DE759502C

DE759502C - Elektronenmikroskop, insbesondere UEbermikroskop, mit seitlichem Ansatzrohr zur Beobachtung des um eine Achse drehbar angeordneten Leuchtschirmes

Info

Publication number: DE759502C
Application number: DEL101144D
Authority: DE
Inventors: Ernst Dr-Ing Brueche
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1940-06-25
Filing date: 1940-06-25
Publication date: 1954-03-29

Description

Elektronenmikroskop, insbesondere Übermikroskop, mit seitlichem Ansatzrohr zur Beobachtung des um eine Achse drehbar angeordneten Leuchtschirmes Bei Elektronenstrahlröhren bildet der Leuchtschirm im allgemeinen den Abschluß des Entladungsgefäßes. Die Beobachtung des Leuchtschirmes bereitet keine Schwierigkeiten, da man den Leuchtschirm selbst beobachten kann, indem die Röhre horizontal angeordnet wird. Die Entladungsröhren lassen sich jedoch vielfach aus räumlichen Gründen nicht in horizontaler Lage beobachten. Es kann ferner notwendig sein, in der Entladungsröhre Teile anzuordnen, die nur in einer bestimmten Lage angebracht werden können. Dieses Problem tritt beim Elektronenmikroskop auf, bei dem es Schwierigkeiten bereiten kann, das zu untersuchende Objekt in vertikaler Lage anzubringen. Es wird daher bei dem Übermikroskop im allgemeinen dievertikaleAnordnungvorgezogen, da in diesem Fall das Objekt in horizontaler Lage angeordnet werden kann. Diese Ausführungsform wist jedoch in anderer Weise wiederum einen' Nachteil auf. Bei dem Arbeiten mit dem Übermikroskop ist es häufig erwünscht, einen Anschluß an das Lichtinikroskop zu haben, um das Leuchtschirmbild noch finit k1ilfe eines Lichtmikroskops beobachten zu können. Bei einem vertikal angeordneten Elektronenmikroskop, bei dem der Leuchtschirm horizontal liegt, wird nun das zur Beobachtung des Leuchtschirmes dienende Lichtmikroskop in einem seitlichen Ansatzrohr des Elektronenmikroskops angebracht. Bei dieser Anordnung wird aber nur ein kleiner Bereich der Bilder scharf erscheinen. Dieser Nachteil kann aber dadurch vermieden werden, daß der Leuchtschirm in bekannter Weise drehbar angeordnet ist, so daß er in eine zum Lichtmikroskop senkrechte Richtung gedreht werden kann.
Die Erfindung betrifft nun ein solches Elektronenmikroskop, insbesondere ein Überinikroskop, finit seitlichem Ansatzrohr zur Beobachtung des um eine Achse drehbar angeordneten Leuchtschirmes. Erfindungsgemäß soll der Leuchtschirm an dem der Achse abgewandten Ende derart elastisch deformierbar ausgebildet sein, daß der Leuchtschirm sowohl in der zur Achse des Ansatzrohres senkrechten !i Lage als auch im deformierten Zustand in der zur Achse des Elektronenmikroskops senk- i rechten Lage sämtliche Elektronen abfängt.
Es sind bereits deformierbare Leuchtschirme bekannt. Diese Maßnahme ist bei den i bekannten Leuchtschirmen jedoch getroffen, um ein nachträgliches Einbringen des Leuchtschirmes durch den engen Röhrenhals einer Braunschen Röhre zu ermöglichen.
Durch die Ausbildung der vorliegenden Art des Elektronenmikroskops wird es ermöglicht, daß der Leuchtschirm sowohl in dem nicht deformierten Zustand, d. h. in der zur Lichtmikroskopachse senkrechten Stellung, als auch in dem deformierten Zustand, d. h. in der zur Elektronenmikroskopachse senkrechten Lage, sämtliche Elektronen abfängt, so daß die im Elektronemnikroskop angeordneten Platten oder Filme auch beim Kippen des Schirmes in die zur Lichtmikroskopachse senkrechte Lage vor den Elektronenstrahlen geschützt werden.
In der Zeichnung ist in zum Teil schematischer Weise ein Ausführungsbeispiel nach der Erfindung dargestellt. Der erweiterte Teil :2 des Elektronenmikroskops i enthält den Plattenfördermechanismus i i sowie den Plattenvorratsbehälter 3, deren Einzelheiten nicht dargestellt sind. An dem oberen Ende des erweiterten Teils 2 des Elektronenmikro- j skops fit das das Lichtmikroskop enthaltende Ansatzrohr .4 angeordnet. Der Leuchtschirm 6, , welcher sich über der Platte 7 befindet, ist um 'i eine Achse 5 drehbar, so da11 er einerseits in die zur Lichtmikroskopachse senkrechte Stellung gebracht «erden kann, und andererseits kann der Leuchtschirm noch «-eiter gedreht werden, bis die Platte 7 zur Belichtung freigegeben wird. In den beiden in der Zeichnung dargestellten Lagen des Leuchtschirmes ist es verhindert, daß das Elektronenstrahlbündei io die Platte 7 trifft. Zu diesem Zweck ist das Ende 8 des Leuchtschirmes elastisch deforinierbar ausgebildet. In der gestrichelt dargestellten Stellung liegt das Ende 8 des Leuchtschirmes in der gleichen Ebene wie der übrige Teil des Leuchtschirmes G. Beim Umklappen des Leuchtschirmes in die zur Platte 7 parallele Lage legt sich der elastisch deforinierbare Teil 8 gegen den Plattenvorratsbehälter 3 an. Um eine elastische Deformierharkeit des Leuchtschirmes zu erzielen, bestellt der Fortsatz 8 aus einem elastischen Werkstoff. Gegebenenfalls genügt es aber auch. daß das Ende 8 um einen Drehpunkt beweglich angeordnet ist, so daß beim Umklappen des Schirmes in die zur Platte 7 parallele Lage das Ende 8 hochklappt, während bei der Rückbewegung der Fortsatz 8 durch eine Federkraft wieder in die Leuchtschirmebene zurückgezogen wird. Um zu vermeiden, daß bei der Bewegung des Schirmes in die zur Lichtmikroskopachse senkrechte Lage der Schirm zu weit gedreht wird, ist ein Anschlag 9 vorgesehen, der durch äußere Mittel entfernt werden kann, wenn die Platte 7 zur Belichtung freigegeben werden soll, d. h. der Leuchtschirm noch «-eiter gedreht werden muß.
Bei der vorliegenden Anordnung sind die durch das Lichtmikroskop beobachteten Bilder etwas verzerrt, da der Leuchtschirm schräg zti den Elektronenstrahlen io angeordnet ist. Will inan auch diese im allgemeinen nicht störende Verzerrung beseitigen, so wird zweckmäßig im Ansatzrohr 4. vor dem Lichtmikroskop ein elektronenoptischer Bildwandler angeordnet, der zur Entzerrung des Bildes dient.
Statt eines Lichtmikroskops kann gegebenenfalls auch eine Lupe zur Beobachtung des Leuchtschirmes benutzt werden.

Claims

PATENTANSPRUCII: Elektronenmikroskop, insbesondere übermikroskop, mit seitlichem Ansatzrohr zur Beobachtung des um eine Achse drehbar angeordneten Leuchtschirmes, dadurch gekennzeichnet, daß der Leuchtschirm an dem der Achse abgewandten Ende derart elastisch deformierbar ausgebildet ist, daß der Leuchtschirm sowohl in der zur Achse des Ansatzrohres senkrechten Lage als auch im deformierten Zustand in der zur Achse des Elektronenmikroskops senkrechten Lage sämtliche Elektronen abfängt. Zur Abgrenzung des Erfindungsgegenstands vom Stand der Technik sind im Erteilungsverfahren folgende Druckschriften in Betracht gezogen worden: Französische Patentschrift Nr. 769 174; französische Zusatzpatentschrift \Tr. 4.5 767 zu 769 174.