DE764609C - Mikroskop nach dem Prinzip des Schattenmikroskops - Google Patents

Mikroskop nach dem Prinzip des Schattenmikroskops

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DE764609C
DE764609C DEL97994D DEL0097994D DE764609C DE 764609 C DE764609 C DE 764609C DE L97994 D DEL97994 D DE L97994D DE L0097994 D DEL0097994 D DE L0097994D DE 764609 C DE764609 C DE 764609C
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Germany
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shadow
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Expired
Application number
DEL97994D
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English (en)
Inventor
Walter Dr Phil Henneberg
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AEG AG
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AEG AG
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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/27—Shadow microscopy

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

  • Das Hauptpatent 729 687 betrifft ein hochvergrößerndes Elektronenmikroskop (Übermikroskop) zur Abbildung durchstrahlter Objekte mittels Schattenwurfes, bei dem zur Bestrahlung des Objektes ein Elektronenbündel dient, welches durch einen kurz vor oder hinter der Objektebene liegenden Punkt verläuft. Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf Mikroskope zum Abbilden von Gegenständen mit Hilfe von Licht, Röntgenstrahlen, Elektronen, geladenen oder ungeladenen schweren Teilchen (-Neutronen) nach dem Prinzip dieses Schattenmikroskops.
  • Nach der Erfindung soll ein solches Mikroskop zwischen der Auffangfläche des hochvergrößerten Bildes und dem Objekt noch eine zusätzliche mit einer zentralen öffnung v ersehene Auffangfläche zur Beobachtung oder anderweitigen Kontrolle eines Zwischenbildes mäßiger Vergrößerung aufweisen. Dadurch wird die gleichzeitige Beobachtung oder Auswertung eines Bildes von mäßiger und von hoher Vergrößerung möglich. Es ist dabei oft zweckmäßig, die zusätzliche Auffangfläche durchsichtig auszubilden, so daß sie von der Rückseite her der Beobachtung oder sonstigen Auswertung zugänglich ist. -Natürlich befindet sich bei diesem Mikroskop auch die zusätzliche Auffangfläche nicht in der Ebene eines Bildes im optischen Sinne. In weiten Grenzen kann daher die Lage der Auffangfläche verändert werden, es ist aber zu beachten, daß nicht zu große Entfernung vom Objekt einerseits eine nicht zu hohe Vergrößerung, andererseits ein nicht zu kleines Gesichtsfeld des hochvergrößerten Bildes bewirkt. In der Abbildung ist der Aufbau des Mikroskops nach der Erfindung schematisch dargestellt. i ist der Punkt, von dem aus die abbildende Strahlung das Objekt, welches sich auf dem Objektträger 2 befindet. durchsetzt. 3 ist die zusätzliche Auffangfläche nach der Erfindung, :1. die Auffangfläche für das hochvergrößerte Bild. Der Strahlengang ist durch schematisch angedeutet. Er entwirft ein durch die Punkte 6 begrenztes hochvergrößertes Bild in der Auffangfläche .i. ein durch die Punkte ;7 begrenztes Übersichtsbild in der Fläche 3.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. 'Mikroskop zum Abbilden von Gegenständen mit Hilfe von Licht. Röntgenstrahlen, Elektronen, geladenen oder ungeladenen schweren Teilchen (\eutronen), bei dem die abbildende Strahlung durch einen kurz vor oder hinter der Objektebene liegenden Punkt verläuft, nach dem Prinzip des Schattenmikroskops gemäß Patent lag 687, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Auffangfläche (.4) des hochvergrößerten Bildes und dem Objekt eine zusätzliche, mit einer zentralen öffnung versehene Auffangfläche (3) zur Beobachtung oder anderweitigen Kontrolle eines Zwischenbildes mäßiger Vergrößerung angebracht ist.
  2. 2. Mikroskop, nach Anspruch i. dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Auffangfläche (3) durchsichtig ausgebildet ist.
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