstoff bestehen»
    22. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden aus einem wärmeleitfähigen Grundmetall bestehen, auf welches eine Getterschicht aufgebracht ist·
    23. Ionen-Getterpumpe nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Getterschicht wenigstens eine Dicke von 0,5 mm hat·
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    Leerseite
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