DE716721C - Geraet zur Bestimmung von Gasdruecken - Google Patents

Geraet zur Bestimmung von Gasdruecken

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DE716721C
DE716721C DEN39498D DEN0039498D DE716721C DE 716721 C DE716721 C DE 716721C DE N39498 D DEN39498 D DE N39498D DE N0039498 D DEN0039498 D DE N0039498D DE 716721 C DE716721 C DE 716721C
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DE
Germany
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glow discharge
cathode
current
gas
anode
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DEN39498D
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Dr Frans Michel Penning
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Philips Intellectual Property and Standards GmbH
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Philips Patentverwaltung GmbH
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/02Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
    • H01J41/06Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of cold cathodes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L21/00Vacuum gauges

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

  • Gerät zur Bestimmung von Gasdrücken Es ist bekannt, daß niedrige Gasdrücke nicht mit so einfachen Apparaten gemessen werden können wie höhere Drücke. Einer der bekanntesten Apparate zum Messen von niedrigen Gasdfücken ist der MacLeod-Manometer, der jedoch verschiedene Nachteile aufweist. Will man mit Hilfe dieses Manometers einen Druck messen, dann braucht der Apparat eine gewisse Einstellzeit. Auch ist es mit diesem Apparat nicht möglich, den Verlauf eines sich ändernden Druckes ständig zu verfolgen. Überdies- ist der Mac Leod-Manometer für sehr niedrige Drücke ziemlich ungenau: Weiter mißt dieser Manometer nicht den Druck kondensierbarer Dämpfe, z. B. Wasserdampf, und es muß zwischen dem Manometer und dem Gefäß, dessen Gasdrudk zu messen ist, ein Kühler mit flüssiger Luft eingeschaltet werden, da sonst Quecksilberdampf aus dran Manometer in das Gefäß übertritt-Man kennt auch andere Apparate zur Bestimmung von niedrigen Gasdrücken, unter anderem den Ionisationsmanometer. Das Arbeiten mit diesen Apparaten ist jedoch umständlich und zeitraubend, -und diese Apparate sind verwickelt und teuer.
  • Es ist weiter bekannt, Gasdrucke zu messen unter Zuhilfenahme des Stromes einer in dem Gase, dessen Druck zu bestimmen ist, erzeugten elektrischen Glimmentladung. Die Stärke dieses Glimmentladungsstromes ist nämlich ein Maß für den Gasdruck.
  • Die Erfindung betrifft ein Gerät zur Bestimmung von Gasdrücken mit Hilfe der elektrischen Stromstärke einer solchen Glimmentladung, deren Bahn ein magnetisches Feld durchsetzt; sie bezweckt, dieses Gerät derart auszubilden, daß es geeignet ist, sehr niedrige Gasdrücke, die weit niedriger sein können als o,or mm Quecksilbersäule, in zuverlässiger Weise zu bestimmen.
  • Gemäß der Erfindung weist die Kathode der Glimmentladungsstrecke zwei Teile auf, die derart in bezug auf die Anode und das magnetische Feld angeordnet sind, daß die beiden Kathodenteile durch ein nicht die Anode treffendes Bündel magnetischer Kraftlinien miteinander verbunden sind. Bei dieser Elektrodenkonflguration werden die aus einem der Kathodenteile heraustretenci-n Elektronen durch das Magnetfeld daran gehindert, unmittelbar längs der elektrischen i@raftlinien nach der Anode zu wandern: Unter clcin E influß des Magnetfeldes werden die Elei..tronen gezwungen, in Richtung der magnetischen Kraftlinien zu wandern oder eine schraubenlinienförmige Bewegung um diese magnetischenKraftlinien herum zu vollführen. Kommen die Elektronen in die Nähe (les zweiten Teiles der Kathode, so werden sie in ihrer Bewegung gebremst und zurückgedrängt. d. 1i. sie wandern wieder in der Richtung nach dem ersten Kathodenteil. Die Elektronen «-pnr_lern somit zwischen den Kathodenteilen hin und her, his sie schließlich unter dem Eiti#9uß des elektrischen Feldes nach der Anode lein abweichen. In dieser ;"eise wird der von den Elektron cn durchlaufene Weg sehr stark vergrößert. Hierdurch wird nicht nur die Zündspannung der Entladung stark herabgesetzt, sondern auch die Entladungsstromstärke weitgehend erhöht. Demzufolge können unter Verwendung von "-erhältnismäßig niedrigen Spannungen an der cäliminentladungsstrecke sehr niedrige Gas_ drücke z. B. bis to-' nim Quecksilbersäule geniessen werden.
  • Eine einfache Bauart wird erhalten, wenn die Kathodenteile aus senkrecht zu den magnetischen Kraftlinien angeordneten Platten bestehen und die Anode aus einem das Bündel der die beiden Platten verbindenden Kraftlinien umfassenden Drahtrahmen oder Zviinder besteht.
  • Der Glimmentladungsstrom kann in verschiedener Weise kenntlich gemacht werden. Eine handliche Ausführung wird erhalten, v@ enn inan diesen Strom durch eine den Strom sichtbar machende Glirrinentiadungsröhre führt. Derartige Glimmentladungsröhren können finit einer gestreckten Kathode ver-'elien sein, deren Bedeckung mit Glimmlicht ein Maß für die Stromstärke ist. Die Becleckung der Kathode mit Glimmlicht ist dann ein sichtbares Maß für den Druck des Gases, in dem die dem Einfluß des magnetisclicn Feldes unterworfene Glimmentladung stattfindet. Es hat sich gezeigt, daß in dieser t@'eise sehr geringe Gasdrücke in einfacher und zuverlässiger Weise gemessen werden können. Die Entladungsstromstärke ist bei ki-instanter Spannung und Stärke des manetischen Felds abhängig von der Natur des Gases, dessen Druck zu bestimmen ist. Für j1-des Gas kann man die Beziehung zwischen Druck und Entladungsstromstärke bestimnien und z. B. das Anzeigeröhrchen eichen. in vielen Fällen ist es jedoch nicht nötig, den absolutenWert des Gasdruckes zu bestimmen. s s ondern inan kann sich mit V ergleichsnies#ungen begnügen. Oft ist es nur nötig, den Verlauf des Gasdruckes zu verfolgen. Die Ände-.%-@.ngen der Entladungsstromstärke, die sich #: B. durch Änderung dz#r Ausdehnung der lichtenden Kathodenbedeckung des erwähnten Anzeigerölircliens kenntlich machen lassen. geben einen genauen Eindruck des Druckverlaufs.
  • Durch Änderung der Stärke des magnetischen Feldes kann man verschiedene Meßbereiche des Anzeigeröhrchens erhalten. Dies ist besonders einfach, wenn das magnetische Feld durch eine Spule erzeugt @j-ird.
  • Die Anzeigegliinmentladungsröhre und da: Entladungsgefäß, in dem die Glimmentladung, deren Strom zur Bestimmung des Gasdruckes benutzt wird, stattfindet, sowie die übrigen Teile des Stromkreises dieser Glimmentladung #.verdzn zweckmäßig innerhalb eines geerdeten Gehäuses angeordnet. das derart ausgebildet i: t, daß das Glimmlicht der Anzeigeröhre außerhalb des Gehäuses wahrnehmbar ist.
  • Das Gerät gemäß der Erfindung kann ständig finit einer zur Evakuierung v an Gesäßen, wie Glühlampen und Entladungsröhren benutzten Vakuumpumpe verbunden werden. Diese Vakuumpumpe wird dazu mit einem Gefäß versehen, in dem sich die Elektroden der Glimmentladung befinden. Der zur Erzeugung des magnetischen Feldes dienende Dauermagnet oder die dazu verwendete 1Iagnetspule Werder, vorzugsweise außerhalb dieses Gefäßes angeordnet. Das Gefäß wird zu gleicher Zeit finit den zu evakuierenden Röhren, Lampen oder sonstigen Gefäßen entlüftet.
  • Mit dem erfindungsgemäßen Gerät wird nicht nur der Druck des Gases nachgewiesen. sondern auch der Druck von kondensierbaren Dämpfen, was bei dem Mac Leod-Manometer nicht der Fall ist. Überdies kann das Entladungsgefäß unmittelbar mit dem Gefäß, dessen Druck zu messen ist. verbunden werden, da das Zwischenschalten eines Kühlers mit flüssiger Luft zum Zurückhalten von Quecksilberdampf nicht nötig ist. Der neue Manometer ist von besonderem Interesse für die neueren Diffusionspumpen, die nicht mit Quecksilber, sondern mit organischen Dämpfen arbeiten. Die Verwendung eines Mac Leod-Manometers in Verbindung mit einer solchen Pumpe gibt nämlich dazu Anlaß, daß Quecksilberdampf aus dein Manometer in die Pumpe hinübertritt, was bei diesen neueren Pumpen vermieden werden muß. Diese Gefahr besteht bei Verwendung des erfinlungsgemäßen Manometers nicht.
  • Der Glimmentladungsstrom kann wuch zur Betätigung eines Relais benutzt werden, z. B. in den Fällen, wo der Gasdruck innerhalb eines Gefäßes ständig unterhalb eii:es gewissen Druckes gehalten werden so11. Man kann die Anordnung dann so -wählen, daß, wenn der Gasdruck die zugelassene Höchstgrenze erreicht, der dem Gasdruck entsprechende Entladungsstrom eine Pumpe in Wirkung setzt.
  • Die Fig. i und 2 der Zeichnung stellen beispielsweise ein Gerät gemäß der Erfindung schematisch dar, wöbei Fig. 2 einen Schnitt gemäß der in Fig. i angegebenen Linie II-II zeigt.
  • Diese Vorrichtung enthält ein zylindrisches Glasgefäß i, in dem sich zwei rechteckige parallele Metallplatten 2 und 3 (z. B. aus Nickel bestehend) befinden, die durch den Bügel q. miteinander verbunden sind und durch den mit dem Stromzuführungsdraht 6 in Verbindung stehenden . Stützdraht 5@ getragen werden. Däs Gefäß- i enthält auch den aus einem Metalldraht bestehenden rechteckigen Rahmen 7, der zwischen den Platten 2 und 3 angeordnet ist, aber eine größere Länge und Breite als diese Platten hat. - Dieser Rahmen wird -von dem mit dein Stroinzuführungsdraht 9 verbundenen Stützdraht 8 getragen.
  • Außerhalb des Gefäßes r befindet sich ein Dauermagnet io, der so angeordnet ist, daß eine große Anzahl magnetischer Kraftlinien durch die beiden Platten 2 und 3 geht. Der Rahmen 7 befindet sich außerhalb des Bündels der die beiden Platten durchsetzenden magnetischen Kraftlinien und umfaßt dieses Bündel.
  • Der Stroinzuführungsdraht 6 ist Über.einen.-hohen Widerstand i i an die negative Klemme der Gleichstromquelle i2 angeschlossen, während der Stromzuführungsdraht g init der Kathode 13 eines Glimmentladungsröhrchens 14 in Verbindung steht, dessen Anode 15 an die positive Klemme der Gleichstromquelle 12 # , UMS e s chlossen ist. Das Röhrchen 14 ist geeignet, Stromschwankungen in Lichtschwankungen umzuwandeln: .und zwar dadurch, daß die Stromänderungen sich durch Änderung in der Ausdehnung der Glimmschicht, mit der die Kathode bedeckt ist, kenntlich machen. Die Bauart dieser Art Röhrchen ist allgemein bekannt und ])raucht hier nicht beschrieben zu werden.
  • Zur Erläuterung sei erwähnt, daß in einer solchen Vorrichtung der Durchmesser des Gefäßes i etwa 35 min, die Länge bz", Breite der Platten 2 und 3 ungefähr 15 bzw. io inm, der Abstand dieser Platten etwa ao mm und die Länge bzw. Breite des Rahmens 7 ungefähr 40 bz". 25 min war. Das magnetische Feld hatte zwischen den beiden Platten eine Stärke von ungefähr 350 Oersted. Der Widerstand i i betrug i Megohm, und die Spannung der Gleichstromquelle 12 war 2Ooo Volt. Das Gefäß i steht durch das Rohr 16, das durch das mit flüssiger Luft gefüllte Dewar-:efäß 17 geführt ist, in Verbindung mit der \-a kutiinpuinpe 18. Ein oder mehrere zu entlüftende Gefäße können ai: das Rohr i9 angeschlossen Zierden. Hat die Pumpe die Gefäße bis zu einem geringen Druck entlüftet, so kann zur Prüfung dieses Druckes der im oben skizzierten Stromkreis aufgenommene Schalter 24. geschlossen werden. Wie oben beschrieben, zündet die Glimmentladung zwischen der Anode 7 und den die Kathode bildenden Platten 2 und 3 viel leichter als beim Fehlen des magnetischen Feldes, während auch die Stromstärke der Entladung größer ist. Der Entladungsstrom fließt durch das Röhrchen 1.4, in dein die Kathode 13 mehr oder weniger vorn Glimmlicht bedeckt wird. Die Länge dieser Bedeckung ist ein Maß für den Strom, der wieder ein Maß für den Gasdruck im Gefäß i und in den zu entlüftenden Gefäßen darstellt.
  • Fig.3 zeigt für eine Vorrichtung, deren Daten oben zahlenmäßig angegeben wurden, das Verhältnis (Kurve II) zwischen dein Entladungsstrom i (in ,u A) und dem Druck p (in io-3 min Quecksilbersäule) des Gases im Gefäß i für den Fall, daß dieses Gas aus Luft besteht. Die Figur-gibt z u gleicher Zeit. das Verhäftnis (Kurve II) der Länge L (in cm) der Glinnnlichtbedeckung der Kathode 13 zu dem Luftdruck an. Nebei dem Röhrchen 14 kann eine Skala angeordnet werden, die sofort den Luftdruck angibt.
  • Aber auch ohne Skala ist der Apparat für viele Zwecke brauchbar. Durch Beobachtung der Glimmschicht an der Kathode 13 kann man z. B. denVerlauf des Gasdruckes in einem Gefäß, das evakuiert wird, verfolgen. So macht sich z. B. jeder Gasausbruch innerhalb dieses Gefäßes und jedes Lech sofort durch diese Glimmschicht sichtbar.
  • Die Isolation zwischen den Stützdrähten 5 und 8 innerhalb des Entladungsgefäßes i könnte -durch von den Kathodenplatten zersträu.bende Metallteilchen gefährdet werden. Um dieser Gefahr vorzubeugen, sind die Quetschstellen 2o mit kurzen, die Stützdrähte in kleinem Abstand umgebenden Glasröhrchen 21 versehen, und es süid in der Gefäßwand ringförmige Einstülpungen 22 angebracht.
  • Die Gleichstromquelle 12 kann z. B. aus einer den für Radiozwecke bekannten Anodenspannungsapparaten ähnlichen Vorrichtung bestehen. Diese Stromquelle 12 wird zweckmäßig 'mit dem Entladungsgefäß i, dem Magneten i o, dem Röhrchen 13, dein Widerstand i i und dem Schalter 2.4. und den Verbindungsleitungen in einem metallenen, punktiert angegebenen Gehäuse 23 angeordnet, das geerdet wird. Aus diesem Gehäuse braucht nur (las für den Anschluß dienende Rohr 16 und die Niederspannungsleitung des Apparates 12 herauszuragen. Das Gehäuse wird derart nestaltet, daß der Schalter 24 von außen her betätigt werden kann und daß die Glimmschicht der Kathode 13 von außen her wahrnehmbar ist.

Claims (3)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Gerät zur Bestimmung von Gasdrücken, insbesondere von Gasdrücken unterhalb io-2 mm Quecksilbersäule, mit Hilfe der elektrischen Stromstärke einer in dem Gase, dessen Druck zu bestimmen ist, erzeugten elektrischen Glimmentladung, deren Bahn ein magnetisches Feld durchsetzt, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode der Glimmentladungsstrecke zwei Teile (2, 3) aufweist, die derart in bezug auf die Anode (i) und das magnetische Feld angeordnet sind, daß die beiden Kathodenteile (2, 3) durch ein nicht die Anode (-2) treffendes Bündel magnetischer Kraftlinien miteinander verbunden sind. :
  2. 2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathodenteile (2, 3) aus senkrecht zu den magnetischen Kraft-Linien angeordneten Platten bestehen und die Anode aus einem das Bündel der die beiden Platten verbindenden Kraftlinien umfassenden Drahtrahmen (7) oder Zylinder besteht. 3. Gerät nach Anspruch i oder a, dadurch gekennzeichnet, daß der Strom der in dem Gase, dessen Druck zu bestimmen ist, stattfindenden Glimmentladung durch eine den Strom sichtbar machende Glimmentladungsröhre (14) geführt ist. ... Gerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzeigeglimmentladungsröhre (1q.) und das Entladungsgefäß (i), in dem die Glimmentladung, deren Strom zur Bestimmung des Gasdruckes benutzt wird, stattfindet, sowie die übrigen Teile des Stromkreises dieser Glimmentladung innerhalb eines geerdeten Gehäuses (23) angeordnet sind, welches derart ausgebildet ist, daß das Glimmlicht der Anzeigeröhre (14) außerhalb des Gehäuses (23) wahrnehmbar ist.
  3. 3. Gerät nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Glimmentladungsstrom zur Betätigung eines Relais benutzt wird, welches z. B. eine den Gasdruck verringernde Pumpe in Wirkung setzen kann.
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