DE913975C

DE913975C - Arrangement to achieve a layer of constant thickness in the thermal vapor deposition of objects, especially dielectric strips for electrical capacitors

Info

Publication number: DE913975C
Application number: DEP3026A
Authority: DE
Inventors: Dr-Ing Klaus Johannsen
Original assignee: Hydrawerk AG
Current assignee: Hydrawerk AG
Priority date: 1949-05-24
Filing date: 1949-05-24
Publication date: 1954-06-24

Description

Bei der Herstellung von Metalldampfniedersehlägen auf Bändern, insbesondere von metallisiertem Papier für die Anfertigung von Kondensatoren, wird das zu bedampfende Band üblicherweise an einem Tiegel vorbeigeführt, der beheizt wird und in dem sich das zu bedampfende Metall in flüssiger Phase befindet. Die Tiegel haben im allgemeinen eine rechteckige Form mit der größeren Ausdehnung quer zur Bewegungsrichtung des zu bedampfenden Bandes. Sie werden gewöhnlich von außen durch Heizwendeln, die an den Längsseiten des Tiegels untergebracht sind, auf die für die Bedampfung notwendige Temperatur erhitzt. Es ist auch bekannt, den Tiegel aus einem elektrisch leitenden wärmebeständigen Material, z. B. Kohle, herzustellen und die Tiegelwandung so zu bemessen, daß bei Stromdurchgang eine entsprechende Erwärmung des Schmelzgutes erfolgt.In the manufacture of metal vapor deposition saws on belts, in particular of metallized paper for the manufacture of capacitors, that is to be vaporized Band usually passed a crucible, which is heated and in which the metal to be vaporized is in the liquid phase. The crucibles generally have a rectangular shape with the larger extension transverse to the direction of movement of the tape to be steamed. They are usually connected to the outside by heating coils the long sides of the crucible are housed on the necessary for the steaming Temperature heated. It is also known to make the crucible from an electrically conductive heat-resistant material, e.g. B. coal to produce and the crucible wall so too dimensioned so that a corresponding heating of the melting material occurs when current passes through.

Hierbei läßt sich beobachten, daß der Metallniederschlag auf den zu bedampfenden Bändern nicht gleichmäßig erfolgt, sondern über ,die Breite des Bandes verschieden dick wird, und zwar so, daß er von der Mitte zu den Rändern hin abnimmt. Zur Erzielung einer Schicht gleicher Dicke ist es daher im allgemeinen erforderlich, an den Rändern des zu metallisierenden Bandes eine vergleichsweise stärkere Bedampfung zu bewirken.Here it can be observed that the metal precipitate is on the The steaming tapes are not carried out evenly, but across the width of the tape becomes different thick, in such a way that it decreases from the center to the edges. In order to achieve a layer of the same thickness it is therefore generally necessary a comparatively stronger vapor deposition at the edges of the strip to be metallized to effect.

Es sind Maßnahmen bekannt, die eine zusätzliche Beheizung an den Enden des Verdampfungstiegels vorsehen, um die ungleichmäßige Erwärmung bzw: Abkühlung des Tiegels als eine Ursache der beschriebenen Erscheinung auszugleichen. Es ist auch bekannt, durch Abdecken der Tiegelöffnung mittels einer Blende, die einen zu den Schmalseiten hin größeren wirksamen Querschnitt der verdampfenden Schmelzenoberfläche freigibt, für eine entsprechende Bedampfüng der Randzonen zu sorgen. Man hat auch eine Steuerung des Metalldampfniederschlages durch ein elektrisches Feld vorgeschlagen.Measures are known that require additional heating at the ends the evaporation crucible to avoid uneven heating or cooling of the crucible as a cause of the described phenomenon. It is also known, by covering the crucible opening by means of a screen that closes a the narrow sides of the larger effective cross-section of the evaporating melt surface releases to ensure appropriate steaming of the edge zones. One also has a control of the metal vapor deposition by means of an electric field is proposed.

Bei einer Anordnung zur gleichmäßigen Bedampfung von Bändern, insbesondere Dielektrikumsbändern für elektrische Kondensatoren, beider das Band über einen länglichen Verdampfungstiegel, und zwar senkrecht zur Längsachse des Tiegels geführt wird, wird erfindungsgemäß über die Breite des Bandes eine gleichbleibende Schichtdicke dadurch erzielt, daß die Bewegungsrichtung des Bandes mit derEbene der Schmelzenoberfläche einen spitzen Winkel bildet und die Tiegelenden, bezogen auf die Bewegungsrichtung des Bandes, zurückgebogen sind.In an arrangement for the uniform vapor deposition of strips, in particular Dielectric tapes for electrical capacitors, both the tape over an elongated Evaporation crucible is guided perpendicular to the longitudinal axis of the crucible, According to the invention, a constant layer thickness is achieved across the width of the strip achieved in that the direction of movement of the belt coincides with the plane of the melt surface forms an acute angle and the ends of the crucible, based on the direction of movement of the tape, are bent back.

Die Figuren zeigen schematisch ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, und zwar Fig. Z in Seitenansicht und Fig. 2 in Drauf sieht. Die Tiegelenden sind, bezögen auf die Fortbewegungsrichtung des zu bedampfenden Bandes, zurückgebogen. Hierdurch sind die Enden des Verdampfungstiegels dem zu metallisierenden Band näher gebracht als die Tiegelmitte, so daß an den Rändern des Bandes eine vergleichsweise verstärkte Bedampfung erfolgt. Durch Abstimmung von Tiegelkrümmung und Bandneigung läßt sich das Verhältnis der Bedampfungsintensitäten quer zur Bewegungsrichtung des Bandes einstellen. Es besteht auch die Möglichkeit, bei gegebenen Tiegelabmessungen durch Verändern des Neigungswinkels eine Regelung der Schichtdiekenverteilung über die Breite des Bandes vorzunehmen, ohne daß der Tiegel selbst geändert oder durch einen anderen Verdampfer ersetzt wird:The figures show schematically an embodiment of the invention, namely Fig. Z in side view and Fig. 2 in plan view. The ends of the crucible are refer to the direction of movement of the tape to be steamed, bent back. As a result, the ends of the evaporation crucible are closer to the strip to be metallized brought as the center of the crucible, so that at the edges of the band a comparatively increased steaming takes place. By coordinating the curvature of the crucible and the inclination of the belt the ratio of the steaming intensities can be determined transversely to the direction of movement adjust the belt. There is also the possibility, given the crucible dimensions by changing the angle of inclination, regulating the bedding distribution Make the width of the belt without the crucible itself being changed or by another vaporizer is replaced:

Claims

Claim: Arrangement for uniform vapor deposition of strips, in particular dielectric strips for electrical capacitors, in which the strip is guided over an elongated evaporation crucible, namely perpendicular to the longitudinal axis of the crucible, characterized in that the direction of movement of the strip is pointed with the plane of the melt surface Forms an angle and the crucible ends are bent back in relation to the direction of movement of the belt. Cited publications: German Patent Nos. 747 257, 733 726, 7 1 9 095, 336 728, 186 383, 748 944 749 533 French Patent No. 893 317; Physieal Review 1930, pp. 1939-1947; Proceedings of the Royal Soc. 1928 AS: 294/95; Registrations p 9812 VIa / 48b D, S 10370 VIIIc / zIg.