DE19633860A1

DE19633860A1 - Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung hoher Intensität und unterschiedlicher Energie und Röntgenröhre zur Durchführung des Verfahrens

Info

Publication number: DE19633860A1
Application number: DE19633860A
Authority: DE
Inventors: Norbert Prof Langhoff; Armin Prof Delong; Juergen Dipl Ing Schmalz
Original assignee: IFG INST fur GERAETEBAU GmbH
Current assignee: IFG INST fur GERAETEBAU GmbH
Priority date: 1995-08-18
Filing date: 1996-08-16
Publication date: 1997-02-20

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung hoher Intensität und unterschiedlicher Energie und durchstimmbare Impuls-Röntgenquellen variabler Energie mit Mikrofokus und integrierter Röntgenoptik.

Die Röntgenröhre zur Erzeugung von Röntgenstrahlung hoher Intensität und unterschiedlicher Energie basiert darauf, daß die von einer Kathode emittierten Elektronen in einem elektrischen Hochspannungsfeld beschleunigt und mit Hilfe eines elektronenoptischen Systems auf eine Drehanode fokusiert werden, wobei der Fokus unterschiedliche Größe haben und auf verschiedene, auch unterbrochene Spuren unterschiedlichen Targetmaterials auf der Drehanode verlagert werden kann, derart, daß in bezug auf die optische Achse einer Röntgenoptik die Brennflecke unterschiedlicher Targetmaterialspuren hinreichend dicht beieinander liegen.

Ebenso ist es möglich, die Drehanode stets so zu verschieben, daß der Brennfleck auf der Drehanode exakt auf der optischen Achse der Röntgenoptik liegt.

Die Erfindung ist anwendbar insbesondere in Geräten für die Stoff- und Strukturanalytik sowie in der Meß- und Medizintechnik.

Als neue Anwendungsfelder werden die Mikroanalyse als Röntgenfluoreszenz-Mikroskopie sowie die Röntgendurch strahlung zur Bilderzeugung mit höchster Auflösung und Mikrotomographie erschlossen.

Eine Röntgenfluoreszenz-Mikroanalyse erfolgt üblicher weise durch Anregung mittels eines Elektronenstrahls in Rasterelektronenmikroskopen, wobei in Folge der Gene rierung intensiver Bremsstrahlung der Spurennachweis eingeschränkt ist sowie die Probenoberflächen leitend und für die Messung im Vakuum präpariert sein müssen.

Die Anregung der Röntgenfluoreszenzstrahlung mittels eines energiereichen Röntgenstrahls mit hoher lateraler Auflösung setzt die Abbildung eines Mikrofokus der Anode auf die Probenoberfläche voraus. Dies wird mit Hilfe einer geeigneten Röntgenoptik realisiert.

Die Bilderzeugung höchster Auflösung im Durchstrah lungsmodus erfordert möglichst kleine Brennflecke. Dies trifft in gleicher Weise auch für die Mikrotomographie zu.

Aus der DE 44 10 757 A1 und der DE 44 10 760 A1 sind Röntgenröhren bekannt, die beispielsweise für medizini sche Zwecke in der Mammographie verwendet werden. Bei diesen Röntgenröhren wird allerdings ein Brennfleck er zeugt, dessen Größe für den hier vorgesehenen Anwen dungszweck nicht ausreichend und eine Impulserzeugung nicht möglich ist.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung hoher Intensität und unterschiedlicher Energie zu schaffen, mit welchem ein kleiner Brennfleck mit geringen Verlusten einfach und reproduzierbar erzeugt und übertragen werden kann sowie eine Röntgenröhre zur Durchführung des Verfahrens anzugeben, welche vielfäl tig anwendbar und wirtschaftlich herstellbar ist und Röntgenstrahlung hoher Intensität sowie variabler Energie bzw. Wellenlänge zur Verfügung stellt und die Untersuchung dynamischer Prozesse ermöglicht.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale im kennzeichnenden Teil der Patentansprüche 1 und 10 in Verbindung mit den Merkmalen in den jewei ligen Oberbegriffen.

Ein besonderer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß die Erzeugung einer intensiven Röntgenstrahlung mit variabler Energie mit einfachen Mitteln dadurch realisiert wird, daß die Röntgenstrahlung durch eine Glaskapillaroptik fokussiert wird und der Brennfleck auf der Drehanode exakt auf der optischen Achse der Glaskapillaroptik positioniert und gehalten wird.

Für die Erzeugung eines sehr kleinen Brennfleckes auf der Anode wird ein einfaches elektronenoptisches System, wie beispielsweise aus der Elektronenmikrosko pie bekannt, verwendet. Das System ist so gestaltet, daß eine Brennfleckverlagerung auf der Anode definiert vorgenommen werden kann.

Eine effektive technische Lösung ist nur erreichbar durch die Kopplung eines elektronenoptischen Systems mit einer Drehanodeneinrichtung, einer abbildenden Röntgenoptik sowie einer Steuer- und Regeleinrichtung, die dafür Sorge trägt, daß der Brennfleck auf der Dre hanode exakt auf der optischen Achse der Röntgenoptik liegt.

Die Steuer- und Regeleinrichtung besteht aus einem De tektor für die von der Drehanode emittierte und der Röntgenkapillaroptik übertragene Röntgenstrahlung, elektronischen Baugruppen sowie einer Korrekturspule, mit der die Lage des Elektronenstrahls auf der Dre hanode in kleinen Flächenbereichen beeinflußt werden kann.

Um eine möglichst hohe spezifische Flächenhelligkeit zu erzielen, wird in einer ersten Ausführungsvariante der tatsächliche Brennfleck optisch verkleinert, indem der Röntgenstrahl unter einem flachen Winkel zur Anode ab gestrahlt wird. Wird beispielsweise ein Abstrahlwinkel von 6° gewählt, so wird eine optische Verkleinerung auf 1/10 erreicht. Dies hat den weiteren Vorteil, daß bei einer Verlagerung des Brennfleckes auf verschiedene Spuren die Brennflecke in bezug auf die Achse der Rönt genoptik im wesentlichen auf einer Geraden liegen.

Da die Einfangfläche der Röntgenoptik möglichst nah am Brennfleck positioniert sein sollte, wird diese in das Röntgengehäuse integriert und das Austrittsfenster z. B. Berylliumfolie erst am Ausgang der Optik angeordnet. Die Röntgenoptiken sind so gestaltet, daß sie eine Ab bildung des Anodenfokus auf die Oberfläche der Probe in einem gewünschten Abstand ermöglichen oder einen quasi parallelen Strahl mit variablen Durchmesser und kon stanter Intensitätsverteilung im Strahlquerschnitt zu erreichen gestatten. Die vorgesehenen Röntgenoptiken lassen auch eine Chromatisierung im Sinne eines Ener giefilters zu.

Der auftretende spezifische Wärmeeintrag durch die hohe Energiedichte bei den sehr kleinen Brennfleckabmessun gen würde die thermische Belastung des Anodenmaterials weit übersteigen. Deshalb ist es erforderlich, daß der Brennfleck auf der Anodenoberfläche wandert, was in der Technik der Röntgenröhren mit hoher Leistung in viel fältiger Ausführung durch das Konstruktionsprinzip der Drehanode realisiert wird. Dabei sind in Abhängigkeit von der Röhrenleistung zum Teil sehr aufwendige kon struktive Lösungen erforderlich, um die anfallende Wärme von der Anode abzuleiten.

Für Röntgenröhren kleiner Leistung sind Lösungen mit Drehanode bisher nicht gebräuchlich. Durch die extrem hohe spezifische Wärmebelastung anhand der Brennfleck größe im Mikrometerbereich bietet sich das Drehanoden-Prinzip auch hier an.

Die Erfindung soll nachstehend anhand von teilweise in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert werden.

Es zeigen:

Fig. 1 die schematische Darstellung eines Längsschnit tes durch eine erste Variante einer erfindungs gemäßen Röntgenröhre,

Fig. 2 einen Ausschnitt der Drehanode mit Target materialspuren, die von dem Elektronenstrahl getroffen werden, gemäß Fig. 1,

Fig. 3 die stark vergrößerte Darstellung des Teiles der Kathode, an welcher die Elektronenemission erfolgt,

Fig. 4 die schematische Darstellung eines Längs schnittes durch eine zweite Variante einer er findungsgemäßen Röntgenröhre.

Wie in Fig. 1 dargestellt, befindet sich die Kathode 2 der Elektronenquelle und das elektronenoptische System 3 mit Oktupol 4 der Elektronenquelle, die topfförmige Drehanode 5 mit der Rotorwicklung 6 und der außerhalb des Vakuumraumes angebrachte Stator 7 des Drehanoden motors sowie die Röntgenkapillaroptik 9, welche die Röntgenstrahlung zum Strahlenaustrittsfenster 10 führt, in einem Metallgehäuse 1.

Bereits die Elektronenemission an der Kathode 2 soll einen möglichst feinen Elektronenstrahl ermöglichen. Dies geschieht dadurch, daß die Kathode 2 als Strich-Kathode gestaltet ist, so daß die emittierende Fläche und damit der Elektronenstrom erheblich vergrößert wer den kann. Die Kathodengestaltung ist in Fig. 3 darge stellt. Die Strichkathode ist als Vorratskathode mit einer selbstregenerierenden Oberflächenbeschichtung ausgebildet.

Für das den Elektronenstrahl fokusierende elektronen optische System 3 mit Oktupol 4 werden vorzugsweise Permanentmagneten verwendet. Die Verschiebung des Elektronenstrahls erfolgt durch einen elektromagneti schen Oktupol, der außerhalb des Vakuumsystems ange bracht ist.

Über die Kante der Sonde 14 wird der Elektronenstrom positioniert. Damit läßt sich außerdem die Fokussierung nach der Steilheit der Stromänderung beurteilen.

Der Elektronenstrahl erzeugt beim Auftreffen auf die abgeschrägte Stirnfläche 5b der Drehanode 5 innerhalb eines Brennfleckes in Form eines Rechteckes mit dem Seitenverhältnis Länge : Breite von etwa 10 : 1 Rönt genstrahlung. Bei einem Abstrahlwinkel von 6° in Rich tung der Röntgenkapillaroptik 9 und des Strahlen austrittsfensters 10 erfolgt eine weitere optische Ver kleinerung des Strahlquerschnittes mit dem Seitenver hältnis 1 : 1 bei etwa der gleichen Energieausbeute.

Die an der Anodenoberfläche auf der Spur des Brenn fleckes entstehende Wärme soll im Anodenkörper gut wei tergeleitet werden und die Wärmeableitung von der Dre hanode 5 soll durch Wärmestrahlung zu dem durch äußere Kühlung auf einem niederen Temperaturniveau gehaltenen Röhrengehäuse 1 erfolgen. Dazu wird eine relativ große Strahlungsfläche durch geometrische Konstruktionsmaß nahmen und eine entsprechende Oberflächenstrukturierung realisiert, indem die Drehanode 5 als kompakter Körper ausgeführt ist, der durch seine topfförmige Gestalt eine relativ große Oberfläche aufweist. Zudem kann die Oberfläche strukturiert oder mit einer tiefschwarzen Substanz mit hohem Abstrahlungskoeffizienten belegt werden.

Innerhalb der topfförmigen Drehanode 5 ist die Rotor wicklung 6 als Kurzschlußwicklung des Drehanodenantrie bes angeordnet. Der außerhalb des Vakuumraumes angeord nete Stator 7 hat die Form einer Hülse und ragt in den Hohlraum zwischen der Drehanode 5 mit der Rotorwicklung 6 und eines zylindrischen Gehäuseteils für die Lagerung der Drehanode 5. Die Wand des Vakuumraumes, die sich zwischen Stator 7 und Rotor 6 befindet, besteht aus unmagnetischem Material geringer elektrischer Leit fähigkeit. Für die Lagerung der Drehanode 5 werden Ku gellager 8 verwendet, welche für die Anwendung im Va kuum geeignet sind. Der relativ große Abstand der Ku gellager 8 gewährleistet den genauen Rundlauf der Dre hanode 5.

Die bei der Erzeugung der Röntgenstrahlung wirksame ab geschrägte Stirnfläche 5b der Drehanode 5 ist als eine um 6° geneigte Fase zur geschlossenen Stirnfläche des topfförmigen Teils mit der Schräge am Umfang ausge führt. Auf dieser geneigten Kreisringfläche sind meh rere Targetmaterialspuren 15 verschiedener Targetmate rialien auf einem geeigneten Trägerwerkstoff, z. B. Graphit, der mit dem Grundwerkstoff der Drehanode 5, die vorzugsweise aus Kupfer besteht, gut wärmeleitend und mechanisch sehr fest verbunden ist, durch geeignete Verfahren, wie z. B. durch Aufdampfen, aufgebracht. Diese Targetmaterialspuren 15 weisen Unterbrechungen 13 auf, wie in Fig. 2 dargestellt, so daß die charakteri stische Röntgenstrahlung in Impulsen erzeugt wird. Die Breite des aufgebrachten Anodenmaterials sowie der Ab stand zwischen den Targetmaterialspuren 15 ist größer als die Länge L des Strich-Fokuses. Die Unterbrechungen 13 in den Targetmaterialspuren 15 können Vertiefungen und/oder Erhöhungen und/oder Öffnungen sein.

Die Form des Brennfleckes kann so gewählt werden, daß mehrere Targetmaterialspuren 15 auf der Drehanode 5 an geregt werden.

Der die Röntgenstrahlung anregende Elektronenstrahl der vorgeschlagenen Form wird durch den elektromagnetischen Oktupol auf das jeweilige Targetmaterial abgelenkt und stabil in dieser Lage gehalten. Die Ablenkung des anregenden Strahles liegt in der Größenordnung von einigen 1/10 Millimetern. Durch die Neigung der Anoden fläche um 6° entsteht dabei eine nur geringfügige Ver schiebung in der Größe von 1/10 der Ablenkung des anre genden Strahles der Achse in Abnahmerichtung der Rönt genstrahlung.

Dicht über der wirksamen Anodenfläche ist eine Röntgen kapillaroptik 9 mit polykapillarer Struktur angeordnet, deren im Gesamtdurchmesser eine geringe Verschiebung der Abnahmeachse in Richtung des Strahlenaustrittsfen sters 10, welches vorzugsweise aus Beryllium besteht, zuläßt. Die Konstruktion der Aufnahme der Röntgenkapil laroptik 9 gewährleistet die genaue Positionierbarkeit zur Drehanode 5.

Bei der Anwendung der Röntgenröhre in der Röntgenfluo reszenzanalyse ist zu beachten, daß die Leistungsfähig keit der Detektoren hinsichtlich der verarbeitbaren Strahlungsimpulse begrenzt ist, so daß etwa während der Hälfte der Meßzeit der Detektor blockiert ist, dieser also eine sogenannte Totzeit aufweist, und die auftref fende Strahlung nicht registriert wird. In Kenntnis dieser Tatsache ist es möglich, während dieser Totzeit die Erzeugung von Röntgenstrahlung innerhalb der Rönt genröhre abzuschalten bzw. zu drosseln. Damit kann die Verlustenergie und somit die thermische Belastung der Anode vermindert werden. Der Anodenstrom wird in syn chronen Takten mit der Totzeit des Detektors abgeschal tet bzw. abgelenkt.

Für die Anwendung der Röntgenröhre in der Röntgenfluo reszenz-Analytik besteht die Möglichkeit, die Probe mit mehreren charakteristischen Strahlungen zu untersuchen. Realisiert werden kann das dadurch, daß die Drehanode 5 mit Segmenten der Kombination unterschiedlicher Target materialien bestückt wird. Die Bestückung mit unter schiedlichen Targetmaterialien ist sowohl in einer Spur als auch in mehreren Spuren möglich.

Die in Fig. 4 dargestellte zweite Variante einer Mikro fokusröntgenröhre unterscheidet sich von der in Fig. 1 dargestellten ersten Variante insbesondere dadurch, daß die Drehanode 5 hier vollständig zylindrisch ausgebil det ist und die Targetmaterialspuren 15 nebeneinander auf der Mantelfläche 5a angeordnet sind.

Die Drehanode 5 ist innerhalb des Vakuumsystems axial verschiebbar, wodurch der Brennfleck auf der jeweiligen Targetmaterialspur 15 stets auf der optischen Achse der festangeordneten Röntgenkapillaroptik 9 positioniert werden kann.

Diese Positionierung erfolgt in diesem Ausführungsbei spiel durch einen elektromagnetischen Anoden-Verstel lantrieb 12, welcher mit der Steuer- und Regelein richtung 11 verbunden ist.

Die Steuer- und Regeleinrichtung 11 besteht aus einem Detektor für die von der Drehanode 5 emittierte und der Röntgenkapillaroptik 9 übertragene Röntgenstrahlung, elektronischen Baugruppen sowie gegebenenfalls zusätzlich einer Korrekturspule, mit der die Lage des Elektronenstrahls auf der Drehanode 5 in kleinen Flächenbereichen beeinflußt werden kann.

Die Drehanode 5 ist bei dieser Ausführungsvariante um ca. 6° zur Achse der Röntgenkapillaroptik 9 bzw. um ca. 84° zum Elektronenstrahl geneigt.

Die Erfindung ist nicht auf die hier beschriebenen Aus führungsbeispiele beschränkt. Vielmehr ist es möglich, durch Kombination der aufgezeigten Mittel und Merkmale weitere Ausführungsvarianten zu realisieren, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.

Bezugszeichenliste

1 Metallgehäuse
2 Kathode
3 elektronenoptisches System
4 Oktupol
5 Drehanode
5a Mantelfläche
5b abgeschrägte Stirnfläche
6 Rotorwicklung
7 Stator
8 Kugellager
9 Röntgenkapillaroptik
10 Strahlenaustrittsfenster
11 Steuer- und Regeleinheit
12 Anoden-Verstellantrieb
13 Unterbrechungen
14 Sonde
15 Targetmaterialspur

Claims

1. Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung hoher Intensität und unterschiedlicher Energie, wobei die von einer Kathode emittierten Elektronen beschleunigt und auf eine Drehanode gelenkt werden und dort Röntgenstrahlen initiieren, dadurch gekennzeichnet, daß die Röntgenstrahlung durch eine Glaskapillaroptik fokussiert wird und der Brennfleck auf der Drehanode exakt auf der optischen Achse der Glaskapillaroptik positioniert und gehalten wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das auf der Drehanode befindliche Targetmaterial in zeitlich und geometrisch definierten Abständen in den Wirkungsbereich des Elektronenstrahles eingebracht wird.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die definierten Zeitabstände durch Unterbre chungen im Targetmaterial, welches im Wirkungs bereich des Elektronenstrahles bewegt wird, erzeugt werden.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegung eine Rotation ist und das kreis förmig in einer oder in mehreren unterbrochenen Spuren aufgebrachte Targetmaterial in Abhängigkeit der Rotationsgeschwindigkeit und der geometrischen Abmessungen des Targetmaterials und der Unter brechungen die Impulsbreite- und Impulsfolge frequenz der Röntgenstrahlung bestimmt.

5. Verfahren nach mindestens einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die verschiedenen Spuren aus unterschiedlichen Targetmaterialien bestehen und/oder jede einzelne Spur Segmente verschiedener Targetmaterialien auf weist.

6. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Anwendung in der Röntgenfluoreszenz-Mikroskopie die Impulsfolge mit der Bewegung des Objektes synchronisiert bzw. koordiniert wird.

7. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Anwendung in der Röntgenfluoreszenz-Mikroanalyse die Impulsfolge mit der Totzeit des Detektors synchronisiert bzw. koordiniert wird.

8. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Größe des Fokus einstellbar ist und auf verschiedene Targetmaterialspuren aus unterschied lichen Targetmaterialien verlagert werden kann, derart, daß in bezug auf die optische Achse einer Röntgenoptik die Brennflecke unterschiedlicher Targetmaterialspuren hinreichend dicht beieinander liegen.

9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Wechsel der Strahlungscharakteristik die Drehanode axial verschoben wird derart, daß der Brennfleck auf der Drehanode stets exakt auf der optischen Achse der Glaskapillaroptik liegt.

10. Röntgenröhre zur Erzeugung von Röntgenstrahlung, wobei die von einer Kathode emittierten Elektronen in einem elektrischen Hochspannungsfeld beschleunigt, mit Hilfe eines elektronenoptischen Systems auf einer Drehanode mit mindestens einer Targetmaterialspur fokusiert werden und die ent stehende Röntgenstrahlung durch ein Strahlen austrittsfenster abgestrahlt wird, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb eines gemeinsamen Vakuumsystemes zwi schen der wirksamen Fläche der Drehanode (5) und dem Strahlenaustrittsfenster (10) eine Röntgenka pillaroptik (9) und außerhalb der Röntgenröhre eine Steuer- und Regeleinrichtung (11) angeordnet ist, welche den Brennfleck auf der Drehanode (5) exakt auf der optischen Achse der Röntgenoptik (9) positioniert.

11. Röntgenröhre nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehanode (5) eine zylindrische Form aufweist und auf der Mantelfläche (5a) Targetmaterialspuren (15) angeordnet sind.

12. Röntgenröhre nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehanode (5) topfförmig ausgebildet ist und die Targetmaterialspuren (15) auf der abgeschrägten Stirnfläche (5b) der Drehanode (5) angeordnet sind.

13. Röntgenröhre nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb der Drehanode (5) ein ringförmiger Rotor (6) innerhalb des Vakuumsystems und damit zusammenwirkend ein Stator (7) außerhalb des Vakuumsystems angeordnet ist.

14. Röntgenröhre nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß mit der Steuer- und Regeleinrichtung (11) die Größe des Fokus der Kathode (2) der Elektronen quelle über ein elektronenoptisches System (3, 4) eingestellt werden kann, derart, daß in bezug auf die optische Achse der Röntgenoptik (9) die Brenn flecke unterschiedlicher Targetmaterialspuren (15) hinreichend dicht beieinander liegen.

15. Röntgenröhre nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehanode (5) innerhalb des Vakuumsystems axial verschiebbar ausgebildet ist derart, daß der Brennfleck auf der Drehanode (5) stets exakt auf der optischen Achse der Röntgenoptik (9) positionierbar ist.

16. Röntgenröhre nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebung der Drehanode (5) durch einen elektromechanischen Anoden-Verstellantrieb (12) realisiert wird.

17. Röntgenröhre nach mindestens einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Achse der Drehanode (5) um ca. 6° zur Achse der Röntgenoptik (9) bzw. ca. 84° zum Elektronenstrahl geneigt ist.

18. Röntgenröhre nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (2) der Elektronenstrahlquelle eine Strich-Kathode ist.

19. Röntgenröhre nach Anspruch 10 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Strich-Katode als Vorratskathode mit einer selbstregenerierenden Oberflächenbeschichtung aus gebildet ist.

20. Röntgenröhre nach Anspruch 10 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der Targetmaterialspuren (15) und der Abstand zwischen ihnen größer ist als die Länge L des Strichfokusses.

21. Röntgenröhre nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterbrechungen (13) in den Targetmaterial spuren (15) Vertiefungen und/oder Erhöhungen und/oder Öffnungen sind.