DE69826577T2 - Ozone supplying apparatus - Google Patents

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Junji Chiyoda-ku Hirotsuji
Shigeki Chiyoda-ku Nakayama
Hisao Chiyoda-ku Amitani
Hiroshi Chiyoda-ku Yuge
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Ozonzuführungsvorrichtung. Speziell betrifft sie eine Ozonzuführungsvorrichtung zum Erzeugen und Speichern von Ozon unter Anwendung von Elektrizität, wobei die Vorrichtung imstande ist, einem Ozon verbrauchenden Objekt kontinuierlich oder intermittierend gespeicherten Ozon in bestimmten Verhältnissen zuzuführen.
  • Herkömmlicherweise ist eine Ozonzuführungsvorrichtung vom intermittierenden Typ zur vorübergehenden Speicherung von Ozon bekannt, welche die folgenden Komponenten aufweist, die in 1 gezeigt sind: einen Ozongenerator 50, eine Sauerstoffzuführungsquelle 51, ein Umwälzgebläse 52, einen Adsorptions-/Desorptionsturm 53 zum vorübergehenden Speichern von erzeugtem Ozon, eine Kühlquelle 54 zum Kühlen des Adsorptions-/Desorptionsturms 53, eine Heizquelle 55 zum Heizen des Adsorptions-/Desorptionsturms 53, einen Wasserstromejektor 56 zum Entnehmen von Ozon aus dem Adsorptions-/Desorptionsturm 53 durch Dekompression und Saugwirkung, und eine Gruppe von Schaltventilen 57a bis 57g.
  • Der Adsorptions-/Desorptionsturm 53 ist vom Doppelzylindertyp, wie 2 zeigt, wobei ein Innenzylinder 58 mit einem Ozonadsorbens 59 gefüllt ist und ferner eine Wärmeübertragungs-Rohrwendel 60 zum Heizen aufweist (siehe die geprüfte JP-Patentschrift 64484/1985). Ein Kühlrohr 61, durch das man ein Kühlmittel strömen läßt, ist wendelförmig um eine äußere Oberfläche des Innenzylinders 58 gewickelt. Andererseits ist ein Außenzylinder 63 mit einem Heizmedium 62 gefüllt. Kieselgel wird gewöhnlich als das Adsorbens 59 verwendet, und Ethylenglykol oder eine Alkoholgruppe wird als das Heizmedium 62 verwendet.
  • Es ist zu beachten, daß 53a ein Einlaß für das Heizmedium 62 und 53b ein Auslaß für das Heizmedium 62 ist. Das Umwälzgebläse 52, der Ozongenerator 50 und der Adsorptions-/Desorptionsturm 53 bilden in der genannten Reihenfolge ein einziges Zirkulationssystem.
  • Nachstehend wird die Funktionsweise erläutert. Es gibt zwei Betriebsarten, und zwar eine Ozonadsorptionsbetriebsart und eine Ozondesorptionsbetriebsart.
  • Zuerst wird die Adsorptionsbetriebsart beschrieben. Sauerstoff wird von der Sauerstoffzuführungsquelle 51 durch einen Einlaß 53c zugeführt, so daß der Druck in dem Zirkulationssystem immer ein Konstantdruck ist. Dabei wird der Druck normalerweise auf 1,5 kg/cm2 gehalten. Wenn Sauerstoff durch das Umwälzgebläse 52 in dem Zirkulationssystem strömt, während die Schaltventile 57c und 57c in einem geöffneten Zustand sind, wird ein Teil des Sauerstoffs durch stille Entladung in Ozon umgewandelt, um Ozonsauerstoff zu erzeugen, während der Sauerstoff durch den Abgaberaum des Ozongenerators 50 geleitet wird, und der Ozonsauerstoff wird dann zu dem Adsorptions-/Desorptionsturm 53 überführt.
  • Das Adsorbens in dem Adsorptions-/Desorptionsturm 53 adsorbiert selektiv Ozon, und der verbleibende Sauerstoff wird durch das Schaltventil 57c zum Umwälzgebläse 52 zurückgeführt. Sauerstoff, der als Ozon verbraucht worden ist, wird von der Sauerstoffzuführungsquelle 51 aufgefüllt. Zu diesem Zeitpunkt wird das Ozonadsorbens von der Kühlquelle 54 auf nicht mehr als –30 °C gekühlt.
  • Der Grund dafür ist, daß die Ozonadsorptionsmenge des Ozonadsorbens sich in Abhängigkeit von der Temperatur stark ändert. Durch Senken der Temperatur wird also die Ozonadsorptionsmenge erhöht, und durch Erhöhen der Temperatur wird die Ozonadsorptionsmenge verringert. Wenn daher Ozon adsorbiert wird, wird das Adsorbens gekühlt, und wenn Ozon desorbiert wird, wird die Temperatur des Adsorbens erhöht.
  • Wenn das Adsorbens in dem Adsorptions-/Desorptionsturm 53 so viel Ozon adsorbiert hat, daß die Menge an die Ozonsättigungs-Adsorptionsmenge angenähert ist, findet der Desorptionsbetrieb für Ozon statt. Bei dem Desorptionsbetrieb wird der Betrieb des Ozongenerators 50, des Umwälzgebläses 52 und der Kühlquelle 54 beendet, und die Schaltventile 57a und 57d werden geschlossen. Danach beginnen die Heizquelle 55 und der Wasserstromejektor 56 ihren Betrieb, und die Schaltventile 57e und 57g werden geöffnet.
  • Um eine leichte Desorption des an dem Adsorbens adsorbierten Ozons zu ermöglichen, wird Wärme des Heizmediums 62, das von der Heizquelle 55 durch den Einlaß 53a eingepreßt worden ist, sowohl von der inneren als auch der äußeren Oberfläche des Innenzylinders 58 aufgebracht, um die Temperatur des Adsorbens 59 zu erhöhen. Dann wird durch Dekompression zum Ansaugen von in dem Adsorptions-/Desorptionsturm 53 vorhandenem Ozon in einem Hub zum Auslaß 53d durch den Wasserstromejektor 56 Ozon veranlaßt, in Wasser in dem Wasserstromejektor 56 verteilt und gelöst zu werden, das dann als Ozonwasser zu Stellen gefördert wird, an denen Ozon verbraucht wird.
  • Durch Dekompression zum Zweck des Ansaugens wird der erreichte Druck in dem Adsorptions-/Desorptionsturm 53 auf ungefähr 0,1 kg/cm2 (Absolutdruck) gebracht. Wenn die Desorptionsperiode auf diese Weise abgeschlossen ist, kehrt der Prozeß zu dem ursprünglichen Adsorptionsbetrieb zurück und wird kontinuierlich wiederholt.
  • Eine ähnliche intermittierend arbeitende Ozonzuführungsvorrichtung ist in der US-A-4 453 953 beschrieben.
  • Eine herkömmliche Ozonzuführungsvorrichtung vom intermittierenden Typ ist insofern nachteilig, als durch das Erhöhen der Menge an eingefülltem Kieselgel zum Speichern einer großen Ozonmenge die erforderliche Zeit zum Kühlen des Kieselgels verlängert wird, so daß Ozon nicht auf effiziente Weise gespeichert werden kann, und ferner ist nachteilig, daß durch Erhöhen der Zahl der vorgesehenen Ozonadsorptions-/-desorptionstürme der Anlagenbereich vergrößert wird oder der Betrieb der Vorrichtung kompliziert wird. Da ferner die Heiz- und die Kühlquelle separat angeordnet sind, wird die Vorrichtung komplex, und die Wartung des Kieselgels in den Adsorptions-/Desorptionstürmen wird erschwert.
  • Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf die obigen Umstände gemacht, und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Ozonzuführungsvorrichtung anzugeben, die imstande ist, die zur Kühlung des Ozonadsorbens erforderliche Zeit zu verkürzen und Ozon auf effiziente Weise zu speichern, und die auf kompakte Weise angeordnet werden kann.
  • Eine Ozonzuführungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung weist folgendes auf: einen Ozongenerator zum Erzeugen von Ozonsauerstoff aus unbehandeltem Sauerstoff; eine Adsorptions-/Desorptionseinrichtung zum Adsorbieren und Speichern von Ozon aus Ozonsauerstoff und zum Desorbieren des Ozons; und eine Ozondesorbiereinrichtung zum Desorbieren des adsorbierten und gespeicherten Ozons für die Zuführung, wobei die Vorrichtung dazu ausgelegt ist, um Sauerstoff zu dem Ozongenerator zurückzuführen, nachdem von der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung Ozon daraus adsorbiert worden ist, und Ozon aus der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung zu desorbieren und zuzuführen, wobei die Adsorptions-/Desorptionseinrichtung folgendes aufweist: mindestens einen Ozonspeicherbereich, der mit einem Adsorbens gefüllt ist, und einen Flüssigkeitsspeicherbereich zum Füllen einer äußeren Umfangsoberfläche des Ozonspeicherbereichs mit dem Temperaturmedium, wobei der Ozonspeicherbereich in Form eines Rohrs ausgebildet ist, das eine konische Gestalt hat.
  • Der Ozonspeicherbereich kann so angeordnet sein, daß er in dem Flüssigkeitsspeicherbereich gelegen ist.
  • Ein in den Ozonspeicherbereich zu füllendes Adsorbens kann von einem integrierten Typ sein, der einer Gestalt des Ozonspeicherbereichs entspricht und aus porösem Material besteht.
  • Die Adsorptions-/Desorptionseinrichtung kann in einem Gasbeschickungsbehälter zum Befüllen mit Gas angeordnet sein, und eine Druckeinstelleinrichtung zum Einstellen des Gasdrucks in dem Gasbeschickungsbehälter kann vorgesehen sein.
  • Der Gasdruck in dem Gasbeschickungsbehälter kann derart eingestellt sein, daß er zum Zeitpunkt des Speicherns von Ozon ein Unterdruck ist.
  • Eine Abzweigleitung kann in einer Ozonumwälzleitung gebildet sein, die zwischen dem Ozongenerator und der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung vorgesehen ist, und die Abzweigleitung ist mit einer Gasansaugeinrichtung zum Ansaugen von Gas in die Adsorptions-/Desorptionseinrichtung und einem Gasspeicherbehälter zum vorübergehenden Speichern von Gas darin verbunden.
  • Eine Sauerstoffraffinationseinrichtung kann zwischen der Gasansaugeinrichtung und dem Gasspeicherbehälter vorgesehen sein.
  • Die Ozonzuführungsvorrichtung kann ferner eine Temperatureinstelleinrichtung zum Einstellen der Temperatur in der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung und eine Temperaturmeßeinrichtung zum Messen einer Temperatur in der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung aufweisen.
  • Die Adsorptions-/Desorptionseinrichtung kann nach Beendigung der Ozondesorption von der Temperatureinstelleinrichtung erwärmt werden.
  • Weitere Merkmale, Ausführungsformen und Vorteile der Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.
  • 3 zeigt schematisch eine Anordnung einer Ozonzuführungsvorrichtung gemäß Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung
  • 4 zeigt schematisch eine Anordnung einer Ozonadsorptions-/-desorptionseinrichtung der vorliegenden Erfindung;
  • 5 ist ein Schnitt entlang der Linie II-II und zeigt die Ozonadsorptions-/-desorptionseinrichtung der vorliegenden Erfindung;
  • 1 zeigt schematisch eine Anordnung einer herkömmlichen Ozonzuführungsvorrichtung vom intermittierenden Typ; und
  • 2 zeigt eine Anordnung eines Ozondesorptionsbereichs in einer herkömmlichen Ozonzuführungsvorrichtung vom intermittierenden Typ.
  • 3 zeigt schematisch eine Anordnung einer Ozonzuführungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Eine solche Vorrichtung weist, wie 1 zeigt, folgendes auf: einen Ozongenerator 1 zum Erzeugen von Ozonsauerstoff, eine Sauerstoffzuführungsquelle 2, ein Umwälzgebläse 3, eine Adsorptions-/Desorptionseinrichtung 4 zum vorübergehenden Speichern des erzeugten Ozons, eine Temperatureinstelleinrichtung 7 zum Einstellen der Temperatur eines Temperaturmediums 6, das in einen Flüssigkeitsspeicherbereich zu füllen ist, der sich im Inneren eines Außenzylinders 5 in der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung 4 befindet, einen Wasserstromejektor 8, der eine Ozondesorptionseinrichtung ist, und Schaltventile 9a bis 9e.
  • Eine Vielzahl von Adsorptions-/Desorptionsrohren 10 als Ozonspeicherbereich ist innerhalb des Außenzylinders 5 der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung 4 angeordnet, und das Innere des Adsorptions-/Desorptionsrohrs 10 ist mit einem Adsorbens 11 gefüllt. Das Temperaturmedium zum Einstellen der Temperatur des Adsorbens 11 strömt entlang einer äußeren Oberfläche des Adsorptions-/Desorptionsrohrs 10. Es wird bevorzugt, ein Adsorbens zu wählen, das eine niedrige Zersetzungsrate bei Kontakt mit Ozon hat.
  • Beispielsweise können Kieselgel, aktiviertes Aluminiumoxid oder mit Fluorkohlenstoff getränkte poröse Materialien verwendet werden. Andererseits kann als Temperaturmedium 6 Ethylenglykol oder eine Alkoholgruppe verwendet werden. Es ist zu beachten, daß mit 4a bis 4d ein Einlaß für Temperaturmedium, ein Auslaß für Temperaturmedium, ein Einlaß für Ozonsauerstoff bzw. ein Auslaß für Ozonsauerstoff bezeichnet sind.
  • Die Betriebsarten der Vorrichtung werden nachstehend erläutert. Es gibt insgesamt zwei Betriebsarten, und zwar die Ozonadsorptionsbetriebsart und die Ozondesorptionsbetriebsart.
  • Es wird zunächst die Adsorptionsbetriebsart erläutert. Sauerstoff wird von der Sauerstoffzuführungsquelle 2 zugeführt, so daß der Druck in dem Zirkulationssystem ständig konstant ist, beispielsweise 1,5 kg/cm2. Zu diesem Zeitpunkt kann Ozon um so effizienter gespeichert werden, je höher der Druck in dem Zirkulationssystem wird. Im Hinblick auf den Ozonerzeugungs-Wirkungsgrad und den Ozonspeicherungs-Wirkungsgrad führt jedoch eine übermäßige Druckerhöhung in dem Zirkulationssystem zu einem erhöhten Stromverbrauch während der Speicherung, so daß es erwünscht ist, einen Höchstdruck von ungefähr 5 kg/cm2G aufrechtzuerhalten.
  • Wenn Sauerstoff durch das Umwälzgebläse 3 in dem Zirkulationssystem zum Strömen gebracht wird, während die Schaltventile 9a und 9c geöffnet sind, so wird ein Teil des Sauerstoffs durch stille Entladung in Ozon umgewandelt, um einen Ozonsauerstoff zu erzeugen, während er durch den Abgaberaum des Ozongenerators 1 strömt, und der Ozonsauerstoff wird dann zu den Adsorptions-/Desorptionsrohren 10 überführt. Das Adsorbens in den Adsorptions-/Desorptionsrohren 10 adsorbiert selektiv Ozon, und der verbleibende Sauerstoff wird durch das Schaltventil 9c zu dem Umwälzgebläse 3 rückgeführt.
  • Sauerstoff, der als Ozon verbraucht worden ist, wird durch die Sauerstoffzuführungsquelle 2 ersetzt. Da das Adsorbens die Eigenschaft annimmt, daß die Ozonadsorptionsfähigkeit ansteigt, je mehr das Adsorbens gekühlt wird, wird die Kühltemperatur von der Temperatureinstelleinrichtung 7 im allgemeinen auf nicht mehr als –40 °C gehalten.
  • Wenn das Adsorbens in dem Adsorptions-/Desorptionsrohr 10 so viel Ozon adsorbiert hat, daß eine Annäherung an die Ozonsättigungs-Adsorptionsmenge vorliegt, so wird die Desorptionsbetriebsart ausgeführt. In der Desorptionsbetriebsart wird der Betrieb des Ozongenerators 1 und des Umwälzgebläses 3 beendet, und die Schaltventile 9a bis 9d werden geschlossen. Dann beginnt der Wasserstromejektor seinen Betrieb, und das Schaltventil 9e wird geöffnet. Zu diesem Zeitpunkt wird das Temperaturmedium 6 von der Temperatureinstelleinrichtung 7 erwärmt, und das Temperaturmedium 6 wird von der Außenseite des Adsorptions-/Desorptionsrohrs 10 zur Wirkung gebracht, um die Temperatur des Adsorbens 11 zu erhöhen.
  • Durch Dekompression zum Ansaugen von Ozon in der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung 4 durch den Wasserstromejektor 8 wird Ozon veranlaßt, in dem Wasser im Wasserstromejektor 8 verteilt und gelöst zu werden, und wird als Ozonwasser den Stellen zugeführt, an denen Ozon verbraucht wird. Zu diesem Zeitpunkt beträgt der erreichte Druck in den Adsorptions-/Desorptionsrohren 10 durch Dekompression zum Ansaugen ungefähr 0,1 kg/cm2 (Absolutdruck).
  • Wenn auf diese Weise die Desorptionsperiode beendet ist, kehrt der Prozeß zu dem ursprünglichen Adsorptionsprozeß zurück, was kontinuierlich wiederholt wird. Es ist zu beachten, daß der Desorptionsprozeß alternativ gestartet werden kann, wenn Ozon einer bestimmten Dichte aus der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung 4 auszutreten beginnt.
  • Bei der vorliegenden Erfindung sind die in 4 gezeigten Adsorptions-/Desorptionsrohre 20 von konischer Trapezgestalt, deren weite Öffnungsseiten und schmale Mündungsseiten alternierend angeordnet sind. 5 ist eine Schnittansicht entlang der Linie II-II der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung 21 der vorliegenden Ausführungsform.
  • In der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung 21 der vorliegenden Ausführungsform wird zum Zeitpunkt der Adsorption von Ozon ein gekühltes Temperaturmedium 6 durch einen Einlaß 21a zu einem Auslaß 21b geschickt, und Ozonsauerstoff wird durch einen Einlaß 21c geschickt, um aus einer schmalen Mündungsseite im unteren Bereich der Ozonspeichervorrichtung 21 in das Adsorptions-/Desorptionsrohr 20 zu strömen und aus einer weiten Öffnungsseite in dem oberen Bereich abgegeben zu werden und erneut in das Adsorptions-/Desorptionsrohr 20 durch eine schmale Öffnungsseite in dem oberen Bereich zu strömen und aus einem Auslaß 21d in dem unteren Bereich abgegeben zu werden.
  • Wenn die Adsorption auf diese Weise ausgeführt wird, kann das Adsorbens zuerst an seinem zentralen Bereich nahe der Seite des Einlasses 21c für das Ozongas gekühlt werden, und eine Hohlraumgeschwindigkeit (eine Geschwindigkeit, mit der Ozongas sich durch das Adsorptions-/Desorptionsrohr bewegt) in der Seite des Auslasses 21d für das Ozongas kann langsam gemacht werden, so daß Ozon auf effiziente Weise adsorbiert werden kann.
  • Andererseits wird zum Zeitpunkt der Desorption von Ozon gespeichertes Ozon entnommen, indem man es aus der weiten Öffnungsseite zu der schmalen Öffnungsseite entgegengesetzt zu dem vorher beschriebenen Ozongasstrom strömen läßt. Zu diesem Zeitpunkt kann Ozon auch desorbiert werden, indem die Adsorptions-/Desorptionsrohre 20 in Reihe ähnlich wie bei dem Adsorptionsprozeß miteinander verbunden werden, oder es kann alternativ desorbiert werden, indem Ozon aus Gasansaugöffnungen in einem oberen Bereich entnommen wird, ohne diese in Reihe geschaltet zu verbinden, wobei jedoch die schmalen und weiten Öffnungen getrennt sind (und die schmalen Öffnungen geschlossen werden), und dann Ozon aus einer Ansaugöffnung in dem unteren Bereich entnommen wird.
  • Wenn die Desorption auf diese Weise durchgeführt wird, so kann die Menge an wieder adsorbiertem Ozon verringert werden. Es ist zu beachten, daß die Anordnung, in der Adsorptions-/Desorptionsrohre nicht in Reihe verbunden sind, zu einer weiteren Verringerung eines Kontakts von Adsorbens und Ozon führt, so daß Desorptionseffekte verbessert werden können.

Claims (9)

  1. Ozonzuführungsvorrichtung, die folgendes aufweist: – einen Ozongenerator (1) zum Erzeugen von Ozonsauerstoff aus unbehandeltem Sauerstoff, – eine Adsorptions-/Desorptionseinrichtung (4) zum Adsorbieren und Speichern von Ozon aus Ozonsauerstoff und zum Desorbieren des Ozons, und – eine Ozondesorbiereinrichtung (8) zum Desorbieren des adsorbierten und gespeicherten Ozons für die Zuführung, und wobei die Vorrichtung angeordnet ist, um Sauerstoff zu dem Ozongenerator (1) zurückzuführen, nachdem von der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung (4) Ozon daraus adsorbiert worden ist, und Ozon aus der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung (4) zu desorbieren und zuzuführen, wobei die Adsorptions-/Desorptionseinrichtung (4) folgendes aufweist: mindestens einen Ozonspeicherbereich (10, 20, 32, 42), der mit einem Adsorbens (11, 31, 41) gefüllt ist, und einen Flüssigkeitsspeicherbereich (5, 34, 44) zum Füllen einer äußeren Umfangsoberfläche des Ozonspeicherbereichs (10, 20, 32, 42) mit dem Temperaturmedium (6, 33, 43), wobei der Ozonspeicherbereich (10, 20, 32, 42) in Form eines Rohrs ausgebildet ist, das eine konische Gestalt (20) hat.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei eine Temperaturmeßeinrichtung (52) nahe einem Einlaß (4a) für das Temperaturmedium (6, 33, 43) angeordnet ist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Ozonspeicherbereich (10, 20, 32, 42) so angeordnet ist, daß er in dem Flüssigkeitsspeicherbereich (5, 34, 44) ist.
  4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das in den Ozonspeicherbereich (10, 20, 32, 42) zu füllende Adsorbens (11, 31, 41) von einem integrierten Typ ist und der Gestalt des Ozonspeicherbereichs (10, 20, 32, 42) entspricht und aus porösem Material besteht.
  5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Adsorptions-/Desorptionseinrichtung (4) in einem Gasbeschickungsbehälter (45) zum Befüllen mit Gas angeordnet ist und eine Druckeinstelleinrichtung (46) zum Einstellen des Gasdrucks in dem Gasbeschickungsbehälter (45) vorgesehen ist.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei der Gasdruck in dem Gasbeschickungsbehälter (45) derart eingestellt ist, daß er zum Zeitpunkt des Speicherns von Ozon ein Unterdruck ist.
  7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei eine Abzweigleitung (L2) in einer Ozonumwälzleitung (L1) gebildet ist, die zwischen dem Ozongenerator (1) und der Adsorptions-/Desorptionseinrichtung (4) vorgesehen ist, und wobei die Abzweigleitung (L2) mit einer Gasansaugeinrichtung (61) zum Ansaugen von Gas in die Adsorptions-/Desorptionseinrichtung (4) und einem Gasspeicherbehälter (63) zum vorübergehenden Speichern von Gas darin verbunden ist.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei eine Sauerstoffraffinationseinrichtung (62) zwischen der Gasansaugeinrichtung (61) und dem Gasspeicherbehälter (63) vorgesehen ist.
  9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die Adsorptions-/Desorptionseinrichtung (4) nach der Beendigung der Ozondesorption mit einer zusätzlichen Temperatureinstelleinrichtung (51) erwärmt wird.
DE69826577T 1997-07-24 1998-07-07 Ozone supplying apparatus Expired - Lifetime DE69826577T2 (de)

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JP19843897A JP3670451B2 (ja) 1997-07-24 1997-07-24 オゾン供給装置
JP19843897 1997-07-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69826577D1 DE69826577D1 (de) 2004-11-04
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DE69826577T Expired - Lifetime DE69826577T2 (de) 1997-07-24 1998-07-07 Ozone supplying apparatus

Country Status (5)

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