DE907561C - Objekttraegerplaettchen fuer UEbermikroskope - Google Patents

Objekttraegerplaettchen fuer UEbermikroskope

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DE907561C
DE907561C DEA7765D DEA0007765D DE907561C DE 907561 C DE907561 C DE 907561C DE A7765 D DEA7765 D DE A7765D DE A0007765 D DEA0007765 D DE A0007765D DE 907561 C DE907561 C DE 907561C
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Expired
Application number
DEA7765D
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English (en)
Inventor
Walter Zapp
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AEG AG
Original Assignee
AEG AG
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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/20Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Description

  • Die Objektträgerplättchen für Übermikroskope bestehen üblicherweise aus einem kleinen kreisförmig umrandeten Blech, welches in der Mitte mit einer (Bohrung für den Durchtritt der Elektronenstrahlen versehen ist. Diese Objektträgerplättchen haben sich im Dauerbetrieb nicht bewährt, da es sich nicht vermeiden läßt, daß eine Verschmutzung des Objektträgerplättc'hens durch Objektreste auftritt. Eine Reinigung der Bohrung ist mit sehr großen Schwierigkeiten verknüpft, da die Bohrungen nur Durchmesser von etwa o,1 bis o,3 mm haben. Eine Vergrößerung der Bohrung bringt den Nachteil mit sich, daß dann die aufgebrachten Objektträgerfilme nicht mehr gut haften. Damit bleibt nur die Möglichkeit, häufig wieder neue Objektträgerplättchen zu verwenden.
  • Die Erfindung beseitigt diesen Nachteil. Nach der Erfindung ist (sind) die Bohrung(en) für den Durchtritt der Elektronenstrahlen in Richtung auf das Objekt konisch verengt. Eine etwa notwendige Reinigung der Bohrung läßt sich bei einer solchen Ausbildung des Objektträgerplättchens weitaus leichter durchführen, ohne daß die Gefahr besteht, daß störende Objektreste in der Bohrung verbleiben.
  • Als besonders zweckmäßig hat es sich erwiesen, die Bohrung bzw.,die Bohrungen meinem aus dem Plättchen herausgedrückten dünnwandigeren mittleren Teil anzuordnen. Durch das Herausdrücken des mittleren Teiles wird dieser außerordentlich dünn, was von Vorteil bei .der Herstellung der Blendenbohrung ist. Bei einer solchen Ausführungsform lassen sich besonders mehrere konische Bohrungen verwenden, da in diesem Fall die Bohrungen sehr dicht nebeneinander angeordnetwerden können. Auf diese Weise läßt sich ein großes Gesichtsfeld erzielen, ohne daß ein Netz, welches, den Nachteil bat, daß die Auflagefläche in vielen Fällen nicht eben genug ist, benutzt werden muß.
  • Der Gegenstand der Erfindung ist an den in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Die Fig. i und .2 zeigen ein Objektträgerplättchen im Schnitt und in der Aufsicht. Aus dem Objektträgerplättchen i isst der mittlere Teil 2 herausgedrückt, so daß dieser sehr dünnwandig wird. In diesem dünnwandigen Teil sind dann eine Reihe, bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel sieben, konischer Bohrungen 3 vorgesehen, durch die die Elektronenstrahlen hindurchtreten können. Bei der Anordnung nach den Fig. i und 2 ist das Objektträgerplättchen in Richtung auf das Objekt mit einem herausgedrückten mittleren Teil versehen. Eine solche Ausführungsform hat herstellungstechnisch große Vorteile.
  • Gegebenenfalls kann aber auch das Objektträgerplättchen mit einem mittleren, in der entgegengesetzten Richtung herausgedrückten Teil versehen werden, wie es in .der Fig. 3 gezeigt ist. In die Kappe 4. eines Objektträgers ist das Objektträgerplättchen eingelegt. Die Bezugszeichen des Objektträgerplättchens sind die gleichen wie bei der Anordnung nach den Fig, i und 2. über den konischen Bohrungen 3 befindet sich das. Objekt 5. Die Herstellung eines solchen Objektträggerplüttchens kann in der Weise erfolgen, daß der mittlere Teil zunächst in der anderen Richtung herausgedrückt wird. Nachdem Üan:n in -dem mittleren Teil die konischen Bohrungen hergestellt sind, wird der mittlere Teil in entgegengesetzter Richtung mit Hilfe eines geeigneten Stempels herausgedrückt. Diese Anordnung hat dann den Vorteil, daß das Objektträgerplättchien und damit das Objekt der Linse sehr weit genähert werden kann.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Objektträgerplättchen für Übermikroskope, dadurch gekennzeichnet, daß die Bohrung(en) für den Durchtritt der Elektronenstrahlen in Richtung auf das Objekt konisch verengt ist (sind).
  2. 2. Objektträgerplättchen nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Bohrung bzw. Bohrungen sich in einem aus dem Plättchen herausgedrückten dünnwandigeren mittleren Teil desselben befindet bzw. befinden.
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