JP5020151B2 - オゾン製造装置およびオゾン製造方法 - Google Patents
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Description
図1は参考例1におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図1に示すように、オゾン化酸素を生成するオゾン発生器1と、酸素供給源2と、循環ブロア3と、吸脱着塔4と、冷熱源5と、加熱源6と、オゾン脱着手段である水流エジェクタ7と、切換弁8a〜8gと、オゾンを貯留する吸脱着塔4に酸素ガスを供給する酸素ガス供給手段であるタンク9と、酸素ガス供給タンク9から吸脱着塔4に供給される酸素ガス量を調節する酸素ガス流量調節手段である調節器10とからなる。吸脱着塔4は二重筒になっており、その内筒はオゾン吸着剤が充填されており、外筒は熱媒体が充填されている。この、オゾン吸着剤には、たとえばオゾンと接触したときの分解率が低いものを選ぶことが望ましく、シリカゲル、活性アルミナやフルオロカーボンを含浸させた多孔質材料などが用いられ、熱媒体にはエチレングリコールやアルコール類が用いられる。また、前記循環ブロア3、オゾン発生器1および吸脱着塔4は、この順に1つの循環系を構成している。
図2は本参考例2におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図2において、前記参考例1と同一符号は同一または相当部分を示すので説明を省略する。
図3は参考例3におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図3において、前記参考例1と同一符号は同一または相当部分を示すので説明を省略する。
図4は実施の形態4におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図4において、前記参考例1と同一符号は同一または相当部分を示すので説明を省略する。
図5は参考例5におけるオゾン供給装置を示す構成図であり、図5において、前記参考例1と同一符号は同一または相当部分を示すので説明を省略する。
図6は実施の形態6におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図6において、61は切替弁であり、タンク51からの配管54に取り付けられている。その他は前記実施の形態5と同様である。
図7は参考例7におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図7において、71は制御回路、72は設定器、73は配管74に取り付けられたオゾン濃度計である。S1、S2およびS3は信号線であり、それぞれオゾン濃度計73と制御回路71、設定器72と制御回路71および切替弁8fと制御回路71を接続している。
図9は本発明の参考例8におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図9において、オゾン濃度計73は水流エジェクタ7の下流側の予め定めた地点に設置され、信号線S1はこのオゾン濃度計73と制御回路71とを接続している。その他は前記参考例7と同様である。
Claims (7)
- オゾン化酸素を生成するオゾン発生器と、オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着して供給するオゾン脱着手段からなるオゾン製造装置であって、
前記吸脱着塔内でのオゾン吸着時に前記オゾン化酸素が流れ込む前記吸脱着塔の側に設けられ、脱着開始時に前記吸脱着塔内のガスを排気する第1の排気手段と、前記第1の排気手段と前記吸脱着塔を連結する配管上に設けられた停止弁とを備え、
前記オゾン脱着手段は、前記吸脱着塔の前記第1の排気手段と同じ側に設けられ、前記吸脱着塔内に貯留されたオゾンを搬送するための第2の排気手段を備えてなることを特徴とするオゾン製造装置。 - 前記吸脱着塔の温度を上げる加熱源を備えてなることを特徴とする請求項1記載のオゾン製造装置。
- 前記第2の排気手段で脱着したガスを貯留するタンクを備えてなることを特徴とする請求項1または2記載のオゾン製造装置。
- オゾン発生器でオゾンを製造するオゾン製造工程と、前記オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを吸脱着塔に吸着貯留するオゾン吸着工程と、前記吸脱着塔に吸着貯留したオゾンをオゾン脱着手段により脱着するオゾン脱着工程からなるオゾン製造方法において、
前記オゾン脱着工程に入る前に前記吸脱着塔のオゾン吸着時にオゾン化酸素が流れ込む側から前記吸脱着塔内のガスを排気するガス排気工程を実施することを特徴とするオゾン製造方法。 - 前記ガス排気工程を実施した後に、前記吸脱着塔内の温度を上げる昇温工程を設け、前記昇温工程後に前記オゾン脱着工程を実施することを特徴とする請求項4記載のオゾン製造方法。
- 前記ガス排気工程を実施した後に、タンクにオゾン含有ガスを貯留するガス貯留工程を設け、前記ガス貯留工程後に前記オゾン脱着工程を実施することを特徴とする請求項4または5記載のオゾン製造方法。
- 前記ガス排気工程を実施した後に、吸脱着塔の温度を上げる昇温工程およびタンクにオゾン含有ガスを貯留するガス貯留工程を行い、前記ガス貯留工程後に製造されたオゾンを利用することを特徴とする請求項4記載のオゾン製造方法。
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