DE919858C - Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen hochschmelzender Nitride auf Metallen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen hochschmelzender Nitride auf Metallen

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DE919858C
DE919858C DEM13386A DEM0013386A DE919858C DE 919858 C DE919858 C DE 919858C DE M13386 A DEM13386 A DE M13386A DE M0013386 A DEM0013386 A DE M0013386A DE 919858 C DE919858 C DE 919858C
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Dr Arnold Muenster
Wilhelm Ruppert
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Description

AUSGEGEBEN AM 4. NOVEMBER 1954
M 13386 VI a 148d
auf Metallen
Es ist bekannt, daß man Titannitrid nach dem Aufdampfverfahren aus einer Stickstoff-Wasserstoff-Mischung, die mit Titantetrachloriddämpfen beladen ist, auf einem glühenden Wolframdraht abscheiden kann: van Arkel, Physica4 (1924), 286, van Arkel und de B οer, Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie 148 (1925), 345, Patentschrift 414 255, K. M ο e r s, Zeitschrift für anorganische Chemie, 198 (1931), 243. Den hier genannten Verfassern kam es aber mehr darauf an, TiN herzustellen, als nur in einer Oberflächenschicht abzuscheiden. Die Reaktionstemperaturen liegen dort bei 1400 bis 20000, so daß die Anwendbarkeit sehr stark eingeschränkt wird, da die meisten als Unterlagen dienenden Werkstoffe mehr oder weniger geschädigt würden.
Endlich haben G ο η s e r und seine Mitarbeiter, Journ. electr. ehem. Soc. Vol. 96, Nr. 5 (1949), 318, auf dem gleichen Wege die Abscheidung von Titannitrid an einem glühenden Wolframdraht untersucht mit dem Ziel, einen Oberflächenschutz zu gewinnen. Auch die von ihnen gegebenen Reaktionstemperaturen liegen immer noch sehr hoch (über 11000).
Bei den bisher genannten Untersuchungen handelt es sich um die Umsetzung von Titantetrachlorid in einer Atmosphäre aus Stickstoff und Wasserstoff, die nach folgender Gleichung abläuft
2TiCl4 4- N2 + 4H2:p±2TiN + 8HCl. (1)
Es ist auch noch eine weitere Reaktion bekannt, die, vom Titantetrachlorid ausgehend, zu Titan-
nitrid führt. Diese wurde von T r a ν e r s in der französischen Zeitschrift Chimie et Industrie, 27 (1932), 345, Sondernummer, untersucht und verläuft nach folgender Gleichung 2 Ti Cl4 + N2 + 2 Fe q=£ 2 Ti N + 4 Fe Cl2. (2)
Diese Reaktion kommt dann zum Stillstand, wenn die Eisenoberfläche durch diese Reaktion selbst mit Titannitrid belegt ist. Man erhält dabei nur sehr dünne Schichten. Diese Schichten sind, wie bei allen Verfahren, bei welchen die Metalloberfläche mit reagiert, nicht völlig porenfrei. Dieses Verfahren liefert daher keinen brauchbaren Oberflächenschutz.
Wendet man das Verfahren nach Gleichung (1) auf Eisen an, dann laufen, wie festgestellt wurde, die beiden Reaktionen (1) und (2) nebeneinander ab. Das nach Gleichung (2) abdestillierende FeCl2 verhindert auch in diesem Falle die Ausbildung einer porenfreien Schicht.
Erfindungsgemäß erhält man aber dann porenfreie Oberflächenschichten auf Eisen und anderen, auf Titantetrachlorid reduzierend wirkenden Oberflächen, wenn man den Belegungsvorgang in 2 Stufen durchführt. In der ersten Stufe läßt man einen as mit Titantetrachlorid beladenen Stickstoffstrom mit der Metalloberfläche bei solchen Temperaturen reagieren, bei denen die Reaktion (2) zur Titannitridbildung noch nicht merklich rückläufig ist. Diese Temperatur ist bei den verschiedenen Metallen nicht gleich, sondern von den jeweiligen thermodynamischen Eigenschaften des betreffenden Metalls oder seines bzw. seiner Chloride abhängig. Beispielsweise wird die Reaktion für Eisen oberhalb etwa 11000 rückläufig. Das Ende der Reaktion nach Gleichung (2) erkennt man beispielsweise daran, daß die Metallchloridnebel, die bei dieser Reaktion im Gasraum zu sehen sind, wieder verschwinden. Wenn auf besondere Porenfreiheit der Schicht Wert gelegt wird, dann wird die Behandlung in der ersten Stufe so lange durchgeführt, bis die sich im Anfangsstadium bildenden Nebel verschwinden, bzw. bis die Mitreaktion der zu belegenden Eisenoberfläche zum Abklingen gekommen ist. Die nun folgende zweite Stufe des Verfahrens besteht darin, daß man nun auf das vorbelegte Werkstück ein mit Titantetrachlorid beladenes Gasgemisch einwirken läßt, das ohne Mitwirkung des zu belegenden Metalls Titannitrid bilden kann, beispielsweise eine mit Titantetrachlorid beladene Stickstoff-Wasserstoff-Mischung. Bei Temperaturen über 4000 bildet sich dann nach Gleichung (1) Titannitrid, das auf das in der ersten Stufe abgeschiedene Titannitrid aufwächst.
Vorzugsweise arbeitet man in der zweiten Stufe bei Temperaturen zwischen 900 und 11000. In diesem Fall wird die weitere Belegung nicht mehr durch die Reaktion mit der Metalloberfläche nach Gleichung (2) gestört, da das reduzierende Metall weitgehend abgedeckt ist. Darüber hinaus werden auch die aus der ersten Stufe noch verbliebenen Poren geschlossen.
Die zweite Stufe kann durch Beischalten des Wasserstoffstromes angeschlossen werden. Vorzugsweise schließt man die zweite Behandlungsstufe unmittelbar ohne Unterbrechung der Hei- zung im gleichen Ofen an. Es ist jedoch auch möglich, die beiden Verfahrensstufen in zwei getrennten Reaktionsräumen vorzunehmen, wenn man dafür sorgt, daß das Werkstück bei der Überführung nicht mit Sauerstoff oder sauerstoffhaltigen Verbindungen in Berührung kommt und vorzugsweise seine Temperatur behält.
Man erhält nach dem erfindungsgemäßen Zweistufenverfahren porenfreie und gut haftende Titannitridüberzüge, und zwar lassen sich nach diesem Verfahren beispielsweise Schichten von 20 bis 50 μ in einigen Stunden erzielen.
Das Verfahren ist auf alle Metalle anwendbar, deren Schmelzpunkt über 4000 liegt, die auf Titantetrachlorid reduzierend wirken und deren dabei entstehendes bzw. entstehende Metallchloride so schnell verdampfen, daß sie die Reaktion der ersten Stufe nicht behindern. Das Verfahren ist ebenso anwendbar auch auf alle Legierungen oder Mischkörper, die diese Bedingungen erfüllen.
Es ist für die Titannitridschichten vorteilhaft, wenn man die Ausgangskomponenten von allen die Reaktion störenden Verunreinigungen zuvor befreit. Hierzu gehört beispielsweise die Reinigung der Gase von jeglichem Sauerstoff oder dessen Verbindungen, insbesondere von Wasser, und die Beseitigung jeglicher Oxyd- und Feuchtigkeitsreste von dem zu belegenden Werkstück, das in der ersten Stufe auch zu den Reaktionskomponenten zu zählen ist.
Die Reinigung des Werkstückes kann beispielsweise durch Entfetten bzw. Beizen mit einer nicht oxydierenden Säure und kurzes Glühen im Wasserstoffstrom vor der Reaktion geschehen. Für die Beizung sind solche Säuren weniger geeignet, die auf der Oberfläche verbleibende Nebenprodukte liefern. Vorzugsweise verwendet man Salzsäure. Es empfiehlt sich, nicht allzu starke Säuren, die die Verwendung von Sparbeize erfordern, zu verwenden, sondern solche Konzentrationen, mit denen das Beizen ohne Sparbeize möglich ist. Gut bewährt hat sich auch die Reinigung mit einem Sandstrahlgebläse oder andere Reinigungen, wie sie von der Inchromierung bekannt sind.
Bei jeder Art Vorreinigung der gemäß Erfindung mit einem Überzug von Titannitrid zu belegenden Metalloberflächen empfiehlt es sich, unmittelbar vor der Belegung, vorzugsweise im Reaktionsraum, die Oberfläche im Wasserstoff strom zu glühen.
Als Titantetrachlorid verwendet man vorzugsweise ein farbloses, durch fraktionierte Destillation gereinigtes Produkt. Für einen guten Titannitridüberzug ist es günstig, wenn man längs des Werkstückes die gleiche Temperatur hat, da dadurch der Zusammenhalt innerhalb der Nitridschicht wesentlich verbessert wird.
Die Ausgangskonzentrationen der Reaktionsgase an Titantetrachlorid und Stickstoff bzw. Titantetrachlorid, Stickstoff und Wasserstoff werden vorzugsweise so gewählt,-daß bei der angewandten
Strömungsgeschwindigkeit und den sonstigen Arbeitsbedingungen die Austrittsgase noch alle Reaktionskomponenten der betreffenden Reaktion in solchen Mengen enthalten, daß die Reaktionen im Sinne der Bildung von Titannitrid ablaufen können.
Die Gaszusammensetzung, insbesondere die Konzentration des Titantetrachlorides, und die Strömungsgeschwindigkeit richten sich auch nach ίο den Abmessungen des zu belegenden Körpers, der erwünschten Dicke des Nitridüberzuges und den Abmessungen des Reaktionsraumes. Es wird vorzugsweise bei normalem Druck, evtl. mit Unterdruck gearbeitet.
Die überschüssigen Reaktionsgase können nach Abtrennen der Reaktionsnebenprodukte (beispielsweise Salzsäure und FeCl2) im Kreislauf geführt werden. Das Titantetrachlorid kann in der zweiten Stufe des Verfahrens in einer Gaskomponente oder in einer Mischung von Wasserstoff und Stickstoff verdampft werden.
Das Titantetrachlorid und dieTrägergase können getrennt und/oder in Mischung an verschiedenen Stellen des Reaktionsraumes eingeführt werden.
Man bedient sich vorzugsweise dann einer Einführung an verschiedenen Stellen, wenn man ein längeres Werkstück zu belegen hat, beispielsweise um die. erforderliche Konzentration an Titantetrachlorid längs des Werkstückes zu sichern.
Man kann die Überzugsbildung noch verbessern, wenn man dafür sorgt, daß sich in der Strömung vor dem Werkstück schon Reaktionszwischenprodukte befinden. Dies kann dadurch erreicht werden, daß man dem Gasgemisch solche Reaktionszwischenprodukte zusetzt. Es wurde festgestellt, daß die Reaktion der Titannitridbildung über niedrigere Titanchloride, insbesondere Titantrichlorid, verläuft und daß die Schichtbildung gleichmäßiger ausfällt, wenn solche Zwischenprodukte im Gasraum vor Erreichung des Werkstückes bereits vorhanden sind. Dies kann auch dadurch erreicht werden, daß man dem zu überziehenden Werkstück ein Metallstück, insbesondere Eisen, beispielsweise in Richtung des Gasstromes, vorschaltet, dessen Reaktion mit dem Gasgemisch diese Zwischenprodukte liefert. Dieses Eisen wirkt nur so lange, als es eine für die Reaktion freiliegende Metalloberfläche besitzt und muß daher, wenn es weiter wirken soll, ausgewechselt werden.
Die Beheizung des zu belegenden Werkstückes kann indirekt in einem beheizten Reaktionsraum und/oder direkt, beispielsweise durch Widerstandsoder Induktionsheizung, erfolgen.
Es wurde weiter gefunden, daß sich für die Durchführung der Belegungsreaktionen am besten solche Reaktionsöfen eignen, deren Innenseite einen Überzug von Titannitrid trägt.
Es hat sich weiter gezeigt, daß die Ausbildung des Titannitridüberzuges wesentlich von der Lage der Werkstücksoberfläche im Reaktionsraum abhängt; beispielsweise erhält man bei einem im Reaktionsraum ruhenden Werkstück auf dessen nach oben zeigender Seite eine rauhe Nitridabscbeidung. Dies ist darauf zurückzuführen, daß das dort abgeschiedene Nitrid sich nicht nur direkt an der Oberfläche, sondern auch im Gasraum bildet und sich dann in kleinen Warzen an der Oberfläche absetzt.
Es wurde gefunden, daß man diesen Mißstand dadurch herabmindern kann, daß man den Körper direkt durch Widerstandsheizung oder Induktionsheizung erhitzt und/oder den Körper im Reaktionsraum während der Belegung laufend dreht.
Ferner wurde gefunden, daß man diesen Mißstand schließlich völlig vermeiden kann, wenn man das zu belegende Werkstück mit einer Hülle umgibt, die die Ablagerung des in der Gasphase schon gebildeten Nitrides an der Oberfläche verhindert. Nach dieser Ausführungsform der Erfindung erhält man glatte und schön glänzende Titannitridüberzüge. Diese Hülle kann sich der Form des zu belegenden Körpers anpassen und sich diesem mehr oder weniger, vorzugsweise eng, anschmiegen. Beispielsweise erhält man in einem Schraubengang bei aufgedrehter Mutter sehr gute Titannitridüberzüge. Bei sehr langen Werkstücken empfiehlt es sich, die Hüllen so zu gestalten, daß längs des Werkstückes ein Gasaustausch mit dem die Hülle umgebenden Reaktionsgas möglich ist. Für die Hülle verwendet man vorzugsweise einen metallischen Werkstoff, insbesondere einen schon mit Titannitrid überzogenen Eisenkörper. Man kann auch die Begrenzung des gesamten Reaktionsraumes so gestalten, daß sie als Hülle in dem beschriebenen Sinne wirkt.
Die Erfahrungen und auch entsprechende Rechnungen zeigten, daß die Reaktion (1) bei beginnender Rotglut noch merklich rückläufig ist. Es können daher Schädigungen des Nitridüberzuges auftreten, wenn das belegte Werkstück beim Abkühlen auf diese Temperatur und darunter im Gasraum noch mit Chlorwasserstoff in Berührung kommt.
Erfindungsgemäß kann man jedoch solche Schäden an der Nitridschicht vermeiden, wenn man vorzugsweise bei der Reaktionstemperatur und nicht unterhalb der Temperatur, bei der die Reaktion gerade merklich rückläufig wird, nach dem Abschalten der Titanhalogenidzufuhr den Reaktionsraum noch so lange mit Stickstoff und/oder Wasserstoff und/oder anderen unter den betreffenden Bedingungen nicht mit dem Titannitrid reagierenden Gasen spült, bis praktisch kein Chlorwasserstoff mehr im Reaktionsraum vorhanden ist.
Für die zweite Verfahrensstufe kann man an Stelle von Stickstoff und Wasserstoff als Trägergas für Titantetrachlorid auch Ammoniak oder Ammoniak und Wasserstoff und/oder Stickstoff verwenden.
Das erfindungsgemäße Verfahren sei an einem Beispiel erläutert. Ein zylindrisches Werkstück aus gewöhnlichem Kohlenstoffstahl wurde auf der Drehbank sauber abgedreht und poliert. Das Werkstück wurde mit seiner Haltevorrichtung, mit der es im Reaktionsraum gehalten werden soll, in ein Trichloräthylendampfbad gebracht, um es zu entfetten. Anschließend wurde es nach dem Trocknen
mit 5 %iger Salzsäure gebeizt, abgewaschen und mit Methanol getrocknet. Es wurde dann mit seiner Haltevorrichtung in den Reaktionsraum eingebracht; die Apparatur wurde dicht verschlossen und einige Zeit mit Wasserstoff gespült; dann wurde das Werkstück langsam auf die Reaktionstemperatur aufgeheizt und kurze Zeit im Wasserstoffstrom bei 95 o° geglüht. Bei dieser Temperatur wurde der Wasserstoff abgeschaltet und durch Stickstoff verdrängt. Dann wurde ein bei 6o° mit Titantetrachlorid beladener Stickstoffstrom durch die Apparatur geleitet. Bei einer Strömungsgeschwindigkeit von etwa 5 l/h ließ man dieses Mischgas auf das Werkstück einwirken. Nach kurzer Zeit wurde an dem dichten Nebelschleier um das Werkstück im Reaktionsraum erkannt, daß die Oberflächenreaktion nach Gleichung (2) läuft. Nach etwa 1 Stunde ging der Nebelschleier, der aus verdampfendetn Metallchlorid besteht, merklich ao zurück und verschwand etwa nach einer weiteren Viertelstunde fast vollkommen. Dann wurde gereinigter Wasserstoff hinzugeschaltet, so daß das Verhältnis Stickstoff : Wasserstoff etwa 1 :4 betrug, und der Gasstrom so eingestellt, daß 8 l/h durch die Vorrichtung strömten. Dann wurde die Temperatur des Werkstückes langsam auf 11000 erhöht und das Gas mit der angegebenen Zusammensetzung und Geschwindigkeit 1V2 Stunden duTchgeleitet. Danach wurde die Titantetrachloridzufuhr abgeschaltet und die Vorrichtung noch eine Viertelstunde mit dem Stickstoff-Wasserstoff-Gemisch gespült. Erst dann wurde die Heizung mehr und mehr gedrosselt und das Werkstück langsam zur Abkühlung gebracht. Es war dann mit einem gleichmäßigen, schwach glänzenden, goldgelben Überzug bedeckt, dessen Dicke etwa 15 μ betrug.
Der Überzug erhielt, mit einer Korundaufschlämmung poliert, einen schönen Glanz.* Die gemäß Erfindung hergestellten Titannitridschichten sind besonders mechanisch verschleißfest. Ihre Härte beträgt, je nach den Abscheidebedingungen, in Mohs'schen Härtegraden 8 bis 9. Man kann diese Titannitridschichten mit einem Polier-♦5 mittel von ungefähr gleicher oder größerer Härte gut polieren.
Es wurde gefunden, daß erfindungsgemäß erhaltene Titannitridschichten sich für alle Flächen eignen, die sehr hohen mechanischen Beanspruchungen, insbesondere durch gleitende Reibung, ausgesetzt sind, beispielsweise Zylinderbuchsen, Zahnräder, Kolbenbolzen und Ventilstößel. Hierbei ist die besonders gute ölbenetzungsfähigkeit der Titannitridschichten ein Vorteil. Die Titannitridschichten können insbesondere als Ersatz für Hartverchromung eingesetzt werden und sind noch erheblich härter als Hartchromschichten.
Es wurde weiter gefunden, daß sich Titannitridschichten als ausgezeichneter Verzunderungsschutz erweisen, beispielsweise für Ventile für Verbrennungsmotoren, Heizrohren, Auspuffleitungen, Leitwerke für Verbrennungsturbinen, Thermoelementröhren, Heizleiterdrähte. Die Schichten besitzen infolge ihres metallischen Charakters eine hohe Wärmeleitfähigkeit.
Es wurde weiter gefunden, daß diese Schichten gut korrosionsbeständig sind gegen alle Säuren außer Flußsäure sowie gegen Salzlösungen, unter anderem gegen Seewasser. Sie eignen sich daher beispielsweise für Schrauben, Muttern und Bolzen, Behälter, Leitungen und Ventile der chemischen Industrie sowie für die Auskleidung von Kondensatorrohren.
Diese Überzüge eignen sich auch zum Schutz von Behältern für schmelzflüssige Metalle und Metallegierungen, beispielsweise Tiegel und Kokillen.
Ferner haben sich diese Überzüge wegen ihrer relativ guten elektrischen Leitfähigkeit auch als Schutz an funkenbildenden Kontaktstellen bewährt.
Die erfindungsgemäß hergestellten Titannitridschichten haften sehr fest auf dem Grundmaterial und machen Verformungen des Grundmaterials mit.
An Stelle von oder zusätzlich zu Titantetrachlorid können auch andere Titanhalogenide verwendet werden.
Nach dem gleichen zweistufigen Verfahren lassen sich auch andere hochschmelzende Metallnitride mit Hilfe der entsprechenden Metallhalogenide aufbringen, insbesondere von Metallen der 3. bis 5. Gruppe des Periodischen Systems, beispielsweise Zirkon, Hafnium, Vanadin, Niob, Tantal, Bor oder Gemische solcher Nitride untereinander und/oder mit Titiannitrid.
Durch Zugabe von Kohlenwasserstoffen zum Gasgemisch lassen sich auch Gemische von Nitriden und Karbiden zur Abscheidung bringen.

Claims (19)

  1. PATENTANSPRÜCHE:
    i. Verfahren zur Herstellung von Überzügen aus hochschmelzenden Nitriden, insbesondere Nitriden der Elemente der 3. bis 5. Gruppe des Periodischen Systems, auf Metallen bzw. Metallegierungen, die auf das Halogenid des betreffenden Elementes reduzierend wirken und deren Halogenide selbst unter dem Schmelzpunkt des Metalls gut flüchtig sind, insbeson- no dere von Titannitridüberzügen auf Eisen, durch Umsetzung des Grundmetalls mit dem Halogenid des das Nitrid bildenden Metalls in Stickstoffatmosphäre und unter Benutzung der bekannten Bildungsreaktion für Nitrid aus einer das betreffende Halogenid enthaltenden Stickstoff-Wasserstoff-Atmosphäre, dadurch gekennzeichnet, daß die Abscheidung der Nitridüberzüge in zwei Stufen erfolgt, wobei in der ersten Stufe das Nitrid aus einer mindestens iao ein Halogenid des betreffenden Elementes enthaltenden Stickstoffatmosphäre abgeschieden wird und in der zweiten Stufe das Nitrid aus einer mindestens ein Halogenid des betreffenden Elementes enthaltenden Stickstoff-Wasserstoff- bzw. Ammoniak- oder Ammoniak-Wasser-
    stoff-und/oder-Stickstoff-Atmosphäre auf die in der ersten Stufe vorbelegte Metalloberfläche aufgedampft wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch i, dadurch ge-S kennzeichnet, daß die Nitridabscheidung mit Hilfe von gereinigtem, farblosem Titantetrachlorid durchgeführt wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Stufe des Verfahrens bei solchen Temperaturen durchgeführt wird, bei denen die Reaktion zur Nitridbildung noch nicht stark rückläufig ist, und daß die zweite Stufe des Verfahrens bei Temperaturen über 4000 durchgeführt wird.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsgase von allen störenden Verunreinigungen, insbesondere Sauerstoff und seinen Verbindungen, zuvor befreit werden.
    ao
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 1 bis 4, dadurch
    gekennzeichnet, daß das zu belegende Werkstück zuvor gereinigt und in Wasserstoff geglüht wird.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück während der Überzugsbildung in jeder Stufe eine in sich gleichmäßige und konstante Temperatur hat.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangskonzentrationen des Reaktionsgases so gewählt werden, daß bei der angewandten Strömungsgeschwindigkeit und den sonstigen Arbeitsbedingungen die Austrittsgase noch alle gasförmigen Reaktionskomponenten der betreffenden Reaktion in solchen Mengen enthalten, daß die Reaktionen im Sinne der Bildung von Titannitrid ablaufen können.
  8. 8. Verfahren nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die überschüssigen Anteile der Reaktionsgase nach Abtrennung der Nebenprodukte im Kreislauf geführt werden.
  9. 9. Verfahren nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Reaktionskomponenten getrennt und/oder in Mischungen an verschiedenen Stellen in den Reaktionsraum eingeführt werden.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß bei normalem oder gegebenenfalls bei Unterdruck gearbeitet wird.
  11. 11. Verfahren nach Anspruch 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß den Reaktionskomponenten Zwischenprodukte der Reaktion beigemischt werden, insbesonders, daß in der Strömung der Reaktionsgase vor dem Werkstück Reaktionszwischenprodukte erzeugt werden.
  12. 12. Verfahren nach Anspruch 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück im Reaktionsraum gedreht wird.
  13. 13. Verfahren nach Anspruch 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück im Reaktionsraum mit einer Schutzhülle gegen die im Gasraum gebildeten Nitridteilchen umgeben wird, die vorzugsweise aus einem mit Nitrid belegten Metallkörper besteht, der sich dem Werkstück anpassen kann.
  14. 14. Verfahren nach Anspruch 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Abkühlen des Werkstückes der Halogenwasserstoff aus dem Reaktionsraum entfernt wird.
  15. 15. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch ι bis 14 auf Flächen, die hohen mechanischen Beanspruchungen, insbesondere durch gleitende Reibung, ausgesetzt sind, beispielsweise Zylinderbuchsen, Zahnräder, Kolbenbolzen und Ventilstößel.
  16. 16. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch ι bis 14 auf gegen Verzunderung zu schützende Flächen, beispielsweise Leitwerke für Verbrennungsturbinen und Heizleiterdrähte.
  17. 17. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch ι bis 14 auf gegen Korrosion zu schützende Teile.
  18. 18. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch ι bis 14 zum Schutz gegen geschmolzene Metalle bzw. Metallegierungen.
  19. 19. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch ι bis 14 zum Schutz funkenbildender elektrischer Kontakte.
    Angezogene Druckschriften:
    Deutsche Patentschrift Nr. 600 374.
    © 9562 10.54
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE600374C (de) * 1929-03-01 1934-07-18 Franz Skaupy Dr Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen aus Oxyden, Nitriden oder Carbiden

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE600374C (de) * 1929-03-01 1934-07-18 Franz Skaupy Dr Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen aus Oxyden, Nitriden oder Carbiden

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