DE747257C - Vorrichtung zur Metallisierung laufender Baender durch Metallbedampfung im Vakuum - Google Patents

Vorrichtung zur Metallisierung laufender Baender durch Metallbedampfung im Vakuum

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DE747257C
DE747257C DEB201630D DEB0201630D DE747257C DE 747257 C DE747257 C DE 747257C DE B201630 D DEB201630 D DE B201630D DE B0201630 D DEB0201630 D DE B0201630D DE 747257 C DE747257 C DE 747257C
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DE
Germany
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nozzle
width
vacuum
vapor deposition
metallizing
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Expired
Application number
DEB201630D
Other languages
English (en)
Inventor
Walter Schaal
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

  • Vorrichtung zur Metallisierung laufender Bänder durch Metallbedampfung im Vakuum ,_ 1)äs Verfahren zur Herstellung von 1'let:tlllsapier durch Metallbedampfung inz Vakuum ist bekannt. Über eine verdampfende Metall-@r@scrtl:ic@ic hnwe#I wird ein Papierband gezogen, auf dein der Mctalld<unl>f sieb niederg g(:lun- de.u Geschwindi# ä "t. Durch R#e#I Z, hei des Papiers lälat sich die Dicke der niedergechlagencn 'Metallschicht in ziemlich weiten Grenzen regelst. Dagegen kann inan auf daVerhältnis der @Ictallschieht<licl;e ülwr die -[''reite der nicden-,eschlagenen Schicht durch die I,"egeltutg. der Bandt#chtt-indigl.-e#it keinen 'a?ntlul.i. neinneu; so #I:tla e- also- t-orkonnnen kauet, cl:tß die Metall-#chirIit auf dein l'a'sier ain linken Rand clirl;cs- :st als ,in rechten Rand oder uni-Dies ist: bcislsiclswei:e datm ,ehr stüretid, wenn saus dein Metallpapier ;()genannte sellsstausheilende, Kondensatoren hergestellt werden .allen, cl. lt. also- Kondensatoren; deren, Lelegttstgcn-bei einem Durchschlaä-att der oder in der Nähe der Durchschlagustelle wegbrennen, den Durcltschlägsfunken unterbrechen und die Fehlerstelle ins Dielektrikunl, die zutn .I)tirclisclilagnlaß gegeben hatte; vont :Belag =abisolieren. Hierbei kommt es nämlich sehr stärk darauf an, dar' die-Dicke des Metallbelags weder unter ein bestimmtes Maß heruntergeht, das durch die erforderliche Mindestleitfähigkeit der Metallschicht gegeben ist, noch auch so ,groß wird, daß bei einem Durclschlag die an der l)tirchschlagsstclle vorbandene \Letalimengc u groß ist, uns einwandfrei wegzubrennen, e7 daß dann:: ltestlcitfäl igkeiten entstehen.- die fair den Hctrieb des Kondensators schädlich sind.
  • Gein:iß der I-rhndüng wird zur Metallisicrung laufender Länder- durch lletallbcdantpfung ins Vakuum eine Düse für den Austritt-des Dampfes aus dein Verdampfer vorgesehen, bei der-das Verhältnis der Düsenweite an einer Stelle der Düse zur Düsenweite an einer anderen Stelle der Düse, insbesondere das Verhältnis der .Düsenweiten an den beiden Düsenenden zueinander regelbar ist. Das zul22tzt 1?rwälinte wird atn einfachsten dadurch erreicht. daß ein eine weite Düse zum feil abdeckendes Blech vorgesehen ist, <las uni einen am einen Ende der Düse angeordneten Drehzapfen verdreht werden kann: so daß also die Düsenweite auf der Seite, auf der der Drehzapfen angeordnet ist, einigermaßen konstant bleibt, auf der anderen Seite dagegen größer und kleiner gemacht werden kann. Den die Düsenweite begrenzenden Rand des Bleches führt man zweckmäßig nicht gerade, sondern leicht gekrunuut aus, und zwar so, daß hei Einstellung auf gleiche Düsenweite an beiden Düsenenden die Düsenweite in der Mitte gegenüber der an den beiden Enden etwas geringer ist. Da nämlich die Strömungsverhältnisse in der Mitte der Düse günstiger als an den beiden Enden sind, tritt dort, wenn die Düse über ihre ,gesamte Breite gleich weit ist, inehrDampf aus als an den beiden Enden.
  • 77ur Überwachung der Gleichmäßigkeit der Schichtdicke kann hei Metallpapier, das nur eine wenig starke Metallschicht erhält, ein quer zur Laufrichtung liegender Leuchtkörper von möglichst linienfärmiger Ausdehnung Yorgesehen werden. Hierzu eignen sich heb Miielsweise Sofhttetilampcn nlit gemeclaem Glühfaden, über deren (.Aaskörper das nwtallisierte Papier hinweggezogen wird. Anden Stellen, an denen das Papier dicker metallisiert ist, erscheint der durch (las Metallpapier durchschimmernde Glühfaden dunkler und schmaler als an den anderen Stellen. Die Düsenweite der eründungsgeni:ilien Vorrichtung mini also so einreguliert werden, daß der Glühfaden über die ganze Papierbreite gleichmäßig Breit und Bell erscheint. Durch Anordnung einiger Photozellen über die Breite des bedampften Bandes und durch geeignete, an sich bekannte Schaltungen kann eine voll selbsttätige Eierregelung der lletallscliiclitdicke erreicht werden.
  • In der Zeichnung ist ein Ausfiihrungsheispiel einer ei-hiielungsgem:ilieii Anordnung dargestellt.
  • Abh. t zeigt eine scheniati#;chC t.t@iallttansieht, Abh. -2 eine Draufsicht auf einen Verdampfer mitdcr erfndungsg@mäß ausgeführten Düse.
  • In Abh. i wird das zu lwdanWirtulc Ihm[ i über eine lAlenkrullc 2 am @@er<lampfer 3 vorheigefiihxt, aus dessen 1-)ü#zenöfftiting 4. der voni Metallbad 5 herrührende Darnpf ausströmt. Der Verdatnpfer 3 wird thlrch eine Reizspirale < geheizt. Rechts unfl links der Düsenöffnung 4. sind ]<leine Danipfleitbleche ; und 5 angeordnet, von denen iedljcli mir das Leitblech j fest mit dein Ort:lampfer 3 Verbunden ist. Das Leitblech 'S ist in einer in Abb. r nicht näher dargestellten Weise gegen den Verdampfer 3 beweglich.
  • 1n Abb. 2 stellt 3 die Oberfläche des Verdampfers nach Abh. i dar, 7 damit tlem Verdampfer selbst _fest verbundene i-eitlilecli. Das Leitblech S ist tim einett Zapfen (] mittels des Gestänges i o drehbar. Wird das Gestänge io Bach rechts bewegt. :o wird die Diisenöffnung 4. an' Oberen lai(le weiter als am unteren, hei Bewegung des Gestüngcs io nach links ist es umgekehrt. Die die Düscnöffniuig hegrenzentle Kante i i des I_eithlechs S ist (in auf der Abbildung übertrieben dargestelltem \1a13) gekrümmt. so doll in iler gezeichneten Mittelstellung des l.@#itl>Ie#@lis dir Düse in der Mitte sdinialer ist als an dei beiden H,11den.

Claims (1)

  1. PA DEN SAN SP RÜCHE: i. Vorrichtung zur \Letallisierung laufender Bänder dui@cli \Ietallliedan ip@wi ini Vakuum, dadurch gekennzeichnet, dall eilte Düse für den Austritt des Ihunpirs aus den Nirrlainpfer vorge#chen ist. l,ei der tlas Arliiiltnis der Düsenweite an einer Stelle der Düse zur Düsenweite ain einer anderen Stelle der Düse regelbar ist. -_. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dal) das \erliültuis der Düsenweiten an den heidrn l üisenenjn zueinander regelbar ist. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, datl ein gegenüber der Düsenöffnung Bewegliches und uni einen am einen Ende der Düse vorgesehenen Drehzapfen drehbar:s# AbslecklAech vorgesehen ist. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, da[.) die die Düsenweite bestimmende Kante tles Ahdeck-Bleches derart gekrümmt ist, date bei Ein-,tellung auf gleiche Düsenweite an den beiden Eilen der Diese -lie f )ü>ena@eite eil tlc#i- Mitte ant kleinsteil ist. Zur Abgrenzung des .lmne@i@ung@gc#gcnstandes venn Stand der Technik sind im Erteilungsverfahren keine Druckschriften in Betracht gezogen worden.
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Non-Patent Citations (1)

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Title
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