DE882172C - Verfahren zur Herstellung von duennen Schichten durch thermisches Aufdampfen - Google Patents

Description

• Verfahren zur Herstellung von dünnen Schichten durch thermisches Aufdampfen In Jüngster Zeit ist zur Herstellung dünner Schichten auf Trägerunterlagen das thermische Aufdampfungsverfahren in den Vordergrund gerückt, weil dieses äußerst wirtschaftlich durchgeführt werden kann und zur Erzeugung beliebig dünner und gleichmäßiger Schichten geeignet ist. Vor allem benutzt man dieses Verfahren zur Herstellung :dünner Metallüberzüge, um u. a. damit Belegungen für elektrische Kondensatoren unmittelbar auf dem dielektrischen Träger herzustellen.
• Die Schwierigkeiten, die bei der Fertigung derartiger Kondensatoren eintreten, entstehen itn wesentlichen bei der Anbringung der Stromzuführung zur Belegung, weil diese infolge ihrer geringe Stärke mechanisch sehr empfindlich ist und die üblichen Kontaktierungsverfahren, wie Anlöten, Annieten u. dgl., nicht ohne weiteres zuläßt. Außerdem muß, insbesondere wenn es sich um Kondensatoren handelt, die Stromzuführung möglichst längs der gesamten Belegungslänge vorgenommen werden, um den Ohmschen Widerstand der sehr dünnen Schicht, der den Verlustwinkel des Kondensators erhöht, unwirksam zu machen bzw. eine unzulässig hohe strommäßige Belastung, die zu Belag schädi@gungen führt, auszuschließen.
• Man hat diese Schwierigkeiten dadurch überwunden, daß man ' die dielektrischen Streifen mit der aufgebrachten Belegung gegeneinander versetzt zum Wickelkörper vereinigt und auf die Stirnseiten eine Metallschicht niederschlägt, die als Kontaktschicht und Stromzuführungsschicht mit dem gesamten Randstreifen der Belegung in leitender Verbindung steht. Es zeigt sich; daß es zur Verbesserung des Stromüberganges von der Kontaktschicht zum Belagrand zweckmäßig ist, :die B,elegungsschicht bis über den Rand des Isolierstoffträgers bzw. sogar bis auf einen schmalen Randstreifen der Gegenseite auszudehnen, um die Berührungsfläche mit der Kontaktschicht zu vergrößern.
• =Man kann nun den Rand des dielektrischen Trägers bzw. auch einen gegenseitigen Randstreifen durch eine gesonderte Bedampfung mit einer Schicht versehen. Dies erfordert jedoch zusätzliche, Verfahrensschritte, wobei noch der Nachteil hinzukommt, daß' lediglich zwei Schichten aneinander-oder übereinandergelagert werden, die aber nicht homogen aus einer Schicht bestehen. Man hat darum danach gestrebt, die Randbedarnpfung mit einem anderen Herstellungsschritt zu verknüpfen und :den Rand möglichst bei der Herstellung der Belegungsschicht gleichzeitig mitzubedampfen. Dies geht jedoch nicht ohne weiteres; da sich die Metalldampfatomegeradlinig vom Verdampfer her ausbreiten und die zu bedampfende Fläche des dielektrischen Trägers treffen, während der Rand oder sogar einjenseitiger Randstreifen nicht mehr im Wege dieser Metalldämpfatöme liegt und daher frei bleibt.
• Es ist an anderer Stelle ein Verfahren gezeigt worden, trotzdem bei der Herstellung der Belegungsschicht den Rand gleichzeitig mitzubedampfen, indem man den Rand aus der Ebene des Isolierstoffträgers herausbog. Bei der Durchführung dieses Gedankens ergab sich jedoch, daß die Papierbahn oder auch ein anderer dielektrischer Träger durch das Heraüsbiegen des Randes am Randteil gezerrt wurde und; wenn er auch nicht gerade einriß, doch Anlaß zur Faltenbildung im Wickelkörper gab.
• Die vorliegende Erfindung zeigt nun eine Mög- lichkeit, auch ohne den Randstreifen aus der Ebene des Isolierstoffträgers herauszubiegen, den Rand. und, wenn gewünscht, auch einen Randstreifen des Isolierstoffträgers bei der Aufbringung der Niederschlagsschicht mitzubedampfen, wenn man erfindungsgemäß den bandförmigen Isolierstoffträger gestreckt vor einer senkrecht zur Bandrichtung angeordneten Düse öder spaltähnlichen Dampfaustrittsöffnung vorüberfuhrt, die an dem zu bedampfenden Rand des Isolierstoffträgers sich mindestens bis zu diesem Rand erstreckt bzw: noch über diesen Rand hinausragt, und wenn man das von der (Gegenseite des Isolierstoffträgers gegenüber der Dampfaustrittsäffnung angeordnete Kühlbett um die Breite .des zu bedampfenden Randstreifens vom zu bedampfenden Rand des IsolierstofEträgers zurückstehen läßt. " Die weiteren Erläuterungen werden zweckmäßig gleichzeitig an Hand der Zeichnung gegeben. In Fg. i ist die Ansicht und in Fig. 2 die Seitenansicht einer Bedampfungseinrichtung schematisch dargestellt. a ist das sogenannte Kühlbett, das, mittels flüssiger Luft od. dgl. gekühlt, gegenüber dem Verdampfer c angeordnet dem bandförmigen vorübergleitenden Isolierstoffträger b eine bestimmte niedrigere Temperatur aufzwingt, wodurch die Kondensation des verdampften Stoffes im wesentlichen auf dem Isolierstoffträger b .dann erfolgt, wenn dieser mit dem Kühlbett a in Berührung steht. Gemäß der Erfindung wird nun der bandförmige Isolierstoffträger b gestreckt, also ohne den zu bedampfenden Rand aus seinerEbene herauszubiegen, vor dem Verdampfer c vorübergeführt, wobei der Verdampfer c eine spalt- oder düsenähnliche Dampf -aüstrittsöffnung d besitzt; die sich mindestens bis zu dem zu bedampfenden Rand, in diesem Falle e, des Isolierstoffträgers b erstreckt bzw. sogar über diesen, wie es die Fig..i zeigt, hinausragt. Gleich.-zeitig steht das auf der Rückseite des bandförmigen Isolierstoffträgers b angeordnete Kühlbett a um so viel von dem zu bedampfenden Rand e zurück, wie auf der Gegenseite ein Niederschlag erfolgen soll.
• Durch diese Maßnahme wird- erreicht, daß die Intensität des Dampfstromes in dem Gebiet der zu metallisierenden Kante e bzw. des jenseitigen Randstreifens noch nicht wesentlich abgefallen ist, so daß, da außerdem die zu bedampfenden Randteile des Isolierstoffträgers b immer noch ausreichend gekühlt sind, ein Niederschlag erfolgt.
• Sollte sich ein Niederschlag an unerwünschten Stellen der Apparatur oder des Isolierstoffträgers ergeben, so kann man diesen Niederschlag in an sich bekannter Weise dadurch verhindern, daß man diese Flächenteile mit einer einen Niederschlag überhaupt nicht oder nur schwer zulassenden Schicht, beispielsweise einer Fettschicht, überzieht.

Claims (2)

1. PATENTANSPRÜCHE: z. Verfahren zur laufenden Herstellung von dünnen Schichten, die bis auf den Rand bzw. auf einen schmalen Randstreifen der Gegenseite von bandförmigen Isolierstreifen, wie z. B. Papier, ausgedehnt sind, durch Niederschlagen thermisch verdampfter Stoffe, dadurch gekennzeichnet, daß der bandförmige Isolierstoffträger gestreckt vor einer senkrecht zur Bandrichtung angeordneten Düse oder spaltähnlichen DampfaustrttsÖffriung vorübergeführt wird, die an dem zu bedampfenden Rand des Isolierstoffträgers sich mindestens bis zu diesem Rand erstreckt bzw. noch über diesen Rand hinausragt, und däß das auf der Gegenseite des Isolierstoffträgers gegenüber der Dampfaustrittsöffnung angeordnete Kühlbett um die Breite des zu be- dampfenden Randstreifens vom zubedampfenden Rand des Isolierstoffträgers zurücksteht.
2. 2. Verfahren nach Anspruch i; dadurch gekennzeichnet, daß die von Niederschlag frei zu haltenden Flächen des Isolierstoffträgers bzw. anderer Teile mit einer einen Niederschlag überhaupt .nicht oder nur schwer zulassenden Schicht, wie z. B. einer Fettschicht, überzogen werden.