DE898049C - Vorrichtung zur Verstellung von Steuereinrichtungen od. dgl., die in ein nach aussen hin abgeschlossenes Gefaess eingebaut sind - Google Patents

Description

• Vorrichtung zur Verstellung von Steuereinrichtungen od. dgl., die in ein nach außen hin abgeschlossenes Gefäß eingebaut sind Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Verstellung von Steuereinrichtungen od. dgl., die in ein, nach außen hin albgeschlossenes Gefäß einbaut sind, in welchem ein von der Außenluft abweichender Druck herrscht. Es .ist bekannt, bei Einrichtungen dieser Art, nämlich beispielsweise zur Versteillung von Steuereinrichtungen, die im Vakuumraum eines Elektronenmikroskops angeordnet sind,, mit Fett gedichtete Schliffe anzuordnen, die von außen betätigt werden können. Derartige Schliffe haben den Nachteil, daß sie teuer in der Unterhaltung sind, :und außerdem oft durch Abnutzung, unsachgemäße Behandlung oder Ein, trocknen. des Fettes unidicht werden. Ein weiterer Nachteildieser Anordnungen besteht darin, daß die Betätigung des Schliffes von Hand, immer mit, Erschütterungen der Vakuumapparatur verbunden ,ist, was z. B. bei Elektronenmikroskopen oft zu empfindlichen Störungen führen. kann. Diesen, Nachteil haben auch solche bekannteng Verstelleinrichtungen, bei denen zur Steuerung ein.. Federrohr dient, das einen, Wandumgsteil des geschlossenen Gefäßes bildet und wobei. die Bewegungen direkt durch mechanische Gestänge vom außen nach innen, übertragen wenden:.
• Bei-der Vorrichtung der Erfindung wird ebenfalls ein auf idie Steuereinrichtung wirkendes. Federrohr verwendet. Die oben geschilderten Nachteile werden dabei erfindungsgemäß -dadurch vermieden, daß die Steuerbewegungen des Federrohres durch ein von außen her einwirkendes gasförmiges oder flüssiges Medium eingeleitet werden. Auf diese Weise erhält man eine Verstellvorrichtung, bei der die Gefahr des Undichtwerdens völlig vermieden. ist und beispielsweise ohne Beeinträchtigung des Vakuums beliebig starke Steuerkräfte im Innern des Apparates fast erschütterungsfrei ausgelöst werden können. Man kann das Federrohr beispielsweise in einen Behälter einbauen, in welchem sich das Stewenmedium befintdet. Durch äußere Beeinflussung des Druckes des Steuermediums kann man dann. in einfacher Weise -die Steuerbewegung des Federrohres erzwingen. Weitere für die vorliegende Vorrichtung wesentliche Merkmale werden beider Beschreibung der Ausführungsbeilspiele der Erfindung behandelt.
• In Fig. i ist eine Anordnung dargestellt, bei der es sich .darum handelt, in einen Rezipienten A, der durch eine Öffnung mit einem Rezipienten, B verbunden .ist, Luft durch eine Düse C einzuschleusen. Die Kraft zum Anpressen gegen die Dichtungsfläche E wird -durch ein Feiderrohr F ausgelöst, welches an das Gehäuse H gelötet und sich in einer Vorvakuumkammer K befindet. Durch die Bohrung R herrscht innerhalb des Federrohres derselbe Druck wie im Rezipienten. Herrscht im Rezipienten A ein Druck von io-5 Torr, d. b. Hochvakuum, und .in ,der Kammer K ein Druck von io-2 Torr, id. h. Vorvakuum, so, beharrt das Federrohr in seiner normalen Lage, da der Druckunterschied nicht ausreicht, das Federrohr zusammenzu-.drücken. Zur Sicherheit ist eine Feder G so angeordnet, daß sie der Zusammenpressung des Federrohres entgegenwirkt. Schleust man nun in die: Kammer K durch den Absperrhahn h Luft ein, so drückt diese gegen ,die Fläche P des Federrohres. Die Kraft -der Feder G reicht :nicht mehr aus, das Federrohr .in seiner ursprünglichen Lage zu halten. Das Federrohr preßt sich zusammen. Diese Kraft ist proportional dem Druck in der Kammer K und der wirksamen Fläche ddes Federrohres, wodurch man in der Lage isst; durch entsprechende Ausbildung des Federrohres beliebig starke Kräfte zu erzeugen. Diese Kraft kann, wie in Fig: i idargestellt ist, über ein Gestänge St dazu, benutzt werden, die Platte D gegen die Dichtungsfläche E anzupressen. Schleust man: nun durch,die Düse C Luft in den Rezipienten. A, so sperrt idie Platte D weiterhin den Rezipienten B ab. Gleichoeitig geht das Federrohr in seine ursprüngliche Lage zurück, weil der Druck im Rezipienten El und in der Kammer K gleich ist. Herrscht dann nachdem Abpumpen -in den Rezipienten A und B und der Kammer K Hoch- b,zw@. Vorvakuum, so fällt die Platte D durch ihr Eigengewicht wieder in ihre Ausgangsstellung zurück.
• Diese Art der Erzeugung von Kräften im Hochvakuum .mittels Federrohr eignet sich sehr zur Auslösung photographischer Vergchlüs,s@e, z. B, von Compur- oder ,da die Krafterzeugung und Kraftübertragung fast erschütterungsfrei vor sich geht. Gerade -das letztere ist für das Arbeiten mit einem Elektronenmikroskop von großer Bedeutung.
• In Fig.2 ist schematisch dargestellt, wie ein Compurverschlu3 Tf durch die Kraft eines Federrohres bespannt und gleichzeitig ein Fluoreszenzschirm Laufgeklappt werden kann.
• In Fig.3 ist schematisch dargestellt, wie ein Compurverschluß V durch ein Federrohr über einen Stift S ausgelöst werden kann. Um eine Erschütterung -der Vorvakuumapparatur zu vermeiden, ist .der Absperrhahn. h mit der Vorvakuumkammer K durch einen Gummischlauch Sch verbunden.

Claims (9)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Vorrichtung zur Verstellung von Steuereinrichtungen od. dgl., die in ein nach außen hin aibgeschlossenes Gefäß eingebaut sind, in welchem ein von der Außenluft abweichender Druck herrscht, mit Hilfe eines auf die Steuereinrichtung wirkenden Federrohres, .das einen Wendungsteil. des geschlossenen. Gefäßes bildet, insbesondere für Steuereinrichtungen, die in Vakuumgefäße, z. B. in Elektronenmikroskope, eingebaut sind; gekennzeichnet durch die Einleitung der Steuerbewegungen des Federrohres durch ein. von außen her einwirkendes gasförmiges oder flüssiges Medium.
2. 2. Vorrichtung nach Anspruch r, dadurch gekennzeichnet, daß das Federrohr außen an der Wand des Vakuumgefäßes angebaut ist und von einem Behälter umgeben ist, in welchem sich ,das Steuermedium befindet.
3. 3. Vorrichtung nach Anspruch i oder 2, da-.durch gekennzeichnet, daß sich das Federrohr in einer Vorväkuumkammer des Apparates, z. B. des Elektro@nenmilcroslcops, befindet.
4. 4. Vorrichtung nach Anspruch i oder einem .der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß zwecks Zusammendrückens des Federrohres und ,der Einleitung des Steuervorganges der das Federrohr enthaltende Behälter .durch eine absperrbare, Leitung mit der Außenluft zu verbinden ist.
5. 5. Vorrichtung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß dem Federrohr eine Feder zugeordnet ist, die im Sinne des Auseinanderzie#hens des Federrohres wirkt.
6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet ,durch eine @solche Bemessung der Feder, .daß das Federrohr bei einem Druckunterschied von io-3 Torr zwischen den benden angrenzenden Räumen durch die Kraft der Feder in gestrecktem Zustand gehalten wird.
7. 7. Vorrichtung nach Anspruch i oder einem .der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß das Federrohr reit den Antriebsteilen der in das Gefäß eingebauten Steuereinrichtung starr verbunden ist. B.
8. Vorrichtung nach Anspruch i oder einem ,der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die rückläufige Steuerbewegung des Federrohres durch Einstellen eines entsprechenden Druckunterschiedes zwischen den beiden an Aas Federrohr angrenzenden Räumen herzustellen ist.
9. 9. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die von .dem Federrohr ausgeübte Kraft dazu dient, eine Platte (Ventil od.,dgl.) zu verstellen, welche zwei Teile des Gefäßes gegeneinander abdichtet. io. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, d.aß die von dem Federrohr ausgeübte Kraft dazu dient, einen, im das Gefäß eingebauten photographischen Verschluß zu spannen.oder auszulösen. ii. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die von,dem Federrohr ausgeübte: Kraft zur Betätigung einer Zahnstange dient, die ihrerseits einen drehbar angeordneten Antrie @bsteil antreibt.