DE919858C - Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen hochschmelzender Nitride auf Metallen - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen hochschmelzender Nitride auf MetallenInfo
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Description
AUSGEGEBEN AM 4. NOVEMBER 1954
M 13386 VI a 148d
auf Metallen
Es ist bekannt, daß man Titannitrid nach dem Aufdampfverfahren aus einer Stickstoff-Wasserstoff-Mischung,
die mit Titantetrachloriddämpfen beladen ist, auf einem glühenden Wolframdraht abscheiden kann: van Arkel, Physica4 (1924),
286, van Arkel und de B οer, Zeitschrift für
anorganische und allgemeine Chemie 148 (1925), 345, Patentschrift 414 255, K. M ο e r s, Zeitschrift
für anorganische Chemie, 198 (1931), 243. Den
hier genannten Verfassern kam es aber mehr darauf an, TiN herzustellen, als nur in einer Oberflächenschicht
abzuscheiden. Die Reaktionstemperaturen liegen dort bei 1400 bis 20000, so daß die
Anwendbarkeit sehr stark eingeschränkt wird, da die meisten als Unterlagen dienenden Werkstoffe
mehr oder weniger geschädigt würden.
Endlich haben G ο η s e r und seine Mitarbeiter, Journ. electr. ehem. Soc. Vol. 96, Nr. 5 (1949),
318, auf dem gleichen Wege die Abscheidung von Titannitrid an einem glühenden Wolframdraht
untersucht mit dem Ziel, einen Oberflächenschutz zu gewinnen. Auch die von ihnen gegebenen Reaktionstemperaturen
liegen immer noch sehr hoch (über 11000).
Bei den bisher genannten Untersuchungen handelt es sich um die Umsetzung von Titantetrachlorid
in einer Atmosphäre aus Stickstoff und Wasserstoff, die nach folgender Gleichung abläuft
2TiCl4 4- N2 + 4H2:p±2TiN + 8HCl. (1)
Es ist auch noch eine weitere Reaktion bekannt, die, vom Titantetrachlorid ausgehend, zu Titan-
nitrid führt. Diese wurde von T r a ν e r s in der französischen Zeitschrift Chimie et Industrie, 27
(1932), 345, Sondernummer, untersucht und verläuft nach folgender Gleichung
2 Ti Cl4 + N2 + 2 Fe q=£ 2 Ti N + 4 Fe Cl2. (2)
Diese Reaktion kommt dann zum Stillstand, wenn die Eisenoberfläche durch diese Reaktion selbst mit
Titannitrid belegt ist. Man erhält dabei nur sehr dünne Schichten. Diese Schichten sind, wie bei allen
Verfahren, bei welchen die Metalloberfläche mit reagiert, nicht völlig porenfrei. Dieses Verfahren
liefert daher keinen brauchbaren Oberflächenschutz.
Wendet man das Verfahren nach Gleichung (1)
auf Eisen an, dann laufen, wie festgestellt wurde, die beiden Reaktionen (1) und (2) nebeneinander
ab. Das nach Gleichung (2) abdestillierende FeCl2
verhindert auch in diesem Falle die Ausbildung einer porenfreien Schicht.
Erfindungsgemäß erhält man aber dann porenfreie Oberflächenschichten auf Eisen und anderen,
auf Titantetrachlorid reduzierend wirkenden Oberflächen, wenn man den Belegungsvorgang in 2 Stufen
durchführt. In der ersten Stufe läßt man einen as mit Titantetrachlorid beladenen Stickstoffstrom
mit der Metalloberfläche bei solchen Temperaturen reagieren, bei denen die Reaktion (2) zur Titannitridbildung
noch nicht merklich rückläufig ist. Diese Temperatur ist bei den verschiedenen Metallen
nicht gleich, sondern von den jeweiligen thermodynamischen
Eigenschaften des betreffenden Metalls oder seines bzw. seiner Chloride abhängig.
Beispielsweise wird die Reaktion für Eisen oberhalb etwa 11000 rückläufig. Das Ende der Reaktion
nach Gleichung (2) erkennt man beispielsweise daran, daß die Metallchloridnebel, die bei dieser
Reaktion im Gasraum zu sehen sind, wieder verschwinden. Wenn auf besondere Porenfreiheit der
Schicht Wert gelegt wird, dann wird die Behandlung in der ersten Stufe so lange durchgeführt, bis
die sich im Anfangsstadium bildenden Nebel verschwinden, bzw. bis die Mitreaktion der zu belegenden
Eisenoberfläche zum Abklingen gekommen ist. Die nun folgende zweite Stufe des Verfahrens
besteht darin, daß man nun auf das vorbelegte Werkstück ein mit Titantetrachlorid beladenes Gasgemisch
einwirken läßt, das ohne Mitwirkung des zu belegenden Metalls Titannitrid bilden kann, beispielsweise
eine mit Titantetrachlorid beladene Stickstoff-Wasserstoff-Mischung. Bei Temperaturen
über 4000 bildet sich dann nach Gleichung (1)
Titannitrid, das auf das in der ersten Stufe abgeschiedene Titannitrid aufwächst.
Vorzugsweise arbeitet man in der zweiten Stufe bei Temperaturen zwischen 900 und 11000. In
diesem Fall wird die weitere Belegung nicht mehr durch die Reaktion mit der Metalloberfläche nach
Gleichung (2) gestört, da das reduzierende Metall weitgehend abgedeckt ist. Darüber hinaus werden
auch die aus der ersten Stufe noch verbliebenen Poren geschlossen.
Die zweite Stufe kann durch Beischalten des Wasserstoffstromes angeschlossen werden. Vorzugsweise
schließt man die zweite Behandlungsstufe unmittelbar ohne Unterbrechung der Hei-
zung im gleichen Ofen an. Es ist jedoch auch möglich, die beiden Verfahrensstufen in zwei getrennten
Reaktionsräumen vorzunehmen, wenn man dafür sorgt, daß das Werkstück bei der Überführung
nicht mit Sauerstoff oder sauerstoffhaltigen Verbindungen in Berührung kommt und vorzugsweise
seine Temperatur behält.
Man erhält nach dem erfindungsgemäßen Zweistufenverfahren porenfreie und gut haftende Titannitridüberzüge,
und zwar lassen sich nach diesem Verfahren beispielsweise Schichten von 20 bis 50 μ
in einigen Stunden erzielen.
Das Verfahren ist auf alle Metalle anwendbar, deren Schmelzpunkt über 4000 liegt, die auf Titantetrachlorid
reduzierend wirken und deren dabei entstehendes bzw. entstehende Metallchloride so
schnell verdampfen, daß sie die Reaktion der ersten Stufe nicht behindern. Das Verfahren ist ebenso
anwendbar auch auf alle Legierungen oder Mischkörper, die diese Bedingungen erfüllen.
Es ist für die Titannitridschichten vorteilhaft, wenn man die Ausgangskomponenten von allen die
Reaktion störenden Verunreinigungen zuvor befreit. Hierzu gehört beispielsweise die Reinigung
der Gase von jeglichem Sauerstoff oder dessen Verbindungen, insbesondere von Wasser, und die
Beseitigung jeglicher Oxyd- und Feuchtigkeitsreste von dem zu belegenden Werkstück, das in der
ersten Stufe auch zu den Reaktionskomponenten zu zählen ist.
Die Reinigung des Werkstückes kann beispielsweise durch Entfetten bzw. Beizen mit einer nicht
oxydierenden Säure und kurzes Glühen im Wasserstoffstrom vor der Reaktion geschehen. Für die
Beizung sind solche Säuren weniger geeignet, die auf der Oberfläche verbleibende Nebenprodukte
liefern. Vorzugsweise verwendet man Salzsäure. Es empfiehlt sich, nicht allzu starke Säuren, die die
Verwendung von Sparbeize erfordern, zu verwenden, sondern solche Konzentrationen, mit denen
das Beizen ohne Sparbeize möglich ist. Gut bewährt hat sich auch die Reinigung mit einem
Sandstrahlgebläse oder andere Reinigungen, wie sie von der Inchromierung bekannt sind.
Bei jeder Art Vorreinigung der gemäß Erfindung mit einem Überzug von Titannitrid zu belegenden
Metalloberflächen empfiehlt es sich, unmittelbar vor der Belegung, vorzugsweise im
Reaktionsraum, die Oberfläche im Wasserstoff strom zu glühen.
Als Titantetrachlorid verwendet man vorzugsweise ein farbloses, durch fraktionierte Destillation
gereinigtes Produkt. Für einen guten Titannitridüberzug ist es günstig, wenn man längs des Werkstückes
die gleiche Temperatur hat, da dadurch der Zusammenhalt innerhalb der Nitridschicht wesentlich
verbessert wird.
Die Ausgangskonzentrationen der Reaktionsgase an Titantetrachlorid und Stickstoff bzw. Titantetrachlorid,
Stickstoff und Wasserstoff werden vorzugsweise so gewählt,-daß bei der angewandten
Strömungsgeschwindigkeit und den sonstigen Arbeitsbedingungen die Austrittsgase noch alle
Reaktionskomponenten der betreffenden Reaktion in solchen Mengen enthalten, daß die Reaktionen
im Sinne der Bildung von Titannitrid ablaufen können.
Die Gaszusammensetzung, insbesondere die Konzentration des Titantetrachlorides, und die
Strömungsgeschwindigkeit richten sich auch nach ίο den Abmessungen des zu belegenden Körpers, der
erwünschten Dicke des Nitridüberzuges und den Abmessungen des Reaktionsraumes. Es wird vorzugsweise
bei normalem Druck, evtl. mit Unterdruck gearbeitet.
Die überschüssigen Reaktionsgase können nach Abtrennen der Reaktionsnebenprodukte (beispielsweise
Salzsäure und FeCl2) im Kreislauf geführt
werden. Das Titantetrachlorid kann in der zweiten Stufe des Verfahrens in einer Gaskomponente oder
in einer Mischung von Wasserstoff und Stickstoff verdampft werden.
Das Titantetrachlorid und dieTrägergase können getrennt und/oder in Mischung an verschiedenen
Stellen des Reaktionsraumes eingeführt werden.
Man bedient sich vorzugsweise dann einer Einführung an verschiedenen Stellen, wenn man ein
längeres Werkstück zu belegen hat, beispielsweise um die. erforderliche Konzentration an Titantetrachlorid
längs des Werkstückes zu sichern.
Man kann die Überzugsbildung noch verbessern, wenn man dafür sorgt, daß sich in der Strömung
vor dem Werkstück schon Reaktionszwischenprodukte befinden. Dies kann dadurch erreicht werden,
daß man dem Gasgemisch solche Reaktionszwischenprodukte zusetzt. Es wurde festgestellt, daß
die Reaktion der Titannitridbildung über niedrigere Titanchloride, insbesondere Titantrichlorid,
verläuft und daß die Schichtbildung gleichmäßiger ausfällt, wenn solche Zwischenprodukte im Gasraum
vor Erreichung des Werkstückes bereits vorhanden sind. Dies kann auch dadurch erreicht
werden, daß man dem zu überziehenden Werkstück ein Metallstück, insbesondere Eisen, beispielsweise
in Richtung des Gasstromes, vorschaltet, dessen Reaktion mit dem Gasgemisch diese Zwischenprodukte
liefert. Dieses Eisen wirkt nur so lange, als es eine für die Reaktion freiliegende Metalloberfläche
besitzt und muß daher, wenn es weiter wirken soll, ausgewechselt werden.
Die Beheizung des zu belegenden Werkstückes kann indirekt in einem beheizten Reaktionsraum
und/oder direkt, beispielsweise durch Widerstandsoder Induktionsheizung, erfolgen.
Es wurde weiter gefunden, daß sich für die Durchführung der Belegungsreaktionen am besten
solche Reaktionsöfen eignen, deren Innenseite einen Überzug von Titannitrid trägt.
Es hat sich weiter gezeigt, daß die Ausbildung des Titannitridüberzuges wesentlich von der Lage
der Werkstücksoberfläche im Reaktionsraum abhängt; beispielsweise erhält man bei einem im
Reaktionsraum ruhenden Werkstück auf dessen nach oben zeigender Seite eine rauhe Nitridabscbeidung.
Dies ist darauf zurückzuführen, daß das dort abgeschiedene Nitrid sich nicht nur direkt
an der Oberfläche, sondern auch im Gasraum bildet und sich dann in kleinen Warzen an der Oberfläche
absetzt.
Es wurde gefunden, daß man diesen Mißstand dadurch herabmindern kann, daß man den Körper
direkt durch Widerstandsheizung oder Induktionsheizung erhitzt und/oder den Körper im Reaktionsraum
während der Belegung laufend dreht.
Ferner wurde gefunden, daß man diesen Mißstand schließlich völlig vermeiden kann, wenn man
das zu belegende Werkstück mit einer Hülle umgibt, die die Ablagerung des in der Gasphase schon
gebildeten Nitrides an der Oberfläche verhindert. Nach dieser Ausführungsform der Erfindung erhält
man glatte und schön glänzende Titannitridüberzüge. Diese Hülle kann sich der Form des zu
belegenden Körpers anpassen und sich diesem mehr oder weniger, vorzugsweise eng, anschmiegen. Beispielsweise
erhält man in einem Schraubengang bei aufgedrehter Mutter sehr gute Titannitridüberzüge.
Bei sehr langen Werkstücken empfiehlt es sich, die Hüllen so zu gestalten, daß längs des Werkstückes
ein Gasaustausch mit dem die Hülle umgebenden Reaktionsgas möglich ist. Für die Hülle verwendet
man vorzugsweise einen metallischen Werkstoff, insbesondere einen schon mit Titannitrid überzogenen
Eisenkörper. Man kann auch die Begrenzung des gesamten Reaktionsraumes so gestalten,
daß sie als Hülle in dem beschriebenen Sinne wirkt.
Die Erfahrungen und auch entsprechende Rechnungen zeigten, daß die Reaktion (1) bei beginnender
Rotglut noch merklich rückläufig ist. Es können daher Schädigungen des Nitridüberzuges auftreten,
wenn das belegte Werkstück beim Abkühlen auf diese Temperatur und darunter im Gasraum noch
mit Chlorwasserstoff in Berührung kommt.
Erfindungsgemäß kann man jedoch solche Schäden an der Nitridschicht vermeiden, wenn man vorzugsweise
bei der Reaktionstemperatur und nicht unterhalb der Temperatur, bei der die Reaktion
gerade merklich rückläufig wird, nach dem Abschalten der Titanhalogenidzufuhr den Reaktionsraum noch so lange mit Stickstoff und/oder Wasserstoff
und/oder anderen unter den betreffenden Bedingungen nicht mit dem Titannitrid reagierenden
Gasen spült, bis praktisch kein Chlorwasserstoff mehr im Reaktionsraum vorhanden ist.
Für die zweite Verfahrensstufe kann man an Stelle von Stickstoff und Wasserstoff als Trägergas
für Titantetrachlorid auch Ammoniak oder Ammoniak und Wasserstoff und/oder Stickstoff
verwenden.
Das erfindungsgemäße Verfahren sei an einem Beispiel erläutert. Ein zylindrisches Werkstück
aus gewöhnlichem Kohlenstoffstahl wurde auf der Drehbank sauber abgedreht und poliert. Das
Werkstück wurde mit seiner Haltevorrichtung, mit der es im Reaktionsraum gehalten werden soll, in
ein Trichloräthylendampfbad gebracht, um es zu entfetten. Anschließend wurde es nach dem Trocknen
mit 5 %iger Salzsäure gebeizt, abgewaschen und mit Methanol getrocknet. Es wurde dann mit
seiner Haltevorrichtung in den Reaktionsraum eingebracht; die Apparatur wurde dicht verschlossen
und einige Zeit mit Wasserstoff gespült; dann wurde das Werkstück langsam auf die Reaktionstemperatur aufgeheizt und kurze Zeit im Wasserstoffstrom
bei 95 o° geglüht. Bei dieser Temperatur wurde der Wasserstoff abgeschaltet und durch
Stickstoff verdrängt. Dann wurde ein bei 6o° mit Titantetrachlorid beladener Stickstoffstrom durch
die Apparatur geleitet. Bei einer Strömungsgeschwindigkeit von etwa 5 l/h ließ man dieses
Mischgas auf das Werkstück einwirken. Nach kurzer Zeit wurde an dem dichten Nebelschleier
um das Werkstück im Reaktionsraum erkannt, daß die Oberflächenreaktion nach Gleichung (2) läuft.
Nach etwa 1 Stunde ging der Nebelschleier, der aus verdampfendetn Metallchlorid besteht, merklich
ao zurück und verschwand etwa nach einer weiteren Viertelstunde fast vollkommen. Dann wurde gereinigter
Wasserstoff hinzugeschaltet, so daß das Verhältnis Stickstoff : Wasserstoff etwa 1 :4 betrug,
und der Gasstrom so eingestellt, daß 8 l/h durch die Vorrichtung strömten. Dann wurde die
Temperatur des Werkstückes langsam auf 11000
erhöht und das Gas mit der angegebenen Zusammensetzung und Geschwindigkeit 1V2 Stunden
duTchgeleitet. Danach wurde die Titantetrachloridzufuhr abgeschaltet und die Vorrichtung noch eine
Viertelstunde mit dem Stickstoff-Wasserstoff-Gemisch
gespült. Erst dann wurde die Heizung mehr und mehr gedrosselt und das Werkstück langsam zur Abkühlung gebracht. Es war dann mit
einem gleichmäßigen, schwach glänzenden, goldgelben Überzug bedeckt, dessen Dicke etwa 15 μ
betrug.
Der Überzug erhielt, mit einer Korundaufschlämmung poliert, einen schönen Glanz.*
Die gemäß Erfindung hergestellten Titannitridschichten sind besonders mechanisch verschleißfest.
Ihre Härte beträgt, je nach den Abscheidebedingungen, in Mohs'schen Härtegraden 8 bis 9. Man
kann diese Titannitridschichten mit einem Polier-♦5 mittel von ungefähr gleicher oder größerer Härte
gut polieren.
Es wurde gefunden, daß erfindungsgemäß erhaltene Titannitridschichten sich für alle Flächen
eignen, die sehr hohen mechanischen Beanspruchungen, insbesondere durch gleitende Reibung,
ausgesetzt sind, beispielsweise Zylinderbuchsen, Zahnräder, Kolbenbolzen und Ventilstößel. Hierbei
ist die besonders gute ölbenetzungsfähigkeit der Titannitridschichten ein Vorteil.
Die Titannitridschichten können insbesondere als Ersatz für Hartverchromung eingesetzt werden
und sind noch erheblich härter als Hartchromschichten.
Es wurde weiter gefunden, daß sich Titannitridschichten als ausgezeichneter Verzunderungsschutz
erweisen, beispielsweise für Ventile für Verbrennungsmotoren,
Heizrohren, Auspuffleitungen, Leitwerke für Verbrennungsturbinen, Thermoelementröhren,
Heizleiterdrähte. Die Schichten besitzen infolge ihres metallischen Charakters eine hohe
Wärmeleitfähigkeit.
Es wurde weiter gefunden, daß diese Schichten gut korrosionsbeständig sind gegen alle Säuren
außer Flußsäure sowie gegen Salzlösungen, unter anderem gegen Seewasser. Sie eignen sich daher
beispielsweise für Schrauben, Muttern und Bolzen, Behälter, Leitungen und Ventile der chemischen
Industrie sowie für die Auskleidung von Kondensatorrohren.
Diese Überzüge eignen sich auch zum Schutz von Behältern für schmelzflüssige Metalle und
Metallegierungen, beispielsweise Tiegel und Kokillen.
Ferner haben sich diese Überzüge wegen ihrer relativ guten elektrischen Leitfähigkeit auch als
Schutz an funkenbildenden Kontaktstellen bewährt.
Die erfindungsgemäß hergestellten Titannitridschichten haften sehr fest auf dem Grundmaterial
und machen Verformungen des Grundmaterials mit.
An Stelle von oder zusätzlich zu Titantetrachlorid können auch andere Titanhalogenide verwendet
werden.
Nach dem gleichen zweistufigen Verfahren lassen sich auch andere hochschmelzende Metallnitride
mit Hilfe der entsprechenden Metallhalogenide aufbringen, insbesondere von Metallen der 3. bis
5. Gruppe des Periodischen Systems, beispielsweise Zirkon, Hafnium, Vanadin, Niob, Tantal, Bor oder
Gemische solcher Nitride untereinander und/oder mit Titiannitrid.
Durch Zugabe von Kohlenwasserstoffen zum Gasgemisch lassen sich auch Gemische von Nitriden
und Karbiden zur Abscheidung bringen.
Claims (19)
- PATENTANSPRÜCHE:i. Verfahren zur Herstellung von Überzügen aus hochschmelzenden Nitriden, insbesondere Nitriden der Elemente der 3. bis 5. Gruppe des Periodischen Systems, auf Metallen bzw. Metallegierungen, die auf das Halogenid des betreffenden Elementes reduzierend wirken und deren Halogenide selbst unter dem Schmelzpunkt des Metalls gut flüchtig sind, insbeson- no dere von Titannitridüberzügen auf Eisen, durch Umsetzung des Grundmetalls mit dem Halogenid des das Nitrid bildenden Metalls in Stickstoffatmosphäre und unter Benutzung der bekannten Bildungsreaktion für Nitrid aus einer das betreffende Halogenid enthaltenden Stickstoff-Wasserstoff-Atmosphäre, dadurch gekennzeichnet, daß die Abscheidung der Nitridüberzüge in zwei Stufen erfolgt, wobei in der ersten Stufe das Nitrid aus einer mindestens iao ein Halogenid des betreffenden Elementes enthaltenden Stickstoffatmosphäre abgeschieden wird und in der zweiten Stufe das Nitrid aus einer mindestens ein Halogenid des betreffenden Elementes enthaltenden Stickstoff-Wasserstoff- bzw. Ammoniak- oder Ammoniak-Wasser-stoff-und/oder-Stickstoff-Atmosphäre auf die in der ersten Stufe vorbelegte Metalloberfläche aufgedampft wird.
- 2. Verfahren nach Anspruch i, dadurch ge-S kennzeichnet, daß die Nitridabscheidung mit Hilfe von gereinigtem, farblosem Titantetrachlorid durchgeführt wird.
- 3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Stufe des Verfahrens bei solchen Temperaturen durchgeführt wird, bei denen die Reaktion zur Nitridbildung noch nicht stark rückläufig ist, und daß die zweite Stufe des Verfahrens bei Temperaturen über 4000 durchgeführt wird.
- 4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsgase von allen störenden Verunreinigungen, insbesondere Sauerstoff und seinen Verbindungen, zuvor befreit werden.ao
- 5. Verfahren nach Anspruch 1 bis 4, dadurchgekennzeichnet, daß das zu belegende Werkstück zuvor gereinigt und in Wasserstoff geglüht wird.
- 6. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück während der Überzugsbildung in jeder Stufe eine in sich gleichmäßige und konstante Temperatur hat.
- 7. Verfahren nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangskonzentrationen des Reaktionsgases so gewählt werden, daß bei der angewandten Strömungsgeschwindigkeit und den sonstigen Arbeitsbedingungen die Austrittsgase noch alle gasförmigen Reaktionskomponenten der betreffenden Reaktion in solchen Mengen enthalten, daß die Reaktionen im Sinne der Bildung von Titannitrid ablaufen können.
- 8. Verfahren nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die überschüssigen Anteile der Reaktionsgase nach Abtrennung der Nebenprodukte im Kreislauf geführt werden.
- 9. Verfahren nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Reaktionskomponenten getrennt und/oder in Mischungen an verschiedenen Stellen in den Reaktionsraum eingeführt werden.
- 10. Verfahren nach Anspruch 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß bei normalem oder gegebenenfalls bei Unterdruck gearbeitet wird.
- 11. Verfahren nach Anspruch 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß den Reaktionskomponenten Zwischenprodukte der Reaktion beigemischt werden, insbesonders, daß in der Strömung der Reaktionsgase vor dem Werkstück Reaktionszwischenprodukte erzeugt werden.
- 12. Verfahren nach Anspruch 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück im Reaktionsraum gedreht wird.
- 13. Verfahren nach Anspruch 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück im Reaktionsraum mit einer Schutzhülle gegen die im Gasraum gebildeten Nitridteilchen umgeben wird, die vorzugsweise aus einem mit Nitrid belegten Metallkörper besteht, der sich dem Werkstück anpassen kann.
- 14. Verfahren nach Anspruch 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Abkühlen des Werkstückes der Halogenwasserstoff aus dem Reaktionsraum entfernt wird.
- 15. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch ι bis 14 auf Flächen, die hohen mechanischen Beanspruchungen, insbesondere durch gleitende Reibung, ausgesetzt sind, beispielsweise Zylinderbuchsen, Zahnräder, Kolbenbolzen und Ventilstößel.
- 16. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch ι bis 14 auf gegen Verzunderung zu schützende Flächen, beispielsweise Leitwerke für Verbrennungsturbinen und Heizleiterdrähte.
- 17. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch ι bis 14 auf gegen Korrosion zu schützende Teile.
- 18. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch ι bis 14 zum Schutz gegen geschmolzene Metalle bzw. Metallegierungen.
- 19. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch ι bis 14 zum Schutz funkenbildender elektrischer Kontakte.Angezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 600 374.© 9562 10.54
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEM13386A DE919858C (de) | 1952-03-17 | 1952-03-18 | Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen hochschmelzender Nitride auf Metallen |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE731990X | 1952-03-17 | ||
DEM13386A DE919858C (de) | 1952-03-17 | 1952-03-18 | Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen hochschmelzender Nitride auf Metallen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE919858C true DE919858C (de) | 1954-11-04 |
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ID=25947189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DEM13386A Expired DE919858C (de) | 1952-03-17 | 1952-03-18 | Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen hochschmelzender Nitride auf Metallen |
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Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE919858C (de) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE600374C (de) * | 1929-03-01 | 1934-07-18 | Franz Skaupy Dr | Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen aus Oxyden, Nitriden oder Carbiden |
-
1952
- 1952-03-18 DE DEM13386A patent/DE919858C/de not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE600374C (de) * | 1929-03-01 | 1934-07-18 | Franz Skaupy Dr | Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen aus Oxyden, Nitriden oder Carbiden |
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