DE890842C - Vorrichtung zur Bedampfung von Unterlagen - Google Patents

Description

• Vorrichtung zur Bedampfung von Unterlagen Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, in manchen Fällen, z. B. bei der Herstellung von elektrischen Kondensatoren, metallisierte Bänder mit ungleichmäßiger Stärke der Metallschicht über die Bati@dbneite herzustellen. Um gute Anschlüsse an die leitenden Metallflächen bei elektrischen Kondensatoren durch Elektrodenfahnen: oderaufgespritzte Metallbrüchen zu erhalten, ist z. B. schon vorgeschlagen worden, den Rand der Metallbelegung zu verstärken. Man kann .diese Verstärkung eines Metallbelages in der Weise erreichen, daß man zunächst die Unterlage mit gleichmäßiger Schichtdicke durch Metallbedampfung versieht und danach auf diese Schicht an gewissen Stellen noch durch eine weitere Bedampfung die gewünschte Schichtverstärkung aufbringt. Mit Hilfe verschiedener Düsen für @die Bedampfung lassen! sich auf diese Art verschiedene Profile der aufgedampften Schichten erreichen. Als nachteilig und kostspielig ist aber anzusehen, daß zur Einstellung der Schichtdicke beim Bedampfen zwei Mcssungen notwendig sind, da ja beide Bedampfungen, die normale für die gleichmäßig zu erzeugende Schicht und die zusätzliche für die zu erzeugende stellenweise Verstärkung der Schicht, voneinander unabhängig erfolgen und jede für sich eingestellt werden muß.
• Dieser Nachteil wird gemäß der Erfindung dadurch vermieden, daß zur Erzielung ungleichmäßiger Profile :des aufzudampfenden Stoffes an der Düse Mittel zur Beeinflussung der Austrittsgeschwindigkeit des Dampfes aus der Düse vorgesehen sind. Di,--s,e Mittel besteben zweckmäßig aus Leitflächen für den Dampf, die im Innern der Düse angebracht sind. Die Düse wird im Innern durch eine oder mehrere Leitflächen derart unterteilt, daß sie gewissermaßen aus zwei oder mehreren Teildüsen besteht, in denen -dank ihrer besonderen, durch die Leitflächen gebildeten Form verschiedene Austrittsgeschwindigkeiten des Dampfes am Düsenmund entstehen.
• Abb. i zeigt schematisch eine Bedampfungsdüse, in deren Innerem eine Leitfläche i eingesetzt ist. Diese bestimmt durch die Dampfeintrittsflächen 2 und 3 :das Verhältnis der Dampfmengen, die am Düsenmund durch die Flächen 4 und 5 austreten. Analog .den für Flüssigkeiten geltenden hydraulischen Gesetzen wird bei Verengung des Düsenmundes die Geschwindigkeit der Dampfmenge gegenüber derjenigen Geschwindigkeit erhöht, die sie beim Durchtritt durch die Eintrittsfläche am Eingang der Düse '.hat. Die Dampfmengen, welche die Flächen 2 und 3 passieren, sind diesen Flächen proportional, wenn man gleichförmige Dampferzeugung aus dem in Frage kommenden Metallbad voraussetzen kann. Die Dampfmengen, die alsodurch die Flächen ¢ und 5 am Düsenmund austreten sollen und die .im folgenden .mit A und B bezeichnet sind, können :durch das Verhältnis der Flächen 2 und 3 zueinander bestimmt werden, indem die Leitfläche i diese Flächen festlegt. Die durch die Fläche 3 in die Düse eintretende Dampfmenge A tritt durch die Fläche 5, welche kleiner ist als die Eintrittsfläche 3, nach bekanntem Gesetz mit. größerer Geschwindigkeit aus als sie durch die Fläche 3 eingetreten war.
• Die Dampfmenge B, welche hingegen durch :die Fläche 2 in die Düse eintritt, hat beim Passieren der Austrittsfläche 4 eine kleinere Geschwindigkeit als -die durch die benachbarte Austrittsfläche 5 gehende Dampfmenge A,denn die Fläche 4 soll größer sein als die Fläche 5. Durch die Leitfläche i läßt sich also .das Verhältnis der gewünschten Metallmengen., die zum Zweck einer Profilierung auf eine Unterlage aufgebracht werden sollen, in gewünschter Weise einstellen. Dabei ist es nach der Düse im Schema der Abb. i gleichgültig, ob sich die zu metallisierende Unterlage bewegt oder feststeht.
• Bei Verwendung nur einer Düse für die Be-,dampfung, die verschiedene Austrittsgeschwindigkeitendes Dampfes am Düsenmund und damit verschiedene Schichtdicken aufzubringen gestattet, ist zur Einstellung der Geschwindigkeit in der Düse und damit der gewünschten Schichtdicke nur eine einzige Messung notwendig. Die Profilierung selbst der aufzubringenden Schicht ist durch .das zuvor eingestellte Verhältnis der Austrittsgeschwindigkeiten am Düsenmund gegeben und braucht nicht jedesmal neu eingestellt zu werden.
• Zur Abwandlung der austretenden Dampfmenge kann außer ,der verschieden regulierbaren Geschwin-,digkeit auch noch dieDüsenform zusätzlich geändert werden. Die Düse kann z. B. gegenüber den mit größeren Schichtdicken zu bedampfenden Unterlagen weiter offen gehalten sein, dann vermag eine ohnehin größere Dampfmenge mit in der beschriebenen Wise erhöhten Geschwindigkeit auszutreten.
• Abb. 2 zeigt schematisch eine Bedampfungsdüse, .die insbesondere für die Bedampfung bewegter Unterlagen geeignet ist. Die Düse hat an .der Stelle, an der eine dickere Metallschicht entstehen soll, eine in der Bewegungsrichtung der zu bedampfenden Unterlage verbreiterte Fläche 6, durch die der austretende Dampf mehr Zeit gegenüber der Fläche 7 erhält, um eine Metallschicht auf der an .der Düse vorbeibewegten Unterlage zu bilden. In Abb. 2@ ist die aus einem Band 8 bestehende Unterlage mit d er aufgedampften Metallschicht 9 und io nach oben umgeklappt schematisch mit dargestellt. Die Metallschicht 9 ist durch die Düsenaustrittsfläche 7 und die Metallschicht io durch die Fläche 6 aufgebracht worden. Soll die Dicke der Metallschicht io der Breite a .der Fläche 6 und die Dicke der Schicht 9 der Breite b der Fläche 7 proportional sein, so müssen die Dampfkonzentration und Austrittsgeschwindigkeit über die beiden Flächen 6 und 7 gleich sein. Gleiche Austrittsgeschwindigkeiten lassen sich jedoch bei komplizierten Düsenöffnungen wie im dargestellten Fall wegen Wirbelbildungen nur .schwer erreichen. Bei :dem Beispiel der Abb. 2 ist diese Schwierigkeit @durch die Leitfläche i i beseitigt. Sind die beiden Flächen 6 und 7 gleich groß und sind auch die durch die Leitfläche i i abgeteilten Flächen 12 und 13 gleich, so behält man. an den Flächen 6 und 7 gleiche Austrittsgeschwindigkeiten. Durch Änderung der Flächenverhältnisse kann Iman aber auch mit veränderten Austrittsgeschwindigkeiten an,den Flächen 6 und 7 arbeiten und damit auch die Dickenverhältnisse der Schichten 9 und i o ändern.

Claims (4)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Vorrichtung zur Bedampfung von Unterlagen, z. B. bei der Herstellung metallisierter Bänder für elektrische Kondensatoren, .dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzielung ungleichmäßiger Profile des aufzudampfenden Stoffes an ,der Düse Mittel zur Beeinflussung der Austrittsgeschwindigkeit des Dampfes aus der Düse vorgesehen sind.
2. 2. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Beeinflussung .der Austrittsgeschwindigkeit des Dampfes aus Leitflächen bestehen, die im Inneren der Düse angebracht sind.
3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellung der Leitflächen veränderbar ist.
4. 4. Vorrichtung nach Anspruch i oder einem ,der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenmund an verschiedenen Stellen verschiedene Austrittsweite für den Dampf hat.