DE10251635A1 - Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokus-Röntgenröhre - Google Patents
Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokus-Röntgenröhre Download PDFInfo
- Publication number
- DE10251635A1 DE10251635A1 DE10251635A DE10251635A DE10251635A1 DE 10251635 A1 DE10251635 A1 DE 10251635A1 DE 10251635 A DE10251635 A DE 10251635A DE 10251635 A DE10251635 A DE 10251635A DE 10251635 A1 DE10251635 A1 DE 10251635A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- ray tube
- target
- head
- collimator
- conical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/112—Non-rotating anodes
- H01J35/116—Transmissive anodes
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Confectionery (AREA)
- Paper (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Abstract
Eine erfindungsgemäße Röntgenröhre (2), insbesondere Mikrofokus-Röntgenröhre, weist einen bei Betrieb der Röntgenröhre (2) einem zu untersuchenden Objekt zugewandten Kopf (6) auf, an dem oder in dem ein Target (8) angeordnet ist. Erfindungsgemäß weist die Außenfläche des Kopfes (6) einen sich zu seinem freien Ende hin verjüngenden Querschnitt auf. Ein erfindungsgemäßes Target (8) weist eine Außenfläche auf, deren Querschnitt sich zu seinem bei Betrieb der Röntgenröhre einem zu untersuchenden Objekt zugewandten Ende hin verjüngt. Zweckmäßigerweise ist die sich verjüngende Außenfläche des Kopfes (6) bzw. die sich verjüngende Außenfläche des Targets (8) im wesentlichen konisch ausgebildet.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokus-Röntgenröhre der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art.
- Derartige Röntgenröhren sind allgemein bekannt und werden beispielsweise zum Prüfen von Leiterplatten in der Elektronikindustrie eingesetzt. Die bekannten Röntgenröhren weisen einen bei Betrieb der Röntgenröhre einem zu untersuchenden Objekt zugewandten Kopf auf, an dem oder in dem ein Target angeordnet ist, auf das hochenergetisch beschleunigte Elektronen auftreffen, so daß in allgemein bekannter Weise Röntgenstrahlung erzeugt wird. Die so erzeugte Röntgenstrahlung wird in bildgebenden Verfahren verwendet, um beispielsweise Bauteile bzw. Bauteilanordnungen auf Leiterplatten darzustellen und die Leiterplatten auf diese Weise optisch zu prüfen.
- Es sind Mikrofokus-Röntgenröhren bekannt, deren bei Betrieb dem zu untersuchenden Objekt zugewandter Kopf einen Durchmesser von einigen cm aufweist. Zur Erzielung einer hohen Vergrößerung ist es erforderlich, den Fokus und damit den Kopf der Mikrofokus-Röntgenröhre nahe genug an das zu prüfende Bauteil heranzuführen. Dies ist nur dann möglich, wenn auf dem zu prüfenden Bauteil keine Erhebungen vorhanden sind, gegen die der Kopf vor dem Erreichen des erforderlichen Abstandes stößt. Die bekannten Röntgenröhren eignen sich somit vorwiegend zur Prüfung flacher Bauteile, während sie für eine Prüfung von Erhebungen aufweisenden Bauteilen, beispielsweise bestückten Leiterplatten, nur in eingeschränktem Maße geeignet sind.
- Zur Vermeidung dieses Nachteils ist es bekannt, den Kopf der Röntgenröhre durch eine sogenannte Stabanode zu bilden, die durch ein zylindrisches Rohr mit einem Durchmesser von wenigen cm bis wenigen mm gebildet ist. Insbesondere dann, wenn die verwendete Stabanode einen Durchmesser von nur wenigen mm aufweist, ist es mit derartigen Röntgenröhren möglich, auch in enge Vertiefungen, Ausnehmungen oder Hohlräume eines zu prüfenden Bauteiles einzudringen.
- Ein Nachteil derartiger Röntgenröhren besteht darin, daß die verwendeten Stabanoden wenig stabil und damit empfindlich gegen mechanische Beschädigung sind. Um eine mechanische Beschädigung der Stabanode durch Anstoßen an das zu prüfende Bauteil zu verhindern, ist es erforderlich, das Annähern der Stabanode an das zu prüfende Bauteil unter optischer Beobachtung durchzuführen, was einen hohen apparativen Aufwand erfordert und damit kostenaufwendig ist. Darüber hinaus erfordert eine optische Kontrolle des Heranführens der Stabanode an das zu prüfende Bauteil einen hohen Zeitaufwand und verursacht damit hohe Personalkosten.
- Aus diesem Grunde ist es in der Praxis wünschenswert, Stabanoden größeren Durchmessers zu verwenden, die unempfindlicher gegen mechanische Beschädigungen sind.
- Nachteilig ist jedoch, daß dann, wenn der Kopf mit seiner flachen Seite zur Erzielung einer Schrägdurchstrahlung eines zu prüfenden Bauteiles nicht parallel zu einer Oberfläche des Bauteiles, sondern geneigt zu dieser Oberfläche an das Bauteil herangeführt wird, die Gefahr besteht, daß aufgrund von an der Oberfläche vorhandenen Erhebungen der Kopf nicht nahe genug an eine zu prüfende Stelle des Bauteiles herangeführt werden kann.
- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokus-Röntgenröhre, anzugeben, mit der eine Untersuchung auch zerklüfteter Bauteile möglich ist und die robust im Aufbau ist.
- Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebene Lehre gelöst.
- Die Erfindung löst die zugrundeliegende Aufgabe auf überraschend einfache Weise dadurch, daß die Außenfläche des Kopfes einen sich zu seinem freien Ende hin verjüngenden Querschnitt aufweist. Auf diese Weise ist erreicht, daß der Kopf einerseits an seinem freien Ende geringe Abmessungen aufweist, was im Sinne einer Untersuchung von zerklüfteten Bauteilen von Vorteil ist, andererseits aber an seinem dem freien Ende abgewandten Ende, an dem der Kopf mit dem Grundkörper der Röntgenröhre verbunden ist, eine ausreichend große Basis aufweist, um den Kopf unempfindlich gegen mechanische Beschädigungen, beispielsweise beim Anstoßen an ein zu prüfendes Bauteil, zu machen. Die Verjüngung des Querschnitts der Außenfläche zu dem freien Ende des Kopfes hin ermöglicht es, den Kopf auch schräg zur Oberfläche eines Bauteiles an dieses heranzuführen, wobei soweit wie möglich verhindert ist, daß der Kopf mit von dem freien Ende entfernten Bereichen seiner Außenfläche an die Oberfläche des zu prüfenden Bauteiles anstößt. Damit ermöglicht es die erfindungsgemäße Lehre, den Kopf der Röntgenröhre auch bei einer Schrägdurchstrahlung des zu prüfenden Bauteiles sehr nahe an die zu prüfende Stelle des Bauteiles heranzuführen, so daß mit der erfindungsgemäßen Röntgenröhre sehr hohe Vergrößerungs faktoren erzielt werden können.
- Erfindungsgemäß wird unter dem Kopf der Röntgenröhre das bei Betrieb der Röntgenröhre einem zu untersuchenden Bauteil zugewandte freie Ende der Röntgenröhre verstanden.
- Die erfindungsgemäße Röntgenröhre ist robust im Aufbau und unempfindlich gegen mechanische Beschädigungen, beispielsweise beim Anstoßen an ein zu prüfendes Bauteil. Sie ist vielseitig einsetzbar und insbesondere zur Prüfung von Leiterplatten in der Elektronikindustrie geeignet.
- Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Röntgenröhre besteht darin, daß sie einfach und kostengünstig herstellbar ist.
- Unter einer Mikrofokus-Röntgenröhre wird erfindungsgemäß eine Röntgenröhre verstanden, deren Fokusdurchmesser ≤ 200 μm, insbesondere ≤ 10 μm ist.
- Die Verjüngung des Querschnitts der Außenfläche des Kopfes kann in beliebiger geeigneter Weise ausgebildet sein. Beispielsweise kann der Kopf an seinem freien Ende nach Art eines spitz zulaufenden Satteldaches ausgebildet sein. Eine vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß die Außenfläche im wesentlichen rotationssymmetrisch ausgebildet ist. Bei dieser Ausführungsform ist ein besonders kostengünstiger Aufbau erzielt, da die Außenfläche des Kopfes beispielsweise durch ein einfaches Drehteil gebildet sein kann.
- Bei der vorgenannten Ausführungsform ist die Außenfläche zweckmäßigerweise im wesentlichen konisch ausgebildet, wie dies eine Weiterbildung vorsieht. Auf diese Weise ist die Herstellung des Kopfes weiter vereinfacht.
- Eine andere Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß die Außenfläche des Kopfes in eine Spitze mündet. Diese Ausführungsform ist insofern vorteilhaft, als die Spitze auch in Ausnehmungen geringen Durchmessers an einem zu prüfenden Bauteil eingeführt werden kann, um in solchen Ausnehmungen Prüfungen vorzunehmen.
- Eine andere vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß die Außenfläche des Kopfes durch das Target gebildet ist.
- Gemäß einer anderen Weiterbildung ist die Außenfläche durch einen in Strahlungsrichtung der Röntgenstrahlung vor dem Target angeordneten Kollimator gebildet.
- Entsprechend den jeweiligen Anforderungen kann die Außenfläche des Kopfes in Strahlungsrichtung auch wenigstens abschnittsweise durch eine Halterung für das Target gebildet sein.
- Bei der Ausführungsform mit der im wesentlichen konischen Außenfläche beträgt der Öffnungswinkel der im wesentlichen konischen Außenfläche vorzugsweise weniger als 50°. Auf diese Weise kann der Kopf auch mit einer starken Neigung an die Oberfläche des zu prüfenden Bauteils herangeführt werden.
- Gemäß einer anderen Weiterbildung weist der Kopf wenigstens zwei in Strahlungsrichtung der Röntgenstrahlung hintereinander angeordnete Bereiche mit unterschiedlichen Öffnungswinkeln der konischen Außenfläche auf. Bei dieser Ausführungsform ist der Kopf in Strahlungsrichtung der Röntgenstrahlung aus Konen mit unterschiedlichen Öffnungswinkeln zusammengesetzt.
- Zweckmäßigerweise ist das Target ein Transmissionstarget, wie dies eine andere Weiterbildung vorsieht.
- Ein erfindungsgemäßes Target ist im Anspruch 11 angegeben. Vorteilhafte und zweckmäßige Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Targets sind in den Unteransprüchen 12 bis 14 angegeben.
- Im Anspruch 15 ist ein erfindungsgemäßer Kollimator für ein Target einer Röntgenröhre angegeben. Vorteilhafte und zweckmäßige Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Kollimators sind in den Unteransprüchen 16 bis 19 angegeben.
- Die Erfindung wird nachfolgend anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert, in der ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Röntgenröhre dargestellt ist.
- Es zeigt:
-
1 eine schematische Seitenansicht eines Ausführungsbeispieles einer erfindungsgemäßen Röntgenröhre, -
2 einen Axialschnitt durch ein erfindungsgemäßes Target der Röntgenröhre gemäß1 , -
3 in gleicher Darstellung wie1 , jedoch gegenüber2 stark verkleinertem Maßstab das Target gemäß2 mit einer Halterung für das Target, -
4 in gleicher Darstellung wie2 , jedoch gegenüber2 etwas verkleinertem Maßstab einen Kollimator für das Target gemäß2 und -
5 in gleicher Darstellung wie3 den Kopf der Röntgenröhre gemäß1 . - In
1 ist eine erfindungsgemäße Röntgenröhre2 dargestellt, die an ihrem bei Betrieb der Röntgenröhre2 einem zu prüfenden Bauteil, das in1 durch eine strichpunktierte Linie4 symbolisiert ist, zugewandten Ende einen Kopf6 aufweist, in dem in weiter unten näher erläuterter Weise ein Target angeordnet ist. Die Röntgenröhre2 weist ferner in der Zeichnung nicht näher erkennbare an einem Grundkörper3 der Röntgenröhre2 angeordnete Mittel zum Beschleunigen von Elektronen und zum Richten der Elektronen auf das Target auf. Der Aufbau der Röntgenröhre2 ist insoweit dem Fachmann allgemein bekannt und wird daher hier nicht näher erläutert. - In
2 ist ein erfindungsgemäßes Target8 dargestellt, das bei diesem Ausführungsbeispiel aus Metall besteht und eine Außenfläche10 aufweist, deren Querschnitt sich erfindungsgemäß zu dem freien Ende des Targets8 hin verjüngt. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Außenfläche im wesentlichen rotationssymmetrisch und konisch ausgebildet und mündet in eine Spitze12 . Die konische Außenfläche10 des Targets8 weist bei diesem Ausführungsbeispiel einen Öffnungswinkel α von etwa 45° auf, der jedoch entsprechend den jeweiligen Anforderungen in weiten Grenzen wählbar ist. Das Target8 ist bei diesem Ausführungsbeispiel hohl ausgebildet und weist an seiner radialen Innenfläche14 eine dünne Beschichtung16 aus Wolfram auf, die bei Betrieb der Röntgenröhre2 mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt wird, wodurch Röntgenstrahlung freigesetzt wird. - In
3 ist eine Halterung18 dargestellt, mittels derer das Target8 mit dem Grundkörper3 der Röntgenröhre2 verbindbar ist. Die Halterung18 weist eine sich zu dem Target8 konisch verjüngende Außenfläche auf. Das Target8 ist mit der Halterung18 verbunden, und zur Verbindung der Halterung18 mit dem Grundkörper3 sind in der Zeichnung nicht dargestellte Mittel vor gesehen. Die Halterung18 weist eine durchgehende zentrische Ausnehmung22 auf, durch die hindurch bei Betrieb der Röntgenröhre2 Elektronen auf die radiale Innenfläche des Targets8 auftreffen. - In
4 ist ein erfindungsgemäßer Kollimator24 dargestellt, der bei Betrieb der Röntgenröhre2 in Strahlungsrichtung der Röntgenstrahlung vor dem Target8 angeordnet ist und die Röntgenstrahlung räumlich begrenzt. Hierzu weist der Kollimator24 eine durchgehende zentrische Ausnehmung26 auf, durch die der Röntgenstrahl räumlich begrenzt austritt. Die Halterung24 weist eine sich zu ihrem freien Ende hin konisch verjüngende Außenfläche28 auf, während ihre radiale Innenfläche30 zu der radialen Außenfläche10 des Targets8 im wesentlichen komplementär ausgebildet ist, derart, daß der Kollimator24 im wesentlichen formschlüssig auf das Target8 aufsetzbar ist. -
5 zeigt den Kopf6 der Röntgenröhre2 im Montagezustand, in dem das Target8 auf die Halterung18 und der Kollimator24 auf das Target aufgesetzt ist. Der Kollimator24 ist mit der Halterung18 fest verbunden, so daß das Target8 fest an der Halterung18 gehalten ist. Die durch das Target8 und die Halterung18 gebildete Einheit kann lösbar mit dem Grundkörper3 der Röntgenröhre2 verbunden werden, so daß sie im Bedarfsfalle leicht ausgetauscht werden kann. - Bei Betrieb der Röntgenröhre
2 treten beschleunigte Elektronen durch die Ausnehmung22 hindurch und treffen auf die Beschichtung16 des Targets8 auf, wodurch Röntgenstrahlung entsteht, die durch die Ausnehmung26 in dem Kollimator24 aus dem Kopf6 der Röntgenröhre austritt. Das frei Ende des Kollimators24 bildet eine Spitze32 des Kopfes6 . - Wie in
1 dargestellt, kann der Kopf6 auf grund seines sich zu seinem freien Ende hin verjüngenden Querschnittes geneigt an die Oberfläche des zu prüfenden Bauteiles4 herangeführt werden, ohne daß der Kopf6 an die Oberfläche des Bauteiles4 anstößt, bevor ein zur Erzielung einer Abbildung mit hoher Vergrößerung erforderlicher geringer Abstand des Kopfes6 von der Oberfläche des Bauteiles4 erreicht ist. Zur Verdeutlichung dessen ist in1 durch eine gestrichelte Line34 ein Kopf einer herkömmlichen Röntgenröhre dargestellt. Es ist erkennbar, daß der Kopf einer solchen herkömmlichen Röntgenröhre bei einem geneigten Heranführen des Kopfes6 an die Oberfläche des Bauteiles4 an diese Oberfläche anstoßen würde, bevor der mit der erfindungsgemäßen Röntgenröhre2 erreichbare und zur Erzielung einer Abbildung mit hoher Vergrößerung erforderliche geringe Abstand des Kopfes von der Oberfläche des Bauteiles4 erreicht ist. - Die erfindungsgemäße Röntgenröhre
2 ermöglicht somit ein geneigtes Heranführen des Kopfes6 bis zu einem äußerst geringen Abstand. Dadurch, daß der Kopf6 an seinem dem freien Ende abgewandten Ende einen wesentlich größeren Durchmesser als an dem freien Ende hat, weist die erfindungsgemäße Röntgenröhre2 einen besonders stabilen Aufbau auf. Es besteht daher nicht die Gefahr, daß der Kopf6 beim Anstoßen an Erhebungen des zu prüfenden Bauteiles4 beschädigt wird, wie dies bei aus dem Stand der Technik bekannten, als Stabanode geringen Durchmessers ausgebildeten Köpfen der Fall ist. - Die erfindungsgemäße Röntgenröhre ist einfach und kostengünstig herstellbar.
- Die Verwendung des Kollimators
24 ist vorteilhaft, jedoch nicht zwingend. Wird der Kollimator24 weggelassen, so bildet bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel die konische Außenfläche des erfindungsgemäßen Targets8 eine konische Außenfläche des Kopfes6 .
Claims (19)
- Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokus-Röntgenröhre, mit einem bei Betrieb der Röntgenröhre einem zu untersuchenden Objekt zugewandten Kopf, an dem oder in dem ein Target angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Kopfes (
6 ) einen sich zu seinem freien Ende hin verjüngenden Querschnitt aufweist. - Röntgenröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Kopfes (
6 ) im wesentlichen rotationssymmetrisch ausgebildet ist. - Röntgenröhre nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Kopfes (
6 ) im wesentlichen konisch ausgebildet ist. - Röntgenröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Kopfes (
6 ) in einer Spitze (32 ) mündet. - Röntgenröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Kopfes (
6 ) wenigstens teilweise durch das Target (8 ) gebildet ist. - Röntgenröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Kopfes (
6 ) wenigstens teilweise durch einen in Strahlungsrichtung vor dem Target (8 ) angeordneten Kollimator (24 ) gebildet ist. - Röntgenröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Kopfes (
6 ) in Strahlungsrichtung wenigstens abschnittsweise durch eine Halterung (18 ) für das Target (8 ) gebildet ist. - Röntgenröhre nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Öffnungswinkel (α) der im wesentlichen konischen Außenfläche weniger als 50° beträgt.
- Röntgenröhre nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopf (
6 ) wenigstens zwei in Axialrichtung hintereinander angeordnete Bereiche mit unterschiedlichen Öffnungswinkeln der konischen Außenfläche aufweist. - Röntgenröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Target (
8 ) ein Transmissionstarget ist. - Target für eine Röntgenröhre, insbesondere eine Mikrofocus-Röntgenröhre, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Targets (
8 ) einen sich zu seinem bei Betrieb der Röntgenröhre (2 ) einem zu untersuchenden Objekt zugewandten Ende hin verjüngenden Querschnitt aufweist. - Target nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Targets (
8 ) im wesentlichen rotationssymmetrisch ausgebildet ist. - Target nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Targets (
8 ) im wesentlichen konisch ausgebildet ist. - Target nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Targets (
8 ) in eine Spitze (12 ) mündet. - Kollimator für ein Target einer Röntgenröhre, mit einem Grundkörper, dadurch gekennzeichnet, daß eine Außenfläche des Grundkörpers einen sich zu seinem bei Betrieb der Röntgenröhre einem zu untersuchenden Objekt zugewandten Ende hin verjüngenden Querschnitt aufweist.
- Kollimator nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche im wesentlichen rotationssymmetrisch ausgebildet ist.
- Target nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche im wesentlichen konisch ausgebildet ist.
- Target nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche in eine Spitze mündet.
- Kollimator nach Anspruch 15, dadurch gekennzeich net, daß der Kollimator (
24 ) eine sich in Strahlungsrichtung der Röntgenstrahlung erstreckende durchgehende Ausnehmung (26 ) aufweist.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10251635A DE10251635A1 (de) | 2002-11-06 | 2002-11-06 | Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokus-Röntgenröhre |
DE50301406T DE50301406D1 (de) | 2002-11-06 | 2003-10-24 | Mikrofocus-Röntgenröhre |
AT03024511T ATE307386T1 (de) | 2002-11-06 | 2003-10-24 | Mikrofocus-röntgenröhre |
DK03024511T DK1418610T3 (da) | 2002-11-06 | 2003-10-24 | Mikrofokus-röntgenrör |
EP03024511A EP1418610B1 (de) | 2002-11-06 | 2003-10-24 | Mikrofocus-Röntgenröhre |
US10/702,219 US7050543B2 (en) | 2002-11-06 | 2003-11-05 | Microfocus X-ray tube |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10251635A DE10251635A1 (de) | 2002-11-06 | 2002-11-06 | Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokus-Röntgenröhre |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10251635A1 true DE10251635A1 (de) | 2004-05-27 |
Family
ID=32103371
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10251635A Withdrawn DE10251635A1 (de) | 2002-11-06 | 2002-11-06 | Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokus-Röntgenröhre |
DE50301406T Expired - Lifetime DE50301406D1 (de) | 2002-11-06 | 2003-10-24 | Mikrofocus-Röntgenröhre |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE50301406T Expired - Lifetime DE50301406D1 (de) | 2002-11-06 | 2003-10-24 | Mikrofocus-Röntgenröhre |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7050543B2 (de) |
EP (1) | EP1418610B1 (de) |
AT (1) | ATE307386T1 (de) |
DE (2) | DE10251635A1 (de) |
DK (1) | DK1418610T3 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006062452A1 (de) | 2006-12-28 | 2008-07-10 | Comet Gmbh | Röntgenröhre |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8831179B2 (en) | 2011-04-21 | 2014-09-09 | Carl Zeiss X-ray Microscopy, Inc. | X-ray source with selective beam repositioning |
RU2645749C2 (ru) * | 2016-05-23 | 2018-02-28 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" | Микрофокусная рентгеновская трубка |
DE102017105546B4 (de) * | 2017-03-15 | 2018-10-18 | Yxlon International Gmbh | Steckdose zur Aufnahme eines Steckers eines Hochspannungskabels für eine Mikrofokus-Röntgenröhre, Steckverbindung für ein Hochspannungskabel |
US20190272970A1 (en) * | 2018-03-02 | 2019-09-05 | AcceleRAD Technologies, Inc. | Static collimator for reducing spot size of an electron beam |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE662408C (de) * | 1934-04-14 | 1938-07-12 | Ernst Pohl | Roentgenroehre, insbesondere fuer Durchleuchtung und Aufnahme, mit von der Kathode umgebener Kegelanode |
US4159437A (en) * | 1976-06-14 | 1979-06-26 | Societe Nationale Elf Aquitaine (Production) | X-ray emitter tube having an anode window and method of using same |
JPH0982252A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-28 | Toshiba Corp | 分析用x線管 |
US5729583A (en) * | 1995-09-29 | 1998-03-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Miniature x-ray source |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL16507C (de) * | 1924-07-23 | 1927-07-15 | ||
GB1249341A (en) * | 1968-10-08 | 1971-10-13 | Rigaku Denki Company Ltd | Improvements in or relating to x-ray tubes |
US3584219A (en) * | 1969-01-30 | 1971-06-08 | Du Pont | X-ray generator having an anode formed by a solid block with a conical bore closed by a target toil |
US3668454A (en) * | 1969-08-05 | 1972-06-06 | Rigaku Denki Co Ltd | Fine focus x-ray tube |
FR2386109A1 (fr) * | 1977-04-01 | 1978-10-27 | Cgr Mev | Tete d'irradiation a rayons g pour une irradiation panoramique et generateur de rayons g comportant une telle tete d'irradiation |
FR2514108B1 (fr) | 1981-10-06 | 1986-06-13 | Framatome Sa | Procede et dispositif d'elimination des boues sur la plaque tubulaire des generateurs de vapeur |
DE3139899A1 (de) * | 1981-10-07 | 1983-04-21 | Schöfer, Hans, Dipl.-Phys., 8011 Zorneding | Roentgenroehre zur erzeugung sehr hoher dosen in kleinen volumen |
US4439870A (en) * | 1981-12-28 | 1984-03-27 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | X-Ray source and method of making same |
DK147778C (da) * | 1981-12-29 | 1985-05-20 | Andrex Radiation Prod As | Roentgenstraalegenerator |
US4521902A (en) * | 1983-07-05 | 1985-06-04 | Ridge, Inc. | Microfocus X-ray system |
US4618972A (en) * | 1984-09-07 | 1986-10-21 | At&T Bell Laboratories | X-ray source comprising double-angle conical target |
FR2600422B1 (fr) * | 1986-05-29 | 1989-10-13 | Instruments Sa | Appareil et procede d'analyses chimiques locales a la surface de materiaux solides par spectroscopie de photo-electrons x |
NL8603264A (nl) * | 1986-12-23 | 1988-07-18 | Philips Nv | Roentgenbuis met een ringvormig focus. |
DE3716618A1 (de) * | 1987-05-18 | 1988-12-08 | Philips Patentverwaltung | Strahlenquelle zur erzeugung einer im wesentlichen monochromatischen roentgenstrahlung |
US4825454A (en) * | 1987-12-28 | 1989-04-25 | American Science And Engineering, Inc. | Tomographic imaging with concentric conical collimator |
US4870671A (en) * | 1988-10-25 | 1989-09-26 | X-Ray Technologies, Inc. | Multitarget x-ray tube |
US5422926A (en) * | 1990-09-05 | 1995-06-06 | Photoelectron Corporation | X-ray source with shaped radiation pattern |
DE19633860A1 (de) * | 1995-08-18 | 1997-02-20 | Ifg Inst Fuer Geraetebau Gmbh | Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung hoher Intensität und unterschiedlicher Energie und Röntgenröhre zur Durchführung des Verfahrens |
DE19544203A1 (de) * | 1995-11-28 | 1997-06-05 | Philips Patentverwaltung | Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokusröntgenröhre |
DE19639243C2 (de) * | 1996-09-24 | 1998-07-02 | Siemens Ag | Multi-, insbesondere dichromatische Röntgenquelle |
US6075839A (en) * | 1997-09-02 | 2000-06-13 | Varian Medical Systems, Inc. | Air cooled end-window metal-ceramic X-ray tube for lower power XRF applications |
JP4334639B2 (ja) * | 1998-07-30 | 2009-09-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線管 |
JP2000306533A (ja) * | 1999-02-19 | 2000-11-02 | Toshiba Corp | 透過放射型x線管およびその製造方法 |
GB9906886D0 (en) * | 1999-03-26 | 1999-05-19 | Bede Scient Instr Ltd | Method and apparatus for prolonging the life of an X-ray target |
US6195411B1 (en) * | 1999-05-13 | 2001-02-27 | Photoelectron Corporation | Miniature x-ray source with flexible probe |
AUPQ831200A0 (en) * | 2000-06-22 | 2000-07-13 | X-Ray Technologies Pty Ltd | X-ray micro-target source |
JP2002253687A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 放射線医療装置 |
US6661876B2 (en) * | 2001-07-30 | 2003-12-09 | Moxtek, Inc. | Mobile miniature X-ray source |
-
2002
- 2002-11-06 DE DE10251635A patent/DE10251635A1/de not_active Withdrawn
-
2003
- 2003-10-24 EP EP03024511A patent/EP1418610B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-24 AT AT03024511T patent/ATE307386T1/de not_active IP Right Cessation
- 2003-10-24 DK DK03024511T patent/DK1418610T3/da active
- 2003-10-24 DE DE50301406T patent/DE50301406D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-05 US US10/702,219 patent/US7050543B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE662408C (de) * | 1934-04-14 | 1938-07-12 | Ernst Pohl | Roentgenroehre, insbesondere fuer Durchleuchtung und Aufnahme, mit von der Kathode umgebener Kegelanode |
US4159437A (en) * | 1976-06-14 | 1979-06-26 | Societe Nationale Elf Aquitaine (Production) | X-ray emitter tube having an anode window and method of using same |
JPH0982252A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-28 | Toshiba Corp | 分析用x線管 |
US5729583A (en) * | 1995-09-29 | 1998-03-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Miniature x-ray source |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006062452A1 (de) | 2006-12-28 | 2008-07-10 | Comet Gmbh | Röntgenröhre |
WO2008080624A1 (de) | 2006-12-28 | 2008-07-10 | Yxlon International Feinfocus Gmbh | Röntgenröhre sowie verfahren zur prüfung eines targets durch abtasten mit elektronenstrahl |
DE102006062452B4 (de) * | 2006-12-28 | 2008-11-06 | Comet Gmbh | Röntgenröhre und Verfahren zur Prüfung eines Targets einer Röntgenröhre |
US8360640B2 (en) | 2006-12-28 | 2013-01-29 | Yxlon International Gmbh | X-ray tube and method for examining a target by scanning with an electron beam |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040091081A1 (en) | 2004-05-13 |
US7050543B2 (en) | 2006-05-23 |
DK1418610T3 (da) | 2006-03-06 |
EP1418610B1 (de) | 2005-10-19 |
DE50301406D1 (de) | 2006-03-02 |
ATE307386T1 (de) | 2005-11-15 |
EP1418610A1 (de) | 2004-05-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102006062452B4 (de) | Röntgenröhre und Verfahren zur Prüfung eines Targets einer Röntgenröhre | |
DE102005028904B4 (de) | Röntgenstrahlenerzeuger für ein Röntgengerät mit Röntgenlinsenmodul | |
DE2608418C2 (de) | Zahnärztliche Röntgendiagnostikeinrichtung | |
DE10251635A1 (de) | Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokus-Röntgenröhre | |
EP3539137A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur erfassung und/oder untersuchung eines abtrages an einer oberfläche eines zylindrischen bauteiles | |
DE2918024C2 (de) | Justiereinrichtung für eine Lichtleitfaserverbindung mit Linsenkopplung | |
DE20217101U1 (de) | Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokus-Röntgenröhre | |
DE102007045798B4 (de) | Anordnung und Verfahren zur Aufnahme von Röntgenstrahlen-Streuungsbildern | |
DE102017124593A1 (de) | Umlenkprismenbaugruppe für ein Endoskop mit seitlicher Blickrichtung, Endoskop und Verfahren zur Montage einer Umlenkprismenbaugruppe | |
EP1100092B1 (de) | Vorrichtung zur Führung von Röntgenstrahlen | |
DE2039646C3 (de) | Messvorrichtung zur Schichtdickenmessung mit Radionukliden | |
DE1598924B2 (de) | Roentgenspektrometer | |
DE19804298B4 (de) | Verfahren zur Ultraschallprüfung mit Echostart und Vorrichtung hierfür | |
DE102018130349A1 (de) | Messvorrichtung für ein Rastersondenmikroskop, Rastersondenmikroskop und Verfahren zum rastersondenmikroskopischen Bestimmen einer oder mehrerer Messproben mit einem Rastersondenmikroskop | |
AT522419A1 (de) | Messvorrichtung zur Bestimmung des Biegewinkels | |
DE102004058007B4 (de) | Röntgen-Computertomograf | |
DD243123A1 (de) | Anordnung zur einkopplung eines laserstrahles in eine glasfaser | |
EP3765887B1 (de) | Halterung für ein optisches system eines endoskops und verfahren zum herstellen einer halterung für ein optisches system eines endoskops | |
EP2102883A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur ermittlung der ausdehnung des querschnitts eines elektronenstrahles | |
DE102010002260A1 (de) | Messeinrichtung für eine Laserstrahlbearbeitungsvorrichtung | |
DE2921820C2 (de) | Schichtgerät zur Herstellung von Transversalschichtbildern | |
DE2306006C3 (de) | Einrichtung zur Absorptionsmessung von Röntgenstrahlung | |
DE1466882A1 (de) | Roentgenapparat mit Bildverstaerkersystem | |
DE2003753C (de) | Blendenanordnung zur Begrenzung eines Rontgenstrahlenbundels | |
EP0153963B1 (de) | Einrichtung zur Beobachtung von gestreuten Elektronen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: COMET GMBH, 30827 GARBSEN, DE |
|
8130 | Withdrawal |