DE940860C - Saures Elektrolytbad zur Herstellung elektrolytischer Kupferueberzuege - Google Patents
Saures Elektrolytbad zur Herstellung elektrolytischer KupferueberzuegeInfo
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- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 32
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims description 32
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims description 32
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 title claims description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 title claims 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N thiourea Chemical compound NC(N)=S UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Natural products NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910017464 nitrogen compound Inorganic materials 0.000 claims description 11
- -1 heterocyclic nitrogen compound Chemical class 0.000 claims description 9
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- YNAVUWVOSKDBBP-UHFFFAOYSA-N Morpholine Chemical compound C1COCCN1 YNAVUWVOSKDBBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- VKYKSIONXSXAKP-UHFFFAOYSA-N hexamethylenetetramine Chemical compound C1N(C2)CN3CN1CN2C3 VKYKSIONXSXAKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 claims description 4
- 150000002830 nitrogen compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- LRFVTYWOQMYALW-UHFFFAOYSA-N 9H-xanthine Chemical compound O=C1NC(=O)NC2=C1NC=N2 LRFVTYWOQMYALW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- IPCRBOOJBPETMF-UHFFFAOYSA-N N-acetylthiourea Chemical compound CC(=O)NC(N)=S IPCRBOOJBPETMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HTKFORQRBXIQHD-UHFFFAOYSA-N allylthiourea Chemical compound NC(=S)NCC=C HTKFORQRBXIQHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229960001748 allylthiourea Drugs 0.000 claims description 3
- 235000010299 hexamethylene tetramine Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000004312 hexamethylene tetramine Substances 0.000 claims description 3
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- YAPQBXQYLJRXSA-UHFFFAOYSA-N theobromine Chemical compound CN1C(=O)NC(=O)C2=C1N=CN2C YAPQBXQYLJRXSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ZFXYFBGIUFBOJW-UHFFFAOYSA-N theophylline Chemical compound O=C1N(C)C(=O)N(C)C2=C1NC=N2 ZFXYFBGIUFBOJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 150000003585 thioureas Chemical class 0.000 claims description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- RYYVLZVUVIJVGH-UHFFFAOYSA-N caffeine Chemical compound CN1C(=O)N(C)C(=O)C2=C1N=CN2C RYYVLZVUVIJVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- LPHGQDQBBGAPDZ-UHFFFAOYSA-N Isocaffeine Natural products CN1C(=O)N(C)C(=O)C2=C1N(C)C=N2 LPHGQDQBBGAPDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229960001948 caffeine Drugs 0.000 claims 1
- VJEONQKOZGKCAK-UHFFFAOYSA-N caffeine Natural products CN1C(=O)N(C)C(=O)C2=C1C=CN2C VJEONQKOZGKCAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229960004559 theobromine Drugs 0.000 claims 1
- 229960000278 theophylline Drugs 0.000 claims 1
- 229940075420 xanthine Drugs 0.000 claims 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 11
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N Quinoline Chemical compound N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N ammonium sulfate Chemical compound N.N.OS(O)(=O)=O BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052921 ammonium sulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000011130 ammonium sulphate Nutrition 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- RILZRCJGXSFXNE-UHFFFAOYSA-N 2-[4-(trifluoromethoxy)phenyl]ethanol Chemical compound OCCC1=CC=C(OC(F)(F)F)C=C1 RILZRCJGXSFXNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- KQJQICVXLJTWQD-UHFFFAOYSA-N N-Methylthiourea Chemical compound CNC(N)=S KQJQICVXLJTWQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 229940026310 caffeine 50 mg Drugs 0.000 description 1
- LEKPFOXEZRZPGW-UHFFFAOYSA-N copper;dicyanide Chemical compound [Cu+2].N#[C-].N#[C-] LEKPFOXEZRZPGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 150000002505 iron Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000003222 pyridines Chemical class 0.000 description 1
- 150000003460 sulfonic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000080 wetting agent Substances 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
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- C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
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Description
Das elektrolytische Verkupfern ist eine in der Metallindustrie sehr häufig angewandte Bearbeitung, die zur
Veredelung der Oberfläche der behandelten Gegenstände oder zur Erhöhung der Korrosionsbeständigkeit
dient. Gegebenenfalls bildet die Kupferschicht eine Unterlage für eine weitere galvanische Behandlung,
wie Vernickeln. An das Aussehen der behandelten Gegenstände werden dabei in der Praxis hohe Anforderungen
gestellt. Um diese zu erfüllen, wurde der Überzug gewöhnlich in einem früheren oder späteren
Stadium der Behandlung geschliffen oder poliert. Dies erfordert jedoch eine Anzahl Einzelbearbeitungen,
deren Kosten einen Teil der Gesamtkosten der Oberflächenbehandlung ausmacht, der im Verhältnis zu
dem Kostenanteil für die elektrolytische Verkupferung selbst relativ hoch ist.
Die meisten Elektrolytbäder, namentlich die Glanzbäder, aus denen ein sehr feiner kristallinischer Metallniederschlag
abgeschieden wird, bilden eine Schicht, die zwar glänzend ist, jedoch die Unebenheiten der Oberfläche,
wie Kratzer u. dgl., nicht ausfüllt, so daß diese störenden Unebenheiten auf dem die galvanisierten
Gegenstände bedeckenden Überzug sichtbar bleiben.
Eine gewisse Verbesserung bringt die Anwendung von sauren Kupferbädern mit sich, die eine ausgleichende
Wirkung auf die erwähnten Unebenheiten hat,
d. h. die Kratzer, Löcher, Grübchen usw. teilweise ausfüllt. Man war bestrebt, diese ausfüllende Wirkung
des Kupferbades noch zu verbessern, ohne dessen andere günstige Eigenschaften, z. B. die Fähigkeit zur Bildung
eines duktilen Überzugs, herabzusetzen.
Zu diesem Zweck wird nach bekannten Verfahren dem Kupferbad ein organischer Stoff zugesetzt. Es
ist z. B. bekannt, galvanischen Bädern Thioharnstoff bzw. ernes seiner wasserlöslichen Derivate, wie Methylthioharnstoff,
zuzusetzen. In der Praxis hat sich jedoch gezeigt, daß der aus derartigen Bädern niedergeschlagene
Kupferüberzug sehr hart und spröde ist, wodurch er beim Biegen leicht abspringt, und daß
zudem derartige Bäder einen sehr kleinen Glanzbereich besitzen, was als großer Nachteil anzusehen
ist. Im übrigen erschöpft sich die Wirkung eines Kupferbades, das als organische Verbindung ausschließlich
Thioharnstoff enthält, sehr rasch.
Auch Badzusätze in Gestalt einer Kombination aus Thioharnstoff mit anderen organischen Stoffen wurden
schon vorgeschlagen. So ist in der britischen Patentschrift 633 780 ein saures Bad beschrieben, das neben
Thioharnstoff-Sulfonate bzw. Sulfonsäuren u. dgl. enthält, die im wesentlichen als Netzmittel wirken.
Das saure Kupferbad nach der Erfindung unterscheidet sich von allen früheren Vorschlägen insofern
wesentlich, als dabei die Badflüssigkeit einen Anteil aufweist, der eine Kombination aus Thioharnstoff
bzw. dessen Derivaten mit einer heterocyclischen Stickstoffverbindung darstellt.
Es wurde nämlich gefunden, daß man ein Kupferbad
mit einem sehr breiten Glanzbereich erhält, das zudem eine ausgezeichnete ausgleichende Wirkung auf
unerwünschte Unebenheiten an der Oberfläche der zu verkupfernden Gegenstände hat, wenn man einem
sauren Kupferbad neben Thioharnstoff bzw. dessen organischen Derivaten, noch eine wasserlösliche heterocyclische
Stickstoffverbindung zusetzt. Der aus einem solchen Bad abgeschiedene Kupferüberzug erwies sich
als besonders duktil, d. h. weich und schmiegsam.
Gegenstand der Erfindung ist daher ein saures Bad zum elektrolytischen Verkupfern mit hervorragenden
Eigenschaften, das dadurch besonders gekennzeichnet ist, daß es neben Thioharnstoff oder dessen wasserlösliehen
Derivaten eine wasserlösliche heterocyclische Stickstoffverbindung enthält.
Unter den wasserlöslichen heterocyclischen Stickstoffverbindungen,
die gemäß der Erfindung in Kombination mit Thioharnstoff oder einem wasserlöslichen
Derivat desselben im sauren Kupferbad benutzt werden, sind besonders geeignet die Verbindungen aus der
Xanthingruppe, darunter besonders die Methylhomologen, wie Kaff ein (r, 3, 7-Tiimethylxanthin), Theophyllin
(1,3-Dimethylxanthin) und Theobromin (3, 7-Dimethylxanthin), außerdem noch Hexamethylentetramin,
Morpholin und Pyridin, sowie die Ringsysteme, .die den Pyridinkern enthalten, wie Chinolin.
Sollen in Kombination mit den heterocyclischen _ Stickstoffverbindungen erfindungsgemäß den Bädern
anstatt Thioharnstoff wasserlösliche Thioharnstoffderivate zugesetzt werden, so sind Allylthioharnstoff
und Acetylthioharnstoff besonders geeignet, wobei jedoch erwähnt sei, daß gegebenenfalls der Thioharnstoff
selbst seine Abkömmlinge in der Wirkung übertrifft.
Die folgenden Beispiele dienen der Erläuterung des in der Beschreibung Gesagten, ohne einschränkenden
Charakter zu besitzen.
Ein saures Kupferbad der folgenden Zusammensetzung wird hergestellt:
CuSO4 · 5 H2O 200 g/l
H2SO4 I5 g/l
Thioharnstoff 10 mg/1
Pyridin 40 mg/1
Dieses Bad wurde auf eine Temperatur von 300 gebracht und wurde durch Einblasen eines Luftstromes
in Bewegung gehalten. Die Anode war aus Kupfer. Als Kathode wurde eine 50 cm lange eiserne Röhre
mit einem Durchmesser von 3,5 cm und einer Wandstärke von 2 mm geschaltet, nachdem diese einer
kurzen Vorbehandlung in einem cyanidischen Kupferbade
(einem sogenannten »Kupferstrike«) unterworfen worden war, wobei eine Kupferschicht sehr geringer
Dicke auf die Außenwand und auf einen kleinen Teil der Innenoberfläche nahe den Enden gebracht wurde.
Die Kathodenstromdichte bei der Hauptbehandlung im sauren Kupferbade gemäß der Erfindung wurde go
auf 8 Amp/dm2 eingestellt, und in 20 Minuten war 32jM Kupfer auf die Röhre niedergeschlagen. Die
Kupferschicht war weich und glänzend, und die zahlreichen Unebenheiten, die ursprünglich auf der
Röhrenoberfläche anwesend waren, waren nach dem Verkupfern im obenbeschriebenen Bade nahezu verschwunden.
Ein saures Kupferbad folgender Zusammensetzung wurde hergestellt:
CuSO4-5 H2O 250 g/l
H2SO4 20 g/l
Ammoniumsulfat 20 g/l
Acetylthioharnstoff ,2omg/l
Coffein 50 mg/1
In diesem Bade wurde ein eisernes Blech von 4,5 zu 2,5 dm bei einer Badtemperatur von 25° und einer
Kathodenstromdichte von 6 Amp/dm2 verkupfert, no
"Die Badbewegung wurde wie im Beispiel 1 aufrechterhalten.
Nach 30 Minuten war eine weiche glänzende Kupferschicht in einer Dicke von 30 μ auf die Oberfläche
des Bleches niedergeschlagen. Die ursprünglich anwesenden Unebenheiten in der Blechoberfläche
waren nach der Verkupferung viel weniger tief. Auch dieser eiserne Gegenstand war zuvor einem »Kupferstrike«·
unterworfen worden. υ
Ein saures Kupferbad folgender Zusammensetzung wurde hergestellt:
Kupferfluorborat 400 g/l
Fluorborsäure 50 g/l
Thioharnstoff 12 mg/1
Hexamethylentetramin 800 mg/1
Ein Messingzylinder von 3 dm Länge und einem
Durchmesser von 2,7 cm wurde in diesem Bad bei 28° und einer Badbewegung wie im Beispiel 1 während
45 Minuten bei einer Kathodenstromdichte von 5,5 Amp/dm2 verkupfert. Die Dicke der erhaltenen
weichen und glänzenden Kupferschicht betrug 50 μ.
Von Unebenheiten war nach dem Verkupfern keine Spur mehr zu sehen. Die ursprüngliche Oberfläche
zeigte eben noch mit dem unbewaffneten Auge wahrnehmbare Kratzer.
Ein saures Kupferbad folgender Zusammensetzung wurde hergestellt:
CuSO4 -5 H20 250 g/1
H2SO4
20 g/l
Ammoniumsulfat 20 g/l
Allylthioharnstoff 10 mg/1
Morpholin 45 mg/1
Eine Anzahl Eisenbleche von 6 zu 6 cm (Dicke 0,2 cm), die vorher mit Amaril 00 geschliffen worden
waren, wurden während 40 Minuten bei 260 im obenstehenden
Bad, das mit Luft in Bewegung gehalten wurde, verkupfert. Die Kathodenstromdichte betrug
6 Amp/dm2 und die Behandlungsdauer 35 Minuten. Die Schichtdicke betrug 42μ; aber wichtiger ist, daß
von den ursprünglich anwesenden Schleifkratzern nichts mehr zu sehen war.
Claims (8)
- Patentansprüche:i. Saures Elektrolytbad mit einem Gehalt an Thioharnstoff oder dessen Derivaten zur Herstellung elektrolytischer Kupferüberzüge, dadurch gekennzeichnet, daß die Badflüssigkeit neben dem Thioharnstoff bzw. dessen Derivaten eine heterocyclische Stickstoffverbindung enthält.
- 2. Saures Elektrolytbad nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es als heterocyclische Stickstoffverbindung Xanthin oder dessen Homologe enthält.
- 3. Saures Elektrolytbad nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es als heterocyclische Stickstoffverbindung Coffein, Theophyllin oder Theobromin enthält.
- 4. Saures Elektrolytbad nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es als heterocyclische Stickstoffverbindung Hexamethylentetramin enthält.
- 5. Saures Elektrolytbad nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es als heterocyclische Stickstoffverbindung Pyridin oder eine Verbindung, die ein Ringsystem mit Pyridinring aufweist, enthält.
- 6. Saures Elektrolytbad nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es als heterocyclische Stickstoffverbindung Morpholin enthält.
- 7. Saures Elektrolytbad nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß es als Thioharnstoffderivat Allylthioharnstoff enthält.
- 8. Saures Elektrolytbad nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß es als Thioharnstoffderivat Acetylthioharnstoff enthält.Angezogene Druckschriften:Deutsche Patentschrift Nr. 888 191;
britische Patentschriften Nr. 560 046, 633 780;
USA.-Patentschriften Nr. 2 196 588, 2 315 802, 2355505, 2489538;
kanadische Patentschrift Nr. 477 508.1 509 682 3.56
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL2742412X | 1952-07-05 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE940860C true DE940860C (de) | 1956-03-29 |
Family
ID=19875526
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEN5864A Expired DE940860C (de) | 1952-07-05 | 1952-07-30 | Saures Elektrolytbad zur Herstellung elektrolytischer Kupferueberzuege |
DEN5865A Expired DE962129C (de) | 1952-07-05 | 1952-07-30 | Saures Elektrolytbad zur Herstellung elektrolytischer Kupferueberzuege |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEN5865A Expired DE962129C (de) | 1952-07-05 | 1952-07-30 | Saures Elektrolytbad zur Herstellung elektrolytischer Kupferueberzuege |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US2742412A (de) |
BE (1) | BE518440A (de) |
DE (2) | DE940860C (de) |
NL (4) | NL81606C (de) |
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