DE748944C - Vorrichtung zur Herstellung von aus der Dampfhase niedergeschlagenen Schichten - Google Patents
Vorrichtung zur Herstellung von aus der Dampfhase niedergeschlagenen SchichtenInfo
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
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Description
- Vorrichtung zur Herstellung von aus der Dampfphase niedergeschlagenen Schichten
Bei der Herstellung von aus der Dampf- phase gewöhnlich im Vakuum niedergeschla- genen Schichten, beispielsweise aus Metall, ist es mitunter erforderlich, bestimmte Schicht- dickenprofile zu erhalten, d. h. also keine gleichmäßigen Schichten,. sondern solche von wechselnder Stärke. Dies hat man bisher durch mehrmaliges Bedampfen der Stellen er- zielt, an denen man eine größere Schichtdicke wünschte. So kann man insbesondere bei - der Metallisierung von Papierbändern o. dgl. durch Anordnung mehrerer Verdampfer ver- schiedener Breite, über die das gleiche Papierband der Reihe nach hi.nwegläuft, Streifen größerer und kleinerer Schichtclicl<e nebeneinander auf dem Band erzielen. Die Stellen, die einen verstärkten Metallbelag er- halten sollen, wurden also bei diesem X,-er- fahren mehrmals hintereinander bedampft, zunächst mit der gleichmäßig über eine größere Breite sich erstreckenden Grund- schicht und dann nochmals besonders niit der erforderlichen Zahl von nur die zu verstärken- den Stellen bedeckenden weiteren Schichten. Gemäß der Erfindung werden nun auf gebeniiber dem Verdampfer bewegten Unter- lagen Schichten von beliebigem Profil da- durch hergestellt, daß man eine Düse von in Richtung der Bewegung der Unterlabe nicht gleichmäßiger NN'eite für den Durchtritt des Dampfes vorsieht. Gegenüber den Stellen auf der zu bedampfenden Unterlage, die eine verstärkte NTetallschicht erhalten sollen, ist die Düse weiter als gegenüber den anderen Stellen. Auf diese Art und Weise kommt man mit einem einzigen Verdampfer aus, so daß also die Anlagen für die Beh@eizuiig, Be- schicl,zung usw. des Verdampfers nur einmal vorhanden sein müssen. Einen weiteren gro- ben Vorteil bietet dieses Verfahren hinsic!it- lich der Überwachung und Messung der Dicke der hergestellten Schichten. Während nälii- !ich hei dem bisher üblichen X"erfahren die Schichtdicke jedes einzelnen der durch die verschiedenen Verdampfer erzeugten _N ieder- schläge überwacht und gemessen werden muß, was bei komplizierten Profilen große Schwie- rigkeiten bereitet, ist bei der Vorrichtung ge- inäß der Erfindung das erhaltene Schicht- dickenprofil durch die Düsenform ohne wei- teres gegeben. Es genügt also die Messung und damit auch die Regelung der ,Dicke des herzustellenden Gesamtprofils an einer einzi- gen Stelle, da die Dickenverhältnisse zwischen ,ien einzelnen Gebieten verschiedener Dicke infolge der fest gegebenen Düsenform nicht schwanken können. Solche aus der Dampfphase niedergeschla- genen Schichten verschiedener Dicke finden unter anderem im Kondensatorbau Verwen- dung. Ein bekanntes Verfahren zur Her- stellung von elektrischen Kondensatoren be- steht darin, daß auf Bänder aus dielektrischen Stoffen, vorzugsweise Papier, dünne Metall- schichten niedergeschlagen und mehrere sol- cher metallisierter Bänder zu einem Konden- sator zusammengewickelt werden. Um die Stromanschlüsse anbringen zu können, läßt man die Metalksierung der Bänder auf einer Seite bis zum Rand gehen und wickelt die Bänder so zusammen, daß die Metallisierung des einen Bandes bis zur einen, die des zwei- ten Bandes bis zur anderen Stirnseite des Wickels reicht. Dann werden auf die Stirn- seiten leitende Brücken aufgebracht, an denen Zuführungsdrähte festgelötet werden. Da die niedergeschlagenen Metallschichten im allge- meinen sehr dünn sind, und dies aus Gründen der Ausheilung des Kondensators bei einem Durchschlag auch sein müssen, macht die leitende Verbindung zwischen den erwähnten Brücken und den an die Stirnseite heran- reichenden Metallisierungen oft Schwierig- keiten. Man wird also am Rand die Metalli- sierung verstärken und zu diesem Zweck die erfindungsgemäße Vorrichtung vorteilhaft verwenden. In der Zeichnung ist eine Vorrichtung ge- n ' i ß der Erfindun- in Abb. i und ein init ZD dieser Vorrichtung metallisierter Körper im Querschnitt in Abb. 2 gezeigt. In Abb. r stellt r die auf den Verdampfer aufgesetzte Düse dar. Diese Düse hat am vorderen Ende eine Erweiterung und auf einer Seite eine weitere Verbreiterung 3. Die Verbreiterung 3 wird nach hinten zu allmäh- lich geringer, bis die normale Breite der Düse #vieder erreicht ist. Über diese Düse wird das unterbrochen gezeichnete Papierband Hinwegbewegt, auf dessen Unterseite sich die Metallschicht 5 in dem durch die Düse ge- gebenen Profil niederschlägt. Das erhaltene Profil ist in Abb.2 nochmals gesondert im Querschnitt gezeigt. Auf dem Papierband .l ist die Metallschicht 5 nieder- geschlagen, die am linken Rand eine starke Verdickung 6, hervorgerufen durch diü Düsenerweiterung 2, und in der Mitte eine nach rechts langsam verlaufende geringere Verdickung 7, hervorgerufen durch dieDüsen- erweiterung 3, zeigt.
Claims (1)
- PATENTANSPRUCH
Vorrichtung zur Herstellung von au der Dampfphase niedergeschlagenen Schichten ungleichmäßiger Stärke, insbe- sondere aus Metall, auf gegenüber dein Verdampfer bewegten Unterlagen, da- durch gekennzeichnet, daß eine Düse von in Richtung der Bewegung der Unterlage nicht gleichmäßiger Weite entsprechend dem gewünschten Querschnitt der Auf- tragsschicht für den Durchtritt des Dampfes vorgesehen ist. Zur Abgrenzung des Anmeldungsgegen- standes vom Stand der Technik sind im Er- teilungsverfahren keine Druckschriften in Betracht gezogen worden.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEB197052D DE748944C (de) | 1942-02-07 | 1942-02-07 | Vorrichtung zur Herstellung von aus der Dampfhase niedergeschlagenen Schichten |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEB197052D DE748944C (de) | 1942-02-07 | 1942-02-07 | Vorrichtung zur Herstellung von aus der Dampfhase niedergeschlagenen Schichten |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE748944C true DE748944C (de) | 1944-11-11 |
Family
ID=7011971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEB197052D Expired DE748944C (de) | 1942-02-07 | 1942-02-07 | Vorrichtung zur Herstellung von aus der Dampfhase niedergeschlagenen Schichten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE748944C (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE913975C (de) * | 1949-05-24 | 1954-06-24 | Hydrawerk Ag | Anordnung zur Erzielung einer Schicht von gleichbleibender Staerke bei der thermischen Bedampfung von Gegenstaenden, insbesondere Dielektrikumsbaendern fuer elektrische Kondensatoren |
DE975566C (de) * | 1952-07-20 | 1962-01-18 | Siemens Ag | Verfahren zur fortlaufenden Metallisierung von Isolierstoffbaendern |
DE1133035B (de) * | 1952-08-25 | 1962-07-12 | Siemens Ag | Stirnkontaktierter elektrischer Kondensator |
US3942469A (en) * | 1972-12-15 | 1976-03-09 | Ppg Industries, Inc. | Vapor deposition nozzle |
US3951100A (en) * | 1972-12-15 | 1976-04-20 | Ppg Industries, Inc. | Chemical vapor deposition of coatings |
-
1942
- 1942-02-07 DE DEB197052D patent/DE748944C/de not_active Expired
Non-Patent Citations (1)
Title |
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None * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE913975C (de) * | 1949-05-24 | 1954-06-24 | Hydrawerk Ag | Anordnung zur Erzielung einer Schicht von gleichbleibender Staerke bei der thermischen Bedampfung von Gegenstaenden, insbesondere Dielektrikumsbaendern fuer elektrische Kondensatoren |
DE975566C (de) * | 1952-07-20 | 1962-01-18 | Siemens Ag | Verfahren zur fortlaufenden Metallisierung von Isolierstoffbaendern |
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