DE748944C

DE748944C - Vorrichtung zur Herstellung von aus der Dampfhase niedergeschlagenen Schichten

Info

Publication number: DE748944C
Application number: DEB197052D
Authority: DE
Inventors: Dr-Ing Eberhard Traub
Priority date: 1942-02-07
Filing date: 1942-02-07
Publication date: 1944-11-11

Description

Vorrichtung zur Herstellung von aus der Dampfphase niedergeschlagenen Schichten

Bei der Herstellung von aus der Dampf-

phase gewöhnlich im Vakuum niedergeschla-

genen Schichten, beispielsweise aus Metall, ist

es mitunter erforderlich, bestimmte Schicht-

dickenprofile zu erhalten, d. h. also keine

gleichmäßigen Schichten,. sondern solche von

wechselnder Stärke. Dies hat man bisher

durch mehrmaliges Bedampfen der Stellen er-

zielt, an denen man eine größere Schichtdicke

wünschte. So kann man insbesondere bei -

der Metallisierung von Papierbändern o. dgl.

durch Anordnung mehrerer Verdampfer ver-

schiedener Breite, über die das gleiche

Papierband der Reihe nach hi.nwegläuft,

Streifen größerer und kleinerer Schichtclicl<e

nebeneinander auf dem Band erzielen. Die

Stellen, die einen verstärkten Metallbelag er-

halten sollen, wurden also bei diesem X,-er-

fahren mehrmals hintereinander bedampft,

zunächst mit der gleichmäßig über eine

größere Breite sich erstreckenden Grund-

schicht und dann nochmals besonders niit der

erforderlichen Zahl von nur die zu verstärken-

den Stellen bedeckenden weiteren Schichten.

Gemäß der Erfindung werden nun auf

gebeniiber dem Verdampfer bewegten Unter-

lagen Schichten von beliebigem Profil da-

durch hergestellt, daß man eine Düse von in

Richtung der Bewegung der Unterlabe nicht

gleichmäßiger NN'eite für den Durchtritt des

Dampfes vorsieht. Gegenüber den Stellen

auf der zu bedampfenden Unterlage, die eine

verstärkte NTetallschicht erhalten sollen, ist

die Düse weiter als gegenüber den anderen

Stellen. Auf diese Art und Weise kommt

man mit einem einzigen Verdampfer aus, so

daß also die Anlagen für die Beh@eizuiig, Be-

schicl,zung usw. des Verdampfers nur einmal

vorhanden sein müssen. Einen weiteren gro-

ben Vorteil bietet dieses Verfahren hinsic!it-

lich der Überwachung und Messung der Dicke

der hergestellten Schichten. Während nälii-

!ich hei dem bisher üblichen X"erfahren die

Schichtdicke jedes einzelnen der durch die

verschiedenen Verdampfer erzeugten _N ieder-

schläge überwacht und gemessen werden muß,

was bei komplizierten Profilen große Schwie-

rigkeiten bereitet, ist bei der Vorrichtung ge-

inäß der Erfindung das erhaltene Schicht-

dickenprofil durch die Düsenform ohne wei-

teres gegeben. Es genügt also die Messung

und damit auch die Regelung der ,Dicke des

herzustellenden Gesamtprofils an einer einzi-

gen Stelle, da die Dickenverhältnisse zwischen

,ien einzelnen Gebieten verschiedener Dicke

infolge der fest gegebenen Düsenform nicht

schwanken können.

Solche aus der Dampfphase niedergeschla-

genen Schichten verschiedener Dicke finden

unter anderem im Kondensatorbau Verwen-

dung. Ein bekanntes Verfahren zur Her-

stellung von elektrischen Kondensatoren be-

steht darin, daß auf Bänder aus dielektrischen

Stoffen, vorzugsweise Papier, dünne Metall-

schichten niedergeschlagen und mehrere sol-

cher metallisierter Bänder zu einem Konden-

sator zusammengewickelt werden. Um die

Stromanschlüsse anbringen zu können, läßt

man die Metalksierung der Bänder auf einer

Seite bis zum Rand gehen und wickelt die

Bänder so zusammen, daß die Metallisierung

des einen Bandes bis zur einen, die des zwei-

ten Bandes bis zur anderen Stirnseite des

Wickels reicht. Dann werden auf die Stirn-

seiten leitende Brücken aufgebracht, an denen

Zuführungsdrähte festgelötet werden. Da die

niedergeschlagenen Metallschichten im allge-

meinen sehr dünn sind, und dies aus Gründen

der Ausheilung des Kondensators bei einem

Durchschlag auch sein müssen, macht die

leitende Verbindung zwischen den erwähnten

Brücken und den an die Stirnseite heran-

reichenden Metallisierungen oft Schwierig-

keiten. Man wird also am Rand die Metalli-

sierung verstärken und zu diesem Zweck die

erfindungsgemäße Vorrichtung vorteilhaft

verwenden.

In der Zeichnung ist eine Vorrichtung ge-

n ' i ß der Erfindun- in Abb. i und ein init

ZD

dieser Vorrichtung metallisierter Körper im

Querschnitt in Abb. 2 gezeigt.

In Abb. r stellt r die auf den Verdampfer

aufgesetzte Düse dar. Diese Düse hat am

vorderen Ende eine Erweiterung und auf

einer Seite eine weitere Verbreiterung 3. Die

Verbreiterung 3 wird nach hinten zu allmäh-

lich geringer, bis die normale Breite der Düse

#vieder erreicht ist. Über diese Düse wird

das unterbrochen gezeichnete Papierband

Hinwegbewegt, auf dessen Unterseite sich die

Metallschicht 5 in dem durch die Düse ge-

gebenen Profil niederschlägt.

Das erhaltene Profil ist in Abb.2 nochmals

gesondert im Querschnitt gezeigt. Auf dem

Papierband .l ist die Metallschicht 5 nieder-

geschlagen, die am linken Rand eine starke

Verdickung 6, hervorgerufen durch diü

Düsenerweiterung 2, und in der Mitte eine

nach rechts langsam verlaufende geringere

Verdickung 7, hervorgerufen durch dieDüsen-

erweiterung 3, zeigt.

Claims

PATENTANSPRUCH Vorrichtung zur Herstellung von au der Dampfphase niedergeschlagenen Schichten ungleichmäßiger Stärke, insbe- sondere aus Metall, auf gegenüber dein Verdampfer bewegten Unterlagen, da- durch gekennzeichnet, daß eine Düse von in Richtung der Bewegung der Unterlage nicht gleichmäßiger Weite entsprechend dem gewünschten Querschnitt der Auf- tragsschicht für den Durchtritt des Dampfes vorgesehen ist.

Zur Abgrenzung des Anmeldungsgegen- standes vom Stand der Technik sind im Er- teilungsverfahren keine Druckschriften in Betracht gezogen worden.