DE1598924B2 - Roentgenspektrometer - Google Patents

Description

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Die Erfindung bezieht sich auf ein Röntgen- sowohl in dem von der parallelen Stellung des

spektrometer, bei dem der Träger des Objektes und Objekts ausgehenden Bereich als auch in dem von

ein Detektor zur Messung der durch das Objekt der antiparallelen Stellung des Objekts aus-

abgebeugten Röntgenstrahlen in bezug auf eine gehenden Bereich dieselben Dispersionsverhältnisse

gemeinsame Achse drehbar angeordnet sind und bei 5 ergeben.

dem die Röntgenröhre auf dem Spektrometergehäuse Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch angeordnet ist, wobei zwischen der Röntgenröhre gelöst, daß die Röntgenröhre und die Röntgen- und dem Objekt eine Röntgenbeugungsvorrichtung beugungsvorrichtungs so positioniert sind, daß die zum Abbeugen eines im wesentlichen monochroma- von der Beugungsvorrichtung abgebeugten Röntgentischen Anteils der von der Röntgenröhre empfan- io strahlen in quer zu der genannten gemeinsamen genen Röntgenstrahlung auf das Objekt angeord- Achse verlaufenden Ebenen monochromatisch sind, net ist. Bei dem erfindungsgemäßen Röntgenspektrometer Bei derartigen bekannten Röntgenspektrometera können die Röntgenbeugungsvorrichtung, das Objekt wird während der Messung üblicherweise das Objekt und der Detektor in einer zu der gemeinsamen Achse um die gemeinsame Achse gedreht, und zwar jeweils 15 senkrechten Ebene und die Röntgenröhre oberhalb um einen Winkel, der üblicherweise als Theta- oder unterhalb dieser Ebene angeordnet werden. Das Winkel oder auch als Omega-Winkel bezeichnet von dem Monochromator ausgehende auf das Objekt wird. Wenn man an dem Objekt bei jeder Messung fallende Röntgenlicht weist dann in dieser Ebene die Bedingung Einfallswinkel gleich Ausfallswinkel eine konstante Wellenlänge auf, und dieser monoerfüllen will, muß man den Detektor gleichzeitig 20 chromatische Charakter des auf das Objekt aufmit einer Winkelgeschwindigkeit um die gemeinsame treffenden Strahlenbündels wird nicht geändert, wenn Achse drehen, die doppelt so groß ist wie die man den Divergenzwinkel der das Objekt bestrahlen-Winkelgeschwindigkeit des Objektes. Die gemein- den Röntgenstrahlen etwa durch Änderung des same Achse wird daher auch Omega- oder Zwei- Abstrahlungswinkels der Röntgenstrahlen von der Theta-Achse genannt. 25 Anode der Röntgenröhre ändert.

Bei den bisher bekannten Röntgenspektrometern Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachwurde die Anordnung der Röntgenröhre, der als stehend im Zusammenhang mit den Figuren näher Monochromator dienenden Röntgenbeugungsvor- erörtert. In den Figuren zeigt
richtung, des Objektes und des Detektors so ge- Fig. 1 eine perspektivische Darstellung eines troffen, daß die Ebenen gleicher Wellenlänge der 30 erfindungsgemäßen Röntgenspektrometers,
von dem Monochromator ausgehenden Röntgen- Fig. la eine schematisierte Darstellung, die den strahlen parallel zu der Omega-Achse lagen. Diese grundsätzlichen Aufbau des Röntgenspektrometers Verhältnisse ergeben sich beispielsweise, wenn von F i g. 1 veranschaulicht,

Röntgenröhre, Monochromator, Objekt und Detektor Fig. 2 eine Draufsicht auf einen Teil des Spektro-

in einer gemeinsamen Ebene, die senkrecht zur 35 meters in vergrößertem Maßstab, wobei die Röhre

Omega-Achse verläuft, angeordnet werden. Aus und der Träger des Monochromatorkristalls gezeigt

einer derartigen Anordnung ergeben sich jedoch sind und bestimmte Teile der Übersicht teilbar ge-

für viele Anwendungen erhebliche Nachteile, und brachen wiedergegeben sind,

zwar insbesondere, wenn die von dem Objekt Fig. 3 eine Ansicht der in Fig. 2 dargestellten

erzeugten Beugungsstrukturen untersucht werden 40 Anordnung, und zwar entsprechend der Betrach-

sollen. · tungslinie 3-3 der Fig. 2, wobei ebenfalls einige

Da nämlich das zu untersuchende Objekt in der Teile gebrochen bzw. gar nicht dargestellt sind,

Regel selbst ein Kristall ist, erfolgte zusätzlich zu Fig.4 eine Draufsicht auf die Anordnung im

der an dem Monochromator auftretenden Dispersion Maßstab der Fig. 2,

eine Dispersion an dem Objekt selbst. Je nachdem, 45 Fig. 5 eine Endansicht der Anordnung im Maßweiche Stellung das Objekt relativ zu dem Mono- stab der F i g. 2 und entsprechend der Betrachtungschromator einnimmt — parallel oder antiparallel —, linie 5-5 der F i g. 2 und

sind diese beiden Dispersionen räumlich entgegen- Fig. 6 eine Schnittdarstellung durch den Halter gesetzt oder räumlich in der gleichen Richtung, so des Monochromatorkristalls in vergrößertem Maßdaß sich im letzteren Fall eine Addition der beiden so stab entsprechend der Schnittlinie6-6 der Fig.2.
Dispersionen ergibt. Während der Drehung des Zunächst sei auf die schematische Darstellung der Objektes ergeben sich daher zwei Bereiche unter- Fig. la Bezug genommen. Der Monochromatorschiedlicher Dispersion der von dem Objekt aus- kristall76, das Objekts und der Detektor 15 sind gehenden Strahlung. Die unterschiedlichen Disper- im wesentlichen in einer Ebene angeordnet, und der sionen in der parallelen und in der antiparallelen 55 Brennfleck 53 der Röntgenröhre ist oberhalb dieser Stellung, die auf der Unsymmetrie der von dem Ebene angeordnet. Das Objekts wird von dem Monochromator her einfallenden Strahlung beruhen, Goniometer 20 an einer von der Omega-Achse erweisen sich für viele Anwendungen als störend. durchsetzten Stelle getragen und ist um diese Achse So ist es häufig wichtig, bei der Strukturanalyse eines drehbar. Der Detektor 15 wird von dem Arm 13 Kristalls die in der parallelen Stellung erhaltenen 60 getragen, der mit dem Träger 12 verbunden ist und Meßergebnisse mit den in der antiparallelen Stellung zusammen mit diesem um die Omega-Achse drehbar erhaltenen Meßergebnissen zu vergleichen. Ein der- ist. Die vom Brennfleck 53 der Röntgenröhre kornartiger Vergleich wird aber durch die unterschied- inenden Röntgenstrahlen werden an dem Monolichen Dispersionsverhältnisse in den beiden Be- chromatorkristall 76 in solcher Weise gebeugt, daß reichen gestört. 65 Ebenen, in denen die abgebeugte Strahlung mono-Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es chromatisch ist, quer zu der Omega-Achse verlaufen, daher, ein Röntgenspektrometer der eingangs ge- Die auf das Objekt S auftretende Strahlung ist daher nannten Art in der Weise auszubilden, daß sich im wesentlichen monochromatisch. Die von dem

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Objekt S reflektierte bzw. gebeugte Strahlung trifft auf die Grundplatte 32 in Längsrichtung. Der Träger

auf den Detektor 15. 45 hat einen nach oben gerichteten Schwenkarm 46

Gemäß Fig. 1 weist das Spektrometer 10 ein am rechten Ende in Fig. 2. Der Arm46 ist in einem

Gehäuse 11 auf. Der Zwei-Theta-Träger 12 ist dreh- Lager 47 an dem Ende 48 des als Träger wirkenden

bar in dem Gehäuse 11 gelagert. Der Zwei-Theta- 5 Schachtes 37 gelagert. Das Ende 48 ist rechts in

Arm 13 trägt außer dem Gehäuse 15 auch eine Spalt- Fig. 2 dargestellt. Aus Fig. 2 erkennt man, daß

anordnung 16 und ein Kollimatorsystem 17. Durch der Träger 45 der Röntgenröhre schwenkbar um die

das Kollimatorsystem 17 werden von dem Objekts Achse des Schaftes 37 ist. Der Mechanismus zum

abgebeugte Röntgenstrahlen parallel gemacht, bevor Einstellen der Halterung 45 der Röntgenröhre in

sie durch den Spalt 16 in den Detektor 15 gelangen. io bezug auf den Schaft 37 soll nachstehend noch

Das Goniometer 20 ist an einem Theta-Träger 21 erörtert werden,

drehbar um die Omega-Achse angeordnet. Das Gehäuse 50 der Röntgenröhre ist in F i g. 1

Das Goniometer20 enthält einen <Z>-Kopf22, der und 3 ausgezogen dargestellt und in den Fig.2, 4

das Objekt^ an einer Stelle auf der ..Q-Achse bzw. und 5 in gestrichelter Form. Das Gehäuse50 der

Θ-Achse trägt. Das Objekt 5 ist auf einer Z-Achse 15 Röntgenröhre hat einen Endteil 51 von geringerer

gelagert, die die Horizontalachse des Goniometers 20 Größe, in dem sich der Brennpunkt befindet. Das

ist, wenn das Gehäuse 11 horizontal ist. Der Φ-Kopf hintere Ende 51 hat quadratischen Querschnitt und

22 ist drehbar um die X-Achse und ferner so aus- enthält die Anode der Röntgenröhre. In F i g. 3 ist

gebildet, daß er nach Wunsch eine Drehung des die Anode 53 punktiert angegeben.

Objektes S um die Φ-Achse ermöglicht. Es wurde 20 54 bezeichnet ein als Lager dienendes Kugel-

bereits erwähnt, daß die Z-Achse senkrecht die gelenk. Das Kugelgelenk 54 verbindet den die Anode

ß-Achse und die Θ-Achse schneidet, und zwar an enthaltenden Teil 51 des Röntgenröhrengehäuses 50

der Stelle, wo sich das drehbare Objekt befindet. mit dem Träger 45.

In gleicher Weise schneidet die Φ-Achse diese Achse Fig. 3 zeigt, daß das Kugelgelenk, das durch die

an derselben Stelle und ist ebenfalls senkrecht zu 25 punktierten Linien 55 wiedergegeben ist, unmittelbar

der Z-Achse. Die Φ-Achse kann irgendein Radius unterhalb des Brennpunktes der Anode 53 der Rönt-

des Goniometers senkrecht zu der Z-Achse sein. genröhre liegt.

An dem Goniometer 20 ist ein Mikroskop 23 ange- In F i g. 1 und 2 bedeutet 57 eine Rändelschraube ordnet, welches es gestattet, das Objekts genau an 57 zum Einstellen des Abstrahlwinkels der Röntgender Schnittstelle der Achsen zu justieren. 30 röhre. Ein Teil der Einstellschraube ist bei 58 in

Zwei Träger 25, 26 der Röntgenröhre sind an F i g. 1 zu erkennen. Die Einstellschraube 58 schiebt

dem Gehäuse befestigt. Die aus der Röntgenröhre das Gehäuse 50 der Röntgenröhre in bezug auf die

und dem Monochromator bestehende Baugruppe ist Grundplatte 45 in der Querrichtung und gestattet

mit 30 bezeichnet. Die Baugruppe 30 ist mittels dadurch eine Einstellung des Abstrahlwinkels in

Bolzen 31 an den Trägern 25, 26 befestigt. Die Bau- 35 bezug auf die Achse des Kugelgelenkes 55.

gruppe30 ergibt sich im einzelnen aus den Fig. 2 Ein dem Zwecke des Schwenkens dienender ein-

bis 6. stellbarer Arm 60 erstreckt sich von dem einen Ende

Die Baugruppe 30 besteht aus der Grundplatte 32, des Tragarmes 45 nach oben. Der Einstellarm 60

die an den Trägern 25, 26 mittels Bolzen 31 befestigt befindet sich am linken Ende des Trägers 45 in den

ist. Die Grundplatte 32 trägt aufrechte Arme 33, die 40 Fig. 2 und 4. An dem nach oben gerichteten Arm 60

an der rechten Seite in Fig. 2 dargestellt sind. Die ist mittels Bolzen63 ein Segment61 vorgesehen,

aufrechten Arme 33 erstrecken sich in der Längs- Die untere gewölbte Fläche 64 des Segmentes 61

richtung der Grundplatte 32 und bilden den Träger läuft auf zwei Rollen 65, die an dem Arm 34 be-

der Schwenklager des Monochromators und der festigt sind. Eine von oben auf das Segment wirkende

Röhre. Die Grundplatte trägt ferner einen zweiten 45 und das Segment herabdrückende Rolle 66 läuft auf

senkrecht gerichteten Arm 34, der am linken Ende der oberen gewölbten Fläche 67 des Segmentes 61.

der Grundplatte in Fig. 2 dargestellt ist. Dieser Die das Segment herunterdrückende Rolle 66 ist

zweite aufrecht sich erstreckende Arm 34 liegt in ebenfalls an dem Arm 34 befestigt. Das Zusammen-

der Querrichtung der Grundplatte 32 und trägt den wirken der Rollen 65 und 66 hat zur Folge, daß

Mechanismus, der das Schwanken der Röntgenröhre 50 das Segment 31 sich auf einer Kreisbahn bewegen

um eine Kristallachse ermöglicht. kann.

An dem Arm 33 ist ein Arm mit einem Drehlager Ein Zahnsegment 70 ist an dem Arm 60 und dem 35 vorgesehen, der sich in bezug auf die Grundplatte Segment 61 mittels Bolzen 63 befestigt. Das Zahnnach oben und außen in Richtung auf das Gonio- segment 70 greift in eine Schnecke 71, so daß ein meter 20 erstreckt. 37 ist ein abgestufter Halterungs- 55 Drehen der Schnecke 71 ein Schwenken des Zahnschaft für den Kristall und die Röntgenröhre. Dieser Segmentes 70 zur Folge hat. Ein Schwenken des Halterungsschaft 37 ist drehbar in dem Lagerarm 35 Zahnsegmentes 70 bewirkt daher eine Drehung der mittels großer und kleiner Lager 38 und 40 gelagert. Röntgenröhre um die Achse des Tragschaftes 37.
Eine Scheibe 41 ist gegen den einen Laufring des Eine Wegmeßvorrichtung 72 ist an der Grundkleinen Kugellagers 38 mittels einer Mutter 42, die 60 platte 32 befestigt und mit der Schnecke 71 mittels auf das eine Ende des Schaftes 37 aufschraubbar ist, einer Welle 73 verbunden. Eine Drehung der Handgedrückt. Der Schaft 37 besteht aus einem Teil 43 kurbel 74 bewirkt eine Drehung der Welle 73 und größeren Durchmessers, der den Laufring des größe- eine mit einer Schwenkung verbundene Einstellung ren Lagers 40 trägt, so daß die Lager 38, 40 nicht der Röntgenröhre in bezug auf die Achse des tragennur als Drehlager für den Schaft 37 wirken, sondern 65 den Schaftes 37. Die Meßvorrichtung 72 ist derart, auch als Schublager zur axialen Festlegung. daß man das Maß der Einstellbewegung der Rönt-

Zum Halten der Röntgenröhre ist ein Träger 45 genröhre in bezug auf die Achse des Schaftes 37

vorgesehen. Dieser Träger erstreckt sich in bezug bestimmen kann. Gemäß den Fig.2 und 6 ist ein

halbkreisförmiges Segment 75 aus dem Abschnitt 43 des Schaftes 37 ausgeschnitten. Ein Monochromatorkristall 76 ist in der Vertiefung 77 des Abschnittes 43 angeordnet, so daß das Monochromatorkristall mit seiner reflektierenden Oberfläche in der Achse des Schaftes 37 und unmittelbar unterhalb des Segmentes 75 liegt.

Das Segment 75 ist durch eine gewölbte Primärstrahlklammer 79 und eine gewölbte Beugungsstrahlklammer 80 verschlossen. Es ist zu beachten, daß aus Gründen der Übersichtlichkeit in den Figuren, mit Ausnahme von F i g. 6, die Klammern 79 und 80 nicht dargestellt sind. Die Primärstrahlklammer 79 hat zwei gewölbte Nuten 81, in denen sich die Klammer 80 bewegt und die eine Drehung der beiden Klammern in bezug aufeinander gestatten. Diebeiden Klammern liegen übereinander und umschließen den Abschnitt 43 des Schaftes 37 zwischen den Lagern 40, 47, so daß das Segment 75 mit Ausnahme der öffnungen 82, 83 vollständig durch die Klammern 79 und 80 abgeschlossen ist.

Die Röntgenröhre enthält zweckmäßigerweise Verschlußschieber. Diese Verschlußschieber wirken gegen ein Einsatzstück 84, welches die Öffnung 82 der Klammer 81 bildet. Die Klammer 84 und der Verschluß bilden zusammen einen für die Röntgenstrahlen durchlässigen Kanal, in welchem die Strahlen parallel gemacht werden und der das primäre Röntgenstrahlbündel von der Anode 53 der Röntgenröhre zu dem Monochromatorkristall 76 leitet. Durch den Monochromatorkristall 76 abgebeugte Röntgenstrahlen durchsetzen die öffnung 83 der Klammer 80 und die Kollimatoranordnung 85. Nach Durchsetzen der Kollimatoranordnung 85 werden die abgebeugten Röntgenstrahlen auf das Objekt S gerichtet.

Bei dem Justieren der Röntgenröhre und des Röntgenkristalls kann eine gewisse Einstellbarkeit des Kristalls wünschenswert sein. Dementsprechend ist an der der Scheibe 41 gegenüberliegenden Seite eine Scheibe 90 am Ende des Schaftes 37 befestigt. Mit der Scheibe 90 ist ein Einstellhebel 91 verbunden. Eine Feder 92 wirkt gegen den Hebel 91 und hält ihn in Berührung mit einer Einstellschraube 93. Auf diese Weise ist die Winkelstellung der Beugungsebene des Monochromatorkristalls 76 durch Drehen der Einstellschraube 93 einstellbar.

Wenn der Apparat in Benutzung ist, wird zunächst ein Objekte auf den <Z>-Träger22 aufgebracht. Es wird das Objekt so eingestellt, daß es in dem Fadenkreuz des Mikroskops 23 erscheint. Eine Einstellung von Hand der Winkel Φ, X und Θ, Ω, und 2 Θ in bezug auf ihre entsprechenden Achsen wird in der Weise ausgeführt, wie es in der eingangs erwähnten Patentschrift beschrieben ist, bis schließlich das Objekt seine für die Untersuchung gewünschte Stellung hat.

Der Handgriff 74 der Meßvorrichtung 72 wird so lange gedreht, bis der gewünschte Abstrahlungswinkel des Röntgenstrahlenbündels in bezug auf die Beugungsebene des Objektes erreicht ist. Die Einstellschraube 93 wird gedreht, damit die Ebene des Monochromatorkristalls die gewünschte Lage hat.

Wenn in dieser Weise die Einstellung erfolgt ist, wird die Röntgenröhre unter Spannung gesetzt und ihr Verschlußschieber geöffnet. Das Objekts wird dann mit Röntgenstrahlen von im wesentlichen nur einer Wellenlänge während der Untersuchung bestrahlt, und das Objekt wird um die verschiedenen Achsen in gewünschter Weise gedreht. Wenn das Objekt gedreht wird, wird nach Wunsch der Detektor um die 2-0-Achse gedreht und, wie es in der Einleitung beschrieben wurde, in bezug auf eine bestimmte Kristallebene und in bezug auf eine bestimmte Wellenlänge eingestellt, wobei sich die Einstellungen durch die Neueinstellung des Monochromatorkristalls ergeben. Es ist offensichtlich, daß mit Ausnahme einer Röntgenwellenlänge die Strahlung entweder oberhalb oder unterhalb des Objektes und des Detektors verläuft, so daß das Objekt und der Detektor im wesentlichen der Strahlung von nur einer Wellenlänge unterworfen sind.

Claims (13)

Patentansprüche:

1. Röntgenspektrometer, bei dem der Träger des Objektes und ein Detektor zur Messung der durch das Objekt abgebeugten Röntgenstrahlen in bezug auf eine gemeinsame Achse drehbar angeordnet sind und bei dem die Röntgenröhre auf dem Spektrometergehäuse angeordnet ist, wobei zwischen der Röntgenröhre und dem Objekt eine Röntgenbeugungsvorrichtung zum Abbeugen eines im wesentlichen monochromatischen Anteils der von der Röntgenröhre empfangenen Röntgenstrahlung auf das Objekt angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Röntgenröhre (50) und die Röntgenbeugungsvorrichtung (76) so positioniert sind, daß die von der Beugungsvorrichtung (76) abgebeugten Röntgenstrahlen in quer zu der genannten gemeinsamen Achse (Ω) verlaufenden Ebenen monochromatisch sind.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Monochromatorkristall (76) um seine Achse (37) drehbar ist, die quer und im Abstand zu der Achse (.Q) des Objektträgers verläuft und die ferner quer zu dem Röntgenstrahlenbündel verläuft.

3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Röntgenröhre (50, 51) in bezug auf die Einstellachse (37) des Monochromatorkristalls (76) einstellbar (74,73) ist.

4. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die Röntgenröhre (50, 51) um eine Achse einstellbar ist, die quer und im Abstand zu der Achse (Ω) des Objektträgers verläuft.

5. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die die Röntgenröhre (50, 51) umfassende Baugruppe (45) Mittel (74, 73, 70) zum Drehen der Röntgenröhrenanordnung (50, 51) um eine Achse aufweist, die die Mittel (76) zur Beugung des Röntgenstrahlenbündels durchsetzt.

6. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Kristall (76) in einem Gehäuse (79, 80) angeordnet ist, das zusammen mit dem Kristall (76) um eine den Kristall durchsetzende Achse drehbar ist.

7. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gegekennzeichnet, daß das Gehäuse (50,51) der Röntgenröhre um die Einstellachse (37) des Kristalls (76) drehbar ist.

8. Anordnung nach Anordnung 7, dadurch gekennzeichnet, daß die die Röntgenröhre (50, 51)

enthaltende Baugruppe zusätzlich um eine Achse (55) drehbar ist, welche den Brennpunkt (53) der Röntgenröhre (50,51) durchsetzt.

9. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß ein zur drehbaren Lagerung der Röntgenröhre (50, 51) vorgesehener drehbarer Schaft (37) ein ausgeschnittenes Segment (75) aufweist und in dem durch das ausgeschnittene Segment (75) gebildeten Raumteil der Monochromatorkristall (76) im Wege des von der Röntgenröhre (50, 51) ausgehenden Strahlenbündels angeordnet ist.

10. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß an der drehbaren 2-0-Achse der Detektor (15) angeordnet ist und auf der Θ-Achse, .O-Achse ein Goniostat (20) angeordnet ist und der Objektträger (22) auf dem Goniostat (20) angeordnet ist und eine Kollimatoranordnung (17) zwischen dem Objekt (S) und der Detektoranordnung (15) auf dem 2-0-Arm angeordnet ist und daß auf dem Spektrometergehäuse (11) an der der Goniostatenanordnung und dem Detektor (15) gegenüberliegenden Seite Tragarme (25, 26) angeordnet sind und die Tragarme (25, 26) die aus der Röntgenröhre (50,51) und dem Monochromatorkristall (76) bestehende Baugruppe tragen, wobei diese Baugruppe aus einer Grundplatte (32) mit zwei aufrechten Armen (33, 34) besteht und der Monochromatorkristall (76) und die Halterung (46) der Röntgenröhre (50, 51) drehbar an dem einen dieser Arme (35) derart befestigt ist, daß der Abstrahlungswinkel der Röntgenröhre einstellbar ist.

11. Anordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß zwei gewölbte Klammern (79, 80) sich selbst umschließen und den zur Aufnahme des Monochromatorkristalls (76) dienenden Ausschnitt (75) des zum Drehen der Röntgenröhre (50,51) vorgesehenen Zapfens (37) verschließen, wobei die Klammern (79, 80) eine Primärstrahlapertur im Zusammenwirken mit einer öffnung des Gehäuses der Röntgenröhre und eine Apertur für den abgebeugten Strahl bilden, durch deren Öffnung die abgebeugten Röntgenstrahlen auf das Objekt (S) gerichtet werden.

12. Anordnung nach Anspruch 10. dadurch gekennzeichnet, daß zur Einstellung der Röntgenröhre (50, 51) ein Schneckenantrieb (74, 73, 71, 70) vorgesehen ist.

13. Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß mit der Einstellschnecke (71) ein Zählgerät (72) verbunden ist.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen 109548/287