DE804747C - Einrichtung zur Verdampfung eines oder mehrerer Metalle und mit einer solchen Einrichtung versehene elektrische Entladungsroehre - Google Patents

Einrichtung zur Verdampfung eines oder mehrerer Metalle und mit einer solchen Einrichtung versehene elektrische Entladungsroehre

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DE804747C
DE804747C DEP26548A DEP0026548A DE804747C DE 804747 C DE804747 C DE 804747C DE P26548 A DEP26548 A DE P26548A DE P0026548 A DEP0026548 A DE P0026548A DE 804747 C DE804747 C DE 804747C
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DE
Germany
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metal
evaporated
refractory
evaporation
wire
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Expired
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DEP26548A
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English (en)
Inventor
Adrian J Van Hoorn
Gerard Thurmer
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Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
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Publication date
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
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    • H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
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    • H—ELECTRICITY
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    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel

Description

  • Einrichtung zur Verdampfung eines oder mehrerer Metalle und mit einer solchen Einrichtung versehene elektrische Entladungsröhre Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Verdampfung eines oder mehrerer Metalle, bei der das zu verdampfende Metall auf einem drahtförmigen Träger angebracht ist, der bei der Verdampfungstemperatur des ziiverdampfenden Metalls fest bleibt. Weiter bezieht sich die Erfindung auf eine mit einer solchen Einrichtung versehene elektrische Entladungsröhre.
  • Es ist bekannt, 1\9etalle von einem Draht aus hochschmelzendem Metall abzudampfen. Das zu verdampfende Metall wird als gleichmäßige Schicht auf dem hochschmelzenden Draht, z. 13. auf elektrolytischem Wege, angebracht oder als Draht schraubenförmig auf diesen Draht gewunden.
  • Diesem bekannten Verdampfungsverfahren haftet der Nachteil an, daß das zu verdampfende 1\Ieta11 beim Schmelzen Tropfen bildet, die eine Abkühlung des Drahtes an den betreffenden Stellen herbeiführen, wodurch dieser an anderen nicht weiter bedeckten Stellen zu heiß wird und leicht durchschmilzt. Es verdampft dann nicht nur das Cberzugsinetall, sondern auch das Metall des Kerndrahtes, wenn auch nur in geringem Maße. Dies kann z. ß. beim Aufdampfen von Aluminiumspiegeln für optische Zwecke sehr unerwünscht sein.
  • Durch die Erfindung wird dieser Nachteil vermieden.
  • In einer Einrichtung zur Verdampfung von Metallen, -bei der die zu verdampfenden Metalle auf einem drahtförmigen Leiter angebracht sind, der bei der Verdampfungstemperatur des zu verdampfenden Metalls fest bleibt. ist (sind) geniiiß der Erfindung das (die) zu verdampfende(n) Metall (Metalle) in einem oder mehreren schraubenförmigen Kanälen untergebracht, die in oder auf dem hochschmelzenden Träger gebildet sind, wobei die Wände der Kanäle ebenfalls aus hochschmelzendem Material bestehen. Hierdurch wird erzielt, daß das zu verdampfende Metall gleichmäßig über die ganze Länge des Trägers verteilt bleibt, wenn es geschmolzen ist, und vollständig verdampfen kann.
  • Vorzugsweise wird das zu verdampfende 11-fetall als Draht zusammen mit einem Draht aus hochschmelzendem Metall auf einen Kerndraht gewunden. Der Draht aus hochschmelzendem Metall bildet dann den schraubenförmigen Kanal mit hochschmelzenden Wänden. Gegebenenfalls können mehrere Drähte des zu verdampfenden Metalls oder Drähte aus verschiedenen zu verdampfenden Metallen nebeneinander in eine Rinne gelegt werden, oder man kann mittels mehrerer hochschmelzender Drähte mehr als eine spiralförmige Rinne auf dem Kerndraht anbringen.
  • Man kann auch eine Anzahl Drähte aus dem hochschmelzenden und dem zu verdampfenden Metall gegebenenfalls zusammen mit einem steifen Kerndraht schraubenförmig ineinanderdrehen. Es ist nicht unbedingt erforderlich, das zu verdampfende Metall in Drahtform anzubringen, sondern es ist auch möglich, es als Pulver, mit einem feuerfesten Bindemittel gemischt, in der vom hochschmelzenden Draht gebildeten Rinne anzubringen.
  • Grundsätzlich ist es auch möglich, in einem verhältnismäßig starken Träger eine schraubenförmige Rinne anzubringen, so daß. die Wände des Kanals und der Träger ein Ganzes bilden. Das geschilderte Verfahren zur Verdampfung von Metallen ist anwendbar beim Überziehen von Kristallen für Hochfrequenzzwecke mit leitenden Schichten. Weiter zum Aufdampfen optischer Spiegel mit Aluminium, Silber oder Chrom und zum Überziehen von Wickelfolien für Papierkondensatoren mit Zink oder Aluminium. In jedem Fall muß dafür gesorgt werden, daß die Schmelzpunkte des zu verdampfenden und des tragenden Metalls hinreichend voneinander verschieden sind.
  • Zur Verdampfung eines Metalls, wie Zirkonium oder Tantal, verwendet man zweckmäßig einen Wolframträger und einen ebenfalls aus Wolfram bestehenden aufgewickelten Draht.
  • Mit auf diese Weise erzeugten Metallspiegeln sind in elektrischen Entladungsröhren vorzügliche Fangstoffspiegel erzielbar; es kann z. B. in einer elektrischen Entladungsröhre ein schraubenförmig, mit einem Durchmesser von einigen Millimetern gewickelter Wolframdraht mit einem Durchmesser von o,6 mm angeordnet werden, der selbst vor dem Winden zu einer Spirale mit einem Zirkoniumdraht in einer Stärke von o,2 mm und mit einem nebenliegenden Wolframdraht ebenfalls in einer Stärke von o,2 mm bewickelt worden ist. Unmittelbar nach Abschmelzen der Röhre von der Pumpanlage wird der schraubenförmig gewundene Wolframdraht erhitzt, bis z. B. die Hälfte des Zirkoniums verdampft worden ist. Wenn freiwerdende Gase aus den Elektroden auf der Wand dazu Veranlassung geben, kann während des Betriebes oder während einer Betriebsunterbrechung abermals eine Menge Zirkonium in der Röhre verdampft werden.

Claims (5)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Einrichtung zur Verdampfung von Metall, bei der das zu verdampfende Metall auf einem drahtförmigen Träger angeordnet ist, der bei der Verdampfungstemperatur des zu verdampfenden Metalls fest bleibt, dadurch gekennzeichnet, daß das (die) zu verdampfende(n) Metall (Metalle) in einem oder mehreren schraubenförmigen Kanälen untergebracht ist (sind), die von oder auf dem hochschmelzenden Träger gebildet werden, wobei die Wände dieser Kanäle aus hochschmelzendem Material bestehen.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß auf einen Kern aus hochschmelzendem Metall nebeneinander ein oder mehrere Drähte des zu verdampfenden Metalls und eines hochschmelzenden Metalls gewunden sind.
  3. 3. Einrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß ein oder mehrere Drähte des zu verdampfenden Metalls und ein oder mehrere Drähte des hochschmelzenden Metalls schraubenförmig ineinander gedreht sind, gegebenenfalls auf einem steifen Kern.
  4. 4. Einrichtung nach den Ansprüchen 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das zu verdampfende Metall aus Zirkonium oder Tantal und die hochschmelzenden Drähte aus Wolfram bestehen.
  5. 5. Elektrische Entladungsröhre mit einer Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche zur Verdampfung eines oder mehrerer Fangstoffmetalle.
DEP26548A 1941-07-24 1948-12-24 Einrichtung zur Verdampfung eines oder mehrerer Metalle und mit einer solchen Einrichtung versehene elektrische Entladungsroehre Expired DE804747C (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB941441A GB550848A (en) 1941-07-24 1941-07-24 Improvements in and relating to the vaporisation of metals

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE804747C true DE804747C (de) 1951-04-30

Family

ID=9871505

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEP26548A Expired DE804747C (de) 1941-07-24 1948-12-24 Einrichtung zur Verdampfung eines oder mehrerer Metalle und mit einer solchen Einrichtung versehene elektrische Entladungsroehre

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CH (1) CH259829A (de)
DE (1) DE804747C (de)
DK (1) DK71216C (de)
FR (1) FR957503A (de)
GB (1) GB550848A (de)
NL (1) NL65091C (de)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1219309B (de) * 1960-03-24 1966-06-16 Philips Nv Heizleiter aus wenigstens zwei verdrillten Draehten zum Vakuumaufdampfen von Metallschichten

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US3190771A (en) * 1962-01-11 1965-06-22 Electra Mfg Company Filament for vacuum deposition apparatus and method of making it
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DE102019003764A1 (de) * 2019-05-29 2020-12-03 Schneider Gmbh & Co. Kg Beschichtungsvorrichtung, Verdampfungseinrichtung und Beschichtungsquelle

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FR957503A (de) 1950-02-23
NL65091C (de)
DK71216C (da) 1950-07-10
CH259829A (de) 1949-02-15
GB550848A (en) 1943-01-27

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