EP0019249B1 - Elektronenstrahl-Erzeugungssystem für Kathodenmehrstrahlröhren - Google Patents
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- H01J29/484—Eliminating deleterious effects due to thermal effects, electrical or magnetic fields; Preventing unwanted emission
Definitions
- the invention relates to an electron beam generating system for cathode multi-beam tubes with a plurality of cathodes and subsequent electrodes one behind the other with passage holes for the electrons assigned to the individual cathodes, each of which has a common electrode, the individual electrodes being at different temperatures which increase towards the cathodes during operation .
- An electron beam generation system of the type mentioned at the outset is known from DE-A-2 511 758, in which, based on this problem, it was pointed out that it was expedient to improve the convergence properties in that at least the support members of the control electrode were made from a material with a linear coefficients of expansion of less than 80. 10- 7 O C- 1 exist.
- control electrode in order to avoid a thermal change in the distance between the control electrode and the cathode, the control electrode consists of a metal whose coefficient of thermal expansion is equal to or less than that of a metal sleeve carrying the cathode.
- the object of the invention is to design a generic electron beam generation system for cathode multi-beam tubes in such a way that the misalignment of the electron optics and also the mechanical stresses due to the thermal expansion of the individual electrodes are substantially reduced.
- this object is achieved in that the materials for the individual electrodes are selected with respect to their thermal expansion coefficients such that the ratio of the difference in the thermally induced changes in the distance of the electron passage holes in two adjacent electrodes to the distance between the planes of the electron passage holes in the two adjacent ones Electrodes for the whole electrode system is essentially constant.
- FIG. 1 shows a longitudinal section through an electron beam generating system in inline technology with three electron beam generators arranged next to one another, the electrodes 1 to 4 of which, viewed in the beam direction, lie one behind the other in the planes E1 to E4. It should be noted here that the cut surface is selected such that glass rods and holding elements of the electrodes have also been cut.
- the electrodes 1 to 4 are melted into the glass rods 6 either directly or via holding parts 5.
- the mutual spacing of the holes is 6.6 mm at room temperature. The change in the distance from center to center of the holes at different temperatures is taken as a measure of the thermal expansion of the electrode.
- the electrodes heat up to different temperatures during operation.
- the temperatures of the electrodes 1 to 4 are entered, which are in the levels E1 to E4, where t is the time after the cathode heating is switched on.
- the distance between the holes changes due to the thermal expansion of the electrode materials.
- each of the electrodes 1 to 4 is at a constant temperature in the operating state.
- 2 and 3 which illustrate the differences between the prior art and the invention, is based on the simplified assumption that electrodes 1 to 4 are each concentrated in a disk which is arranged in planes E1 to E4.
- the electrodes of two levels can also consist of the same material, since fewer materials then have to be checked for their suitability and kept in stock than if the electrode material is different for each level.
- the cathode current has proven to be a sensitive means of detection for mechanical stresses in the system.
- the positive voltage of electrodes 2 and 3 is then set such that a cathode current of 100 pA flows in the stationary state. After this setting, the system is allowed to cool and then the cathode current is measured after switching on again.
- the electrode materials of which are matched according to the invention with regard to thermal expansion errors which are based on a mutual displacement of the holes 7 in the beam direction, such as e.g. B. time convergence errors, significantly reduce compared to known arrangements.
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
- Die Erfindung betrifft ein Elektronenstrahlerzeugungssystem für Kathodenmehrstrahlröhren mit mehreren Kathoden und darauf folgenden, hintereinander liegenden Elektroden mit den einzelnen Kathoden zugeordneten Durchtrittslöchern für die Elektronen in jeweils einer gemeinsamen Elektrode, wobei sich während des Betriebes die einzelnen Elektroden auf unterschiedlichen, zu den Kathoden hin zunehmenden Temperaturen befinden. Hierdurch entstehen Lageänderungen der Elektroden, Abstandsänderungen der Durchtrittslöcher in den einzelnen Elektroden und/oder mechanische Spannungen im System, die u.a. starken Einfluss auf den Kathodenstrom oder auf die Konvergenzeigenschaften der Röhre ausüben.
- Ein Elektronenstrahlerzeugungssystem der eingangs genannten Art ist aus der DE-A-2 511 758 bekannt, in der von dieser Problematik ausgehend darauf hingewiesen wurde, dass es zweckmässig sei, die Konvergenzeigenschaften dadurch zu verbessern, dass wenigstens die Stützglieder der Steuerelektrode aus einem Werkstoff mit einem linearen Ausdehnungskoeffizienten von weniger als 80. 10-7 OC-1 bestehen.
- Ausserdem ist es aus der DE-A-2 642 582 bekannt, dass zwecks Vermeidung einer thermischen Abstandsänderung zwischen der Steuerelektrode und der Kathode - die Steuerelektrode aus einem Metall besteht, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient gleich oder kleiner als derjenige einer die Kathode tragenden Metallhülse ist.
- Es hat sich herausgestellt, dass die Anzahl der Werkstoffe mit praktisch vernachlässigbarer Wärmeausdehnung sehr gering ist. Die wegen dieser Eigenschaft in Frage kommenden Werkstoffe weisen dann andere Eigenschaften auf, die ihrer Anwendung für Elektronenstrahlerzeugungssysteme hinderlich im Wege stehen, insbesondere ihre magnetischen Eigenschaften.
- Aufgabe der Erfindung ist es, ein gattungsgemässes Elektronenstrahlerzeugungssystem für Kathodenmehrstrahlröhren so auszugestalten, dass die Dejustage der Elektronenoptik und auch die mechanischen Spannungen aufgrund der Wärmeausdehnung der einzelnen Elektroden wesentlich verringert werden.
- Diese Aufgabe ist erfindungsgemäss dadurch gelöst, dass die Werkstoffe für die einzelnen Elektroden in bezug auf ihren thermischen Ausdehnungskoeffizienten so gewählt sind, dass das Verhältnis der Differenz der thermisch bedingten Abstandsänderungen der Elektronendruchtrittslöcher in jeweils zwei benachbarten Elektroden zum Abstand der Ebenen der Elektronendurchtrittslöcher in den zwei benachbarten Elektroden für das ganze Elektrodensystem im wesentlichen konstant ist.
- Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Ansprüchen 2 und 3 enthalten.
- Dadurch entfällt die Bedingung einer sehr geringen Wärmeausdehnung der verwendeten Werkstoffe, so dass sich die Zahl der verwendbaren Werkstoffe erheblich erhöht.
- Die Erfindung wird nun im folgenden im Vergleich zum Stand der Technik anhand der Figuren näher erläutert. Es zeigen:
- Fig. 1 den Längsschnitt durch ein Elektronenstrahlerzeugungssystem,
- Fig. 2 die Ausdehnung der verschiedenen Elektroden bei einem bekannten System,
- Fig. 3 die Ausdehnung der verschiedenen Elektroden bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung,
- Fig. 4 den Kathodenstrom bei aus verschiedenen Werkstoffen aufgebauten Elektronenstrahlerzeugungssystemen:
- a) alle Elektroden aus demselben Werkstoff nach dem Stand der Technik,
- b) Wehnelttopf aus FeNi36 nach DE-A-2 511 758,
- c) Aufbau mit den Eigenschaften gemäss Fig. 3.
- In Fig. 1 ist ein Längsschnitt durch ein Elektronenstrahlerzeugungssystem in Inline-Technik mit drei nebeneinander angeordneten Elektronenstrahlerzeugern dargestellt, deren Elektroden 1 bis 4 in Strahlrichtung betrachtet hintereinander in den Ebenen E1 bis E4 liegen. Hierbei ist zu bemerken, dass die Schnittfläche so gewählt ist, dass Glasstäbe und Halteelemente der Elektroden mitgeschnitten wurden. Die Elektroden 1 bis 4 sind entweder direkt oder über Halterungsteile 5 in die Glasstäbe 6 eingeschmolzen. In jeder Elektrode sind drei Löcher 7 für die Elektronenstrahlen vorhanden. In Fig. 1 liegen die Löcher 7 senkrecht zur Schnittebene hintereinander, so dass nur die der mittleren Kathode zugeordneten Durchtrittslöcher zu sehen sind. Der gegenseitige Abstand der Löcher beträgt bei Raumtemperatur 6,6 mm. Die Änderung des Abstandes von Mitte zu Mitte der Löcher bei verschiedenen Temperaturen wird als Mass für die Wärmeausdehnung der Elektrode genommen.
-
- Bei Erhöhung der Temperatur ändert sich der Abstand der Löcher aufgrund der Wärmeausdehnung der Elektrodenwerkstoffe.
- In Fig. 2 ist auf der Abszisse diese Lochabstandsänderung für drei Zeiten, nämlich für t = 4 min, t = 12 min und den mit t = oo bezeichneten Endzustand und auf der Ordinate der jeweilige Abstand der Ebenen E1 bis E4 von der Kathode aufgetragen.
- Für eine prinzipielle Betrachtung der Erfindung ist es hinreichend genau, davon auszugehen, dass sich im Betriebszustand jede der Elektroden 1 bis 4 auf einer konstanten Temperatur befindet. Daher liegt den Fig. 2 und 3, welche die Unterschiede zwischen dem Stand der Technik und der Erfindung verdeutlichen, die vereinfachte Annahme zugrunde, die Elektroden 1 bis 4 seien jeweils in einer Scheibe konzentriert, welche in den Ebenen E1 bis E4 angeordnet sind.
- Es ist aus Fig. 2 deutlich ersichtlich, dass das Verhältnis aus der Differenz der linearen Wärmeausdehnung jeweils zweier benachbarter Elektroden und dem Abstand der Ebenen in diesen Elektroden nicht konstant ist. Daher kommt es zu starken mechanischen Spannungen im System.
- Diese Spannungen werden verringert, wenn das Verhältnis konstant ist, wie es in Fig. 3 dargestellt ist. In Fig. 3 ist absichtlich kein Massstab für die Abstandsänderung der Löcher angegeben, da es auf das konstante Verhältnis und nicht auf sehr kleine und vernachlässigbare Wärmeausdehnungen ankommt.
- Es können die Elektroden zweier Ebenen auch aus dem gleichen Werkstoff bestehen, da dann weniger Werkstoffe auf ihre Eignung geprüft und auf Lager gehalten werden müssen, als wenn für jede Ebene der Elektrodenwerkstoff unterschiedlich ist.
- Werte, wie in Fig. 2 dargestellt, werden bei Verwendung des Werkstoffes X4CrNi 1813 für alle Elektroden erhalten. Die Diagramme der Fig. 3 werden bei Verwendung folgender Werkstoffe in guter Näherung erhalten:
- für die Elektrode 1: FeNi36
- für die Elektrode 2: NiFe48Cr
- für die Elektroden 3 und 4: X4CrNi1813
- Bei Verwendung von NiFe48Cr für die Elektrode 2 wird im Betrieb der Curiepunkt von 480°C nie überschritten. Es hat sich jedoch gezeigt, dass der magnetische Einfluss der Elektrode 2 zu keinen störenden Fehlern im Schirmbild führt. Bei Verwendung von 30% Ni und 70% Fe mit einem Curiepunkt von 35-65 °C werden Schwierigkeiten, wie sie wegen des Ferromagnetismus auftreten können, vermieden. Beim Elektrodenaufbau nach Fig. 1 sollen die Curietemperaturen der Werkstoffe der Elektroden 3 und 4 unterhalb der Betriebstemperatur liegen, damit Abbildungsfehler vermieden werden. Die Erfindung gilt dem bisherigen entsprechend selbstverständlich auch für andere Systemaufbauten als für den in Fig. 1 dargestellten, also nicht nur für Inline-Systeme, sondern z.B. auch für Delta-Systeme.
- Als empfindliches Nachweismittel für mechanische Spannungen im System hat sich der Kathodenstrom erwiesen. Dabei liegt an der Kathode eine Spannung von 0 V, an der Elektrode 1 eine Spannung von -100 V. Die positive Spannung der Elektroden 2 und 3 wird dann so eingestellt, dass im stationären Zustand ein Kathodenstrom von 100 pA fliesst. Nach dieser Einstellung lässt man das System abkühlen und misst dann den Kathodenstrom nach erneutem Einschalten.
- Die Ergebnisse sind mit dem in Fig. 1 dargestellten Systemaufbau gewonnen und in Fig. 4 dargestellt. Bei der mit a bezeichneten Kurve bestehen alle Elektroden aus X4CrNi 1813. Der Kathodenstrom läuft mit einem starken Überschwingen auf 100uA ein. Die Kurve b wurde bei Systemen gemessen, bei denen die Elektrode 1 aus FeNi36 gefertigt war. Der Kathodenstrom kriecht sehr langsam auf die 100 J.lA zu. Bei dem Ausführungsbeispiel der Erfindung mit Elektrode 1 aus FeNi36, Elektrode 2 aus NiFe48Cr und den Elektroden 3 und 4 aus X4CrNi 1813 wird der stationäre Zustand von 100 µA ohne Überschwingen in kürzerer Zeit als bei den Diagrammen a und b erreicht, wie Diagramm c verdeutlicht.
- Mit einem Elektronenstrahl-Erzeugungssystem, dessen Elektroden-Werkstoffe bezüglich Wärmeausdehnung erfindungsgemäss aufeinander abgestimmt sind, lassen sich auch Fehler, die auf einer gegenseitigen Verschiebung der Löcher 7 in Strahlrichtung beruhen, wie z. B. zeitliche Konvergenzfehler, gegenüber bekannten Anordnungen erheblich verringern.
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