EP1418610B1 - Mikrofocus-Röntgenröhre - Google Patents

Mikrofocus-Röntgenröhre Download PDF

Info

Publication number
EP1418610B1
EP1418610B1 EP03024511A EP03024511A EP1418610B1 EP 1418610 B1 EP1418610 B1 EP 1418610B1 EP 03024511 A EP03024511 A EP 03024511A EP 03024511 A EP03024511 A EP 03024511A EP 1418610 B1 EP1418610 B1 EP 1418610B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
ray tube
head
target
microfocus
component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP03024511A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1418610A1 (de
Inventor
Udo Emil Dr. Frank
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
comet GmbH
Original Assignee
FEINFOCUS GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FEINFOCUS GmbH filed Critical FEINFOCUS GmbH
Publication of EP1418610A1 publication Critical patent/EP1418610A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1418610B1 publication Critical patent/EP1418610B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/112—Non-rotating anodes
    • H01J35/116—Transmissive anodes

Definitions

  • microfocus X-ray tubes whose in operation facing the object to be examined Head has a diameter of a few cm. to Achieving a high magnification, it is necessary the focus and thus the head of the microfocus X-ray tube close enough to the component to be tested. This is only possible if on the to be tested No elevations are present against which the Head before reaching the required distance encounters.
  • the known x-ray tubes are thus suitable mainly for testing flat components while they are for a test of surveys, for example, populated printed circuit boards, only in limited Dimensions are suitable.
  • JP-2000 306533 is a microfocus X-ray tube of the type in question.
  • the well-known X-ray tube has a during operation of the X-ray tube a object to be examined facing the head, on or in which a target is arranged, and means, the an electron beam impinging on the target form such that the X-ray tube a focal spot with a diameter of s 200 ⁇ m, in particular ⁇ 10 ⁇ m.
  • the outer surface of the head points at the known X-ray tube to a free end towards tapering cross-section, the target as Transmission target is formed.
  • a disadvantage of the known X-ray tube consists in that they are used to investigate fissured components, For example, electronic circuit boards, not suitable is.
  • the invention is based on the object Specify microfocus X-ray tube with which to investigate Also rugged components is possible and the is robust in construction.
  • the taper of the cross section of the outer surface of the head can be formed in any suitable manner be.
  • the head on his free end in the manner of a pointed gable roof be educated.
  • An advantageous development The teaching of the invention provides that the outer surface formed substantially rotationally symmetrical is. In this embodiment, a particularly cost-effective Achievement achieved because the outer surface of the Head formed for example by a simple rotary part can be.
  • the Outer surface of the head in the direction of radiation also at least in sections by a holder for the Target be formed.
  • the opening angle of the essential conical outer surface preferably less as 50 °. That way, the head can handle one too strong inclination to the surface of the component to be tested be introduced.
  • the head points at least two in the radiation direction of the X-radiation successively arranged areas with different Opening angles of the conical outer surface on.
  • the head is in the radiation direction X-rays from cones with different Opening angles composed.
  • FIG. 5 shows the head 6 of the X-ray tube 2 in the assembled state, in which the target 8 on the holder 18th and the collimator 24 is mounted on the target.
  • the collimator 24 is fixedly connected to the holder 18, so that the target 8 is held firmly on the holder 18 is.
  • the through the target 8 and the bracket 18th formed unit can be detachable with the main body 3 of the X-ray tube 2 are connected, so that they are needed can be easily replaced.
  • a dashed line Line 34 is a head of a conventional x-ray tube shown. It can be seen that the head of such conventional X-ray tube in a tilted Leading the head 6 to the surface of the component 4 would abut this surface, before the with the X-ray tube 2 according to the invention achievable and to obtain a high magnification image required small distance of the head from the surface of the component 4 is reached.

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
  • Confectionery (AREA)
  • Paper (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Mikrofocus-Röntgenröhre der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art.
Derartige Mikrofocus-Röntgenröhren sind allgemein bekannt und werden beispielsweise zum Prüfen von Leiterplatten in der Elektronikindustrie eingesetzt. Die bekannten Röntgenröhren weisen einen bei Betrieb der Röntgenröhre einem zu untersuchenden Objekt zugewandten Kopf auf, an dem oder in dem ein Target angeordnet ist, auf das hochenergetisch beschleunigte Elektronen auftreffen, so daß in allgemein bekannter Weise Röntgenstrahlung erzeugt wird. Die so erzeugte Röntgenstrahlung wird in bildgebenden Verfahren verwendet, um beispielsweise Bauteile bzw. Bauteilanordnungen auf Leiterplatten darzustellen und die Leiterplatten auf diese Weise optisch zu prüfen.
Es sind Mikrofocus-Röntgenröhren bekannt, deren bei Betrieb dem zu untersuchenden Objekt zugewandter Kopf einen Durchmesser von einigen cm aufweist. Zur Erzielung einer hohen Vergrößerung ist es erforderlich, den Fokus und damit den Kopf der Mikrofocus-Röntgenröhre nahe genug an das zu prüfende Bauteil heranzuführen. Dies ist nur dann möglich, wenn auf dem zu prüfenden Bauteil keine Erhebungen vorhanden sind, gegen die der Kopf vor dem Erreichen des erforderlichen Abstandes stößt. Die bekannten Röntgenröhren eignen sich somit vorwiegend zur Prüfung flacher Bauteile, während sie für eine Prüfung von Erhebungen aufweisenden Bauteilen, beispielsweise bestückten Leiterplatten, nur in eingeschränktem Maße geeignet sind.
Zur Vermeidung dieses Nachteils ist es bekannt, den Kopf der Röntgenröhre durch eine sogenannte Stabanode zu bilden, die durch ein zylindrisches Rohr mit einem Durchmesser von wenigen cm bis wenigen mm gebildet ist. Insbesondere dann, wenn die verwendete Stabanode einen Durchmesser von nur wenigen mm aufweist, ist es mit derartigen Röntgenröhren möglich, auch in enge Vertiefungen, Ausnehmungen oder Hohlräume eines zu prüfenden Bauteiles einzudringen.
Ein Nachteil derartiger Röntgenröhren besteht darin, daß die verwendeten Stabanoden wenig stabil und damit empfindlich gegen mechanische Beschädigung sind. Um eine mechanische Beschädigung der Stabanode durch Anstoßen an das zu prüfende Bauteil zu verhindern, ist es erforderlich, das Annähern der Stabanode an das zu prüfende Bauteil unter optischer Beobachtung durchzuführen, was einen hohen apparativen Aufwand erfordert und damit kostenaufwendig ist. Darüber hinaus erfordert eine optische Kontrolle des Heranführens der Stabanode an das zu prüfende Bauteil einen hohen Zeitaufwand und verursacht damit hohe Personalkosten.
Aus diesem Grunde ist es in der Praxis wünschenswert, Stabanoden größeren Durchmessers zu verwenden, die unempfindlicher gegen mechanische Beschädigungen sind.
Nachteilig ist jedoch, daß dann, wenn der Kopf mit seiner flachen Seite zur Erzielung einer Schrägdurchstrahlung eines zu prüfenden Bauteiles nicht parallel zu einer Oberfläche des Bauteiles, sondern geneigt zu dieser Oberfläche an das Bauteil herangeführt wird, die Gefahr besteht, daß aufgrund von an der Oberfläche vorhandenen Erhebungen der Kopf nicht nahe genug an eine zu prüfende Stelle des Bauteiles herangeführt werden kann.
Röntgenröhren zur Untersuchung von Bauteilen sind beispielsweise durch EP 0 777 255 A, US 3 584 219 A, GB 1 249 341 A, US 3 668 454 A, US 1 717 309 A, US 4 618 972 A, EP 0 083 198 A, EP 0 292 055 A und DE 31 39 899 A bekannt. Mikrofocus-Röntgenröhren zur Untersuchung von Bauteilen sind durch EP-0 366 372 A, DE 196 33 860 A und WO 01/99478 A bekannt.
Durch JP-2000 306533 ist eine Mikrofocus-Röntgenröhre der betreffenden Art bekannt. Die bekannte Röntgenröhre weist einen bei Betrieb der Röntgenröhre einem zu untersuchenden Objekt zugewandten Kopf, an dem oder in dem ein Target angeordnet ist, und Mittel auf, die einen auf das Target auftreffenden Elektronenstrahl derart formen, daß die Röntgenröhre einen Brennfleck mit einem Durchmesser von s 200 µm, inbesondere ≤ 10 µm, aufweist. Die Außenfläche des Kopfes weist bei der bekannten Röntgenröhre einen sich zu seinem freien Ende hin verjüngenden Querschnitt auf, wobei das Target als Transmissions-Target ausgebildet ist.
Ein Nachteil der bekannten Röntgenröhre besteht darin, daß sie zur Untersuchung zerklüfteter Bauteile, beispielsweise von elektronischen Leiterplatten, nicht geeignet ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Mikrofocus-Röntgenröhre anzugeben, mit der eine Untersuchung auch zerklüfteter Bauteile möglich ist und die robust im Aufbau ist.
Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebene Lehre gelöst.
Erfindungsgemäß weist die Außenfläche des Kopfes einen sich zu seinem freien Ende hin verjüngenden Querschnitt auf. Auf diese Weise ist erreicht, daß der Kopf einerseits an seinem freien Ende geringe Abmessungen aufweist, was im Sinne einer Untersuchung von zerklüfteten Bauteilen von Vorteil ist, andererseits aber an seinem dem freien Ende abgewandten Ende, an dem der Kopf mit dem Grundkörper der Röntgenröhre verbunden ist, eine ausreichend große Basis aufweist, um den Kopf unempfindlich gegen mechanische Beschädigungen, beispielsweise beim Anstoßen an ein zu prüfendes Bauteil, zu machen. Die Verjüngung des Querschnitts der Außenfläche zu dem freien Ende des Kopfes hin ermöglicht es, den Kopf auch schräg zur Oberfläche eines Bauteiles an dieses heranzuführen, wobei soweit wie möglich verhindert ist, daß der Kopf mit von dem freien Ende entfernten Bereichen seiner Außenfläche an die Oberfläche des zu prüfenden Bauteiles anstößt. Damit ermöglicht es die erfindungsgemäße Lehre, den Kopf der Röntgenröhre auch bei einer Schrägdurchstrahlung des zu prüfenden Bauteiles sehr nahe an die zu prüfende Stelle des Bauteiles heranzuführen, so daß mit der erfindungsgemäßen Mikrofocus-Röntgenröhre sehr hohe Vergrößerungsfaktoren erzielt werden können.
Erfindungsgemäß mündet die Außenfläche des Kopfes in eine Spitze. Dies ist insofern vorteilhaft, als die Spitze auch in Ausnehmungen geringen Durchmessers an einem zu prüfenden Bauteil eingeführt werden kann, um in solchen Ausnehmungen Prüfungen vorzunehmen.
Erfindungsgemäß wird unter dem Kopf der Röntgenröhre das bei Betrieb der Mikrofocus-Röntgenröhre einem zu untersuchenden Bauteil zugewandte freie Ende der Röntgenröhre verstanden.
Die erfindungsgemäße Mikrofocus-Röntgenröhre ist robust im Aufbau und unempfindlich gegen mechanische Beschädigungen, beispielsweise beim Anstoßen an ein zu prüfendes Bauteil. Sie ist vielseitig einsetzbar und insbesondere zur Prüfung von Leiterplatten in der Elektronikindustrie geeignet.
Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Mikrofocus-Röntgenröhre besteht darin, daß sie einfach und kostengünstig herstellbar ist.
Unter einer Mikrofocus-Röntgenröhre wird erfindungsgemäß eine Röntgenröhre verstanden, deren Brennfleck einen Durchmesser von ≤ 200 µm, insbesondere ≤ 10 µm hat.
Die Verjüngung des Querschnitts der Außenfläche des Kopfes kann in beliebiger geeigneter Weise ausgebildet sein. Beispielsweise kann der Kopf an seinem freien Ende nach Art eines spitz zulaufenden Satteldaches ausgebildet sein. Eine vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß die Außenfläche im wesentlichen rotationssymmetrisch ausgebildet ist. Bei dieser Ausführungsform ist ein besonders kostengünstiger Aufbau erzielt, da die Außenfläche des Kopfes beispielsweise durch ein einfaches Drehteil gebildet sein kann.
Bei der vorgenannten Ausführungsform ist die Au-ßenfläche zweckmäßigerweise im wesentlichen konisch ausgebildet, wie dies eine Weiterbildung vorsieht. Auf diese Weise ist die Herstellung des Kopfes weiter vereinfacht.
Entsprechend den jeweiligen Anforderungen kann die Außenfläche des Kopfes in Strahlungsrichtung auch wenigstens abschnittsweise durch eine Halterung für das Target gebildet sein.
Bei der Ausführungsform mit der im wesentlichen konischen Außenfläche beträgt der Öffnungswinkel der im wesentlichen konischen Außenfläche vorzugsweise weniger als 50°. Auf diese Weise kann der Kopf auch mit einer starken Neigung an die Oberfläche des zu prüfenden Bauteils herangeführt werden.
Gemäß einer anderen Weiterbildung weist der Kopf wenigstens zwei in Strahlungsrichtung der Röntgenstrahlung hintereinander angeordnete Bereiche mit unterschiedlichen Öffnungswinkeln der konischen Außenfläche auf. Bei dieser Ausführungsform ist der Kopf in Strahlungsrichtung der Röntgenstrahlung aus Konen mit unterschiedlichen Öffnungswinkeln zusammengesetzt.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert, in der ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Mikrofocus-Röntgenröhre dargestellt ist.
Es zeigt:
Fig. 1
eine schematische Seitenansicht eines Ausführungsbeispieles einer erfindungsgemäßen Mikrofocus-Röntgenröhre,
Fig. 2
einen Axialschnitt durch ein erfindungsgemäßes Target der Mikrofocus-Röntgenröhre gemäß Fig. 1,
Fig. 3
in gleicher Darstellung wie Fig. 1, jedoch gegenüber Fig. 2 stark verkleinertem Maßstab das Target gemäß Fig. 2 mit einer Halterung für das Target,
Fig. 4
in gleicher Darstellung wie Fig. 2, jedoch gegenüber Fig. 2 etwas verkleinertem Maßstab einen Kollimator für das Target gemäß Fig. 2 und
Fig. 5
in gleicher Darstellung wie Fig. 3 den Kopf der Mikrofocus-Röntgenröhre gemäß Fig. 1.
In Fig. 1 ist eine erfindungsgemäße Mikrofocus-Röntgenröhre 2 dargestellt, die an ihrem bei Betrieb der Mikrofocus-Röntgenröhre 2 einem zu prüfenden Bauteil, das in Fig. 1 durch eine strichpunktierte Linie 4 symbolisiert ist, zugewandten Ende einen Kopf 6 aufweist, in dem in weiter unten näher erläuterter Weise ein Target angeordnet ist. Die Mikrofocus-Röntgenröhre 2, die nachfolgend kurz als Röntgenröhre bezeichnet wird, weist ferner in der Zeichnung nicht näher erkennbare an einem Grundkörper 3 der Röntgenröhre 2 angeordnete Mittel zum Beschleunigen von Elektronen und zum Richten der Elektronen auf das Target auf. Der Aufbau der Röntgenröhre 2 ist insoweit dem Fachmann allgemein bekannt und wird daher hier nicht näher erläutert.
In Fig. 2 ist ein erfindungsgemäßes Target 8 dargestellt, das bei diesem Ausführungsbeispiel aus Metall besteht und eine Außenfläche 10 aufweist, deren Querschnitt sich erfindungsgemäß zu dem freien Ende des Targets 8 hin verjüngt. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Außenfläche im wesentlichen rotationssymmetrisch und konisch ausgebildet und mündet in eine Spitze 12. Die konische Außenfläche 10 des Targets 8 weist bei diesem Ausführungsbeispiel einen Öffnungswinkel α von etwa 45° auf, der jedoch entsprechend den jeweiligen Anforderungen in weiten Grenzen wählbar ist. Das Target 8 ist bei diesem Ausführungsbeispiel hohl ausgebildet und weist an seiner radialen Innenfläche 14 eine dünne Beschichtung 16 aus Wolfram auf, die bei Betrieb der Röntgenröhre 2 mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt wird, wodurch Röntgenstrahlung freigesetzt wird.
In Fig. 3 ist eine Halterung 18 dargestellt, mittels derer das Target 8 mit dem Grundkörper 3 der Röntgenröhre 2 verbindbar ist. Die Halterung 18 weist eine sich zu dem Target 8 konisch verjüngende Außenfläche auf. Das Target 8 ist mit der Halterung 18 verbunden, und zur Verbindung der Halterung 18 mit dem Grundkörper 3 sind in der Zeichnung nicht dargestellte Mittel vorgesehen. Die Halterung 18 weist eine durchgehende zentrische Ausnehmung 22 auf, durch die hindurch bei Betrieb der Röntgenröhre 2 Elektronen auf die radiale Innenfläche des Targets 8 auftreffen.
In Fig. 4 ist ein erfindungsgemäßer Kollimator 24 dargestellt, der bei Betrieb der Röntgenröhre 2 in Strahlungsrichtung der Röntgenstrahlung dem Target 8 nachgeordnet ist und die Röntgenstrahlung räumlich begrenzt. Hierzu weist der Kollimator 24 eine durchgehende zentrische Ausnehmung 26 auf, durch die der Röntgenstrahl räumlich begrenzt austritt. Die Halterung 24 weist eine sich zu ihrem freien Ende hin konisch verjüngende Außenfläche 28 auf, während ihre radiale Innenfläche 30 zu der radialen Außenfläche 10 des Targets 8 im wesentlichen komplementär ausgebildet ist, derart, daß der Kollimator 24 im wesentlichen formschlüssig auf das Target 8 aufsetzbar ist.
Fig. 5 zeigt den Kopf 6 der Röntgenröhre 2 im Montagezustand, in dem das Target 8 auf die Halterung 18 und der Kollimator 24 auf das Target aufgesetzt ist. Der Kollimator 24 ist mit der Halterung 18 fest verbunden, so daß das Target 8 fest an der Halterung 18 gehalten ist. Die durch das Target 8 und die Halterung 18 gebildete Einheit kann lösbar mit dem Grundkörper 3 der Röntgenröhre 2 verbunden werden, so daß sie im Bedarfsfalle leicht ausgetauscht werden kann.
Bei Betrieb der Röntgenröhre 2 treten beschleunigte Elektronen durch die Ausnehmung 22 hindurch und treffen auf die Beschichtung 16 des Targets 8 auf, wodurch Röntgenstrahlung entsteht, die durch die Ausnehmung 26 in dem Kollimator 24 aus dem Kopf 6 der Röntgenröhre austritt. Das frei Ende des Kollimators 24 bildet eine Spitze 32 des Kopfes 6.
Wie in Fig. 1 dargestellt, kann der Kopf 6 aufgrund seines sich zu seinem freien Ende hin verjüngenden Querschnittes geneigt an die Oberfläche des zu prüfenden Bauteiles 4 herangeführt werden, ohne daß der Kopf 6 an die Oberfläche des Bauteiles 4 anstößt, bevor ein zur Erzielung einer Abbildung mit hoher Vergrößerung erforderlicher geringer Abstand des Kopfes 6 von der Oberfläche des Bauteiles 4 erreicht ist. Zur Verdeutlichung dessen ist in Fig. 1 durch eine gestrichelte Line 34 ein Kopf einer herkömmlichen Röntgenröhre dargestellt. Es ist erkennbar, daß der Kopf einer solchen herkömmlichen Röntgenröhre bei einem geneigten Heranführen des Kopfes 6 an die Oberfläche des Bauteiles 4 an diese Oberfläche anstoßen würde, bevor der mit der erfindungsgemäßen Röntgenröhre 2 erreichbare und zur Erzielung einer Abbildung mit hoher Vergrößerung erforderliche geringe Abstand des Kopfes von der Oberfläche des Bauteiles 4 erreicht ist.
Die erfindungsgemäße Röntgenröhre 2 ermöglicht somit ein geneigtes Heranführen des Kopfes 6 bis zu einem äußerst geringen Abstand. Dadurch, daß der Kopf 6 an seinem dem freien Ende abgewandten Ende einen wesentlich größeren Durchmesser als an dem freien Ende hat, weist die erfindungsgemäße Röntgenröhre 2 einen besonders stabilen Aufbau auf. Es besteht daher nicht die Gefahr, daß der Kopf 6 beim Anstoßen an Erhebungen des zu prüfenden Bauteiles 4 beschädigt wird, wie dies bei aus dem Stand der Technik bekannten, als Stabanode geringen Durchmessers ausgebildeten Köpfen der Fall ist.
Die erfindungsgemäße Röntgenröhre ist einfach und kostengünstig herstellbar.
Die Verwendung des Kollimators 24 ist vorteilhaft, jedoch nicht zwingend. Wird der Kollimator 24 weggelassen, so bildet bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel die konische Außenfläche des erfindungsgemäßen Targets 8 eine konische Außenfläche des Kopfes 6.

Claims (6)

  1. Mikrofocus-Röntgenröhre,
    mit einem bei Betrieb der Röntgenröhre einem zu untersuchenden Objekt zugewandten Kopf (6), an dem oder in dem ein Target (8) angeordnet ist, und mit Mitteln, die einen auf das Target (8) auftreffenden Elektronenstrahl derart formen, daß die Röntgenröhre einen Brennfleck mit einem Durchmesser von ≤ 200 µm, insbesondere ≤ 10 µm, aufweist,
    wobei die Außenfläche des Kopfes (6) einen sich zu seinem freien Ende hin verjüngenden Querschnitt aufweist und
    wobei das Target (8) als Transmissionstarget ausgebildet ist,
    dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Kopfes (6) wenigstens teilweise durch das Target (8) oder einen in strahlrichtung dem Target (8) nachgeordneten Kollimator (24) gebildet ist,
    daß das Target (8) hohl ausgebildet ist und
    daß das Target (8) in eine Spitze (32) mündet.
  2. Mikrofocus-Röntgenröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Kopfes (6) im wesentlichen rotationssymmetrisch ausgebildet ist.
  3. Mikrofocus-Röntgenröhre nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Kopfes (6) im wesentlichen konisch ausgebildet ist.
  4. Mikrofocus-Röntgenröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche des Kopfes (6) in Strahlungsrichtung wenigstens abschnittsweise durch eine Halterung (18) für das Target (8) gebildet ist.
  5. Mikrofocus-Röntgenröhre nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Öffnungswinkel (α) der im wesentlichen konischen Außenfläche weniger als 50° beträgt.
  6. Mikrofocus-Röntgenröhre nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopf (6) wenigstens zwei in Axialrichtung hintereinander angeordnete Bereiche mit unterschiedlichen Öffnungswinkeln der konischen Außenfläche aufweist.
EP03024511A 2002-11-06 2003-10-24 Mikrofocus-Röntgenröhre Expired - Lifetime EP1418610B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10251635A DE10251635A1 (de) 2002-11-06 2002-11-06 Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokus-Röntgenröhre
DE10251635 2002-11-06

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP1418610A1 EP1418610A1 (de) 2004-05-12
EP1418610B1 true EP1418610B1 (de) 2005-10-19

Family

ID=32103371

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP03024511A Expired - Lifetime EP1418610B1 (de) 2002-11-06 2003-10-24 Mikrofocus-Röntgenröhre

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7050543B2 (de)
EP (1) EP1418610B1 (de)
AT (1) ATE307386T1 (de)
DE (2) DE10251635A1 (de)
DK (1) DK1418610T3 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006062452B4 (de) 2006-12-28 2008-11-06 Comet Gmbh Röntgenröhre und Verfahren zur Prüfung eines Targets einer Röntgenröhre
US8831179B2 (en) 2011-04-21 2014-09-09 Carl Zeiss X-ray Microscopy, Inc. X-ray source with selective beam repositioning
RU2645749C2 (ru) * 2016-05-23 2018-02-28 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" Микрофокусная рентгеновская трубка
DE102017105546B4 (de) * 2017-03-15 2018-10-18 Yxlon International Gmbh Steckdose zur Aufnahme eines Steckers eines Hochspannungskabels für eine Mikrofokus-Röntgenröhre, Steckverbindung für ein Hochspannungskabel
US20190272970A1 (en) * 2018-03-02 2019-09-05 AcceleRAD Technologies, Inc. Static collimator for reducing spot size of an electron beam

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0366372A1 (de) * 1988-10-25 1990-05-02 X-Ray Technologies Inc. Röntgenröhre mit Mehrfachtarget
DE19633860A1 (de) * 1995-08-18 1997-02-20 Ifg Inst Fuer Geraetebau Gmbh Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung hoher Intensität und unterschiedlicher Energie und Röntgenröhre zur Durchführung des Verfahrens
JP2000306533A (ja) * 1999-02-19 2000-11-02 Toshiba Corp 透過放射型ｘ線管およびその製造方法
WO2001099478A1 (en) * 2000-06-22 2001-12-27 Xrt Limited X-ray micro-target source

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL16507C (de) * 1924-07-23 1927-07-15
DE662408C (de) * 1934-04-14 1938-07-12 Ernst Pohl Roentgenroehre, insbesondere fuer Durchleuchtung und Aufnahme, mit von der Kathode umgebener Kegelanode
GB1249341A (en) * 1968-10-08 1971-10-13 Rigaku Denki Company Ltd Improvements in or relating to x-ray tubes
US3584219A (en) * 1969-01-30 1971-06-08 Du Pont X-ray generator having an anode formed by a solid block with a conical bore closed by a target toil
US3668454A (en) * 1969-08-05 1972-06-06 Rigaku Denki Co Ltd Fine focus x-ray tube
FR2355428A1 (fr) * 1976-06-14 1978-01-13 Elf Aquitaine Dispositif d'irradiation a haut rendement comportant un tube generateur de rayons x avec anode fenetre
FR2386109A1 (fr) * 1977-04-01 1978-10-27 Cgr Mev Tete d'irradiation a rayons g pour une irradiation panoramique et generateur de rayons g comportant une telle tete d'irradiation
FR2514108B1 (fr) 1981-10-06 1986-06-13 Framatome Sa Procede et dispositif d'elimination des boues sur la plaque tubulaire des generateurs de vapeur
DE3139899A1 (de) * 1981-10-07 1983-04-21 Schöfer, Hans, Dipl.-Phys., 8011 Zorneding Roentgenroehre zur erzeugung sehr hoher dosen in kleinen volumen
US4439870A (en) * 1981-12-28 1984-03-27 Bell Telephone Laboratories, Incorporated X-Ray source and method of making same
DK147778C (da) * 1981-12-29 1985-05-20 Andrex Radiation Prod As Roentgenstraalegenerator
US4521902A (en) * 1983-07-05 1985-06-04 Ridge, Inc. Microfocus X-ray system
US4618972A (en) * 1984-09-07 1986-10-21 At&T Bell Laboratories X-ray source comprising double-angle conical target
FR2600422B1 (fr) * 1986-05-29 1989-10-13 Instruments Sa Appareil et procede d'analyses chimiques locales a la surface de materiaux solides par spectroscopie de photo-electrons x
NL8603264A (nl) * 1986-12-23 1988-07-18 Philips Nv Roentgenbuis met een ringvormig focus.
DE3716618A1 (de) * 1987-05-18 1988-12-08 Philips Patentverwaltung Strahlenquelle zur erzeugung einer im wesentlichen monochromatischen roentgenstrahlung
US4825454A (en) * 1987-12-28 1989-04-25 American Science And Engineering, Inc. Tomographic imaging with concentric conical collimator
US5422926A (en) * 1990-09-05 1995-06-06 Photoelectron Corporation X-ray source with shaped radiation pattern
JPH0982252A (ja) * 1995-09-07 1997-03-28 Toshiba Corp 分析用ｘ線管
US5729583A (en) * 1995-09-29 1998-03-17 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Miniature x-ray source
DE19544203A1 (de) * 1995-11-28 1997-06-05 Philips Patentverwaltung Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokusröntgenröhre
DE19639243C2 (de) * 1996-09-24 1998-07-02 Siemens Ag Multi-, insbesondere dichromatische Röntgenquelle
US6075839A (en) * 1997-09-02 2000-06-13 Varian Medical Systems, Inc. Air cooled end-window metal-ceramic X-ray tube for lower power XRF applications
JP4334639B2 (ja) * 1998-07-30 2009-09-30 浜松ホトニクス株式会社 Ｘ線管
GB9906886D0 (en) * 1999-03-26 1999-05-19 Bede Scient Instr Ltd Method and apparatus for prolonging the life of an X-ray target
US6195411B1 (en) * 1999-05-13 2001-02-27 Photoelectron Corporation Miniature x-ray source with flexible probe
JP2002253687A (ja) * 2001-03-02 2002-09-10 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 放射線医療装置
US6661876B2 (en) * 2001-07-30 2003-12-09 Moxtek, Inc. Mobile miniature X-ray source

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0366372A1 (de) * 1988-10-25 1990-05-02 X-Ray Technologies Inc. Röntgenröhre mit Mehrfachtarget
DE19633860A1 (de) * 1995-08-18 1997-02-20 Ifg Inst Fuer Geraetebau Gmbh Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung hoher Intensität und unterschiedlicher Energie und Röntgenröhre zur Durchführung des Verfahrens
JP2000306533A (ja) * 1999-02-19 2000-11-02 Toshiba Corp 透過放射型ｘ線管およびその製造方法
WO2001099478A1 (en) * 2000-06-22 2001-12-27 Xrt Limited X-ray micro-target source

Also Published As

Publication number Publication date
DE50301406D1 (de) 2006-03-02
US7050543B2 (en) 2006-05-23
ATE307386T1 (de) 2005-11-15
DE10251635A1 (de) 2004-05-27
EP1418610A1 (de) 2004-05-12
DK1418610T3 (da) 2006-03-06
US20040091081A1 (en) 2004-05-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102006062452B4 (de) Röntgenröhre und Verfahren zur Prüfung eines Targets einer Röntgenröhre
EP0150364B1 (de) Röntgendiagnostikeinrichtung mit einer Röntgenröhre
DE3689231T2 (de) Röntgenstrahlquelle.
DE19544203A1 (de) Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokusröntgenröhre
WO2009138134A1 (de) Teilchenstrahlgerät mit einer reinigungsvorrichtung
EP1418610B1 (de) Mikrofocus-Röntgenröhre
DE2608418A1 (de) Zahnaerztliche roentgendiagnostikeinrichtung
DE2420275B2 (de) Vorrichtung zum Analysieren einer Oberflächenschicht durch Ionenzerstreuung
EP3539137A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur erfassung und/oder untersuchung eines abtrages an einer oberfläche eines zylindrischen bauteiles
EP0578664B1 (de) Einrichtung zur röntgenbestrahlung von objekten
DE102012103974A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung zumindest eines Röntgenstrahlen abgebenden Brennflecks
DE102009051374A1 (de) Vorrichtung zum Refelektieren beschleunigter Elektronen
EP1100092B1 (de) Vorrichtung zur Führung von Röntgenstrahlen
DE3236109A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der orientierung eines kristalls
EP0368032A1 (de) Verfahren zur Prüfung der Toleranzen von Bohrungen
DE20217101U1 (de) Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokus-Röntgenröhre
DE102007045798B4 (de) Anordnung und Verfahren zur Aufnahme von Röntgenstrahlen-Streuungsbildern
DE112020006608B4 (de) Ladungsteilchenkanone, ladungsteilchenstrahlsystem und arretierungsmutter
DE102005039642B3 (de) Kollimatorensystem für eine Röntgendiffraktometrie, Röntgenbeugungsscanner sowie Verfahren zur Durchführung einer Röntgenbeugungsanalyse
DE2803149C2 (de) Verfahren zum Ausmessen von Härteprüfeindrücken in Materialoberflächen sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE19804298B4 (de) Verfahren zur Ultraschallprüfung mit Echostart und Vorrichtung hierfür
EP2102883A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur ermittlung der ausdehnung des querschnitts eines elektronenstrahles
DE102008042179B9 (de) Verfahren zur Analyse einer Probe
DE102019124334A1 (de) Bondanordnung und Bondwerkzeug
DE2003753C (de) Blendenanordnung zur Begrenzung eines Rontgenstrahlenbundels

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL LT LV MK

17P Request for examination filed

Effective date: 20040423

17Q First examination report despatched

Effective date: 20040617

AKX Designation fees paid

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

RIC1 Information provided on ipc code assigned before grant

Ipc: 7H 01J 35/32 B

Ipc: 7H 01J 35/14 B

Ipc: 7H 01J 35/08 A

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: FEINFOCUS GMBH

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20051019

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20051019

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20051019

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20051019

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20051019

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20051019

Ref country code: TR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20051019

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20051024

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20051024

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20051031

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: GERMAN

RIN2 Information on inventor provided after grant (corrected)

Inventor name: REINHOLD, ALFRED

Inventor name: FRANK, UDO EMIL, DR.

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20051219

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20060119

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20060119

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20060130

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: NV

Representative=s name: PATENTANWALTSBUERO JEAN HUNZIKER

REG Reference to a national code

Ref country code: SE

Ref legal event code: TRGR

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 20060123

REF Corresponds to:

Ref document number: 50301406

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20060302

Kind code of ref document: P

REG Reference to a national code

Ref country code: DK

Ref legal event code: T3

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20060320

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: HU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20060420

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FD4D

ET Fr: translation filed
RAP2 Party data changed (patent owner data changed or rights of a patent transferred)

Owner name: COMET GMBH

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20060720

NLT2 Nl: modifications (of names), taken from the european patent patent bulletin

Owner name: COMET GMBH

Effective date: 20060823

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PFA

Owner name: FEINFOCUS GMBH

Free format text: FEINFOCUS GMBH#IM BAHLBRINK 11-13#30827 GARBSEN (DE) -TRANSFER TO- FEINFOCUS GMBH#IM BAHLBRINK 11-13#30827 GARBSEN (DE)

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: CD

BECN Be: change of holder's name

Owner name: *COMET G.M.B.H.

Effective date: 20051019

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PK

Free format text: BEI DER FIRMENAENDERUNG VOM 17.11.2006 WURDE DER NEUE INHABER NICHT GESPEICHERT

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CZ

Payment date: 20071019

Year of fee payment: 5

Ref country code: DK

Payment date: 20071025

Year of fee payment: 5

Ref country code: NL

Payment date: 20071031

Year of fee payment: 5

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: NV

Representative=s name: DTS ZUERICH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PCAR

Free format text: DTS ZUERICH;RESIRAIN 1;8125 ZOLLIKERBERG (CH)

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Payment date: 20071026

Year of fee payment: 5

Ref country code: BE

Payment date: 20071122

Year of fee payment: 5

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Payment date: 20080911

Year of fee payment: 6

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20081027

Year of fee payment: 6

BERE Be: lapsed

Owner name: *COMET G.M.B.H.

Effective date: 20081031

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20081021

Year of fee payment: 6

REG Reference to a national code

Ref country code: DK

Ref legal event code: EBP

EUG Se: european patent has lapsed
PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20081024

Year of fee payment: 6

NLV4 Nl: lapsed or anulled due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20090501

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20090501

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CZ

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20081024

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20081031

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20081031

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

Effective date: 20100630

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20081025

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20091102

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20091031

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20091031

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20091024

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20091024

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R081

Ref document number: 50301406

Country of ref document: DE

Owner name: YXLON INTERNATIONAL GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: FEINFOCUS GMBH, 30827 GARBSEN, DE

Effective date: 20110210

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R082

Ref document number: 50301406

Country of ref document: DE

Representative=s name: DTS PATENT- UND RECHTSANWAELTE SCHNEKENBUEHL U, DE

Ref country code: DE

Ref legal event code: R081

Ref document number: 50301406

Country of ref document: DE

Owner name: COMET AG, CH

Free format text: FORMER OWNER: YXLON INTERNATIONAL GMBH, 22419 HAMBURG, DE

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20211027

Year of fee payment: 19

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R119

Ref document number: 50301406

Country of ref document: DE

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20230503