DE975566C - Verfahren zur fortlaufenden Metallisierung von Isolierstoffbaendern - Google Patents

Verfahren zur fortlaufenden Metallisierung von Isolierstoffbaendern

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DE975566C
DE975566C DES29374A DES0029374A DE975566C DE 975566 C DE975566 C DE 975566C DE S29374 A DES29374 A DE S29374A DE S0029374 A DES0029374 A DE S0029374A DE 975566 C DE975566 C DE 975566C
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DES29374A
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Inventor
Karl Dr Dauner
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Siemens AG
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Siemens AG
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/26Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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Description

Die auf Isolierstoff-Folien aufgedampften Metallbeläge müssen in einigen Fallen, z. B/ zur Herstellung von Störschutzkondensatoren für breite Frequenzbänder, außerordentlich dünn sein. Zur einwandfreien Kontaktierung des fertigen Kondensators müssen die Beläge an den Rändern der Folie verstärkt werden. Diese Verstärkung macht besonders bei Aluminiumbelägen Schwierigkeiten.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur fort-ίο laufenden Metallisierung von Isolierstoffbändern mit in Bandrichtung verlaufenden Streifen verschiedener Schichtstärke durch Bedampfen. Dabei wird von einem Verdampfer Gebrauch gemacht, der quer zur Bandlänge angeordnet ist und Zonen unterschiedlicher Dampfemission aufweist.
Zur Herstellung dünner Metallschichten auf bandförmigen Trägern ist es bereits bekannt, Verdampfer zu verwenden, die quer zur Bandlänge angeordnete Zonen unterschiedlicher Temperatur aufweisen. Mit diesen Verdampfern wurden jedoch bisher allein Metallschichten gleichmäßiger Dicke hergestellt.
Es sind weiter Verdampfer bekannt, welche zur Erzeugung von in Bandrichtung verlaufenden Metallstreifen unterschiedlicher Schichtstärke einen düsenartigen Spalt von in Richtung der Bewegung der Unterlage nicht gleichmäßiger Weite aufweisen. Bei diesem Verdampfertyp befinden sich jedoch die verschiedenen Zonen auf gleicher Temperatur. Die verschiedenen Schichtstärken werden also hierbei nicht durch unterschiedliche Emission, sondern durch unterschiedliche Spaltweiten erzeugt.
Es ist auch bereits vorgeschlagen worden, einen Behälter für verdampfbare Substanzen, der durch Stromleitung aufgeheizt wird, durch eine solche geometrische Formgebung auszugestalten, daß die Mitte des aufgeheizten Behälters eine tiefere Temperatur als die Randteile aufweist. Mit diesem Vorschlag ist jedoch, zum Unterschied von der Erfindung, beabsichtigt, eine gleichmäßige Stärke der aufgedampften Schicht zu erzielen.
Die Erfindung geht von der Feststellung aus, daß von Zonen höherer Temperatur im Verdampfer mehr Metall pro Zeit- und Oberflächeneinheit verdampft als von den Zonen niedrigerer Temperatur. Erfindungsgemäß wird daher vorgeschlagen, daß als Verdampfer ein stabförmiger, mit Zonen unterschiedlichen Querschnitts versehener elektrischer Widerstand verwendet wird mit der Maßgabe, daß dessen Verdampfungsfläche sich über den gesamten Verdampfer erstreckt, und daß die Zonen verminderten Querschnitts gegenüber den stärker zu bedampfenden Streifen des Bandes angeordnet werden. Die unterschiedliche Temperaturverteilung wird also bei dem durch elektrischen Stromdurchgang beheizten Verdampfungskörper dadurch erzielt, daß Her Querschnitt des Verdampfungskörpers an den Stellen verringert wird, an denen erhöhte Temperaturen auftreten sollen.
Die Verdampfungsflächen höherer Temperatur stehen z. B. dem zu kontaktierenden Rand der Folie gegenüber. An diesen Stellen erfolgt infolgedessen eine schnellere Verdampfung des Metalls, das sich in verstärkter Schicht auf dem Folienrand niederschlägt.
Die Zeichnung zeigt einige Beispiele von bei dem Verfahren gemäß der Erfindung zu verwendenden Verdampfungskörpern. Die Stromzuführung zur elektrischen Beheizung erfolgt über die Anschlüsse 2. Der Teil 1 des Verdampfungskörpers hat einen größeren Querschnitt als der Teil 3, der dem zu kontaktierenden Belagrand der zu bedampfenden Folie gegenübersteht.
Es können auf der gleichen Trägerfolie auch mehrfach abwechselnd Streifen verschiedener Stärke aufgedampft sein, wenn die Folie z. B. nach dem Bedampfen in entsprechend schmalere Breiten zerschnitten wird.
Einen für diese Zwecke geeigneten Verdampfer zeigt die schematische Fig. 2.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH:
    Verfahren zur fortlaufenden Metallisierung durch Bedampfen von Isolierstoffbändern mit in Bandrichtung verlaufenden Streifen verschiedener Schichtstärke, wobei das Überzugsprofil durch einen quer zur Bandlänge angeordneten*, mit Zonen unterschiedlicher Dampfemission versehenen Verdampfer erzielt wird, dadurch gekennzeichnet, daß als Verdampfer ein stabförmiger, mit Zonen unterschiedlichen Querschnitts versehener elektrischer Widerstand verwendet wird, mit der Maßgabe, daß dessen Verdampfungsfläche sich über den gesamten Verdampfer erstreckt, und daß die Zonen verminderten Querschnitts gegenüber den stärker zu bedampfenden Streifen des Bandes angeordnet werden.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0546248A2 (de) * 1991-12-03 1993-06-16 Leybold Aktiengesellschaft Verdampferschiffchen für eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten

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