DE738309C - Mittels Glimmentladung beheizter Vakuumofen - Google Patents

Mittels Glimmentladung beheizter Vakuumofen

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DE738309C
DE738309C DEB190142D DEB0190142D DE738309C DE 738309 C DE738309 C DE 738309C DE B190142 D DEB190142 D DE B190142D DE B0190142 D DEB0190142 D DE B0190142D DE 738309 C DE738309 C DE 738309C
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glow discharge
furnace
vacuum furnace
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furnace heated
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Application number
DEB190142D
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English (en)
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Wilhelm Burkhardt
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018Glow discharge

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Description

  • Mittels Glimmentladung beheizter Vakuumofen Es sind bereits mittels Glimmentladung beheizte Vakuumöfen bekanntgeworden. Die . Erfindung betrifft einen mittels Glimmentladung beheizten Vakuumofen, insbesondere Glüh- und Schmelzofen, der dadurch gekennzeichnet ist, daß die Wandung und das Glühgut als gleichnamige Elektroden, z. B. als Kathoden, geschaltet sind und daß durch die Wandung eine, zwei oder mehr isolierte und abgeschirmte Gegenelektroden, z. B. Anoden, eingeführt sind. Durch diese Maßnahme wird durch die gegenseitige Beeinflussung der Raumladungsfelder der Vorteil erreicht, daß der Ofen mit kleinerer Spannung und höherem Strom betrieben werden kann.
  • Beim Betrieb mit Wechselstrom wird der Mittelabgriff bzw. Nullpunkt des Transformators an das Glühgut und die Ofenwandung und die freien Enden des Transformators über einen Schutzwiderstand oder Stabilisierungswiderstand an die durch die Wandung eingeführten Elektroden gelegt, deren Zahl der Phasenzahl entspricht. Der Stabilisierungswiderstand wird jedoch zweckmäßig in den Nulleiter zum Transformator gelegt.
  • In der Zeichnung ist die Erfindung an einemAusführungsbeispiel schematisch näher erläutert, und zwar zeigt die Abbildung einen Schnitt durch einen mit Gleichstrom bzw. Zweiphasenwechselstrom betriebenen, mittels Glimmentladung beheizten Vakuumglüh- und -schmelzofen.
  • Das Glühgut i ruht auf einer metallischen Unterlage 2, die mit der Wandung des Ofens in leitender Verbindung steht. Der Ofen hat einen metallischen Unterteil 3 und einen abnehmbaren, vakuumdicht aufgesetzten metallischen Oberteil q.. Der Unterteil ist mit zwei Mänteln 5 und 6 und der Oberteil mit zwei Mänteln 7 und 8 versehen. Die mit dem Ofenraum in Verbindung stehenden Zwischenräume 22 und -23 sowie 2o und 21 zwischen der Ofenwand und den Mänteln bzw. zwischen den Mänteln sind dabei so eng gewählt, daß sich in ihnen keine Glimmentladung ausbilden kann. Die Teile 24 und 25 stellen Kühlmäntel dar. Durch den Stutzen 9 kann ein Füllgas in geregelter Menge zugeführt werden zur Aufrechterhaltung des gewünschten Unterdruckes von etwa 5 bis o,ooi mmHg im Ofen. An den Stutzen io wird eine Vakuumpumpe angeschlossen. Die Teilei i und 12 stellen zwei Gegenelektroden, z. B. Anoden, dar, die isoliert und abgeschirmt in die Ofenkammer eingeführt sind. Die Leitungen 14. und 15 führen zur Kathode einer Gleichstromquelle bzw. zu dem Sternpunkt 16 eines Transformators 13 über einen regelbaren Widerstand 26. Die Gegenelektroden i i und 12 sind mit dem positiven Pol einer Gleichstromquelle bzw. mit den freien Enden eines Transformators verbunden. Bei Betrieb mit Gleichstrom bildet sich um das -Glühgut der Glimmsaum 17 und um die Ofenwandung der Glimmsaum 18 aus, während zwischen beiden die positive Säule i9 liegt.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Mittes Glimmentladung beheizter Vakuumofen, insbesondere Glüh- und Schmelzofen, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandung und das Glühgut als gleichnamige Elektroden, z. B. als Kathoden, geschaltet sind und daß durch die Wandung eine, zwei oder mehrere isolierte und abgeschirmte Gegenelektroden, z. B. Anoden, eingeführt sind.
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