JPH1143307A - オゾン製造装置 - Google Patents
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- JPH1143307A JPH1143307A JP9198435A JP19843597A JPH1143307A JP H1143307 A JPH1143307 A JP H1143307A JP 9198435 A JP9198435 A JP 9198435A JP 19843597 A JP19843597 A JP 19843597A JP H1143307 A JPH1143307 A JP H1143307A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
-
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 オゾン貯蔵時に使用するエネルギーを低減で
きるとともに、オゾン注入をできるだけ先鋭化する（高
濃度のオゾンを短時間で取り出す）ことにより、経済的
でオキシダントなどの副生成物の生成の少ないオゾン製
造装置を提供する。 【解決手段】 オゾン化酸素を生成するオゾン発生器１
と、オゾン発生器１で生成したオゾン化酸素からオゾン
を吸着貯留する吸脱着塔４と、吸着貯留したオゾンを脱
着して供給する水流エジェクタ７からなるオゾン製造装
置。脱着開始時に前記吸脱着塔４に酸素を供給する酸素
ガス供給手段と、その酸素ガスの供給量を調節する酸素
ガス流量調節器１０を備えている。
きるとともに、オゾン注入をできるだけ先鋭化する（高
濃度のオゾンを短時間で取り出す）ことにより、経済的
でオキシダントなどの副生成物の生成の少ないオゾン製
造装置を提供する。 【解決手段】 オゾン化酸素を生成するオゾン発生器１
と、オゾン発生器１で生成したオゾン化酸素からオゾン
を吸着貯留する吸脱着塔４と、吸着貯留したオゾンを脱
着して供給する水流エジェクタ７からなるオゾン製造装
置。脱着開始時に前記吸脱着塔４に酸素を供給する酸素
ガス供給手段と、その酸素ガスの供給量を調節する酸素
ガス流量調節器１０を備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はオゾン製造装置に関
する。さらに詳しくは、オゾンを連続的に製造して吸着
貯留し、必要なときにこれを脱着（分離）させて供給す
るオゾン製造装置に関する。
する。さらに詳しくは、オゾンを連続的に製造して吸着
貯留し、必要なときにこれを脱着（分離）させて供給す
るオゾン製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】発電所や化学工業などには多量の冷却水
が使用されているが、用水中の微生物や藻類によってス
ライム障害が発生して管路の閉塞や熱交換率の低下が起
こる。この種の防止対策として高濃度のオゾン水の適用
が考えられる。高濃度のオゾン水を生成するためには、
大容量のオゾン発生器を用いて生成するよりも、小型で
小容量のオゾン発生器を用いて、生成したオゾンを吸着
剤に長期間にわたって蓄積し、この蓄積したオゾンを必
要に応じて吸着剤から取り出し、高濃度のオゾン水を生
成する、いわゆる間歇オゾン製造方式が設備費および運
転費の点から有利である。
が使用されているが、用水中の微生物や藻類によってス
ライム障害が発生して管路の閉塞や熱交換率の低下が起
こる。この種の防止対策として高濃度のオゾン水の適用
が考えられる。高濃度のオゾン水を生成するためには、
大容量のオゾン発生器を用いて生成するよりも、小型で
小容量のオゾン発生器を用いて、生成したオゾンを吸着
剤に長期間にわたって蓄積し、この蓄積したオゾンを必
要に応じて吸着剤から取り出し、高濃度のオゾン水を生
成する、いわゆる間歇オゾン製造方式が設備費および運
転費の点から有利である。
【０００３】かかるオゾン製造方式を用いたオゾン製造
装置として、たとえば図１０に示すように、オゾン発生
器５０と、酸素供給源５１と、循環ブロア５２と、吸脱
着塔５３と、冷熱源５４と、加熱源５５と、水流エジェ
クタ５６と、切替弁５７ａ〜５７ｇとからなるものがあ
る。吸脱着塔５３は二重筒になっており、その内筒はオ
ゾン吸着剤が充填されており、外筒は熱媒体が充填され
ている。なお、オゾン吸着剤には、たとえばシリカゲル
が用いられ、熱媒体にはエチレングリコールやアルコー
ル類が使用される。また、前記循環ブロア５２、オゾン
発生器５０および吸脱着塔５３は、この順に１つの循環
系を構成している。
装置として、たとえば図１０に示すように、オゾン発生
器５０と、酸素供給源５１と、循環ブロア５２と、吸脱
着塔５３と、冷熱源５４と、加熱源５５と、水流エジェ
クタ５６と、切替弁５７ａ〜５７ｇとからなるものがあ
る。吸脱着塔５３は二重筒になっており、その内筒はオ
ゾン吸着剤が充填されており、外筒は熱媒体が充填され
ている。なお、オゾン吸着剤には、たとえばシリカゲル
が用いられ、熱媒体にはエチレングリコールやアルコー
ル類が使用される。また、前記循環ブロア５２、オゾン
発生器５０および吸脱着塔５３は、この順に１つの循環
系を構成している。
【０００４】つぎに動作について説明する。この動作に
はオゾンの吸着貯留工程と脱着工程の２工程がある。
はオゾンの吸着貯留工程と脱着工程の２工程がある。
【０００５】初めにオゾンの吸着貯留工程について説明
する。酸素供給源５１より循環系内に常時一定圧力にな
るように酸素を供給する。このときの圧力は通常１．５
ｋｇ／ｃｍ2に維持されている。切替弁５７ｃおよび５
７ｄを開き、循環ブロア５２より循環系内に酸素を流通
し、循環させると、オゾン発生器５０の放電空間を通過
するあいだに、酸素の一部がオゾンに変換されてオゾン
化酸素となる。このオゾン化酸素は吸脱着塔５３へ送ら
れる。吸脱着塔５３内のオゾン吸着剤はオゾンを選択的
に吸着し、残りの酸素は切換弁５７ｃを介して循環ブロ
ア５２に戻される。オゾンに変換され、吸着された酸素
量は酸素供給源５１より補充される。このとき、オゾン
吸着剤の温度は、オゾン吸着量が温度により大きく変化
するため、冷熱源５４により−３０℃以下に冷却されて
いる。すなわち、温度が低下するとオゾン吸着量は増加
し、逆に上昇するとオゾンの吸着量は減少する。したが
って、オゾンを脱着するときは加熱源５５により吸着剤
の温度を上昇させる。
する。酸素供給源５１より循環系内に常時一定圧力にな
るように酸素を供給する。このときの圧力は通常１．５
ｋｇ／ｃｍ2に維持されている。切替弁５７ｃおよび５
７ｄを開き、循環ブロア５２より循環系内に酸素を流通
し、循環させると、オゾン発生器５０の放電空間を通過
するあいだに、酸素の一部がオゾンに変換されてオゾン
化酸素となる。このオゾン化酸素は吸脱着塔５３へ送ら
れる。吸脱着塔５３内のオゾン吸着剤はオゾンを選択的
に吸着し、残りの酸素は切換弁５７ｃを介して循環ブロ
ア５２に戻される。オゾンに変換され、吸着された酸素
量は酸素供給源５１より補充される。このとき、オゾン
吸着剤の温度は、オゾン吸着量が温度により大きく変化
するため、冷熱源５４により−３０℃以下に冷却されて
いる。すなわち、温度が低下するとオゾン吸着量は増加
し、逆に上昇するとオゾンの吸着量は減少する。したが
って、オゾンを脱着するときは加熱源５５により吸着剤
の温度を上昇させる。
【０００６】吸脱着塔５３の吸着剤がオゾンを飽和吸着
量近くまで吸着すると脱着工程に移行する。脱着動作で
は、オゾン発生器５０、循環ブロア５２および冷熱源５
４が稼働を停止し、切替弁５７ａ〜５７ｄが閉じる。そ
ののち、加熱源５５および水流エジェクタ５６が稼働を
始めて切替弁５７ｅ〜５７ｇが開く。このとき、吸着剤
に吸着貯留されていたオゾンが脱着し易いように加熱源
５５より熱が加えられ吸着剤の温度を上昇させる。そし
て水流エジェクタ５６で吸脱着塔５３内のオゾンを減圧
吸引し、水流エジェクタ５６内で水中に分散し、溶解し
てオゾン水として使用箇所に送られる。このように脱着
工程が終了すると再び初期の吸着工程に移行して連続的
に運転が繰り返される。
量近くまで吸着すると脱着工程に移行する。脱着動作で
は、オゾン発生器５０、循環ブロア５２および冷熱源５
４が稼働を停止し、切替弁５７ａ〜５７ｄが閉じる。そ
ののち、加熱源５５および水流エジェクタ５６が稼働を
始めて切替弁５７ｅ〜５７ｇが開く。このとき、吸着剤
に吸着貯留されていたオゾンが脱着し易いように加熱源
５５より熱が加えられ吸着剤の温度を上昇させる。そし
て水流エジェクタ５６で吸脱着塔５３内のオゾンを減圧
吸引し、水流エジェクタ５６内で水中に分散し、溶解し
てオゾン水として使用箇所に送られる。このように脱着
工程が終了すると再び初期の吸着工程に移行して連続的
に運転が繰り返される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】スライム付着防止にお
いては高いオゾン濃度で短時間に処理することが重要で
ある。言い換えれば、脱着オゾンの最大ピーク濃度が重
要である。しかしながら、図１０に示す従来の装置で
は、オゾン脱着濃度は脱着時間の経過と共に低下するの
で、オゾン水の濃度を安定化することはできず、一定濃
度以上が一定時間必要な使用条件のばあいには、オゾン
を効率的に使用できないという問題点がある。すなわ
ち、スライム防止に用いるばあい、吸着貯留しているオ
ゾンの全てを短時間に脱着してパルス状に注入すること
はできず、脱着オゾン濃度はピーク濃度に達したのち、
比較的長い時間、スライム付着防止には効果の小さい低
濃度のオゾンが脱着されてしまい、先に述べたばあいと
同様、経済的でないばかりか、海水系に適用するばあい
には、魚貝類に悪影響を及ぼすオキシダントを生成する
惧れがある。また、オゾンを吸着する際には吸着剤を冷
却し、オゾンを脱着する際には吸着剤を加熱するので、
オゾン貯蔵時に多大なエネルギーを消費するという問題
がある。
いては高いオゾン濃度で短時間に処理することが重要で
ある。言い換えれば、脱着オゾンの最大ピーク濃度が重
要である。しかしながら、図１０に示す従来の装置で
は、オゾン脱着濃度は脱着時間の経過と共に低下するの
で、オゾン水の濃度を安定化することはできず、一定濃
度以上が一定時間必要な使用条件のばあいには、オゾン
を効率的に使用できないという問題点がある。すなわ
ち、スライム防止に用いるばあい、吸着貯留しているオ
ゾンの全てを短時間に脱着してパルス状に注入すること
はできず、脱着オゾン濃度はピーク濃度に達したのち、
比較的長い時間、スライム付着防止には効果の小さい低
濃度のオゾンが脱着されてしまい、先に述べたばあいと
同様、経済的でないばかりか、海水系に適用するばあい
には、魚貝類に悪影響を及ぼすオキシダントを生成する
惧れがある。また、オゾンを吸着する際には吸着剤を冷
却し、オゾンを脱着する際には吸着剤を加熱するので、
オゾン貯蔵時に多大なエネルギーを消費するという問題
がある。
【０００８】これに対し、オゾンを脱着供給する管路に
切換弁と流路抵抗からなるバイパス回路を設けるように
した間歇オゾン供給装置がある（特公平２−２８４号公
報参照）。しかしながら、かかる供給装置では、オゾン
水の濃度を常時平均的に保つことができるが、より高濃
度のオゾン水を生成しにくい。
切換弁と流路抵抗からなるバイパス回路を設けるように
した間歇オゾン供給装置がある（特公平２−２８４号公
報参照）。しかしながら、かかる供給装置では、オゾン
水の濃度を常時平均的に保つことができるが、より高濃
度のオゾン水を生成しにくい。
【０００９】一方、大容量のオゾンを発生させるため
に、内筒の中に吸着剤を昇温するための蛇管を配置させ
た間歇オゾン供給装置がある（特公昭６０−３４４８４
号公報参照）。しかしながら、かかる供給装置では、脱
着直前に吸脱着塔内にはオゾン発生器からの酸素含有ガ
ス（酸素濃度８０ｗｔ％以上）が残っており、また、加
熱だけで脱着させるため操作に長時間を要し、この間の
オゾンの分解量も多いという問題点があり、貯留してい
るオゾンを短時間に効率よく脱着させることはできず、
脱着工程の後半では低濃度のオゾンが脱着されてしま
い、パルス状に注入しにくいという問題点があった。
に、内筒の中に吸着剤を昇温するための蛇管を配置させ
た間歇オゾン供給装置がある（特公昭６０−３４４８４
号公報参照）。しかしながら、かかる供給装置では、脱
着直前に吸脱着塔内にはオゾン発生器からの酸素含有ガ
ス（酸素濃度８０ｗｔ％以上）が残っており、また、加
熱だけで脱着させるため操作に長時間を要し、この間の
オゾンの分解量も多いという問題点があり、貯留してい
るオゾンを短時間に効率よく脱着させることはできず、
脱着工程の後半では低濃度のオゾンが脱着されてしま
い、パルス状に注入しにくいという問題点があった。
【００１０】本発明は、叙上の事情に鑑み、オゾン貯蔵
時に使用するエネルギーを低減できるとともに、オゾン
注入をできるだけ先鋭化、すなわち、貯留しているオゾ
ンをできるだけ高濃度で短時間に取り出すことにより、
経済的でオキシダントなどの副生成物の生成の少ないオ
ゾン製造装置を提供することを目的とする。
時に使用するエネルギーを低減できるとともに、オゾン
注入をできるだけ先鋭化、すなわち、貯留しているオゾ
ンをできるだけ高濃度で短時間に取り出すことにより、
経済的でオキシダントなどの副生成物の生成の少ないオ
ゾン製造装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の発明にか
かわるオゾン製造装置は、オゾン化酸素を生成するオゾ
ン発生器と、オゾン発生器で生成したオゾン化酸素から
オゾンを吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾン
を脱着して供給するオゾン脱着手段からなるオゾン製造
装置であって、脱着開始時に前記吸脱着塔に酸素を供給
する酸素ガス供給手段と、その酸素ガスの供給量を調節
する酸素ガス流量調節手段を備えてなることを特徴とし
ている。
かわるオゾン製造装置は、オゾン化酸素を生成するオゾ
ン発生器と、オゾン発生器で生成したオゾン化酸素から
オゾンを吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾン
を脱着して供給するオゾン脱着手段からなるオゾン製造
装置であって、脱着開始時に前記吸脱着塔に酸素を供給
する酸素ガス供給手段と、その酸素ガスの供給量を調節
する酸素ガス流量調節手段を備えてなることを特徴とし
ている。
【００１２】また本発明の第２の発明にかかわるオゾン
製造装置は、吸着貯留したオゾンを脱着する際に、前記
吸脱着塔内の圧力を大気圧以下に調節するガス制御手段
を備えたものである。
製造装置は、吸着貯留したオゾンを脱着する際に、前記
吸脱着塔内の圧力を大気圧以下に調節するガス制御手段
を備えたものである。
【００１３】また本発明の第３の発明にかかわるオゾン
製造装置は、吸着貯留したオゾンを脱着する際に、吸脱
着塔内の温度を吸着貯留時の温度に維持する温度制御手
段を備えたものである。
製造装置は、吸着貯留したオゾンを脱着する際に、吸脱
着塔内の温度を吸着貯留時の温度に維持する温度制御手
段を備えたものである。
【００１４】また本発明の第４の発明にかかわるオゾン
製造装置は、オゾン化酸素を生成するオゾン発生器と、
オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを吸着
貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着して供
給するオゾン脱着手段からなるオゾン製造装置であっ
て、脱着開始時に吸脱着塔内のガスを排気する排気手段
を備えてなることを特徴としている。
製造装置は、オゾン化酸素を生成するオゾン発生器と、
オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを吸着
貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着して供
給するオゾン脱着手段からなるオゾン製造装置であっ
て、脱着開始時に吸脱着塔内のガスを排気する排気手段
を備えてなることを特徴としている。
【００１５】また本発明の第５の発明にかかわるオゾン
製造装置は、吸脱着塔内のガスを排気したのち、吸脱着
塔に少量の酸素を流入させたものである。
製造装置は、吸脱着塔内のガスを排気したのち、吸脱着
塔に少量の酸素を流入させたものである。
【００１６】また本発明の第６の発明にかかわるオゾン
製造装置は、オゾン化酸素を生成するオゾン発生器と、
オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを吸着
貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着して供
給するオゾン脱着手段からなるオゾン製造装置であっ
て、脱着したオゾンを蓄えるタンクを備えてなることを
特徴としている。
製造装置は、オゾン化酸素を生成するオゾン発生器と、
オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを吸着
貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着して供
給するオゾン脱着手段からなるオゾン製造装置であっ
て、脱着したオゾンを蓄えるタンクを備えてなることを
特徴としている。
【００１７】さらに本発明の第７の発明にかかわるオゾ
ン製造装置は、オゾン化酸素を生成するオゾン発生器
と、オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを
吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着し
て供給するオゾン脱着手段からなるオゾン製造装置であ
って、脱着オゾン濃度を計測するオゾン濃度計を有し、
脱着時のオゾン濃度の計測値が最大値となったのち、予
め定めた値まで低下したときに脱着停止の制御信号を出
し、脱着を停止する制御回路を備えてなることを特徴と
している。
ン製造装置は、オゾン化酸素を生成するオゾン発生器
と、オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを
吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着し
て供給するオゾン脱着手段からなるオゾン製造装置であ
って、脱着オゾン濃度を計測するオゾン濃度計を有し、
脱着時のオゾン濃度の計測値が最大値となったのち、予
め定めた値まで低下したときに脱着停止の制御信号を出
し、脱着を停止する制御回路を備えてなることを特徴と
している。
【００１８】
実施の形態１．図１は本発明の実施の形態１におけるオ
ゾン製造装置を示す構成図である。図１に示すように、
オゾン化酸素を生成するオゾン発生器１と、酸素供給源
２と、循環ブロア３と、吸脱着塔４と、冷熱源５と、加
熱源６と、オゾン脱着手段である水流エジェクタ７と、
切換弁８ａ〜８ｇと、オゾンを貯留する吸脱着塔４に酸
素ガスを供給する酸素ガス供給手段であるタンク９と、
酸素ガス供給タンク９から吸脱着塔４に供給される酸素
ガス量を調節する酸素ガス流量調節手段である調節器１
０とからなる。吸脱着塔４は二重筒になっており、その
内筒はオゾン吸着剤が充填されており、外筒は熱媒体が
充填されている。この、オゾン吸着剤には、たとえばオ
ゾンと接触したときの分解率が低いものを選ぶことが望
ましく、シリカゲル、活性アルミナやフルオロカーボン
を含浸させた多孔質材料などが用いられ、熱媒体にはエ
チレングリコールやアルコール類が用いられる。また、
前記循環ブロア３、オゾン発生器１および吸脱着塔４
は、この順に１つの循環系を構成している。
ゾン製造装置を示す構成図である。図１に示すように、
オゾン化酸素を生成するオゾン発生器１と、酸素供給源
２と、循環ブロア３と、吸脱着塔４と、冷熱源５と、加
熱源６と、オゾン脱着手段である水流エジェクタ７と、
切換弁８ａ〜８ｇと、オゾンを貯留する吸脱着塔４に酸
素ガスを供給する酸素ガス供給手段であるタンク９と、
酸素ガス供給タンク９から吸脱着塔４に供給される酸素
ガス量を調節する酸素ガス流量調節手段である調節器１
０とからなる。吸脱着塔４は二重筒になっており、その
内筒はオゾン吸着剤が充填されており、外筒は熱媒体が
充填されている。この、オゾン吸着剤には、たとえばオ
ゾンと接触したときの分解率が低いものを選ぶことが望
ましく、シリカゲル、活性アルミナやフルオロカーボン
を含浸させた多孔質材料などが用いられ、熱媒体にはエ
チレングリコールやアルコール類が用いられる。また、
前記循環ブロア３、オゾン発生器１および吸脱着塔４
は、この順に１つの循環系を構成している。
【００１９】つぎに動作について説明する。この動作に
はオゾンを吸着する動作およびオゾンを脱着する動作の
２つの動作がある。
はオゾンを吸着する動作およびオゾンを脱着する動作の
２つの動作がある。
【００２０】最初に吸着動作について説明する。酸素供
給源２より循環系内が常時一定圧力、たとえば１．５ｋ
ｇ／ｃｍ2になるように酸素を供給する。切換弁８ａ〜
８ｄが開いた状態で、循環ブロア３により循環系内に酸
素を流通させると、オゾン発生器１の放電空隙中を通過
するあいだに、無声放電により酸素の一部がオゾンに変
換されてオゾン化酸素になったのち、このオゾン化酸素
は吸脱着塔４へ搬送される。吸脱着塔４内の吸着剤は、
オゾンを選択的に吸着し、残りの酸素は切換弁８ｃを介
して循環ブロア３に返送される。オゾンとして消費され
た酸素は酸素供給源２より補充される。このとき、オゾ
ン吸着剤は冷却するほどオゾンの吸着容量が増えるとい
う性質を有することから、通常冷却温度は冷熱源５によ
り−４０℃以下にされている。また、循環系内の圧力を
高くするほど、オゾンを効率的に蓄えることができる。
しかし、オゾン発生効率やオゾン貯蔵効率を考えると、
過度に循環系内の圧力を高くすることは、貯蔵時の消費
電力を増大させることになり、最大でも５ｋｇ／ｃｍ2
程度に維持することが望ましい。
給源２より循環系内が常時一定圧力、たとえば１．５ｋ
ｇ／ｃｍ2になるように酸素を供給する。切換弁８ａ〜
８ｄが開いた状態で、循環ブロア３により循環系内に酸
素を流通させると、オゾン発生器１の放電空隙中を通過
するあいだに、無声放電により酸素の一部がオゾンに変
換されてオゾン化酸素になったのち、このオゾン化酸素
は吸脱着塔４へ搬送される。吸脱着塔４内の吸着剤は、
オゾンを選択的に吸着し、残りの酸素は切換弁８ｃを介
して循環ブロア３に返送される。オゾンとして消費され
た酸素は酸素供給源２より補充される。このとき、オゾ
ン吸着剤は冷却するほどオゾンの吸着容量が増えるとい
う性質を有することから、通常冷却温度は冷熱源５によ
り−４０℃以下にされている。また、循環系内の圧力を
高くするほど、オゾンを効率的に蓄えることができる。
しかし、オゾン発生効率やオゾン貯蔵効率を考えると、
過度に循環系内の圧力を高くすることは、貯蔵時の消費
電力を増大させることになり、最大でも５ｋｇ／ｃｍ2
程度に維持することが望ましい。
【００２１】吸脱着塔４内の吸着剤がオゾン飽和吸着量
近くまで吸着するとつぎに脱着動作へ移行する。脱着動
作では、オゾン発生器１、循環ブロア３および冷熱源５
が稼動を停止し、切換弁８ａ〜８ｄが閉じる。そのの
ち、水流エジェクタ７が稼動を始めて切換弁８ｆが開
く。このとき、吸着剤に吸着されていたオゾンが脱着し
易いように加熱源６により、数分間で分離できる１０℃
以上の熱が加えられ吸着剤の温度を上昇させる。それと
同時に、酸素ガス供給タンク９から酸素ガス流量調節器
１０を介して吸脱着塔４に酸素ガスが供給される。これ
により、吸脱着塔４内の吸着剤であるシリカゲルの表面
では、供給された酸素が吸着されて、すでに吸着してい
るオゾンが脱着する、いわゆるガス置換現象が生じ、オ
ゾンを高濃度に含んだガスが水流エジェクタ７に吸引さ
れる。一定時間、たとえばスライム付着などを行なうと
きは、５分間程度のあいだ、この状態を継続し、処理が
終了すると、切換弁８ｅ、８ｇが閉じ、そののち、酸素
ガス供給タンク９からの酸素供給が停止し、水流エジェ
クタ７が稼働を停止する。このように脱着期間が終了す
ると、再び初期の吸着動作へと移行して連続的に運転が
繰り返される。なお、吸脱着塔４から設定された濃度の
オゾンが漏れ出したときに、脱着動作に移るようにして
もよい。また、予め吸着時間を設定しておき、時間経過
に合わせて脱着工程に移るようにしてもよい。
近くまで吸着するとつぎに脱着動作へ移行する。脱着動
作では、オゾン発生器１、循環ブロア３および冷熱源５
が稼動を停止し、切換弁８ａ〜８ｄが閉じる。そのの
ち、水流エジェクタ７が稼動を始めて切換弁８ｆが開
く。このとき、吸着剤に吸着されていたオゾンが脱着し
易いように加熱源６により、数分間で分離できる１０℃
以上の熱が加えられ吸着剤の温度を上昇させる。それと
同時に、酸素ガス供給タンク９から酸素ガス流量調節器
１０を介して吸脱着塔４に酸素ガスが供給される。これ
により、吸脱着塔４内の吸着剤であるシリカゲルの表面
では、供給された酸素が吸着されて、すでに吸着してい
るオゾンが脱着する、いわゆるガス置換現象が生じ、オ
ゾンを高濃度に含んだガスが水流エジェクタ７に吸引さ
れる。一定時間、たとえばスライム付着などを行なうと
きは、５分間程度のあいだ、この状態を継続し、処理が
終了すると、切換弁８ｅ、８ｇが閉じ、そののち、酸素
ガス供給タンク９からの酸素供給が停止し、水流エジェ
クタ７が稼働を停止する。このように脱着期間が終了す
ると、再び初期の吸着動作へと移行して連続的に運転が
繰り返される。なお、吸脱着塔４から設定された濃度の
オゾンが漏れ出したときに、脱着動作に移るようにして
もよい。また、予め吸着時間を設定しておき、時間経過
に合わせて脱着工程に移るようにしてもよい。
【００２２】前記オゾン脱着時に供給する酸素ガスは、
吸脱着塔４からオゾンが吸引される側と反対側の位置か
ら供給される。すなわち、吸脱着塔４の下部からオゾン
が吸引されるばあいには、酸素ガスは吸脱着塔４の上部
から供給される。このようにすることにより、効率的に
酸素とオゾンの置換を行なうことができ、高濃度のオゾ
ンを供給することができる。また、脱着時の酸素供給量
は吸着剤の充填量によって異なるが、吸脱着塔４の出口
で酸素が完全にオゾンと置換するように、酸素ガス供給
量を酸素ガス流量調節器１０により調節すると、最も高
濃度のオゾンガスを供給することができる。言い換えれ
ば、酸素ガス供給量を調節することにより、任意の濃度
で任意の量のオゾンを一定時間に投入することができ、
効率的なオゾン注入ができる。
吸脱着塔４からオゾンが吸引される側と反対側の位置か
ら供給される。すなわち、吸脱着塔４の下部からオゾン
が吸引されるばあいには、酸素ガスは吸脱着塔４の上部
から供給される。このようにすることにより、効率的に
酸素とオゾンの置換を行なうことができ、高濃度のオゾ
ンを供給することができる。また、脱着時の酸素供給量
は吸着剤の充填量によって異なるが、吸脱着塔４の出口
で酸素が完全にオゾンと置換するように、酸素ガス供給
量を酸素ガス流量調節器１０により調節すると、最も高
濃度のオゾンガスを供給することができる。言い換えれ
ば、酸素ガス供給量を調節することにより、任意の濃度
で任意の量のオゾンを一定時間に投入することができ、
効率的なオゾン注入ができる。
【００２３】以上のように、一定時間のあいだ、高濃度
のオゾンをパルス状に注入することができるため、スラ
イム付着防止を効率よく行なうことができるとともに、
スライム付着防止に影響を与えない低濃度のオゾンの注
入を防止でき、無意味なオゾンの消費を低減することが
できる。また、吸着剤の昇温工程を省いても、高濃度の
オゾンを注入することができるので、加熱源をなくすこ
とができると同時に、昇温に使用するエネルギーを低減
することができ、経済的なオゾン製造装置をうることが
できる。
のオゾンをパルス状に注入することができるため、スラ
イム付着防止を効率よく行なうことができるとともに、
スライム付着防止に影響を与えない低濃度のオゾンの注
入を防止でき、無意味なオゾンの消費を低減することが
できる。また、吸着剤の昇温工程を省いても、高濃度の
オゾンを注入することができるので、加熱源をなくすこ
とができると同時に、昇温に使用するエネルギーを低減
することができ、経済的なオゾン製造装置をうることが
できる。
【００２４】なお、本実施の形態では、切換弁８ｆが閉
じ、そののち、酸素ガス供給タンク９からの酸素供給が
停止し、水流エジェクタ７が稼働を停止する脱着停止フ
ローのばあいについて示したが、酸素ガス供給タンク９
からの酸素供給が停止し、そののち、切換弁８ｆが閉
じ、水流エジェクタ７が稼働を停止する脱着停止フロー
にしても水流エジェクタ７の駆動に用いる水が吸脱着塔
４に浸入することを防止できる。
じ、そののち、酸素ガス供給タンク９からの酸素供給が
停止し、水流エジェクタ７が稼働を停止する脱着停止フ
ローのばあいについて示したが、酸素ガス供給タンク９
からの酸素供給が停止し、そののち、切換弁８ｆが閉
じ、水流エジェクタ７が稼働を停止する脱着停止フロー
にしても水流エジェクタ７の駆動に用いる水が吸脱着塔
４に浸入することを防止できる。
【００２５】また、本実施の形態では、オゾン脱着時に
供給する酸素ガスの温度について言及しなかったが、酸
素ガスの温度は冷却されているオゾン吸着剤と同レベル
の温度にする方が、オゾン吸着剤を再び冷却する際に必
要な電力を少なくできるという点で好ましい。しかし、
貯蔵したオゾンを一度に高濃度で脱着できるという点で
は、オゾン吸着剤よりも高い温度の酸素ガスを供給する
方が好ましい。すなわち、温度制御していない室温レベ
ルの温度の酸素ガスを供給することにより、オゾンを効
率よく脱着することができる。
供給する酸素ガスの温度について言及しなかったが、酸
素ガスの温度は冷却されているオゾン吸着剤と同レベル
の温度にする方が、オゾン吸着剤を再び冷却する際に必
要な電力を少なくできるという点で好ましい。しかし、
貯蔵したオゾンを一度に高濃度で脱着できるという点で
は、オゾン吸着剤よりも高い温度の酸素ガスを供給する
方が好ましい。すなわち、温度制御していない室温レベ
ルの温度の酸素ガスを供給することにより、オゾンを効
率よく脱着することができる。
【００２６】実施の形態２．図２は本発明の実施の形態
２におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図２に
おいて、前記実施の形態１と同一符号は同一または相当
部分を示すので説明を省略する。
２におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図２に
おいて、前記実施の形態１と同一符号は同一または相当
部分を示すので説明を省略する。
【００２７】本実施の形態では、ガス制御手段である、
吸脱着塔４内の圧力を測定する圧力センサ２１と、酸素
ガス供給タンク９から吸脱着塔４に供給される酸素ガス
の供給圧力を調節する圧力調節器２２と、水流エジェク
タ７に吸引されるオゾンガス流量を調節する流量制御器
２３と、圧力センサ２１からの信号を受けて圧力調節器
２２、流量制御器２３および酸素ガス流量調節器１０の
動作を制御する圧力用コントローラ２４を備えている。
吸脱着塔４内の圧力を測定する圧力センサ２１と、酸素
ガス供給タンク９から吸脱着塔４に供給される酸素ガス
の供給圧力を調節する圧力調節器２２と、水流エジェク
タ７に吸引されるオゾンガス流量を調節する流量制御器
２３と、圧力センサ２１からの信号を受けて圧力調節器
２２、流量制御器２３および酸素ガス流量調節器１０の
動作を制御する圧力用コントローラ２４を備えている。
【００２８】つぎに動作について説明する。この動作に
はオゾンを吸着する動作、およびオゾンを脱着する動作
の２つの動作がある。オゾンを吸着する動作については
実施の形態１と同様であるため、ここでは説明を省略す
る。
はオゾンを吸着する動作、およびオゾンを脱着する動作
の２つの動作がある。オゾンを吸着する動作については
実施の形態１と同様であるため、ここでは説明を省略す
る。
【００２９】吸脱着塔４内の吸着剤がオゾン飽和吸着量
近くまで吸着するとつぎに脱着動作へ移行する。脱着動
作ではオゾン発生器１、循環ブロア３および冷熱源５が
稼動を停止し、切換弁８ａ〜８ｄが閉じる。そののち、
水流エジェクタ７が稼動を始めて切換弁８ｅ〜８ｇが開
く。このとき、吸着剤に吸着されていたオゾンが脱着し
易いように加熱源６により、数分間で脱着分離できる１
０℃以上の熱が加えられ吸着剤の温度を上昇させる。そ
れと同時に、酸素ガス供給タンク９から酸素ガス流量調
節器１０を介して吸脱着塔４に酸素ガスが供給される。
一定時間のあいだ、オゾン注入を行ない、処理が終了す
ると、切換弁８ｆが閉じ、そののち、酸素ガス供給タン
ク９からの酸素供給が停止し、水流エジェクタ７が稼働
を停止する。このように脱着期間が終了すると、再び初
期の吸着動作へと移行して連続的に運転が繰り返され
る。
近くまで吸着するとつぎに脱着動作へ移行する。脱着動
作ではオゾン発生器１、循環ブロア３および冷熱源５が
稼動を停止し、切換弁８ａ〜８ｄが閉じる。そののち、
水流エジェクタ７が稼動を始めて切換弁８ｅ〜８ｇが開
く。このとき、吸着剤に吸着されていたオゾンが脱着し
易いように加熱源６により、数分間で脱着分離できる１
０℃以上の熱が加えられ吸着剤の温度を上昇させる。そ
れと同時に、酸素ガス供給タンク９から酸素ガス流量調
節器１０を介して吸脱着塔４に酸素ガスが供給される。
一定時間のあいだ、オゾン注入を行ない、処理が終了す
ると、切換弁８ｆが閉じ、そののち、酸素ガス供給タン
ク９からの酸素供給が停止し、水流エジェクタ７が稼働
を停止する。このように脱着期間が終了すると、再び初
期の吸着動作へと移行して連続的に運転が繰り返され
る。
【００３０】オゾン脱着時には、吸脱着塔４内の圧力を
低くする方が、酸素との置換によって脱離したオゾンが
再び吸着する量を低減することができる。つまり、吸脱
着塔４内が負圧状態となる大気圧以下にする方がオゾン
の再吸着量を低減することができる。したがって、吸脱
着塔４内に一定量の酸素ガスが供給されるのを維持しな
がら、できるだけ吸脱着塔４内の圧力を低くすることが
できるように、圧力センサ２１からの電気信号を受けた
圧力用コントローラ２４が圧力調節器２２、流量制御器
２３、酸素ガス流量調節器１０の動作を制御する。すな
わち、圧力調節器２２により供給される酸素ガスの圧力
を低くするとともに、酸素ガス供給量をオゾンガス脱着
量よりも小さくすることにより、効率的にオゾンを脱着
することができる。
低くする方が、酸素との置換によって脱離したオゾンが
再び吸着する量を低減することができる。つまり、吸脱
着塔４内が負圧状態となる大気圧以下にする方がオゾン
の再吸着量を低減することができる。したがって、吸脱
着塔４内に一定量の酸素ガスが供給されるのを維持しな
がら、できるだけ吸脱着塔４内の圧力を低くすることが
できるように、圧力センサ２１からの電気信号を受けた
圧力用コントローラ２４が圧力調節器２２、流量制御器
２３、酸素ガス流量調節器１０の動作を制御する。すな
わち、圧力調節器２２により供給される酸素ガスの圧力
を低くするとともに、酸素ガス供給量をオゾンガス脱着
量よりも小さくすることにより、効率的にオゾンを脱着
することができる。
【００３１】このように、本実施の形態では、圧力調節
器２２により供給される酸素ガスの圧力を低くするとと
もに、酸素ガス供給量をオゾンガス脱着量よりも小さく
することにより、オゾン脱着時に吸脱着塔４内の圧力を
大気圧以下にすることができ、オゾンの再吸着量を低減
できるために、一定時間のあいだ、高濃度のオゾンをパ
ルス状に注入することができ、スライム付着防止を効率
的に行なうことができる。また、脱着時に使用する酸素
ガスを少なくすることができ、オゾン注入を経済的に行
なうことができる。
器２２により供給される酸素ガスの圧力を低くするとと
もに、酸素ガス供給量をオゾンガス脱着量よりも小さく
することにより、オゾン脱着時に吸脱着塔４内の圧力を
大気圧以下にすることができ、オゾンの再吸着量を低減
できるために、一定時間のあいだ、高濃度のオゾンをパ
ルス状に注入することができ、スライム付着防止を効率
的に行なうことができる。また、脱着時に使用する酸素
ガスを少なくすることができ、オゾン注入を経済的に行
なうことができる。
【００３２】本実施の形態では、圧力センサ２１の取り
付け位置について言及しなかったが、圧力センサ２１は
オゾンが水流エジェクタ７によって吸引される位置から
最も離れた位置に装着するようにした方がよい。これに
より、吸脱着塔４内の吸着剤全体を大気圧以下に保つこ
とができ、オゾン脱着を効率的に行なうことができる。
また、酸素ガス流量調節器１０の下流側に装着するよう
にしても同等の効果がえられる。さらに、複数の圧力セ
ンサ２１を利用して精密な制御を行なうようにしてもよ
い。
付け位置について言及しなかったが、圧力センサ２１は
オゾンが水流エジェクタ７によって吸引される位置から
最も離れた位置に装着するようにした方がよい。これに
より、吸脱着塔４内の吸着剤全体を大気圧以下に保つこ
とができ、オゾン脱着を効率的に行なうことができる。
また、酸素ガス流量調節器１０の下流側に装着するよう
にしても同等の効果がえられる。さらに、複数の圧力セ
ンサ２１を利用して精密な制御を行なうようにしてもよ
い。
【００３３】実施の形態３．図３は本発明の実施の形態
３におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図３に
おいて、前記実施の形態１と同一符号は同一または相当
部分を示すので説明を省略する。
３におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図３に
おいて、前記実施の形態１と同一符号は同一または相当
部分を示すので説明を省略する。
【００３４】本実施の形態では、吸脱着塔４内の温度を
測定する温度センサ３１と、温度センサ３１からの信号
を受けて、冷熱源５の動作を制御する温度用コントロー
ラ３２とからなる温度制御手段を備えている。
測定する温度センサ３１と、温度センサ３１からの信号
を受けて、冷熱源５の動作を制御する温度用コントロー
ラ３２とからなる温度制御手段を備えている。
【００３５】つぎに動作について説明する。この動作に
はオゾンを吸着する動作、およびオゾンを脱着する動作
の２つの動作がある。オゾンを吸着する動作については
実施の形態１と同様であるため、ここでは説明を省略す
る。
はオゾンを吸着する動作、およびオゾンを脱着する動作
の２つの動作がある。オゾンを吸着する動作については
実施の形態１と同様であるため、ここでは説明を省略す
る。
【００３６】吸脱着塔４内の吸着剤がオゾン飽和吸着量
近くまで吸着するとつぎに脱着動作へ移行する。脱着動
作ではオゾン発生器１、循環ブロア３が稼動を停止し、
切換弁８ａ〜８ｄが閉じる。そののち、水流エジェクタ
７が稼動を始めて切換弁８ｆが開く。このとき、酸素ガ
ス供給タンク９から酸素ガス流量調節器１０を介して吸
脱着塔４に酸素ガスが供給される。一定時間のあいだ、
オゾン注入を行ない、処理が終了すると、切換弁８ｆが
閉じ、そののち、酸素ガス供給タンク９からの酸素供給
が停止し、水流エジェクタ７が稼働を停止する。このよ
うに脱着期間が終了すると、再び初期の吸着動作へと移
行して連続的に運転が繰り返される。
近くまで吸着するとつぎに脱着動作へ移行する。脱着動
作ではオゾン発生器１、循環ブロア３が稼動を停止し、
切換弁８ａ〜８ｄが閉じる。そののち、水流エジェクタ
７が稼動を始めて切換弁８ｆが開く。このとき、酸素ガ
ス供給タンク９から酸素ガス流量調節器１０を介して吸
脱着塔４に酸素ガスが供給される。一定時間のあいだ、
オゾン注入を行ない、処理が終了すると、切換弁８ｆが
閉じ、そののち、酸素ガス供給タンク９からの酸素供給
が停止し、水流エジェクタ７が稼働を停止する。このよ
うに脱着期間が終了すると、再び初期の吸着動作へと移
行して連続的に運転が繰り返される。
【００３７】オゾン脱着時には、酸素の吸着による発熱
量よりもオゾンの脱着による吸熱量の方が大きくなるこ
とから、オゾン吸着剤であるシリカゲルの温度は脱着時
一旦低下する。しかし、吸脱着塔４からの放熱などによ
り、シリカゲルの温度は再び上昇する。このように脱着
工程では酸素の吸着、オゾンの脱着、吸脱着塔の放熱に
よって温度が変化する。このため、吸脱着塔４内の温度
を吸着貯留時の温度に保つように、温度センサ３１から
温度用コントローラ３２に電気信号が送られ、温度用コ
ントローラ３２は冷熱源５に稼働停止信号を送る。すな
わち、本実施の形態では脱着工程か吸着工程かにかかわ
らず、吸脱着塔４内の温度がオゾンを吸着する際の温度
になるよう冷熱源５は稼働停止を繰り返す。
量よりもオゾンの脱着による吸熱量の方が大きくなるこ
とから、オゾン吸着剤であるシリカゲルの温度は脱着時
一旦低下する。しかし、吸脱着塔４からの放熱などによ
り、シリカゲルの温度は再び上昇する。このように脱着
工程では酸素の吸着、オゾンの脱着、吸脱着塔の放熱に
よって温度が変化する。このため、吸脱着塔４内の温度
を吸着貯留時の温度に保つように、温度センサ３１から
温度用コントローラ３２に電気信号が送られ、温度用コ
ントローラ３２は冷熱源５に稼働停止信号を送る。すな
わち、本実施の形態では脱着工程か吸着工程かにかかわ
らず、吸脱着塔４内の温度がオゾンを吸着する際の温度
になるよう冷熱源５は稼働停止を繰り返す。
【００３８】このように、本実施の形態では、脱着時に
吸脱着塔を昇温せず、吸着時と同一温度で脱着させるの
で昇温、冷却に必要なエネルギーを低減でき、さらに温
度センサ３１を用いて吸脱着塔４内の温度をきめ細かく
管理することにより、冷熱源５を稼働するのに必要なエ
ネルギーを低減できるので、運転経費を低減することが
できる。
吸脱着塔を昇温せず、吸着時と同一温度で脱着させるの
で昇温、冷却に必要なエネルギーを低減でき、さらに温
度センサ３１を用いて吸脱着塔４内の温度をきめ細かく
管理することにより、冷熱源５を稼働するのに必要なエ
ネルギーを低減できるので、運転経費を低減することが
できる。
【００３９】なお、本実施の形態では、温度センサ３１
の取り付け位置について言及しなかったが、温度センサ
３１はオゾン吸着時にオゾン化酸素が供給される位置か
ら最も近い位置に装着するようにした方がよい。これに
より、オゾンの吸着を効率的にすることができる。ま
た、複数の温度センサ３１を利用して精密な制御を行な
うようにしてもよい。
の取り付け位置について言及しなかったが、温度センサ
３１はオゾン吸着時にオゾン化酸素が供給される位置か
ら最も近い位置に装着するようにした方がよい。これに
より、オゾンの吸着を効率的にすることができる。ま
た、複数の温度センサ３１を利用して精密な制御を行な
うようにしてもよい。
【００４０】前記実施の形態１でも述べたように、貯蔵
したオゾンを一度に高濃度で脱着できるという点で、オ
ゾン吸着剤よりも高い温度の酸素ガスを供給する方が好
ましい。すなわち、温度制御していない室温レベルの温
度の酸素ガスを供給することにより、オゾンを効率よく
脱着することができる。また、脱着初期には温度制御し
ていない酸素ガスでオゾンを脱着し、一旦低下した吸着
剤の温度が再び吸着時温度に達したときに、吸着剤の温
度と同レベルに冷却した酸素ガスを流すようにしても良
い。これにより、オゾン脱着時に吸脱着塔から奪われる
熱量を最小限にすることができ、効率的なオゾン脱着が
できる。さらに本実施の形態では、加熱源を備えないば
あいの例を示したが、加熱源を備え、冷熱源と併用し
て、脱着工程の吸脱着塔の温度を吸着貯留時の温度に保
つことが可能である。
したオゾンを一度に高濃度で脱着できるという点で、オ
ゾン吸着剤よりも高い温度の酸素ガスを供給する方が好
ましい。すなわち、温度制御していない室温レベルの温
度の酸素ガスを供給することにより、オゾンを効率よく
脱着することができる。また、脱着初期には温度制御し
ていない酸素ガスでオゾンを脱着し、一旦低下した吸着
剤の温度が再び吸着時温度に達したときに、吸着剤の温
度と同レベルに冷却した酸素ガスを流すようにしても良
い。これにより、オゾン脱着時に吸脱着塔から奪われる
熱量を最小限にすることができ、効率的なオゾン脱着が
できる。さらに本実施の形態では、加熱源を備えないば
あいの例を示したが、加熱源を備え、冷熱源と併用し
て、脱着工程の吸脱着塔の温度を吸着貯留時の温度に保
つことが可能である。
【００４１】実施の形態４．図４は本発明の実施の形態
４におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図４に
おいて、前記実施の形態１と同一符号は同一または相当
部分を示すので説明を省略する。
４におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図４に
おいて、前記実施の形態１と同一符号は同一または相当
部分を示すので説明を省略する。
【００４２】本実施の形態では、排気手段である、吸脱
着塔４内の排気を行なう排気装置４１と、吸脱着塔４と
排気装置４１をつなぐ配管４３上に備え付けられている
停止弁４２を備えている。
着塔４内の排気を行なう排気装置４１と、吸脱着塔４と
排気装置４１をつなぐ配管４３上に備え付けられている
停止弁４２を備えている。
【００４３】つぎに動作について説明する。吸着工程が
終了した直後の吸脱着塔４内には、まだオゾン発生器１
からオゾン化酸素が供給され、オゾンが吸着剤に吸着さ
れた残りの酸素ガスが残留しているため、高濃度のオゾ
ンをシリカゲルから脱着分離することができても残留酸
素ガスで希釈されてしまい、脱着オゾン濃度を先鋭化
（高濃度のオゾンを短時間に吸脱着塔４から取り出すこ
と）することができない。
終了した直後の吸脱着塔４内には、まだオゾン発生器１
からオゾン化酸素が供給され、オゾンが吸着剤に吸着さ
れた残りの酸素ガスが残留しているため、高濃度のオゾ
ンをシリカゲルから脱着分離することができても残留酸
素ガスで希釈されてしまい、脱着オゾン濃度を先鋭化
（高濃度のオゾンを短時間に吸脱着塔４から取り出すこ
と）することができない。
【００４４】本実施の形態では、脱着工程が終わると直
ぐに排気装置４１を一定時間動作させ、停止弁４２を開
けて吸脱着塔４内に残存する酸素ガスを排出する。つい
で、加熱源６を動作させて吸着剤を昇温したのち、また
は水流エジェクタ７を動作させたのち、吸脱着塔４内を
減圧し、吸着しているオゾンを脱着させる。または吸着
剤を昇温後に水流エジェクタ７を動作させて脱着させる
ようにしてもよい。
ぐに排気装置４１を一定時間動作させ、停止弁４２を開
けて吸脱着塔４内に残存する酸素ガスを排出する。つい
で、加熱源６を動作させて吸着剤を昇温したのち、また
は水流エジェクタ７を動作させたのち、吸脱着塔４内を
減圧し、吸着しているオゾンを脱着させる。または吸着
剤を昇温後に水流エジェクタ７を動作させて脱着させる
ようにしてもよい。
【００４５】このように、脱着開始直前に排気装置４１
を稼動させて吸脱着塔４内の酸素ガスをあらかじめ排出
するので、脱着オゾン濃度を高濃度にすることができる
とともに、先鋭化することができる。
を稼動させて吸脱着塔４内の酸素ガスをあらかじめ排出
するので、脱着オゾン濃度を高濃度にすることができる
とともに、先鋭化することができる。
【００４６】また、排気装置４１で排気したのち、少量
の酸素を吸脱着塔４に送り込むことも効果的である。す
なわち、切替弁８ｃ〜８ｄのいずれか一方、または両者
を操作して酸素供給源２より少量の酸素を吸脱着塔４に
供給する。
の酸素を吸脱着塔４に送り込むことも効果的である。す
なわち、切替弁８ｃ〜８ｄのいずれか一方、または両者
を操作して酸素供給源２より少量の酸素を吸脱着塔４に
供給する。
【００４７】吸着工程の最後に吸脱着塔４に供給された
オゾン化酸素のうち、吸着されなかった酸素を予め排気
装置４１で排出しているので、吸脱着塔４内は吸着して
いたオゾンが脱着しているが、ここに少量の酸素を混ぜ
ると、それまでオゾン雰囲気の所に酸素が混入してくる
ので、吸着剤に対するオゾンの吸着平衡が乱れ、吸着し
ているオゾンの脱着速度が増加する。
オゾン化酸素のうち、吸着されなかった酸素を予め排気
装置４１で排出しているので、吸脱着塔４内は吸着して
いたオゾンが脱着しているが、ここに少量の酸素を混ぜ
ると、それまでオゾン雰囲気の所に酸素が混入してくる
ので、吸着剤に対するオゾンの吸着平衡が乱れ、吸着し
ているオゾンの脱着速度が増加する。
【００４８】本実施の形態では、吸脱着塔４内のガス排
気したのち、吸脱着塔４内に少量の酸素を注入すること
により、吸着しているオゾンを一気に脱着させるので、
脱着オゾン濃度を高濃度にすることができるとともに、
先鋭化することができる。
気したのち、吸脱着塔４内に少量の酸素を注入すること
により、吸着しているオゾンを一気に脱着させるので、
脱着オゾン濃度を高濃度にすることができるとともに、
先鋭化することができる。
【００４９】なお、本実施の形態では、吸脱着塔４から
のガスをそのまま大気中に排出しているが、オゾン分解
塔に導いて触媒などによりオゾンを分解してから、排出
するようにすれば、より安全性の高い装置となる。
のガスをそのまま大気中に排出しているが、オゾン分解
塔に導いて触媒などによりオゾンを分解してから、排出
するようにすれば、より安全性の高い装置となる。
【００５０】実施の形態５．図５は本発明の実施の形態
５におけるオゾン供給装置を示す構成図であり、図５に
おいて、前記実施の形態１と同一符号は同一または相当
部分を示すので説明を省略する。
５におけるオゾン供給装置を示す構成図であり、図５に
おいて、前記実施の形態１と同一符号は同一または相当
部分を示すので説明を省略する。
【００５１】５１は排気装置４１により排出されたガス
を一時的に貯留するタンク、５２は切替弁である。ま
た、排気装置４１、タンク５１、切替弁５２、吸脱着塔
４、切替弁８ｆと水流エジェクタ７を接続する配管５３
に備え付けられている。
を一時的に貯留するタンク、５２は切替弁である。ま
た、排気装置４１、タンク５１、切替弁５２、吸脱着塔
４、切替弁８ｆと水流エジェクタ７を接続する配管５３
に備え付けられている。
【００５２】つぎに動作について説明する。吸着工程が
終了すると加熱源６により吸脱着塔４内のオゾン吸着剤
を加熱して吸着剤に吸着していたオゾンを脱着させる。
このとき、脱着初期は脱着速度も大きく濃度も高いが、
時間経過とともに急速に脱着速度、脱着オゾン濃度とも
減少する。このため、本実施の形態では、脱着工程に入
って加熱源６を動作させ、吸着剤を昇温して吸着剤に吸
着貯留しているオゾンを高濃度に脱着させたのち、切替
弁５２は閉の状態で切替弁８ｆを開き、排気装置４１を
動作させて、吸脱着塔４内に脱着し、貯留している高濃
度のオゾンガスをタンク５１に一時的に貯留する。つい
で切替弁８ｆを閉じ、排気装置４１を停止させたのち、
水流エジェクタ７を動作させ、切替弁５２を開いてタン
ク５１内に一時的に貯留したオゾンを水流エジェクタ７
に導き、水中に分散し、溶解してオゾン水として使用箇
所に送る。
終了すると加熱源６により吸脱着塔４内のオゾン吸着剤
を加熱して吸着剤に吸着していたオゾンを脱着させる。
このとき、脱着初期は脱着速度も大きく濃度も高いが、
時間経過とともに急速に脱着速度、脱着オゾン濃度とも
減少する。このため、本実施の形態では、脱着工程に入
って加熱源６を動作させ、吸着剤を昇温して吸着剤に吸
着貯留しているオゾンを高濃度に脱着させたのち、切替
弁５２は閉の状態で切替弁８ｆを開き、排気装置４１を
動作させて、吸脱着塔４内に脱着し、貯留している高濃
度のオゾンガスをタンク５１に一時的に貯留する。つい
で切替弁８ｆを閉じ、排気装置４１を停止させたのち、
水流エジェクタ７を動作させ、切替弁５２を開いてタン
ク５１内に一時的に貯留したオゾンを水流エジェクタ７
に導き、水中に分散し、溶解してオゾン水として使用箇
所に送る。
【００５３】以上のよう本実施の形態では、脱着工程の
初期に脱着する高濃度のオゾンを一時的にタンクに貯
め、脱着オゾン濃度を平滑化して水流エジェクタ７に供
給するので、従来の装置のような脱着工程後半のスライ
ム付着防止効果は小さい脱着オゾンの低濃度化がなくな
るという効果がある。
初期に脱着する高濃度のオゾンを一時的にタンクに貯
め、脱着オゾン濃度を平滑化して水流エジェクタ７に供
給するので、従来の装置のような脱着工程後半のスライ
ム付着防止効果は小さい脱着オゾンの低濃度化がなくな
るという効果がある。
【００５４】なお、本実施の形態では、排気装置４１を
設置し、吸脱着塔４内を減圧して脱着を促進させる例を
説明したが、吸脱着塔４内の吸着剤を加熱源６によりさ
らに昇温するだけでも高濃度にオゾンを脱着させること
ができるので、排気装置４１を省いてもほぼ同等の効果
がえられる。
設置し、吸脱着塔４内を減圧して脱着を促進させる例を
説明したが、吸脱着塔４内の吸着剤を加熱源６によりさ
らに昇温するだけでも高濃度にオゾンを脱着させること
ができるので、排気装置４１を省いてもほぼ同等の効果
がえられる。
【００５５】実施の形態６．図６は実施の形態６におけ
るオゾン製造装置を示す構成図である。図６において、
６１は切替弁であり、タンク５１からの配管５４に取り
付けられている。その他は前記実施の形態５と同様であ
る。
るオゾン製造装置を示す構成図である。図６において、
６１は切替弁であり、タンク５１からの配管５４に取り
付けられている。その他は前記実施の形態５と同様であ
る。
【００５６】つぎに動作について説明する。吸着工程が
終了した直後の吸脱着塔４内には、まだオゾン発生器１
からオゾン化酸素が供給され、オゾンが吸着剤に吸着さ
れた残りの酸素ガスが残留している。このため、脱着工
程が終わると直ぐに切替弁８ｆ、６１を開き、排気装置
４１を一定時間動作させ、吸脱着塔４内に残存する酸素
ガスを排出する。こののち、切替弁８ｆ、６１を閉じ、
排気装置４１を停止させる。ついで加熱源６を動作させ
吸着剤を加熱し、吸脱着塔４内の吸着剤に吸着している
オゾンを高濃度に脱着させる。そののち、切替弁５２、
６１は閉の状態のままで切替弁８ｆを開き、排気装置４
１を動作させて、吸脱着塔４内に脱着し貯留している高
濃度のオゾンガスをタンク５１に一時的に貯留する。つ
いで切替弁８ｆを閉じ、排気装置４１を停止させたの
ち、水流エジェクタ７を動作させ、切替弁５２を開いて
タンク５１内に一時的に貯留したオゾンを水流エジェク
タ７に導き、水中に分散し、溶解してオゾン水として使
用箇所に送る。
終了した直後の吸脱着塔４内には、まだオゾン発生器１
からオゾン化酸素が供給され、オゾンが吸着剤に吸着さ
れた残りの酸素ガスが残留している。このため、脱着工
程が終わると直ぐに切替弁８ｆ、６１を開き、排気装置
４１を一定時間動作させ、吸脱着塔４内に残存する酸素
ガスを排出する。こののち、切替弁８ｆ、６１を閉じ、
排気装置４１を停止させる。ついで加熱源６を動作させ
吸着剤を加熱し、吸脱着塔４内の吸着剤に吸着している
オゾンを高濃度に脱着させる。そののち、切替弁５２、
６１は閉の状態のままで切替弁８ｆを開き、排気装置４
１を動作させて、吸脱着塔４内に脱着し貯留している高
濃度のオゾンガスをタンク５１に一時的に貯留する。つ
いで切替弁８ｆを閉じ、排気装置４１を停止させたの
ち、水流エジェクタ７を動作させ、切替弁５２を開いて
タンク５１内に一時的に貯留したオゾンを水流エジェク
タ７に導き、水中に分散し、溶解してオゾン水として使
用箇所に送る。
【００５７】このように、脱着開始時に排気装置４１を
稼動させて吸脱着塔４内の酸素ガスを排出するので、脱
着オゾン濃度を高濃度にすることができ、先鋭化するこ
とができるとともに、脱着工程の初期に脱着する高濃度
のオゾンを一時的にタンクに貯め、脱着オゾン濃度を平
滑化して水流エジェクタ７に供給するので、従来の装置
のような脱着工程後半のスライム付着防止効果は小さい
脱着オゾンの低濃度化がなくなるという効果がある。
稼動させて吸脱着塔４内の酸素ガスを排出するので、脱
着オゾン濃度を高濃度にすることができ、先鋭化するこ
とができるとともに、脱着工程の初期に脱着する高濃度
のオゾンを一時的にタンクに貯め、脱着オゾン濃度を平
滑化して水流エジェクタ７に供給するので、従来の装置
のような脱着工程後半のスライム付着防止効果は小さい
脱着オゾンの低濃度化がなくなるという効果がある。
【００５８】なお、本実施の形態では、吸脱着塔４から
のガスをそのまま大気中に排出しているが、前記実施の
形態４と同様、排出ガスをオゾン分解塔に導いて触媒な
どによりオゾンを分解してから、排出するようにすれ
ば、より安全性の高い装置となる。
のガスをそのまま大気中に排出しているが、前記実施の
形態４と同様、排出ガスをオゾン分解塔に導いて触媒な
どによりオゾンを分解してから、排出するようにすれ
ば、より安全性の高い装置となる。
【００５９】また、排気装置４１を設置し、吸脱着塔４
内を減圧して脱着を促進させる例を説明したが、吸脱着
塔４内の吸着剤を加熱源６によりさらに昇温するだけで
も高濃度にオゾンを脱着させることができるので、排気
装置４１を省いてもほぼ同等の効果がえられる。
内を減圧して脱着を促進させる例を説明したが、吸脱着
塔４内の吸着剤を加熱源６によりさらに昇温するだけで
も高濃度にオゾンを脱着させることができるので、排気
装置４１を省いてもほぼ同等の効果がえられる。
【００６０】実施の形態７．図７は本発明の実施の形態
７におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図７に
おいて、７１は制御回路、７２は設定器、７３は配管７
４に取り付けられたオゾン濃度計である。Ｓ１、Ｓ２お
よびＳ３は信号線であり、それぞれオゾン濃度計７３と
制御回路７１、設定器７２と制御回路７１および切替弁
８ｆと制御回路７１を接続している。
７におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図７に
おいて、７１は制御回路、７２は設定器、７３は配管７
４に取り付けられたオゾン濃度計である。Ｓ１、Ｓ２お
よびＳ３は信号線であり、それぞれオゾン濃度計７３と
制御回路７１、設定器７２と制御回路７１および切替弁
８ｆと制御回路７１を接続している。
【００６１】つぎに動作について説明する。まず図８に
従来の装置における脱着オゾン濃度の時間変化を示す。
図８に示すように、かかる装置では、脱着開始後、脱着
オゾン濃度は急激に上昇して最大濃度となり、そのの
ち、減少するというパターンを呈する。前述したよう
に、スライム付着防止においては、高いオゾン濃度で短
時間に処理すること、言い換えれば、脱着オゾンの最大
ピーク濃度が重要である。したがって、脱着工程初期の
脱着オゾン濃度が高い時間帯は良好な処理が行なえる
が、後半の時間帯はスライム付着防止には、効果の小さ
い低濃度のオゾンが脱着されてしまい、処理効果は小さ
く経済的でないばかりか、海水系に適用するばあいに
は、魚貝類に悪影響を及ぼすオキシダントが生成する惧
れがある。つまり、図８に示すように、脱着オゾン濃度
が最大ピークを迎えたのち、効果的に処理できる濃度と
して予め設定していた脱着オゾン濃度まで減少した時
点、すなわち、脱着オゾン濃度がＣまで低下した時点
で、脱着を停止すれば経済的でオキシダントの生成もな
い効率的な処理が行なえることになる。
従来の装置における脱着オゾン濃度の時間変化を示す。
図８に示すように、かかる装置では、脱着開始後、脱着
オゾン濃度は急激に上昇して最大濃度となり、そのの
ち、減少するというパターンを呈する。前述したよう
に、スライム付着防止においては、高いオゾン濃度で短
時間に処理すること、言い換えれば、脱着オゾンの最大
ピーク濃度が重要である。したがって、脱着工程初期の
脱着オゾン濃度が高い時間帯は良好な処理が行なえる
が、後半の時間帯はスライム付着防止には、効果の小さ
い低濃度のオゾンが脱着されてしまい、処理効果は小さ
く経済的でないばかりか、海水系に適用するばあいに
は、魚貝類に悪影響を及ぼすオキシダントが生成する惧
れがある。つまり、図８に示すように、脱着オゾン濃度
が最大ピークを迎えたのち、効果的に処理できる濃度と
して予め設定していた脱着オゾン濃度まで減少した時
点、すなわち、脱着オゾン濃度がＣまで低下した時点
で、脱着を停止すれば経済的でオキシダントの生成もな
い効率的な処理が行なえることになる。
【００６２】本実施の形態では、脱着オゾン濃度をオゾ
ン濃度計７３で計測し、信号線Ｓ１を介してこの信号を
制御回路７１に供給する。制御回路７１では、別途設定
器７２で設定され信号線Ｓ２を介して制御回路７１に供
給される設定値とを比較して、脱着オゾン濃度の計測値
が最大ピークを迎えたのち、設定濃度まで低下した時点
で、信号線Ｓ３を介して切替弁８ｆに信号を送り、切替
弁８ｆを閉じる。
ン濃度計７３で計測し、信号線Ｓ１を介してこの信号を
制御回路７１に供給する。制御回路７１では、別途設定
器７２で設定され信号線Ｓ２を介して制御回路７１に供
給される設定値とを比較して、脱着オゾン濃度の計測値
が最大ピークを迎えたのち、設定濃度まで低下した時点
で、信号線Ｓ３を介して切替弁８ｆに信号を送り、切替
弁８ｆを閉じる。
【００６３】このように、本実施の形態では、脱着オゾ
ンガス濃度を計測するオゾン濃度計を設け、脱着時のオ
ゾンガス濃度を計測しながら、脱着オゾン濃度が最大ピ
ーク値となったのち、徐々に低下していく過程で、脱着
オゾン濃度の計測値が予め定めた値まで低下したときに
制御回路から脱着停止の制御信号を出して脱着を停止す
るので、従来の装置のような脱着工程後半のスライム付
着防止効果が小さい脱着オゾンの低濃度化を防ぐことが
できる。このため、脱着オゾン濃度を高く保ち、経済的
で処理効果が大きく、かつ、海水系に適用するばあいに
もオキシダントの生成を抑えることができるという効果
がある。
ンガス濃度を計測するオゾン濃度計を設け、脱着時のオ
ゾンガス濃度を計測しながら、脱着オゾン濃度が最大ピ
ーク値となったのち、徐々に低下していく過程で、脱着
オゾン濃度の計測値が予め定めた値まで低下したときに
制御回路から脱着停止の制御信号を出して脱着を停止す
るので、従来の装置のような脱着工程後半のスライム付
着防止効果が小さい脱着オゾンの低濃度化を防ぐことが
できる。このため、脱着オゾン濃度を高く保ち、経済的
で処理効果が大きく、かつ、海水系に適用するばあいに
もオキシダントの生成を抑えることができるという効果
がある。
【００６４】実施の形態８．図９は本発明の実施の形態
８におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図９に
おいて、オゾン濃度計７３は水流エジェクタ７の下流側
の予め定めた地点に設置され、信号線Ｓ１はこのオゾン
濃度計７３と制御回路７１とを接続している。その他は
前記実施の形態７と同様である。
８におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図９に
おいて、オゾン濃度計７３は水流エジェクタ７の下流側
の予め定めた地点に設置され、信号線Ｓ１はこのオゾン
濃度計７３と制御回路７１とを接続している。その他は
前記実施の形態７と同様である。
【００６５】つぎに動作について説明する。図９の装置
の動作は前記実施の形態７とほぼ同様である。すなわ
ち、本実施の形態では、脱着オゾン濃度を水流エジェク
タ７の下流側の予め定めた地点で水に溶存しているオゾ
ン濃度として、オゾン濃度計７３で計測し、信号線Ｓ１
を介してこの信号を制御回路７１に供給する。制御回路
７１では、別途設定器７２で設定され信号線Ｓ２を介し
て制御回路７１に供給される設定値とを比較して、脱着
オゾン濃度の計測値が最大ピークを迎えたのち、設定濃
度まで低下した時点で、信号線Ｓ３を介して切替弁８ｆ
に信号を送り、切替弁８ｆを閉じる。
の動作は前記実施の形態７とほぼ同様である。すなわ
ち、本実施の形態では、脱着オゾン濃度を水流エジェク
タ７の下流側の予め定めた地点で水に溶存しているオゾ
ン濃度として、オゾン濃度計７３で計測し、信号線Ｓ１
を介してこの信号を制御回路７１に供給する。制御回路
７１では、別途設定器７２で設定され信号線Ｓ２を介し
て制御回路７１に供給される設定値とを比較して、脱着
オゾン濃度の計測値が最大ピークを迎えたのち、設定濃
度まで低下した時点で、信号線Ｓ３を介して切替弁８ｆ
に信号を送り、切替弁８ｆを閉じる。
【００６６】このように、本実施の形態では、前記実施
の形態７と同様、従来の装置のような脱着工程後半のス
ライム付着防止効果が小さい脱着オゾンの低濃度化を防
ぐことができるため、脱着オゾン濃度を高く保ち、経済
的で処理効果が大きく、かつ、海水系に適用するばあい
にもオキシダントの生成を抑えることができるという効
果がある。
の形態７と同様、従来の装置のような脱着工程後半のス
ライム付着防止効果が小さい脱着オゾンの低濃度化を防
ぐことができるため、脱着オゾン濃度を高く保ち、経済
的で処理効果が大きく、かつ、海水系に適用するばあい
にもオキシダントの生成を抑えることができるという効
果がある。
【００６７】また、スライム障害の原因となる用水中の
微生物や藻類は水温や用水の汚濁度合いによって繁殖ス
ピードが異なり、またオゾンの反応速度も変動するた
め、水温の季節的な変動や用水の汚濁度合の変動によっ
て必要となるオゾン量も変化する。本実施の形態では、
水中の溶存オゾン濃度を計測して脱着オゾンを制御する
ため、前記適用水の環境条件などが変化したばあいで
も、オゾンの過不足を生じることなく、経済的で効率的
な処理を行なうことができる。
微生物や藻類は水温や用水の汚濁度合いによって繁殖ス
ピードが異なり、またオゾンの反応速度も変動するた
め、水温の季節的な変動や用水の汚濁度合の変動によっ
て必要となるオゾン量も変化する。本実施の形態では、
水中の溶存オゾン濃度を計測して脱着オゾンを制御する
ため、前記適用水の環境条件などが変化したばあいで
も、オゾンの過不足を生じることなく、経済的で効率的
な処理を行なうことができる。
【００６８】
【発明の効果】請求項１の発明におけるオゾン製造装置
は、オゾン脱着手段である水流エジェクタによりオゾン
を吸引すると同時に、酸素ガス供給手段から流量を調節
しながら酸素ガスを吸脱着塔内に送り込むようにしたの
で、オゾン注入を先鋭化でき、設備費および運転費の両
面において経済的で、かつ、スライム付着防止効果が大
きく、また、海水系に適用するばあいにもオキシダント
の生成を抑えることができるという効果がある。
は、オゾン脱着手段である水流エジェクタによりオゾン
を吸引すると同時に、酸素ガス供給手段から流量を調節
しながら酸素ガスを吸脱着塔内に送り込むようにしたの
で、オゾン注入を先鋭化でき、設備費および運転費の両
面において経済的で、かつ、スライム付着防止効果が大
きく、また、海水系に適用するばあいにもオキシダント
の生成を抑えることができるという効果がある。
【００６９】請求項２の発明におけるオゾン製造装置
は、脱着開始時に吸脱着塔に送り込む供給酸素ガス圧力
をできるだけ低くし、オゾン脱着手段である水流エジェ
クタにより吸引するオゾン量をできるだけ大きくするよ
うにしたので、オゾンを効率よく脱着することができ、
設備費および運転費の両面において経済的で、かつ、ス
ライム付着防止効果が大きく、また、海水系に適用する
ばあいにもオキシダントの生成を抑えることができると
いう効果がある。
は、脱着開始時に吸脱着塔に送り込む供給酸素ガス圧力
をできるだけ低くし、オゾン脱着手段である水流エジェ
クタにより吸引するオゾン量をできるだけ大きくするよ
うにしたので、オゾンを効率よく脱着することができ、
設備費および運転費の両面において経済的で、かつ、ス
ライム付着防止効果が大きく、また、海水系に適用する
ばあいにもオキシダントの生成を抑えることができると
いう効果がある。
【００７０】請求項３の発明におけるオゾン製造装置
は、オゾン脱着時に吸脱着塔内の温度を吸着貯留時の温
度に維持する温度制御手段を備えるようにしたので、使
用するエネルギーを低減できるとともに、オゾン注入を
できるだけ先鋭化でき、設備費および運転費の両面にお
いて経済的で、かつ、スライム付着防止効果が大きく、
また、海水系に適用するばあいにもオキシダントの生成
を抑えることができるという効果がある。
は、オゾン脱着時に吸脱着塔内の温度を吸着貯留時の温
度に維持する温度制御手段を備えるようにしたので、使
用するエネルギーを低減できるとともに、オゾン注入を
できるだけ先鋭化でき、設備費および運転費の両面にお
いて経済的で、かつ、スライム付着防止効果が大きく、
また、海水系に適用するばあいにもオキシダントの生成
を抑えることができるという効果がある。
【００７１】請求項４の発明におけるオゾン製造装置
は、脱着開始時に、まず、吸脱着塔内のガスを排気し、
ついで吸着剤を昇温または吸脱着塔内を減圧して吸着し
ているオゾンを脱着させるようにしたので、吸着工程が
終了したのちに吸脱着塔内に残っている酸素ガスを前も
って取り除くことができ、脱着オゾン濃度を先鋭化さ
せ、経済的で処理効果が大きく、かつ、海水系に適用す
るばあいにもオキシダントの生成を抑えることができる
という効果がある。
は、脱着開始時に、まず、吸脱着塔内のガスを排気し、
ついで吸着剤を昇温または吸脱着塔内を減圧して吸着し
ているオゾンを脱着させるようにしたので、吸着工程が
終了したのちに吸脱着塔内に残っている酸素ガスを前も
って取り除くことができ、脱着オゾン濃度を先鋭化さ
せ、経済的で処理効果が大きく、かつ、海水系に適用す
るばあいにもオキシダントの生成を抑えることができる
という効果がある。
【００７２】請求項５の発明におけるオゾン製造装置
は、吸脱着塔内のガス排気したのち、吸脱着塔内に少量
の酸素を注入するようにしたので、吸着しているオゾン
を一気に脱着させることができ、脱着オゾン濃度を先鋭
化させ、経済的で処理効果が大きく、かつ、海水系に適
用するばあいにもオキシダントの生成を抑えることがで
きるという効果がある。
は、吸脱着塔内のガス排気したのち、吸脱着塔内に少量
の酸素を注入するようにしたので、吸着しているオゾン
を一気に脱着させることができ、脱着オゾン濃度を先鋭
化させ、経済的で処理効果が大きく、かつ、海水系に適
用するばあいにもオキシダントの生成を抑えることがで
きるという効果がある。
【００７３】請求項６の発明におけるオゾン製造装置
は、脱着させたオゾンを一時的にタンクに貯め、脱着オ
ゾン濃度を平滑化するようにしたので、従来の装置のよ
うな脱着工程後半のスライム付着防止効果が小さい脱着
オゾンの低濃度化がなくなり、経済的で処理効果が大き
く、かつ、海水系に適用するばあいにもオキシダントの
生成を抑えることができるという効果がある。
は、脱着させたオゾンを一時的にタンクに貯め、脱着オ
ゾン濃度を平滑化するようにしたので、従来の装置のよ
うな脱着工程後半のスライム付着防止効果が小さい脱着
オゾンの低濃度化がなくなり、経済的で処理効果が大き
く、かつ、海水系に適用するばあいにもオキシダントの
生成を抑えることができるという効果がある。
【００７４】請求項７の発明におけるオゾン製造装置
は、脱着オゾン濃度を計測するオゾン濃度計を設け、脱
着時のオゾン濃度を計測しながら、脱着オゾン濃度が最
大ピーク値となったのち、徐々に低下していく過程で、
脱着オゾン濃度の計測値が予め定めた値まで低下したと
きに制御回路から脱着停止の制御信号を出し、脱着を停
止するようにしたので、従来の装置のような脱着工程後
半のスライム付着防止効果が小さい脱着オゾンの低濃度
化がなくなり、経済的で処理効果が大きく、かつ、海水
系に適用するばあいにもオキシダントの生成を抑えるこ
とができるという効果がある。
は、脱着オゾン濃度を計測するオゾン濃度計を設け、脱
着時のオゾン濃度を計測しながら、脱着オゾン濃度が最
大ピーク値となったのち、徐々に低下していく過程で、
脱着オゾン濃度の計測値が予め定めた値まで低下したと
きに制御回路から脱着停止の制御信号を出し、脱着を停
止するようにしたので、従来の装置のような脱着工程後
半のスライム付着防止効果が小さい脱着オゾンの低濃度
化がなくなり、経済的で処理効果が大きく、かつ、海水
系に適用するばあいにもオキシダントの生成を抑えるこ
とができるという効果がある。
【図１】 本発明の実施の形態１にかかわるオゾン製造
装置を示す構成図である。
装置を示す構成図である。
【図２】 本発明の実施の形態２にかかわるオゾン製造
装置を示す構成図である。
装置を示す構成図である。
【図３】 本発明の実施の形態３にかかわるオゾン製造
装置を示す構成図である。
装置を示す構成図である。
【図４】 本発明の実施の形態４にかかわるオゾン製造
装置を示す構成図である。
装置を示す構成図である。
【図５】 本発明の実施の形態５にかかわるオゾン製造
装置を示す構成図である。
装置を示す構成図である。
【図６】 本発明の実施の形態６にかかわるオゾン製造
装置を示す構成図である。
装置を示す構成図である。
【図７】 本発明の実施の形態７にかかわるオゾン製造
装置を示す構成図である。
装置を示す構成図である。
【図８】 脱着オゾン濃度の経時変化特性を示す定性図
である。
である。
【図９】 本発明の実施の形態８にかかわるオゾン製造
装置を示す構成図である。
装置を示す構成図である。
【図１０】 従来のオゾン製造装置を示す構成図であ
る。
る。
１ オゾン発生器、２ 酸素供給源、３ 循環ブロア、
４ 吸脱着塔、５冷熱源、６ 加熱源、７ 水流エジェ
クタ、８ａ〜８ｇ 切替弁、９ 酸素ガス供給タンク、
１０ 酸素ガス流量調節器、２１ 圧力センサ、２２
圧力調節器、２３ 流量制御器、２４ 圧力用コントロ
ーラ、３１ 温度センサ、３２温度用コントローラ、４
１ 排気装置、４２ 停止弁、５１ タンク、５２切替
弁、５３ 配管、５４ 配管 ６１ 切替弁、７１ 制
御回路、７２ 設定器、７３ オゾン濃度計、７４
配管、Ｓ１〜Ｓ３ 信号線。
４ 吸脱着塔、５冷熱源、６ 加熱源、７ 水流エジェ
クタ、８ａ〜８ｇ 切替弁、９ 酸素ガス供給タンク、
１０ 酸素ガス流量調節器、２１ 圧力センサ、２２
圧力調節器、２３ 流量制御器、２４ 圧力用コントロ
ーラ、３１ 温度センサ、３２温度用コントローラ、４
１ 排気装置、４２ 停止弁、５１ タンク、５２切替
弁、５３ 配管、５４ 配管 ６１ 切替弁、７１ 制
御回路、７２ 設定器、７３ オゾン濃度計、７４
配管、Ｓ１〜Ｓ３ 信号線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 網谷 久夫 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 弓削 裕 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 小沢 建樹 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内
Claims (7)
- 【請求項１】 オゾン化酸素を生成するオゾン発生器
と、オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを
吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着し
て供給するオゾン脱着手段からなるオゾン製造装置であ
って、脱着開始時に前記吸脱着塔に酸素を供給する酸素
ガス供給手段と、その酸素ガスの供給量を調節する酸素
ガス流量調節手段を備えてなることを特徴とするオゾン
製造装置。 - 【請求項２】 吸着貯留したオゾンを脱着する際に、前
記吸脱着塔内の圧力を大気圧以下に調節するガス制御手
段を備えてなる請求項１記載のオゾン製造装置。 - 【請求項３】 吸着貯留したオゾンを脱着する際に、吸
脱着塔内の温度を吸着貯留時の温度に維持する温度制御
手段を備えてなる請求項１記載のオゾン製造装置。 - 【請求項４】 オゾン化酸素を生成するオゾン発生器
と、オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを
吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着し
て供給するオゾン脱着手段からなるオゾン製造装置であ
って、脱着開始直前に吸脱着塔内のガスを排気する排気
手段を備えてなることを特徴とするオゾン製造装置。 - 【請求項５】 吸脱着塔内のガスを排気したのち、吸脱
着塔に少量の酸素を流入させてなる請求項４記載のオゾ
ン製造装置。 - 【請求項６】 オゾン化酸素を生成するオゾン発生器
と、オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを
吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着し
て供給するオゾン脱着手段からなるオゾン製造装置であ
って、脱着したオゾンを蓄えるタンクを備えてなること
を特徴とするオゾン製造装置。 - 【請求項７】 オゾン化酸素を生成するオゾン発生器
と、オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを
吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着し
て供給するオゾン脱着手段からなるオゾン製造装置であ
って、脱着オゾン濃度を計測するオゾン濃度計を有し、
脱着時のオゾン濃度の計測値が最大値となったのち、予
め定めた値まで低下したときに脱着停止の制御信号を出
し、脱着を停止する制御回路を備えてなることを特徴と
するオゾン製造装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9198435A JPH1143307A (ja) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | オゾン製造装置 |
| US09/111,754 US6315962B1 (en) | 1997-07-24 | 1998-07-08 | Ozone producing apparatus |
| DE69808394T DE69808394T2 (de) | 1997-07-24 | 1998-07-10 | Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon |
| EP98112897A EP0893403B1 (en) | 1997-07-24 | 1998-07-10 | Ozone producing apparatus |
| CA002242999A CA2242999C (en) | 1997-07-24 | 1998-07-13 | Ozone producing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9198435A JPH1143307A (ja) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | オゾン製造装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008101844A Division JP5020151B2 (ja) | 2008-04-09 | 2008-04-09 | オゾン製造装置およびオゾン製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1143307A true JPH1143307A (ja) | 1999-02-16 |
Family
ID=16391047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9198435A Pending JPH1143307A (ja) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | オゾン製造装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6315962B1 (ja) |
| EP (1) | EP0893403B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1143307A (ja) |
| CA (1) | CA2242999C (ja) |
| DE (1) | DE69808394T2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002037610A (ja) * | 2000-07-27 | 2002-02-06 | Kansai Electric Power Co Inc:The | オゾンの貯蔵方法および取出方法 |
| JP6184645B1 (ja) * | 2016-01-28 | 2017-08-23 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給装置およびオゾン供給方法 |
| WO2019234882A1 (ja) * | 2018-06-07 | 2019-12-12 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給装置およびオゾン供給方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3670451B2 (ja) * | 1997-07-24 | 2005-07-13 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給装置 |
| JP2001248794A (ja) | 2000-03-02 | 2001-09-14 | Kansai Electric Power Co Inc:The | オゾン貯蔵方法および装置 |
| US6916359B2 (en) * | 2002-04-25 | 2005-07-12 | The Boc Group, Inc. | Ozone production processes |
| US7392657B2 (en) * | 2004-06-09 | 2008-07-01 | American Air Liquide, Inc. | Methods of dissolving ozone in a cryogen |
| GB2490916A (en) * | 2011-05-17 | 2012-11-21 | Bioquell Uk Ltd | An apparatus and method for producing ozone |
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|---|---|---|---|---|
| JPS523595A (en) | 1975-06-27 | 1977-01-12 | Mitsubishi Electric Corp | Ozonizer with oxygen recycle system |
| JPS5235788A (en) * | 1975-09-17 | 1977-03-18 | Mitsubishi Electric Corp | Apparatus for producing ozone by cycling oxygen |
| JPS5839761B2 (ja) * | 1977-07-26 | 1983-09-01 | 三菱電機株式会社 | 酸素リサイクリングオゾン発生装置 |
| JPS592559B2 (ja) | 1978-11-02 | 1984-01-19 | 三菱電機株式会社 | 微生物除去装置 |
| JPS55158107A (en) | 1979-05-29 | 1980-12-09 | Mitsubishi Electric Corp | Oxygen recycling type ozone generating apparatus |
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| JPS57188406A (en) * | 1981-05-12 | 1982-11-19 | Mitsubishi Electric Corp | Intermittently feeding apparatus for ozone |
| US4453953A (en) | 1981-05-12 | 1984-06-12 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Intermittent ozone feeding apparatus |
| JPS59193192A (ja) * | 1983-04-15 | 1984-11-01 | Mitsubishi Electric Corp | 間欠オゾン供給装置 |
| CA2136265C (en) * | 1993-11-22 | 1999-07-27 | Masami Shimizu | Apparatus for generating and condensing ozone |
| JP3769742B2 (ja) * | 1995-11-14 | 2006-04-26 | 石川島播磨重工業株式会社 | オゾン発生装置の制御方法 |
| JP3980091B2 (ja) * | 1996-03-01 | 2007-09-19 | 三菱電機株式会社 | オゾン貯蔵装置 |
-
1997
- 1997-07-24 JP JP9198435A patent/JPH1143307A/ja active Pending
-
1998
- 1998-07-08 US US09/111,754 patent/US6315962B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-10 EP EP98112897A patent/EP0893403B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-10 DE DE69808394T patent/DE69808394T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-13 CA CA002242999A patent/CA2242999C/en not_active Expired - Lifetime
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| JP2002037610A (ja) * | 2000-07-27 | 2002-02-06 | Kansai Electric Power Co Inc:The | オゾンの貯蔵方法および取出方法 |
| JP6184645B1 (ja) * | 2016-01-28 | 2017-08-23 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給装置およびオゾン供給方法 |
| WO2019234882A1 (ja) * | 2018-06-07 | 2019-12-12 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給装置およびオゾン供給方法 |
| CN112203974A (zh) * | 2018-06-07 | 2021-01-08 | 三菱电机株式会社 | 臭氧供给装置及臭氧供给方法 |
| CN112203974B (zh) * | 2018-06-07 | 2023-08-04 | 三菱电机株式会社 | 臭氧供给装置及臭氧供给方法 |
Also Published As
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|---|---|
| DE69808394T2 (de) | 2003-08-14 |
| EP0893403A1 (en) | 1999-01-27 |
| CA2242999C (en) | 2001-12-11 |
| DE69808394D1 (de) | 2002-11-07 |
| EP0893403B1 (en) | 2002-10-02 |
| US6315962B1 (en) | 2001-11-13 |
| CA2242999A1 (en) | 1999-01-24 |
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