DE69819971D1 - Vorbehandelte Kristalle aus Lithiumniobat und Lithiumtantalat und das Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents

Vorbehandelte Kristalle aus Lithiumniobat und Lithiumtantalat und das Verfahren zu ihrer Herstellung

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Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11236298A (ja) * 1997-12-05 1999-08-31 Crystal Technol Inc フォトリソグラフィー法に使用するための結晶および電磁線吸収能を増大させるための該結晶の前状態調節法
US6282356B1 (en) * 1999-04-07 2001-08-28 Agere Systems Optoelectronics Guardian Corp. Optical waveguide device with enhanced stability
EP1089431A3 (de) 1999-09-30 2003-12-10 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Akustische Oberflächenwellenanordnung und Verfahren zur Herstellung derselben
US6932957B2 (en) 2002-06-28 2005-08-23 Silicon Light Machines Corporation Method and apparatus for increasing bulk conductivity of a ferroelectric material
EP1600531B1 (de) * 2003-03-06 2015-04-22 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Verfahren zur herstellung von lithiumtantalatkristallen
JP3938147B2 (ja) 2003-04-08 2007-06-27 住友金属鉱山株式会社 タンタル酸リチウム基板およびその製造方法
JP2004364041A (ja) 2003-06-05 2004-12-24 Fujitsu Media Device Kk 弾性表面波デバイス及びその製造方法
JP4341622B2 (ja) 2003-06-26 2009-10-07 株式会社村田製作所 弾性表面波装置
US7374612B2 (en) * 2003-09-26 2008-05-20 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Method of producing single-polarized lithium tantalate crystal and single-polarized lithium tantalate crystal
JP4063190B2 (ja) 2003-10-16 2008-03-19 住友金属鉱山株式会社 タンタル酸リチウム基板の製造方法
JP4063191B2 (ja) * 2003-10-16 2008-03-19 住友金属鉱山株式会社 タンタル酸リチウム基板の製造方法
JP2005119907A (ja) 2003-10-16 2005-05-12 Sumitomo Metal Mining Co Ltd タンタル酸リチウム基板およびその製造方法
US7309392B2 (en) 2003-11-25 2007-12-18 Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. Lithium niobate substrate and method of producing the same
JP2005223641A (ja) * 2004-02-05 2005-08-18 Toyo Commun Equip Co Ltd 表面実装型sawデバイス
CN1765050A (zh) * 2004-03-18 2006-04-26 株式会社村田制作所 声表面波器件
JP4301564B2 (ja) * 2004-04-27 2009-07-22 株式会社山寿セラミックス 圧電性酸化物単結晶の帯電抑制処理方法、および帯電抑制処理装置
JP2006013576A (ja) * 2004-06-22 2006-01-12 Epson Toyocom Corp Sawデバイスとこれを用いた装置
JP4514572B2 (ja) * 2004-09-15 2010-07-28 京セラ株式会社 弾性表面波装置および通信装置
JP4514571B2 (ja) * 2004-09-15 2010-07-28 京セラ株式会社 弾性表面波装置およびその製造方法ならびに通信装置
JP4514562B2 (ja) * 2004-08-26 2010-07-28 京セラ株式会社 弾性表面波装置および通信装置
JP4741309B2 (ja) * 2004-08-27 2011-08-03 京セラ株式会社 弾性表面波素子およびその製造方法
US7439648B2 (en) 2004-08-27 2008-10-21 Kyocera Corporation Surface acoustic wave device and manufacturing method therefor, and communications equipment
WO2006051610A1 (ja) * 2004-11-15 2006-05-18 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. タンタル酸リチウム結晶の製造方法
JP4596149B2 (ja) * 2005-05-19 2010-12-08 信越化学工業株式会社 タンタル酸リチウム結晶の製造方法
US7228046B1 (en) * 2005-11-23 2007-06-05 Honeywell International, Inc. Environmentally stable electro-optic device and method for making same
US7728697B2 (en) 2006-09-26 2010-06-01 Mg Materials Corporation Systems and methods for electrically reducing ferroelectric materials to increase bulk conductivity
JP2008199635A (ja) * 2008-03-07 2008-08-28 Yamajiyu Ceramics:Kk 圧電基板用単結晶を用いた弾性表面波フィルタおよびその製造方法
JP4937178B2 (ja) * 2008-04-09 2012-05-23 信越化学工業株式会社 タンタル酸リチウム結晶の製造方法
JP6296507B2 (ja) * 2015-01-26 2018-03-20 信越化学工業株式会社 リチウム化合物からなる圧電性酸化物単結晶基板の製造方法
JP6477282B2 (ja) 2015-06-18 2019-03-06 住友金属鉱山株式会社 ニオブ酸リチウム単結晶基板とその製造方法
JP6507877B2 (ja) 2015-06-18 2019-05-08 住友金属鉱山株式会社 ニオブ酸リチウム単結晶基板とその製造方法
CN107636212B (zh) 2015-06-18 2020-07-17 住友金属矿山株式会社 铌酸锂单晶基板及其制造方法
JP6721948B2 (ja) * 2015-06-18 2020-07-15 住友金属鉱山株式会社 ニオブ酸リチウム単結晶基板とその製造方法
JP6493151B2 (ja) 2015-10-23 2019-04-03 住友金属鉱山株式会社 ニオブ酸リチウム単結晶基板の製造方法
US10177735B2 (en) * 2016-02-29 2019-01-08 Avago Technologies International Sales Pte. Limited Surface acoustic wave (SAW) resonator
CN106544735A (zh) * 2016-12-06 2017-03-29 中国电子科技集团公司第二十六研究所 一种钽酸锂黑片的制作方法
KR102240588B1 (ko) 2017-06-29 2021-04-15 교세라 가부시키가이샤 압전기판 및 탄성 표면파 디바이스
CN110129891A (zh) * 2018-02-02 2019-08-16 福建晶安光电有限公司 一种晶片的黑化方法及黑化后晶片
JP7205694B2 (ja) * 2019-02-15 2023-01-17 住友金属鉱山株式会社 ニオブ酸リチウム基板の製造方法
JP7279395B2 (ja) * 2019-02-18 2023-05-23 住友金属鉱山株式会社 ニオブ酸リチウム基板の製造方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61168600A (ja) * 1985-01-22 1986-07-30 Shin Etsu Chem Co Ltd タンタル酸リチウム単結晶の単一分域化方法
JPH06250399A (ja) * 1993-02-24 1994-09-09 Fuji Elelctrochem Co Ltd 焦電性を有する物質の熱処理方法及び装置
JPH06258539A (ja) * 1993-03-09 1994-09-16 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd ニオブ酸リチウム結晶ウエハおよびその製造方法、並びに評価方法

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