DE918608C - Verfahren zur photographischen Herstellung von Teilungen, Messmarken, Gittern u. dgl. - Google Patents

Verfahren zur photographischen Herstellung von Teilungen, Messmarken, Gittern u. dgl.

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Publication number
DE918608C
DE918608C DEZ618D DEZ0000618D DE918608C DE 918608 C DE918608 C DE 918608C DE Z618 D DEZ618 D DE Z618D DE Z0000618 D DEZ0000618 D DE Z0000618D DE 918608 C DE918608 C DE 918608C
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DE
Germany
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grids
graduations
measuring marks
photographic production
production
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Expired
Application number
DEZ618D
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Karl Gundlach
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
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Application granted granted Critical
Publication of DE918608C publication Critical patent/DE918608C/de
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Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/04Chromates

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Description

  • Verfahren zur photographischen Herstellung von Teilungen, 1Vleßmarken, Gittern u. dgl. Im Patent 743 261 ist ein Verfahren behandelt, das zur photographischen Herstellung von Teilungen, Meßmarken, Gittern u. dgl. dient, die an den bei ihrer Herstellung vom Licht nicht beeinflußten Stellen schichtfrei sind. Das Verfahren besteht darin, daß eine Schicht aus einem durch ein Chromat lichtempfindlich gemachten Kolloid benutzt wird, das außerdem Keimkörper für die physikalische Entwicklung aus Metall oder Metallverbindungen enthält, daß diese Schicht nach dem Belichten mit einem geeigneten Lösungsmittel behandelt wird, um die unbelichteten Schichtteile zu entfernen, und daß schließlich die ungelösten Schichtteile durch Behandlung mit einem ein Silbersalz enthaltenden Entwickler vollkommen geschwärzt werden.
  • Bei Versuchen, die nach diesem Verfahren hergestellten Zeichen in Glas oder keramische Träger einzubrennen, hat es sich herausgestellt, daß die üblicherweise verwendeten Kolloide, z. B: Gelatine, nach dem Einbrennen unerwünschte Rückstände hinterließen.
  • Nach der Erfindung kann dieser Mangel dadurch behoben werden, daß als Schichtbildner ein Harz oder Kunstharz verwendet wird. Diese Stoffe lassen sich erheblich leichter verbrennen als Gelatine oder ähnliche Kolloide und gewährleisten, daß nach dem Einbrennen eine von Rückständen freie Metallschicht zurückbleibt.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Verfahren zur photographischen Herstellung von Teilungen, Meßmarken, Gittern u. dgl., die an den bei ihrer Herstellung vom Licht nicht beeinflußten Stellen schichtfrei sind, nach Patent 743 261, dadurch gekennzeichnet, daß als Schichtbildner ein mit Chromat lichtempfindlich gemachtes und mit Keimkörpern versetztes Natur- oder Kunstharz verwendet wird, das rückstandfrei verbrennt.
DEZ618D 1941-06-30 1941-07-01 Verfahren zur photographischen Herstellung von Teilungen, Messmarken, Gittern u. dgl. Expired DE918608C (de)

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DEZ0000618 1941-06-30
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DE918608C true DE918608C (de) 1954-09-30

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1056932B (de) * 1955-01-29 1959-05-06 Franz Wagner Verfahren zur Herstellung von Rastern, Zeichnungen u. a. auf Filmen, Glaesern und anderen Traegern

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1056932B (de) * 1955-01-29 1959-05-06 Franz Wagner Verfahren zur Herstellung von Rastern, Zeichnungen u. a. auf Filmen, Glaesern und anderen Traegern

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