DE910188C - Einrichtung zur Ablesung des Ausschlages eines Spiegelgalvanometers - Google Patents

Einrichtung zur Ablesung des Ausschlages eines Spiegelgalvanometers

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DE910188C
DE910188C DEZ590D DEZ0000590D DE910188C DE 910188 C DE910188 C DE 910188C DE Z590 D DEZ590 D DE Z590D DE Z0000590 D DEZ0000590 D DE Z0000590D DE 910188 C DE910188 C DE 910188C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
mirror
reading
scale
galvanometer
division
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Expired
Application number
DEZ590D
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Gerhard Hansen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DEZ590D priority Critical patent/DE910188C/de
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Publication of DE910188C publication Critical patent/DE910188C/de
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D7/00Indicating measured values
    • G01D7/02Indicating value of two or more variables simultaneously
    • G01D7/04Indicating value of two or more variables simultaneously using a separate indicating element for each variable
    • G01D7/06Luminous indications projected on a common screen
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R13/00Arrangements for displaying electric variables or waveforms
    • G01R13/38Arrangements for displaying electric variables or waveforms using the steady or oscillatory displacement of a light beam by an electromechanical measuring system

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Description

  • Einrichtung zur Ablesung des Ausschlages eines Spiegelgalvanometers In der Meßtechnik bedient man sich in den meisten Fällen zur Ablesung der Meßwerte eines Galvanometers, dessen Ausschläge ein Maß für die zu messenden Größen darstellen. Die älteste und bei wissenschaftlichen Untersuchungen am häufigsten angewendete Einrichtung dieser Art, die Gauss-Poggendorffsche Spiegelablesung, bei der mittels eines Fernrohres eine verhältnismäßig lange Skala beobachtet wird, die über dem Fernrohr angeordnet und über ihre ganze Länge beleuchtet ist, wobei in dem mit einer Strichmarke versehenen Gesichtsfeld ein der jeweiligen Stellung des Spiegels des Galvanometers entsprechender Ausschnitt der Skala erscheint, ist wegen des großen Abstandes zwischen dem Galvanometer und der Ableseeinrichtung für technische Apparaturen ungeeignet. Weiterhin ist der Beobachter genötigt, mit einem Auge an einem Okular abzulesen, was für den technischen Gebrauch ebenfalls sehr störend ist. Eine andere bekannte Anordnung, bei der von einer feststehenden Projektionseinrichtung das Bild einer leuchtenden Marke vom Galvanometerspiegel auf einer langen Skala entworfen wird, ist insbesondere deswegen nachteilig, weil der Lichtzeiger auf dieser langen Skala vom Beob#achter verfolgt werden muß. Ein weiterer Nachteil dieser bekannten Anordnung ist ferner der, daß die Teilungsintervalle je nach der optischen Bildvergrößerung verschiedenen Winkelwerten der Spiegeldrehung entsprechen, so daß man gezwungen war, bei jeder neuen Messung, bei der die gegenseitige Anordnung des Meßgerätes, der Projektionsvorrichtung und der Teilung nicht genau mit der früheren übereinstimmte, eine neue Eichung der Teilung vorzunehmen. Dieser Nachteil ist bei einer weiteren bekannten Vorrichtung behoben, bei der der Drehspiegel des Meßinstruinentes als Hohlspiegel ausgebildet ist und dieser selbst als Projektionseinrichtung zur Abbildung der Teilung auf der Projektionsfläche benutzt wird, so daß der Abbildu#ngsstrahlengang der Projektion der Teilung eine Ablenkung am Spiegel des Meßsystems erfährt, während der Zeiger fest auf der Projektionsfläche angebracht ist. Eine erneute Eichung, der Teilung ist dann unnötig, solange das Meßgerät und die Projektionsvorrichtung mit der als Objekt dienenden Teilung ihre gegenseitige Lage nicht ändern, gleichgültig, wie groß die Entfernung der Projektionsfläche, also die Bildvergrößerung ist. Allerdings kann auch bei dieser Vorrichtung die erforderliche Vergrößerung bei der Abbildung der Teilung nur erreicht werden, wenn die Projektionsfläche getrennt in einigem Ab- stand vom Meßgerät aufgestellt wird.
  • Die Anforderungen, die man an eine Galvanometereinrichtung, die für den technischen Gebrauch bestimmt ist, stellen muß, die aber bei den bisher vorgeschlagenen und verwendeten Einrichtungen nicht, insbesondere nicht gleichzeitig bei ein und derselben Einrichtung verwirklicht sind, sind die folgenden: i . Große relative Genauigkeit, alsa Ausnutzung eines Bildwinkels von etwa :2o0, entsprechend einer Spiegeldrehung von io', sowie Ablesung an einer Skala mit so vielen Teilstrichen, daß die optisch durch die Größe und die Drehung des Spiegels bedingte relative Genauigkeit voll ausgenutzt werden kann; 2. der Beobachter darf nicht genötigt sein, mit einem Auge an einem Okular zu beobachten; er soll das Bild auf einer Mattscheibe mit beiden Augen sehen können, damit in bequemer Kopfhaltung ohne Bindung an eine bestimmte Beobachtungslage abgelesen werden. kann; 3. der Beobachter darf nicht genötigt sein, auf einer lang,-n Skala den Lichtzeiger zu verfolgen; er soll sein Augenmerk vielmehr immer auf dieselbe Stelle am Instrument bei der Ablesung richten; 4. der Ab- stand zwischen dem Galvanometer und der Ableseeinrichtung soll die übrigen Abmessungen des Instrumentes nicht wesentlich überschreiten.
  • Die Einrichtung gemäß der Erfindung erfüllt alle obengenannten Forderungen gleichzeitig. Bei ihr wird ebenfalls eine feststehende, über ihre ganze Länge gleichmäßig beleuchtete Teilung über den Drehspiegel auf einer Projektionsfläche-abgebildet-, erfindungsgemäß entwirft sie aber durch ein sammelndes optisches Linsensystem zunächst ein reelles, entsprechend der Spiegeldrehung wanderndes Bild der Teilung in einer Zwischenb#ildebene in ungefähr natürlicher Größe, das durch ein Projektionssystem vergrößert auf der als Mattscheibe ausgebildeten, mit einer Ablesernarke versehenen Projektionsfläche abgebildet wird. Im Gegensatz zu den beiden erstgenannten bekannten und oben beschriebenen Einrichtungen, bei denen eine Skala von etwa i m Länge mit tausend Teilstrichen verwendet wird, kann bei der erfindungsgemäßen Einrichtung eine z. B. auf das Zehnfache verkleinerte Skala benutzt werden, d. h. eine Skala. von ioo mm Länge mit einem Strichab#stand von o,i mm. Wenn man nun gemäß der erfindungs- mäßen Einrichtung "e den Abstand zwischen Galvanomete#r und -Skala entsprechend der Verkiritierung der Skala gleichfalls auf ein Zehntel verkleinert, so entsprechen den Enden der Skala wieder die gleichen, Spiegeldrehutigen wie vorher, Da die Skala nur noch ioo mm lang ist, kann man hinter ihr eine Ko#ndensorlinse anbringen, die in der Nähe der Skala angebracht ist und den Glühkörper einer elektrischen Lampe durch die Skala hindurch auf dem Drehspiegel abbildet. Dieses Skalenbild, das auf einer Mattscheibe aufgefangen werden könnte,. wird aber zur Ablesung noch nicht verwendet, vielmehr wird es durch ein weiteres sammelndes System vergrößert nochmals auf einer mit einer Ablesemarke versehenen Mattscheibe abgebildet. Da wegen der geringen Länge der abzub#ildenden Skala eine genügende Lichtmenge zur gleichmäßigen Durchleuchtung der Skala ohne weiteres zur Verfügung gestellt werden kann, so gelingt die weitere Abbildung des Bildes der Skala auf das Zehn- bis Fünfzehnfache, ohne daß eine-, Beeinträchtigung der .,%,blesung eintritt.
  • Das vor dem Galvanometerspiegel angebrachte sammelnde optische System wird von den abbilderiden Strahlen zweckmäßig nochmals durchlaufen, nachdem diese von dem Drehspiegel zurückgeworfen worden sind. Das reelle Bild der von diesem sammelnden Sy7stem abgebildeten Skala liegt dann in unmittelbarer Nähe der Skala.
  • Die erfindungsgemäße Einrichtung seii an Hand der im nachfolgenden näher beschriebenen beispielsweisen Ausfülirungsfürm erläutert.
  • Hierin bedeutet i eine elektrische Glühlampe, welche mittels eines aus drei Linsen 2, 3 und 4 bestehenden Kondensorsystems mit großem Öff- nungsverhältnis auf dem Drehspiegel 5 eines Spiegelgalvanometers 6 abgebildet wird. In unmittelbarer Nähe dieses Kondensorsystems ist eine Skala 7 angeordnet, die in ihrer ganzen Ausdehnung gleichmäßig durchleuchtet wird. Durch ein weiteres Linisensystem 8 wird die Skala 7 in der Ebene E-E abgebildet, und zwar erfolgt diese Ab- bildung etwa, im Verhältnis i : i. Bei der Abbildung >der Skala wird das Linsensystern von den abbildenden Strahlen nochmals durchsetzt, nachdem diese von dem Drehspiegel 5 zurückgeworfen worden sind. Die Abbildung der Skala in der Ebene E-E erfolgt unter Reflexion der abbildenden Strahlen an einem totalreflektierenden Prisma g. Das in der Ebene E-E liegende Bild der Skala wird nunmehr zur Ablesung auf einer Mattscheibe io mittels eines kurzbrennweitigen Objektivs ii von großem Öffnungsverhältnis mit einer Vergrößerung auf das Fünfzehnfache abgebildet, wobei der Strablengang erneut durch einen an der Oberfläche versilberten Spiegel 12 rechtwinklig umgelenkt wird.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE.-i. Einrichtung zur Ablesung des Ausschlages eines Spiegelgalvanometers, bei der eine feststehende, über ihre ganze Länge gleichmäßig beleuchtete Teilung über den Drehspiegel auf einer Projektionsfläche abgebildet wird, dadurch gekennzeichnet, daß ein sammelndes Linsensystem zunächst ein reelles, entsprechend der Spiegeldrehung wanderndes Bild der Teilung in einer Zwischenbildebene in ungefähr natürlicher Größe entwirft, das dann durch e#in Projektionssystem vergrößert auf der als Mattscheibe ausgebildeten, mit einer Ablesemarke versehenen Projektionsfläche abgebildet wird.
  2. 2. Einrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die von dem Drehspiegel zurückgeworfenen abbildenden Strahlen das sammelnde Linsensystem nochmals durchlaufen.
DEZ590D 1938-09-13 1938-09-13 Einrichtung zur Ablesung des Ausschlages eines Spiegelgalvanometers Expired DE910188C (de)

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