DE913975C - Anordnung zur Erzielung einer Schicht von gleichbleibender Staerke bei der thermischen Bedampfung von Gegenstaenden, insbesondere Dielektrikumsbaendern fuer elektrische Kondensatoren - Google Patents

Anordnung zur Erzielung einer Schicht von gleichbleibender Staerke bei der thermischen Bedampfung von Gegenstaenden, insbesondere Dielektrikumsbaendern fuer elektrische Kondensatoren

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DE913975C
DE913975C DEP3026A DEP0003026A DE913975C DE 913975 C DE913975 C DE 913975C DE P3026 A DEP3026 A DE P3026A DE P0003026 A DEP0003026 A DE P0003026A DE 913975 C DE913975 C DE 913975C
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DEP3026A
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Dr-Ing Klaus Johannsen
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Hydrawerk AG
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Hydrawerk AG
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Description

  • Bei der Herstellung von Metalldampfniedersehlägen auf Bändern, insbesondere von metallisiertem Papier für die Anfertigung von Kondensatoren, wird das zu bedampfende Band üblicherweise an einem Tiegel vorbeigeführt, der beheizt wird und in dem sich das zu bedampfende Metall in flüssiger Phase befindet. Die Tiegel haben im allgemeinen eine rechteckige Form mit der größeren Ausdehnung quer zur Bewegungsrichtung des zu bedampfenden Bandes. Sie werden gewöhnlich von außen durch Heizwendeln, die an den Längsseiten des Tiegels untergebracht sind, auf die für die Bedampfung notwendige Temperatur erhitzt. Es ist auch bekannt, den Tiegel aus einem elektrisch leitenden wärmebeständigen Material, z. B. Kohle, herzustellen und die Tiegelwandung so zu bemessen, daß bei Stromdurchgang eine entsprechende Erwärmung des Schmelzgutes erfolgt.
  • Hierbei läßt sich beobachten, daß der Metallniederschlag auf den zu bedampfenden Bändern nicht gleichmäßig erfolgt, sondern über ,die Breite des Bandes verschieden dick wird, und zwar so, daß er von der Mitte zu den Rändern hin abnimmt. Zur Erzielung einer Schicht gleicher Dicke ist es daher im allgemeinen erforderlich, an den Rändern des zu metallisierenden Bandes eine vergleichsweise stärkere Bedampfung zu bewirken.
  • Es sind Maßnahmen bekannt, die eine zusätzliche Beheizung an den Enden des Verdampfungstiegels vorsehen, um die ungleichmäßige Erwärmung bzw: Abkühlung des Tiegels als eine Ursache der beschriebenen Erscheinung auszugleichen. Es ist auch bekannt, durch Abdecken der Tiegelöffnung mittels einer Blende, die einen zu den Schmalseiten hin größeren wirksamen Querschnitt der verdampfenden Schmelzenoberfläche freigibt, für eine entsprechende Bedampfüng der Randzonen zu sorgen. Man hat auch eine Steuerung des Metalldampfniederschlages durch ein elektrisches Feld vorgeschlagen.
  • Bei einer Anordnung zur gleichmäßigen Bedampfung von Bändern, insbesondere Dielektrikumsbändern für elektrische Kondensatoren, beider das Band über einen länglichen Verdampfungstiegel, und zwar senkrecht zur Längsachse des Tiegels geführt wird, wird erfindungsgemäß über die Breite des Bandes eine gleichbleibende Schichtdicke dadurch erzielt, daß die Bewegungsrichtung des Bandes mit derEbene der Schmelzenoberfläche einen spitzen Winkel bildet und die Tiegelenden, bezogen auf die Bewegungsrichtung des Bandes, zurückgebogen sind.
  • Die Figuren zeigen schematisch ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, und zwar Fig. Z in Seitenansicht und Fig. 2 in Drauf sieht. Die Tiegelenden sind, bezögen auf die Fortbewegungsrichtung des zu bedampfenden Bandes, zurückgebogen. Hierdurch sind die Enden des Verdampfungstiegels dem zu metallisierenden Band näher gebracht als die Tiegelmitte, so daß an den Rändern des Bandes eine vergleichsweise verstärkte Bedampfung erfolgt. Durch Abstimmung von Tiegelkrümmung und Bandneigung läßt sich das Verhältnis der Bedampfungsintensitäten quer zur Bewegungsrichtung des Bandes einstellen. Es besteht auch die Möglichkeit, bei gegebenen Tiegelabmessungen durch Verändern des Neigungswinkels eine Regelung der Schichtdiekenverteilung über die Breite des Bandes vorzunehmen, ohne daß der Tiegel selbst geändert oder durch einen anderen Verdampfer ersetzt wird:

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Anordnung zur gleichmäßigen Bedampfung von Bändern, insbesondere Dielektrikumsbändern für elektrische Kondensatoren, bei der das Band über einen länglichen Verdampfungstiegel, und zwar senkrecht zur Längsachse des Tiegels, geführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungsrichtung des Bandes mit der Ebene der Schmelzenoberfläche einen spitzen Winkel bildet und die Tiegelenden, bezogen auf die Bewegungsrichtung des Bandes, zurückgebogen sind. Angezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 747 257, 733 726, 719 095, 336 728, 186 383, 748 944 749 533 französische Patentschrift Nr. 893 317; Physieal Review 1930, S. 1939 bis 1947; Proceedings of the Royal Soc. 1928, A. S.:294/95; Anmeldungen p 9812 VIa/48b D, S 10370 VIIIc/zIg.
DEP3026A 1949-05-24 1949-05-24 Anordnung zur Erzielung einer Schicht von gleichbleibender Staerke bei der thermischen Bedampfung von Gegenstaenden, insbesondere Dielektrikumsbaendern fuer elektrische Kondensatoren Expired DE913975C (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3432335A (en) * 1966-03-15 1969-03-11 Lokomotivbau Elektrotech Cyclically moving electron beam for uniform vapor deposited coating
US3455730A (en) * 1966-08-17 1969-07-15 Jones & Laughlin Steel Corp Vacuum vapor deposition-control of coating profile

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE186383C (de) *
DE336728C (de) * 1918-11-12 1921-05-23 Wolfram Ind A G Verfahren zum Betriebe elektrischer Schmelzoefen, bei denen ein Gluehrohr o. dgl. als Heizwiderstand dient
DE719095C (de) * 1937-05-23 1942-03-28 Siemens Ag Anordnung zum Metallisieren von festen Koerpern
DE733726C (de) * 1937-09-12 1943-04-01 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung von metallisierten Isolierstoffolien
FR893317A (fr) * 1942-04-09 1944-06-06 Bosch Gmbh Robert Procédé de production de métallisations à dessins par application de vapeur dans la vide
DE747257C (de) * 1943-03-05 1944-09-18 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Metallisierung laufender Baender durch Metallbedampfung im Vakuum
DE748944C (de) * 1942-02-07 1944-11-11 Vorrichtung zur Herstellung von aus der Dampfhase niedergeschlagenen Schichten
DE749533C (de) * 1941-07-29 1944-11-30 Durch Kraftkolben und von Hand bedienbare Absperrvorrichtung

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE186383C (de) *
DE336728C (de) * 1918-11-12 1921-05-23 Wolfram Ind A G Verfahren zum Betriebe elektrischer Schmelzoefen, bei denen ein Gluehrohr o. dgl. als Heizwiderstand dient
DE719095C (de) * 1937-05-23 1942-03-28 Siemens Ag Anordnung zum Metallisieren von festen Koerpern
DE733726C (de) * 1937-09-12 1943-04-01 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung von metallisierten Isolierstoffolien
DE749533C (de) * 1941-07-29 1944-11-30 Durch Kraftkolben und von Hand bedienbare Absperrvorrichtung
DE748944C (de) * 1942-02-07 1944-11-11 Vorrichtung zur Herstellung von aus der Dampfhase niedergeschlagenen Schichten
FR893317A (fr) * 1942-04-09 1944-06-06 Bosch Gmbh Robert Procédé de production de métallisations à dessins par application de vapeur dans la vide
DE747257C (de) * 1943-03-05 1944-09-18 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Metallisierung laufender Baender durch Metallbedampfung im Vakuum

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3432335A (en) * 1966-03-15 1969-03-11 Lokomotivbau Elektrotech Cyclically moving electron beam for uniform vapor deposited coating
US3455730A (en) * 1966-08-17 1969-07-15 Jones & Laughlin Steel Corp Vacuum vapor deposition-control of coating profile

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