DE759441C - Vorrichtung zum Loesen der mit Hilfe geschliffener Dichtungskonusse zusammengesetzten Einzelteile eines Elektronenmikroskops - Google Patents

Vorrichtung zum Loesen der mit Hilfe geschliffener Dichtungskonusse zusammengesetzten Einzelteile eines Elektronenmikroskops

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Publication number
DE759441C
DE759441C DES134563D DES0134563D DE759441C DE 759441 C DE759441 C DE 759441C DE S134563 D DES134563 D DE S134563D DE S0134563 D DES0134563 D DE S0134563D DE 759441 C DE759441 C DE 759441C
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DE
Germany
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cone
screwed
nut
electron microscope
cones
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Expired
Application number
DES134563D
Other languages
English (en)
Inventor
Hans Schuchmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens and Halske AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens and Halske AG
Siemens Corp
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Publication date
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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/147Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H01J37/15External mechanical adjustment of electron or ion optical components

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

Elektronenmikroskope bestehen bekanntlich, aus einer großenAnzahl vonEinzelteilen, die z. B. das Strahlerzeuigungssystem, die Kondensorlinse, die Objektsehlettse, die Vergifößerungslinsen tragen. Diese Einzelteile müssen zu einem druckdicht nach außen abgeschlossenen Gefäß zusammengesetzt werden. Um eine gute Abdichtung 'der Einzelteile gegeneinander ziu erzielen, werden die Teile an den Stellen, wo sie zusammengefügt werden, mit entsprechend ineinanderpassenden geschliffenen Dichtungskonussen versehen. Diese sichern auch bei langen Betriebszeiten eine genügende Dichtigkeit, so daß die Aufrechterhaltuiig des für !den Betrieb des Elektronenmikroskops erforderlichen Vakuums möglich ist. Das gelegentliche zum Auswechseln von Spulen od. dgl. erforderliche Lösen dieser Dichtungskonusse machte bisher große Schwierigkeiten, da diese Konusse insbesondere bei sehr lange dauerndem Betrieb sehr fest aufeinander sitzen. Es besteht daher bei 'den bisherigen Ausführungen die Gefahr, daß die Konusse beim Lösen verletzt werden und' damit die Einzelteile für die weitere Verwendung im Elektronenmikroskop unbrauchbar werden.
Die Erfindung zeigt einen sehr einfachen Weg, wie diese Schwierigkeiten behoben werden können. Ernndungsgemaß dienen zum

Claims (4)

  1. Lösen der Komisse Schraubenmuttern, die beim Zusammensetzen der Einzelteile in ein entsprechend mit Gewinde versehenes Stück eines der zusammenzufügenden Einzelteile eingeschraubt werden und die so ausgebildet sind, daß sie beim Schrauben in einer der Drehrichtungen gegen den anderen jeweils zugeordneten, mit einem Dichtungskonus versehenen Teil des Elektronenmikroskops drücken ίο und1 diesen abheben. Mit diesen Schrauben lassen sich nunmehr in einfacher Weise die Einzelteile leicht und ohne Beschädigung voneinander lösen, da die Schrauben einen allseitigen konzentrischen Druck auf den abzuziehenden Konus ausüben. Man kann die Erfindung in verschiedener Weise praktisch durchbilden, wie aus dem nachfolgend beschriebenen Auisführungsbeispiel hervorgeht, in dem ein aus mehreren mit Dichtungskomissen versehenen Einzelteilen zusammengesetztes Elektronenmikroskop dargestellt ist.
    Fig. ι zeigt einen Querschnitt durch den oberen,
    - Fig. 2 einen Querschnitt durc'h den zugehörigen unteren Teil des Elektronenmikroskops.
    Mit ι (Fig. 1) ist der Halter für das Strahlerzeugungssy stern des Elektronenmikroskops bezeichnet. Dieses besitzt am oberen Teil einen Konus 2, der in einen 'entsprechenden Konus 3 des Isolierkörpers 4 paßt. Zum Lösen dieser beiden Konusse ist eine Mutter 5 vorgesehen, die in das mit entsprechendem Gewinde versehene obere Ende 6 des Halters 1 geschraubt ist. Zum Lösen der Konusse wird die Mutter 5 nach unten geschraubt, wobei sie auf diie obere Kante 7 des Isolierkörpers drückt.
    Der Isolierkörper selbst weist unten einien Dichtungskonus 8. auf, der auf ein entsprechend mit einem Konus 9 versehenes Zwischenstück 10 des Elektronenmikroskops paßt, an welchem Schaugläser 11 und 12 befestigt sind, durch die der Betriebszustand des Stra'hlerzeugungssystems zu beobachten' ist. Zum Lösen der Konusse 8 und 9 ist eine Mutter 13 vorgesehen, die auf ein entsprechendes äußeres Gewinde aufgeschraubt ist. das im oberen Teil des Zwischenstückes 10 vorgesehen ist. Beim Zusammenbauen der Teile 4 und 10 wird die Mutter 13 aufgeschraubt; darauf wird ein Druckring 14 auf die Mutter aufgelegt, und nach dem Zusammensetzen der Konusse 8 und 9 wird der Druckring 14 in dieser Lage durch das bei 15 angedeutete Bindemittel mit dem Körper 4 fest verbunden. Auf diese Weise ist erreicht, daß die zum Lösen der Konusse dienende Mutter 13 sich beim Abziehen des Isolierkörpers ganz gleichmäßig gegen das Druckstück 14 legt und so einen gleichmäßigen konzentrischen Druck auf den; Körper 4 ausübt.
    Mit 16 ist der Teil der Vakuumwand des Elektronenmikroskops bezeichnet, der von der Kondensorspule 17 umgeben ist. Das Stück 16 weist unten einen Konus 18 auf, der in einen entsprechenden Konus 19 des Körpers : der Objektschleuse 20 paßt. Der Konus 18 ! wird mit Hilfe der Druckmutter 21 auf dem
    Konus 19 festgepreßt. Diese Mutter ist in der 1 nus der Figur ersichtlichen Weise in den mit i Innengewinde 22 versehenen oberen Rand des j Teiles 20 eingeschraubt. Diese Druckmutter 21 dient auch dazu, die beiden Konusse im Bedarfsfalle voneinander zu lösen. Zu diesem Zweck ist mit dem Konus 18 eine Mutter 23 verschraubt, die gegen Verdrehung durch eine Halteschraube 24 gesichert ist. Zum j Lösen der Konusse wird die Mutter 21 nach ! oben geschraubt, wobei sie mit ihrem inneren Teil 25 von unten gegen die entsprechend ausgebildete Mutter 23 drückt.
    Mit 26 (Fig. 2) ist der Objektivspulenkörper bezeichnet. Dieser weist am unteren Ende einen Dichtungskonus 2"j auf, der in den Dichtungskonus 28 des darunter befindlichen Teiles 29 der Vakuumwand paßt. Zum Lösen der Konusse 27 und 28 dient die Mutter 30, die vor dem Zusammenfügen auf das Gewinde 31 des Objektivspulenkörpers 26 geschraubt ist. Zum Lösen der Konusse wird die Mutter 30 nach unten geschraubt, wobei sie gegen den oberen Rand 32 des Konus 28 drückt. Mit 33 und! 34 sind im Teil 29 eingesetzte Schaugläser bezeichnet, durch die ein von dier Projektionsspule erzeugtes Zwischenbild vom stehenden Beobachter direkt und vom sitzenden Beobachter indirekt über ein Prisma 35 betrachtet werden kann. Mit 36 ist der Körper der Projektionsspule bezeichnet. Dieser weist einen Dichtungskonus 37 auf, der in einem entsprechenden Dichtungskonus 38 des Teiles 29 paßt. Zum Lösen dieser beiden Konusse dient die Mutter 39, die, nach oben geschraubt, gegen den Rand 40 drückt und; so die Konusse löst.
    In ähnlicher Weise wird der untere Konus 41 des Projektionsspulenkörpers 36 vom Konus 42 mit Hilfe der Mutter 43 gelöst, Der Konus 42 befindet sich an dem mit Schaugläsern 44 versehenen unteren Teil 45 des Elektronenmikroskops, der auf dem zur Aufnahme des Fluoreszenzschirmes dienenden Teil 46 festgeschraubt ist.
    Pate χ ta nsprüche: I. Vorrichtung zum Lösen der mit Hilfe geschliffener Dichtungskonusse zusammengesetzten Einzelteile eines Elektronenmikroskops, dadurch gekennzeichnet, daß Schraubenmuttern vorge-
    'sahen' sind, die beim Zusammensetzen der Einzelteile in ein entsprechend mit Gewinde versehenes Stück eines 'der zusammenzufügenden Einzelteile eingeschraubt werden und die so ausgebildet sind, daß sie beim Schrauben in einer der Drehrichtungen gegen den anderen jeweils zugeordneten, mit einem Dichtungskonus versehenen Teil drücken und diesen abheben.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch, i, 'dadurch gekennzeichnet, daß eine in einem Teil des Elektronenmikroskops verschraubte, zum Festpiessen zweier Dichtungskonusse' vorgesehene Mutter auch zum Lösen der Konusse verwendet wird und daß 'als Gegendruckkörper eine zweite mit dem anderen Teil des Elektronenmikroskops verschraubte Mutter oder ein festgeschraubter Ring vorgesehen ist.
  3. 3» Vorrichtung zum Lösen eines aus Porzellan od. dgl. bestehenden, mit einem Konus versehenen Teiles eines Elektronenmikroskops, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem aus Porzellan bestehenden Teil ein Druckring fest verbunden wird1, gegen den sich die auf dem Gegenstück aufgeschraubte Druckmuttsr anlegt.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Druckring beim Einbau des aus Porzellan bestehenden Teiles des Elektronenmikroskops· zunächst lose auf die schon auf das Gegenstück aufgeschraubte Druckmutter gekgt wird und daß dann nach dem Einbau des zuerst genannten Teiles des Elektronenmikroskops der Druckring mit diesem fest verbunden wird1..
    Zur Abgrenzung des Erfindungsgiegenstandls vom Stand der Technik ist im Erteilungsverfahren folgende Druckschrift in Betracht gezogen worden:
    Hütte, 26. Aufl., Bd. 2, 1931, S. 10.
    Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
    ©5764 2.54
DES134563D 1938-11-11 1938-11-12 Vorrichtung zum Loesen der mit Hilfe geschliffener Dichtungskonusse zusammengesetzten Einzelteile eines Elektronenmikroskops Expired DE759441C (de)

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