DE69816771T2 - Oberflächentaster mit länglichem ringförmigen Gleitblock - Google Patents

Oberflächentaster mit länglichem ringförmigen Gleitblock Download PDF

Info

Publication number
DE69816771T2
DE69816771T2 DE69816771T DE69816771T DE69816771T2 DE 69816771 T2 DE69816771 T2 DE 69816771T2 DE 69816771 T DE69816771 T DE 69816771T DE 69816771 T DE69816771 T DE 69816771T DE 69816771 T2 DE69816771 T2 DE 69816771T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
detector
measuring device
force
surface property
property measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69816771T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69816771D1 (de
Inventor
Tamenori Miyazaki-gun Shirai
Nobuyoshi Kure Fujii
Satoshi Kure Ueda
Shinya Kure Sasaki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP35888497A external-priority patent/JP3405515B2/ja
Priority claimed from JP35888697A external-priority patent/JP3534296B2/ja
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Application granted granted Critical
Publication of DE69816771D1 publication Critical patent/DE69816771D1/de
Publication of DE69816771T2 publication Critical patent/DE69816771T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/34Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung mit einem Detektor, der einen Taster zum Messen der Oberflächeneigenschaft, typischerweise der Oberflächenrauhigkeit, und einen Antriebsmechanismus aufweist, der eine Hin- und Herbewegung des Detektors auf der zu messenden Oberfläche bewirkt, insbesondere eine Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung, die eine bessere Geradlinigkeit und Reproduzierbarkeit beim Vor- und Rücklauf des Detektors aufweist und kostengünstiger ist.
  • Ferner bezieht sich die Erfindung auf eine Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung mit einem Detektor, der einen Tasterarm in der Nähe eines vorderen Endes des Tasters aufweist, und insbesondere auf eine Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung mit einem Detektor, der in der Lage ist, eine Mikrooberflächeneigenschaft mit geringer Meßkraft zu messen.
  • Bei einer in großem Umfang benutzten Oberflächenrauhigkeitsmeßvorrichtung wird ein Taster auf der zu messenden Oberfläche aufgesetzt und die Oberflächenrauhigkeit durch eine der Oberflächenrauhigkeits-Richtung entspre chende Verschiebung des Tasters gemessen, während er mit dem Taster auf der zu messenden Oberfläche hin- und herbewegt wird, wobei die gemessene Verschiebung in ein elektrisches Signal umgeformt und dann das elektrische Signal in vorbestimmter Weise verarbeitet wird.
  • Es sind die verschiedensten Antriebsmechanismen vorgeschlagen worden, durch die der Detektor auf der zu messenden Oberfläche hin- und herbewegt wird.
  • Beispielsweise wird, wie in 22 dargestellt, in der japanischen Patentschrift 4-60523 eine Oberflächenrauhigkeitsmeßvorrichtung beschrieben, die eine in Lagern 33 gelagerte Gleitstange 34 aufweist. Das Gleitelement 34 ist in einem Gestell 32 des Antriebsmechanismus gelagert und gleitet in einer Vor- und Rücklaufrichtung eines Detektors 10 (in der durch den Pfeil A dargestellten Richtung) hin und her. An der Gleitstange 34 ist ein antriebsseitiger Verbinder 40 über einen sich bewegenden Block 36 und eine Blattfeder 38 befestigt. An der Gleitstange 34 ist ein Vorschubblock 44 über ein Verbindungsteil 42 zur Hin- und Herbewegung der Gleitstange 34 in Richtung des Pfeils A befestigt. In den Vorschubblock 44 greift eine Vorschubspindel 46 ein. Die Vorschubspindel 46 wird über ein Untersetzungsgetriebe 50 und eine Kupplung 48 durch einen Motor 52 in Drehung versetzt.
  • In 22 ist mit 14 ein detektorseitiger Verbindungsstift, der am hinteren Ende (am rechten Ende in der Zeichnung) eines Gehäuses 12 des Detektors 10 angebracht ist und mit dem antriebsseitigen Verbinder 40 in Eingriff steht, mit 18 ein Tasterarm mit einem sich bei der Abtastung der zu messenden Oberfläche auf und ab bewegenden Taster 16 an seinem vorderen Ende (dem linken Ende in der Zeichnung, der im Gehäuse 12 um einen Drehpunkt (20) schwingt, mit 20 eine im wesentlichen wie ein L geformte Blattfeder, die den Drehpunkt des Tasterarms 18 bildet, mit 22 ein induktiver Verschiebungsdetektor in der Nähe eines hinteren Endes des Tastarms 18 zum Messen einer Auf- und Abbewegung des hinteren Endes des Tasterarms 18, mit 24 ein Wulst zur Absorbierung kleiner Unregelmäßigkeiten in der Nähe des Tasters 16, um dadurch einen stabilen Meßwert zu erzielen, und mit 26 eine Nase zum Schutz des Tasters 16 und des Tasterarms 18 bezeichnet.
  • Diese japanische Patentschrift 4-60523 (JP 4-60523 B2) beabsichtigt die Ausbildung einer kompakten stationären Oberflächenrauhigkeits-Meßvorrichtung. Sie hat jedoch einen Aufbau, bei dem die Gleitstange 34 selbst in dem Gestell 32 des Antriebsmechanismus 30 in Richtung des Pfeils A hin und her bewegt und daran gehindert wird, sich hinreichend weit zu verschieben, so daß der Bewegungshub des Detektors 10 beschränkt ist. Ferner ist die Gleitstange 34 als bewegliches Teil mit dem Detektor 10 durch den sich bewegenden Block 36, die Blattfeder 38, den Verbinder 40 u. s. w. verbunden, so daß auf die Lager 33 eine äußere Kraft ausgeübt wird, die es erschwert, eine stabile und sehr genaue Geradlinigkeit usw. einzuhalten.
  • Ferner wird in den japanischen provisorischen Patentschriften 61-155901 und 61-155701 eine Taster-Meßvorrichtung vorgeschlagen, bei der – als ihr in 23 dargestellter Hauptteil – eine Führungsstange 54 an ei nem Gestell eines (nicht dargestellten) Antriebsmechanismus parallel zu einer Hin- und Herbewegungsrichtung eines Detektors 10 (in seitlicher Richtung der Zeichnung) befestigt und der Detektor 10 an einer Vorschubmutter 45 angebracht ist, die auf der Führungsstange 54 gleitet und durch eine von einem Motor 52 gedrehte Vorschubspindel 46 bewegt wird.
  • In 23 ist mit 16 ein Taster, mit 56 eine Gleitstange, die an der Vorschubmutter 45 befestigt ist, mit 58 ein vertikales Führungselement, das vertikal mit einem vorderen Ende der Gleitstange 56 verbunden ist, mit 60 ein Gleitelement, das an dem vertikalen Führungselement 58 auf und ab verschiebbar angebracht ist, mit 62 ein Halteelement, durch das der Detektor 10 drehbar an dem Gleitelement 60 gehalten wird, mit 64 ein an der Führungsmutter 45 befestigter Schaltstift und mit 66 und 68 jeweils ein am vorderen und am hinteren Ende angeordneter Grenzschalter bezeichnet, die in einer Vorschubgrenzposition (nachstehend als das "vordere Ende" bezeichnet) oder in einer Rücklaufgrenzposition (nachstehend als das "hintere Ende" bezeichnet) einschalten.
  • Auch die in den provisorischen japanischen Patentschriften 61-155901 und 61-155701 vorgeschlagenen Taster-Meßvorrichtungen können keine hinreichende Stützweite der Vorschubmutter 45 auf der Führungsstange 54 sicherstellen. Daher ist die Führungsmutter 45 nicht nur leicht einer äußeren Kraft aussetzbar, sondern vollführt auch eine heftige ruckartige Bewegung, die es nicht leicht macht, eine stabile und sehr genaue Geradlinigkeit einzuhalten.
  • Daneben schlägt die Anmelderin in der japanischen Gebrauchsmusterschrift 4-24408 (JP-4-24408Y2) eine Oberflächenrauhigkeits-Meßvorrichtung vor, bei der – als ihr in 24 dargestellter Hauptteil – eine Führungsstange an einem Gestell 32 eines Antriebsmechanismus 30 parallel zur Hin- und Rückbewegungsrichtung des Detektors 10 (seitlich in der Zeichnung) befestigt und der Detektor 10 an einem von zwei beweglichen Teilen 70, 72 (dem beweglichen Teil 70 in der Zeichnung) angebracht ist, die durch eine von einem Motor 52 gedrehte Vorschubmutter 46 bewegt werden.
  • In 24 sind mit 74 zwei Zugfedern zum Belasten der beweglichen Teile 70, 72 in Richtung zueinander hin, um ein Spiel auszugleichen, bezeichnet.
  • Die Oberflächenrauhigkeits-Meßvorrichtung nach der japanischen Gebrauchsmusterschrift 4-24408 (JP4-24408Y2) hat jedoch die gleichen Probleme wie die in den provisorischen japanischen Patentschriften 61-155901 und 61-155701 offenbarten.
  • Ferner ist in der japanischen nationalen Offenlegungsschrift 8-503311 (WO 95/8096 A1, 118 Seiten) angegeben, daß eine Gleitstange, an der ein Detektor angebracht ist, dadurch positioniert wird, daß sie schräg an eine L-förmige Gleitfläche durch eine Blattfeder in einem Antriebsmechanismus gedrückt wird, ein Antriebsriemen über Rollen umläuft, die jeweils in der Nähe eines vorderen und eines hinteren Endes des Antriebsmechanismus angeordnet sind, die Gleitstange an einem Teil des Riemens befestigt ist und die Drehung der Rollen bewirkt, daß ein an einem vorderen Ende der Gleitstange ange brachter Detektor zurückläuft. Die darin vorgeschlagene Vorrichtung unterliegt einer starken ruckartigen Bewegung in Folge von Abmessungsfehlern der Bauteile, die es schwierig macht, eine stabile und sehr genaue Geradlinigkeit einzuhalten.
  • Ferner ist bei jeder der bekannten Vorrichtungen der Draht zum Detektor 10 in dem Antriebsmechanismus 30 als Zuführdraht ausgebildet, so daß in Abhängigkeit von der Art des Drahtes oder der Verlegung des Drahtes, ein Teil des Drahtes leicht einer übermäßigen Verbiegung unterliegt und der Verbinder mit dem Detektor und einem Antriebsmechanismus, zum Beispiel einem Gleitelement, einer unstabilen Belastung oder dergleichen ausgesetzt ist, was einen ungünstigen Einfluß auf die Geradlinigkeit und die Reproduzierbarkeit zur Folge hat.
  • Daneben werden vorgeschlagen, als Mechanismus zur Stützung eines Tasterarms 18 im Detektor 10 und Ausübung einer Meßkraft auf diesen nicht nur ein Mechanismus, der mit einer Blattfeder 20 versehen ist, die sowohl als Drehgelenk als auch zur Ausübung einer Kraft dient, wie es in der japanischen Patentschrift 4-60523 dargestellt ist, sondern auch ein Mechanismus, bei dem, wie es in der japanischen Patentschrift 3-30084 (JP 3-30084 B2) und der provisorischen Patentschrift 6-258003 vorgeschlagen wird, eine Schraubenfeder 86 gemäß 25 als Zugfeder zwischen einem etwas von einem Lagerteil 82 eines Armhalters 80, der den Tasterarm 18 hält, und einer Meßkraft-Einstellmutter 84, die an einem Gehäuse 12 (japanische Patentschrift 3-30084) angebracht ist, entfernt angeordnet ist, oder ein Schieber, dessen Position durch eine Gewindespindel eingestellt wird (provisorische japanische Patentschrift 6-258003), wobei die Position des einen Endes der Schraubenfeder 86 in der durch den Pfeil B dargestellten Richtung durch die Meßkraft-Einstellmutter 84 oder den Schieber, der eine Meßkraft unter gleichzeitigem Ausgleich des Spiels des Lagerteils 82 ausübt, eingestellt wird.
  • Die Anmelderin schlägt in der provisorischen japanischen Gebrauchsmusterschrift 1-104505 (JP-1-104505 U) vor, daß die Schraubenfedern 92, 94 gemäß 26 eine winzige Meßkraft auf einen Tasterarm 18 ausüben, der durch eine kreuzartige Feder 90 abgestützt wird. Der Mechanismus mit einem Lager, der in der japanischen Patentschrift 3-30084 vorgeschlagen wird, und die Vorrichtung mit zwei Schraubenfedern, die in der provisorischen japanischen Gebrauchsmusterschrift 1-104504 vorgeschlagen wird, besitzen jedoch viele Bauteile, was das Problem zur Folge hat, daß der Zusammenbau und die Einstellung schwierig sind. Insbesondere die Vorrichtung, bei der das Spiel des Drehpunktes ausgeglichen und die Meßkraft durch eine Schraubenfeder eingestellt wird, wie es in der japanischen Patentschrift 3-30084 vorgeschlagen wird, machen es schwierig, die optimalen Punkte beider einzustellen.
  • Wenn dagegen, wie es in der japanischen Patentschrift 4-60523 und der provisorischen japanischen Gebrauchsmusterschrift 1-104504 vorgeschlagen wird, der Drehpunkt durch die Blattfeder gebildet wird, ist der Drehpunkt durch die Blattfeder festgelegt, so daß eine Verschiebung der Drehachse verhindert wird, was eine gleichbleibende Genauigkeit gewährleistet. Wenn jedoch, wie es in der japanischen Patentschrift 4-60523 angegeben ist, die Blattfeder unabhängig benutzt wird, ergibt sich das Problem, daß eine Änderung der Dicke oder der Biegung der Blattfeder eine Änderung der Meßkraft bewirkt, was die Einstellung erschwert.
  • Ferner besteht bei einem Spezialdetektor, zum Beispiel einem Detektor für tiefe Nuten, der einen langen Taster aufweist, das Problem, daß eine Änderung des Gewichts des Tasterarms eine Änderung der Meßkraft bewirkt.
  • Die Erfindung wurde gemacht, um die vorstehend erwähnten herkömmlichen Probleme zu lösen.
  • Die Erfindung besteht in einer Oberflächenmeßvorrichtung mit einem Detektor, der einen Taster aufweist, und mit einem Antriebsmechanismus zur Hin- und Herbewegung des Detektors längs einer zu messenden Oberfläche, wobei die Vorrichtung ferner aufweist:
    eine an einem Gestell des Antriebsmechanismus parallel zur Hin- und Herbewegungsrichtung des Detektors befestigte säulenförmige Führung;
    ein auf der säulenförmigen Führung entlang gleitendes, sich in der Hin- und Herbewegungsrichtung des Detektors erstreckendes Gleitelement, das mit der säulenförmigen Führung an wenigstens einer vorderen und einer hinteren Stelle der Führung in Eingriff steht, wobei der Detektor an dem Gleitelement befestigt ist;
    wenigstens eine zweite säulenförmige Führung, die an dem Gestell seitlich in einem Abstand von dem Gleitelement befestigt ist und sich parallel zu der ersten säulenförmigen Führung erstreckt und an einer Anti-Rotationsanordnung anliegt, die mit dem Gleitelement verbunden ist;
    und ein Antriebsmittel, das die Hin- und Herbewegung des Gleitelements längs der säulenförmigen Führungen bewirkt, wobei die Anti-Rotationsanordnung mit der zweiten säulenförmigen Führung derart zusammenwirkt, daß eine Drehung des Gleitelements verhindert wird, wobei das Gleitelement im wesentlichen wie ein ringförmiger rechteckiger Block geformt ist, der sich in der Hin- und Herbewegungsrichtung des Detektors erstreckt, und die eine der säulenförmigen Führungen durch die vordere und die hintere Stelle hindurch eingeführt ist.
  • Durch die Erfindung wird eine unstabile Belastung des Detektors, des Verbinders und des gleitenden Abschnitts und damit eine Beeinträchtigung der Geradlinigkeit und Reproduzierbarkeit verhindert.
  • Die Meßkraft ist mittels eines einfachen Aufbaus genau einstellbar.
  • Daher können die säulenartige Führung langgestreckt ausgebildet und Teile des Gleitelements zur Aufnahme des gleitenden Teils hinsichtlich ihrer Stützweite so ausgebildet werden, daß das Gleitelement nicht durch die äußere Kraft beeinträchtigt wird und die ruckartige Bewegung des Gleitelements in Folge von Abmessungsfehlern verringert wird, so daß eine stabile Geradlinigkeit mit hoher Genauigkeit bei geringen Kosten erreicht wird. Dies hat eine Verbesserung der Reproduzierbarkeit und eine Stabilisierung der Genauigkeit zur Folge und führt zu einer Verringerung der Anzahl der Bauteile und zu einer Vereinfachung des Zusammenbaus bei geringen Kosten.
  • Vorzugsweise ist der Detektor durch Verbinder lösbar mit dem Antriebsmechanismus verbunden, wobei ein antriebsseitiger Verbinder an dem Gleitelement befestigt ist.
  • Vorzugsweise enthält wenigstens ein Teil eines Kabels, das den Antriebsmechanismus mit dem Detektor verbindet und durch die Bewegung des Detektors verformbar ist, eine flexible gedruckte Schaltungsplatte. Dies ergibt eine Lösung des vorstehend erwähnten zweiten Ziels.
  • Ferner wird eine Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung angegeben, bei der der Taster in der Nähe eines vorderen Endes eines Tasterarms angeordnet ist, der aus einer dünnen Platte hergestellt ist, und eine Kraft, die in einer solchen Richtung gerichtet ist, daß sie den Taster veranlaßt, die zu messende Oberfläche zu berühren, auf den Tasterarm durch eine Schraubenfeder ausgeübt wird, die von der dünnen Platte unabhängig ist. Dadurch wird das vorstehend erwähnte dritte Ziel erreicht.
  • Mithin wird kein Lager benutzt, so daß die Anzahl der Bauelemente verringert und der Zusammenbau und das Einstellen vereinfacht und mithin die Kosten niedrig gehalten werden. Ferner liegt der Drehpunkt der dünnen Platte fest, so daß eine Verschiebung der Drehachse verhindert und die Genauigkeit stabilisiert wird. Wenn ferner die Blattfeder unabhängig benutzt wird, bewirken die Dickenänderung und Verbiegung der Blattfeder eine Änderung der Meßkraft, so daß die Einstellung schwierig wird. Dagegen ist es erfindungsgemäß möglich, die Meßkraft durch das Design festzulegen und auf einfache Weise einzustellen. Wenn darüber hinaus die ruckartige Bewegung des Drehpunkts vermieden und gleichzeitig die Meßkraft mittels nur einer Blattfeder eingestellt wird, bewirken die Dickenänderung und Verbiegung der Blattfeder und dergleichen eine starke Schwankung, so daß es schwierig ist, die optimalen Punkte sowohl der Vermeidung der ruckartigen Bewegung als auch der Einstellung der Meßkraft einzustellen. Erfindungsgemäß tritt jedoch von vorneherein keine ruckartige Bewegung des Drehpunkts auf, und die Schraubenfeder muß nur im Hinblick auf die optimale Meßkraft eingestellt werden, was die Einstellung der Meßkraft vereinfacht.
  • Bei einem Spezialdetektor, wie einem Detektor für tiefe Nuten, der einen langen Taster aufweist und bei dem das Gewicht des Tasterarms geändert wird, kann die Anzahl der in Abhängigkeit von den jeweiligen Produkten unterschiedlichen Meßkraftwerte durch Änderung der Dicke und Form der Blattfeder und gleichzeitige Einstellung der Druckkraft der Schraubenfeder verringert werden.
  • Zweckmäßigerweise hat die dünne Platte in der Nähe des Drehpunkts eine andere (geringere) Federkraft (Elastizität) als in ihren anderen Abschnitten, so daß Schwankungen der Lage des Drehpunkts verringert werden.
  • Die dünne Platte kann wie ein Kreuz geformt und an einem Gestell des Detektors an dessen beiden Enden befestigt sein, wobei ein Tasterarm an einem mittleren Teil der dünnen Platte befestigt ist, um Schwankungen der Lage des Drehpunkts zu verhindern.
  • Die Druckkraft der Schraubenfeder kann einstellbar sein.
  • Die dünne Platte kann eine Blattfeder aufweisen, und die Blattfeder kann eine Reaktionskraft ausüben, die der Druckkraft der Schraubenfeder entgegengesetzt ist, wobei das Gleichgewicht zwischen der Reaktionskraft und der durch die Schraubenfeder bewirkten Druckkraft eine Meßkraft auf den Taster ergibt, die sehr klein und sehr genau ist.
  • Diese und weitere neue Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nachstehend beschrieben oder anhand der nachstehenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele deutlicher.
  • Die genaue Art sowie weitere Ziele und Vorteile der Erfindung ergeben sich ohne weiteres aus der nachstehenden Beschreibung der beiliegenden Zeichnungen, in denen gleiche Bezugszeichen gleiche oder ähnliche Teile bezeichnen. In den Zeichnungen stellen dar:
  • 1 eine perspektivische Ansicht des Aufbaus eines Hauptteils eines ersten Ausführungsbeispiels der Erfindung,
  • 2 eine Seitenansicht aus der Durch den Pfeil II in 1 dargestellten Richtung,
  • 3 einen Längsschnitt, von seiner Vorderseite aus gesehen, eines Antriebsmechanismus, an dem ein Detektor gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel angebracht ist,
  • 4 einen Längsschnitt des Antriebsmechanismus von oben gesehen,
  • 5 einen Längsschnitt des Antriebsmechanismus, von unten gesehen,
  • 6 den Querschnitt VI-VI in 4,
  • 7 den Querschnitt VII-VII in 4,
  • 8 den Querschnitt VIII-VIII in 4,
  • 9 eine perspektivische Ansicht eines Zustands beim Zusammenbauen einer flexiblen gedruckten Schaltungsplatte, die in dem ersten Ausführungsbeispiel benutzt wird,
  • 10 einen Längsschnitt des Aufbaus des Detektors des ersten Ausführungsbeispiels,
  • 11 eine Explosionsdarstellung, schräg von unten gesehen, die den inneren Aufbau des Detektors veranschaulicht,
  • 12 eine Draufsicht auf die Form einer Gelenk-Blattfeder, die in dem ersten Ausführungsbeispiel benutzt wird,
  • 13 eine Vorderansicht eines Zustands, in dem der Antriebsmechanismus des ersten Ausführungsbeispiels in einem elektrischen Einrichtungsabschnitts enthalten ist,
  • 14 eine Draufsicht auf diesen Abschnitt,
  • 15 eine Unteransicht dieses Abschnitts,
  • 16 ein Blockschaltbild des Aufbaus des elektrischen Einrichtungsabschnitts,
  • 17a eine Schnittansicht eines abgewandelten Beispiels einer Gelenk-Blattfeder und 17b eine Draufsicht auf die Gelenk-Blattfeder,
  • 18a eine Schnittansicht einer anderen Variante der Gelenk-Blattfeder und 18b eine Draufsicht auf diese Gelenk-Blattfeder,
  • 19 eine Draufsicht auf eine weitere Variante der Gelenk-Blattfeder,
  • 20 einen Längsschnitt durch den Aufbau eines Detektors gemäß eines zweiten Ausführungsbeispiels der Erfindung,
  • 21 eine Unteransicht eines Tasterarms des zweiten Ausführungsbeispiels,
  • 22 eine Schnittansicht des Aufbaus einer stationären Oberflächenrauhigkeits-Meßvorrichtung, die in der japanischen Patentschrift 4-60523 vorgeschlagen wird,
  • 23 eine Vorderansicht des Aufbaus des Hauptteils eines Antriebsmechanismus einer Taster-Meßvorrichtung, die in der japanischen provisorischen Patentschrift 61-155901 der Anmelderin veröffentlicht worden ist;
  • 24 eine Vorderansicht des Aufbaus des Hauptteils eines Antriebsmechanismus einer Oberflächenrauhigkeits-Meßvorrichtung, die in der japanischen Gebrauchsmusterschrift 4-24408 der Anmelderin vorgeschlagen wird,
  • 25 einen Längsschnitt durch den Aufbau einer Detektorvorrichtung für eine Oberflächenrauhigkeits-Meßvorrichtung, die in der japanischen Patentschrift 3-30084 vorgeschlagen wird, und
  • 26 einen Längsschnitt durch den Aufbau einer Taster-Oberflächenrauhigkeits-Meßvorrichtung, die in der provisorischen japanischen Gebrauchsmusterschrift 1-104504 der Anmelderin vorgeschlagen wird.
  • Nachstehend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung, die bei einer stationären tragbaren Oberflächenrauhigkeits-Meßvorrichtung angewandt werden, anhand der Zeichnungen beschrieben.
  • Ein Antriebsmechanismus 100 dieses Ausführungsbeispiels enthält eine Hauptstange (säulenförmige Führung) 104 und eine Nebenstange (säulenförmige Führung) 106, die an einem Gestell 102 des Antriebsmechanismus 100 befestigt sind, einen Gleitblock (Gleitelement) 108, der weitgehend wie ein 0 geformt ist und sich in Vor- und Rücklaufrichtung (in der durch den Pfeil A dargestellten Richtung) eines Detektors erstreckt und auf den Stangen 104, 106 gleitet, wobei die Hauptstange 104 durch wenigstens eine vordere und eine hintere Stelle des Gleitblocks hindurchgeführt ist, einen Verbindungsstab 110 und eine Vorschubmutter 112, die den Vorschub und Rücklauf des Gleitblocks 108 längs der Stangen 104, 106 bewirken, eine Vorschubspindel 114, die mit der Vorschubmutter 112 verschraubt ist, und einen Getriebemotor 118 für den Drehantrieb der Vorschubspindel 114 über eine flexible Kupplung 116.
  • Wie 2 ausführlicher zeigt, ist ein Detektorträger 108A, der an einem hinteren Ende des Gleitblocks 108 und einer unteren Seite des Gleitblocks 108 angeformt ist, mittels Schrauben 122 an einer Blattfeder 152, die an einem hinteren Ende eines Verbindergehäuses 150, das einen Detektor 200 enthält, angebracht ist und zur Ausübung eines Aufsatzdrucks dient, und an einer Stangentragplatte 120 zur Ausübung eines Drucks auf eine Unterseite der Nebenstange 106 befestigt. Ferner ist eine Blattfeder 126, an der eine Gleitplatte 124 zur Ausübung eines Drucks auf die Oberseite der Nebenstange 106 angebracht ist, auf der Oberseite des Detektorträgers 108a mittels Schrauben 128 befestigt.
  • In den 1 bis 3 bezeichnet 101 eine Gehäuse des Antriebsmechanismus 100; 130 einen Schaltstift, der aufrecht auf dem Gleitblock 108 befestigt ist; 132 und 134 jeweils einen vorderen und einen hinteren Endschalter, die mit dem Schaltstift 130 zur Anlage kommen, um den Getriebemotor 118 anzuhalten oder umzukehren; 140 eine Detektor-Hubplatte, die durch eine Schraube 142 am Gestell 102 zur Anlage an einem winkelartigen Vorsprung 150A befestigt ist, der außerhalb des Verbindergehäuses 150 in der Nähe einer Rücklaufqrenzlage des Detektors 200 zum Anheben des Detektors 200 ausgebildet ist, so daß er verhindert, daß ein Taster 202 und ein Gleitschuh 204 von der Unterseite des Antriebsmechanismus 100 nach unten ragen; 154 ein antriebsseitiger Verbinder, der in dem Verbindergehäuse 150 angeordnet ist; 206 einen detektorseitigen Verbinderstift, der in den antriebsseitigen Verbinder 154 eingeführt ist; 208 ein Verbindergehäuse des Detektors und 210 eine Nase desselben.
  • Der Antriebsmechanismus 100 kann in einem elektrischen Einrichtungsabschnitt 300 enthalten sein, wie es in den noch zu beschreibenden 13 bis 15 dargestellt ist. Am hinteren Ende des Antriebsmechanismus 100 ist ein Verbinder 136 elektrisch mit dem Einrichtungsabschnitt 300 verbunden, und ein zwischen dem Verbinder 136 und dem antriebsseitigen Verbinder 154 liegender Teil ist durch eine dünne flexible gedruckte Schaltungsplatte 138 mit einer Dicke von beispielsweise 0,2 mm über das Verbindergehäuse 150 verdrahtet.
  • Die flexible gedruckte Schaltungsplatte 138 wird, wie 9 zeigt, am Verbindergehäuse 150 und am Verbinder 136 durch Anlöten an beiden Enden befestigt, in einem mittleren Teil des Gleitblocks 108 mittels der Schraube 139 befestigt und dann in dem Antriebsmechanismus 100 in U-Form durchhängend aufgenommen, so daß die Änderung der Drahtlänge in Folge der Bewegung des Verbinders 154 aufgefangen und verhindert wird, daß der Detektor 200 die Zugspannung aufnimmt, selbst wenn sich das Verbindergehäuse 150 (der Detektor 200) bewegt.
  • Der Detektor 200 hat im wesentlichen, wie es in 10 (im Längsschnitt) und 11 (in der schräg von unten gesehenen Explosionsdarstellung) dargestellt ist, ein Hauptkörpergestell 212 mit einer Verschiebungsdetektionsspule 214 an seinem hinteren Ende, einen Tasterarm 220 mit einem Oberflächenrauhigkeitstaster 202 in der Nähe seines vorderen Endes und einen Verschiebungsdetektionskern 222 in der Nähe seines hinteren Endes, eine eben geformte Gelenk-Blattfeder 230, wie es in 12 dargestellt ist, zur Befestigung zum Beispiel eines mittleren Teils des Tasterarms 220 am Hauptkörpergestell 212, eine Schraubenfeder 240 zur Ausübung einer Kraft, die in eine solche Richtung gerichtet ist (nach unten in 9), daß der Taster 202 über den Tasterarm 220 auf die zu messende Oberfläche gedrückt wird, und eine Stellschraube 242 zur Einstellung der Druckkraft der Schraubenfeder 240.
  • Die Gelenk-Blattfeder 230 ist am Hauptkörpergestell 212 mittels Schrauben 232 und am Tasterarm 220 mittels Schrauben 234 befestigt.
  • In 10 ist mit 216 ein Deckel bezeichnet.
  • Der elektrische Einrichtungsabschnitt 300 enthält im wesentlichen, wie es in 13 (Vorderansicht), 14 (Draufsicht), 15 (Unteransicht) und 16 (Blockschaltbild) dargestellt ist, eine Signalverarbeitungsschaltung 304 zur Verarbeitung eines Signals, das hier von dem in dem Antriebsmechanismus 100 enthaltenen Detektor 200 über ein mit dem Verbinder 136 verbundenes Kabel 302 zugeführt wird, eine Meßschaltung 306 zur Ermittlung einer Oberflächenrauhigkeit entsprechend den verschiedenen Arten von Parametern in Abhängigkeit von einem von der Signalverarbeitungsschaltung 304 erzeugten Signal, eine digitale Anzeigevorrichtung 308 zum Anzeigen des durch die Meßschaltung 306 ermittelten Meßwertes, eine Antriebsschaltung 310 zum Antreiben des Getriebemotors 118 in dem Antriebsmechanismus 100 über das Kabel 302, eine Steuerschaltung 312 zum Steuern der Antriebsschaltung 310, der Meßschaltung 306 und der digitalen Anzeigevorrichtung 308, und eine Stromversorgungsschaltung 314 zur Stromversorgung der jeweiligen Schaltung.
  • Die durchgehende Linie in der Zeichnung stellt die Lage des vorderen Endes des Detektors 200 dar, der beim Messen vorsteht, während die strichpunktierte Linie die Lage des vorderen Ende des Detektors 200 darstellt, wenn er in dem elektrischen Einrichtungsabschnitt 300 angeordnet ist.
  • In 16 ist mit 320 ein Betriebsschalter, mit 322 ein Startschalter und mit 324 ein Parameterwählschalter bezeichnet.
  • Beim Messen wird die erforderliche Meßkraft auf den Taster 202 durch Einstellung des Betrags der Einführung der Federdruck-Einstellschraube 242 entsprechend dem zu messenden Objekt ausgeübt. Darüber hinaus wird in Abhängigkeit von dem zu messenden Objekt gemäß den 13 bis 15 gewählt, ob der Antriebsmechanismus 100 derart zu benutzen ist, daß er sich im Gehäuse des elektrischen Einrichtungsabschnitt 300 befindet, oder der Antriebsmechanismus 100 unabhängig in der Weise benutzt wird, daß er vom elektrischen Einrichtungsabschnitt 300 getrennt ist. Wenn beispielsweise die innere Oberfläche eines kleinen Loches gemessen werden soll, erfolgt die Messung bei entferntem Antriebsmechanismus 100, weil der elektrische Einrichtungsabschnitt 300 störend ist, und bei mit dem elektrischen Einrichtungsabschnitt 300 vereinigtem Antriebsmechanismus 100 in den anderen Fällen.
  • Genauer gesagt, wird der Taster 202 des Detektors 200 mit der zu messenden Oberfläche in Berührung gebracht, der Betriebsschalter 320 eingeschaltet und der Startschalter 322 betätigt. Daraufhin versetzt die Steuerschaltung 312 den Getriebemotor 118 über die Antriebsschaltung 310 in Drehung. Wenn der Getriebemotor 118 die Vorschubspindel 114 in Drehung versetzt hat, wird der Gleitblock 108 in axialer Richtung der Vorschubspindel 114 verschoben, so daß der Taster 202 des Detektors 200 entsprechend der Oberflächenrauhigkeit des zu messenden Gegenstands auf und ab verschoben wird.
  • Die Verschiebung des Taster 202 wird durch den Detektor 200 in ein elektrisches Signal umgeformt, das der Signalverarbeitungsschaltung 304 über das Kabel 302 zugeführt wird. Danach wird das verarbeitete Signal der Meßschaltung 306 zugeführt. Die Meßschaltung 306 ermittelt die Oberflächenrauhigkeit anhand des ihr aus der Signalverarbeitungsschaltung 304 zugeführten Signals entsprechend den ihr von der Steuerschaltung 312 angewiesenen Parametern und veranlaßt ihre Anzeige durch die digitale Anzeigevorrichtung 308.
  • Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist der Gleitblock 108 im wesentlichen wie ein 0 geformt, das in Vor- und Rücklaufrichtung des Detektors langgestreckt ist, und die Hauptstange 104 passiert dabei dessen vorderes und hinteres Ende. Dabei ergibt sich eine lange Stützweite bei reduziertem Gewicht und einfachem Aufbau. Ferner drückt nicht nur die Hauptstange 104, sondern auch die kurze Nebenstange 106 auf den Detektorhalter 108A des Gleitblocks 108, was, insbesondere, eine hohe Stabilität ergibt. Darüber hinaus ist die Form des Gleitelements nicht auf ein wenigstens ungefähres 0 beschränkt. Daneben ist die Form der säulenförmigen Führung nicht auf eine im Querschnitt kreisförmige Säule und die Anzahl der säulenförmigen Führungen nicht auf zwei beschränkt. Das Gleitelement kann wie ein Prisma geformt sein, es kann nur eine Hauptstange vorgesehen sein, oder es können mehr als zwei lange Nebenstangen vorgesehen sein.
  • Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Verdrahtung mit dem antriebsseitigen Verbinder 154 als flexible gedruckte Schaltungsplatte 138 ausgebildet, so daß der gebogene Teil stabilisiert wird und die auf den gebogenen Teil und mithin den Verbinder 154 ausgeübte Kraft (Belastung) konstant ist. Dadurch wird verhindert, daß der Gleitzustand des Gleitelements dem Einfluß der Schwankung der Belastung durch die Drahtbiegung ausgesetzt wird, was die Geradlinigkeit der Bewegung des Detektors und die Reproduzierbarkeit zur Folge hat. Auch dies macht den Einzeldraht unnötig, verringert die Anzahl der Bauelemente und erleichtert die Verdrahtungs arbeit. Darüber hinaus kann der Draht zum antriebsseitigen Verbinder ein herkömmlicher Zuleitungsdraht sein.
  • Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Gelenk-Blattfeder 230 wie ein einfaches Viereck geformt, was die Konstruktion einfach macht. Darüber hinaus kann die Plattendicke der Gelenk-Blattfeder entsprechend einem zu messenden Objekt geändert werden, oder es kann eine sich in Richtung der Breite der Platte erstreckende Nut 230A an einer Gelenkstelle des mittleren Teils vorgesehen sein, um die Breite zu verringern, wie es durch das abgewandelte, in 17 dargestellte Beispiel veranschaulicht ist, oder es kann ein Randteil 230B mit geringer Dicke vorgesehen sein, wie die in 18 als Beispiel dargestellte Abwandlung, oder es kann ein Hohlraum 230C vorgesehen sein, der die Federkraft in der Nähe des Drehpunkts im Vergleich zu dem des übrigen Teils verringert, wie es als weiteres Anwandlungsbeispiel in 19 dargestellt ist.
  • Ferner kann die Blattfeder 230 in eine solche Richtung gebogen sein, daß sie auf die Schraubenfeder 240 drückt und dadurch eine Reaktionskraft gegen die Druckkraft durch die Schraubenfeder 240, die auf die Schraubenfeder 240 ausgeübt werden soll, bewirkt wird. Mithin ermöglicht das Gleichgewicht zwischen der Reaktionskraft und der Druckkraft durch die Schraubenfeder die Ausübung einer Meßkraft auf den Taster 202. In diesem Fall ist eine kleine Meßkraft so leicht eingestellt, daß sie der Differenz der Meßkraft entsprechend dem Krümmungsradius des vorderen Endes des Tasters oder der Differenz des Gewichts des Tastarms als eine Möglichkeit, zum Beispiel wie der Detektor für eine tiefe Nut, gewachsen ist.
  • Ferner kann die Blattfeder aus einer kleinen elastischen dünnen Platte oder als kreuzförmige Blattfeder 250, wie das in 20 (im Längsschnitt) und in 21 (Unteransicht eines Tastarms) dargestellte zweite Ausführungsbeispiel, hergestellt sein, wonach ihre beiden Enden am Hauptgestell 212 mittels der Schrauben 252 und ihr Mittelpunkt mittels Schrauben 254 am Tastarm befestigt werden kann.
  • Bei diesem Ausführungsbeispiel sind beide Enden der Blattfeder 250 am Gestell 212 befestigt. Daher ist insbesondere der Drehpunkt stabil.
  • Bei allen Ausführungsbeispielen wird die Erfindung bei einer stationären tragbaren Oberflächenrauhigkeits-Meßvorrichtung angewandt, doch ist die Anwendung der Erfindung nicht darauf beschränkt. Vielmehr kann die Erfindung auch beispielsweise bei Konturenmeßvorrichtungen und Oberflächerauhigkeitsprüfungen, wie bei in dreidimensionalen Koordinaten arbeitenden Meßmaschinen, angewandt werden.

Claims (11)

  1. Oberflächenmeßvorrichtung mit einem Detektor (200), der einen Taster (202) aufweist, und mit einem Antriebsmechanismus (100) zur Hin- und Herbewegung des Detektors (200) längs einer zu messenden Oberfläche, wobei die Vorrichtung ferner aufweist: eine an einem Gestell (102) des Antriebsmechanismus (100) parallel zur Hin- und Herbewegungsrichtung des Detektors (200) befestigte säulenförmige Führung (104); ein auf der säulenförmigen Führung (104) entlang gleitendes, sich in der Hin- und Herbewegungsrichtung des Detektors (200) erstreckendes Gleitelement (108), das mit der säulenförmigen Führung (104) an wenigstens einer vorderen und einer hinteren Stelle der Führung in Eingriff steht, wobei der Detektor (200) an dem Gleitelement (108) befestigt ist; wenigstens eine zweite säulenförmige Führung (106), die an dem Gestell (102) seitlich in einem Abstand von dem Gleitelement (108) befestigt ist und sich parallel zu der ersten säulenförmigen Führung (104) erstreckt und an einer Anti- Rotationsanordnung anliegt, die mit dem Gleitelement (108) verbunden ist; und ein Antriebsmittel, das die Hin- und Herbewegung des Gleitelements (108) längs der säulenförmigen Führungen (104, 106) bewirkt, wobei die Anti-Rotationsanordnung (108A, 120, 126) mit der zweiten säulenförmigen Führung (106) derart zusammenwirkt, daß eine Drehung des Gleitelements verhindert wird, wobei das Gleitelement (108) im wesentlichen wie ein ringförmiger rechteckiger Block geformt ist, der sich in der Hin- und Herbewegungsrichtung des Detektors (200) erstreckt, und die eine (104) der säulenförmigen Führungen durch die vordere und hintere Stelle hindurch eingeführt ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Anti-Rotationsanordnung eine Stützplatte (120) und eine Blattfeder (126) aufweist, die sich über einander abgekehrte Seiten der zweiten säulenförmigen Führung hinweg erstrecken, so daß die zweite säulenförmige Führung dazwischen gleitend verschiebbar erfaßt ist.
  3. Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, bei der der Detektor (200) mittels Verbinder (154, 208) lösbar mit dem Antriebsmechanismus (100) verbunden ist, wobei ein Antriebsseitiger Verbinder (154) an dem Gleitelement (108) befestigt ist.
  4. Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der wenigstens ein Teil eines Kabels, das den Antriebsmechanismus (100) mit dem Detektor (200) verbindet, so daß es während einer Bewegung des Detektors (200) verformt wird, eine flexible gedruckte Schaltungsplatte (138) aufweist.
  5. Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Taster (202) in der Nähe eines vorderen Endes eines Tasterarms (220) angeordnet ist, der aus einer dünnen Platte (230, 250) hergestellt ist, und eine Kraft, die in einer solchen Richtung gerichtet ist, daß sie den Taster (202) veranlaßt, die zu messende Oberfläche zu berühren, auf den Tasterarm (220) durch eine Schraubenfeder (240) ausgeübt wird, die von der dünnen Platte (230, 250) unabhängig ist.
  6. Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung nach Anspruch 5, bei der die Federkraft der dünnen Platte (230) in der Nähe ihres Drehpunkts von der in den anderen Abschnitten abweicht.
  7. Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung nach Anspruch 6, bei der die dünne Platte (230) in der Nähe ihres Drehpunkts eine geringere Federkraft als in den anderen Abschnitten aufweist.
  8. Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung nach Anspruch 5, bei der die dünne Platte (250) wie ein Kreuz geformt und mit ihren beiden Endabschnitten an einem Gestell (212) des Detektors (200) befestigt und der Tasterarm (220) an einem mittleren Abschnitt der dünnen Platte (250) befestigt ist.
  9. Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, bei der die Druckkraft der Schraubenfeder (240) einstellbar ist.
  10. Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, bei der die dünne Platte eine Blattfeder (230, 250) aufweist.
  11. Oberflächeneigenschaftsmeßvorrichtung nach Anspruch 10, bei der die Blattfeder (230, 250) eine Reaktionskraft ausübt, die der durch die Schraubenfeder (240) ausgeübten Druckkraft entgegengesetzt ist, und das Gleichgewicht zwischen der Reaktionskraft und der Druckkraft der Schraubenfeder (240) eine Meßkraft des Tasters (202) ergibt.
DE69816771T 1997-12-26 1998-12-16 Oberflächentaster mit länglichem ringförmigen Gleitblock Expired - Lifetime DE69816771T2 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35888497 1997-12-26
JP35888497A JP3405515B2 (ja) 1997-12-26 1997-12-26 表面性状測定機
JP35888697 1997-12-26
JP35888697A JP3534296B2 (ja) 1997-12-26 1997-12-26 表面性状測定機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69816771D1 DE69816771D1 (de) 2003-09-04
DE69816771T2 true DE69816771T2 (de) 2004-03-04

Family

ID=26580863

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69816771T Expired - Lifetime DE69816771T2 (de) 1997-12-26 1998-12-16 Oberflächentaster mit länglichem ringförmigen Gleitblock

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6397667B1 (de)
EP (1) EP0926464B1 (de)
DE (1) DE69816771T2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010079019A2 (de) * 2008-12-19 2010-07-15 Klingelnberg Ag Vorrichtung mit rauheitsmesstaster und entsprechende verfahren

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3443050B2 (ja) * 1999-10-21 2003-09-02 株式会社ミツトヨ 姿勢調整装置
JP3474504B2 (ja) * 1999-11-01 2003-12-08 株式会社ミツトヨ 駆動装置
JP3373465B2 (ja) * 1999-11-01 2003-02-04 株式会社ミツトヨ 表面性状測定機
JP4305623B2 (ja) * 2002-03-13 2009-07-29 セイコーエプソン株式会社 振動子および振動型ジャイロスコープ
US7231959B2 (en) * 2002-05-02 2007-06-19 International Truck Intellectual Property Company, Llc Vehicle energy management system
JP4755429B2 (ja) * 2005-03-04 2011-08-24 株式会社ミツトヨ 検出器駆動装置
DE102005035786B3 (de) * 2005-07-27 2007-01-04 Carl Mahr Holding Gmbh Rauheitstaster
DE102005035785B3 (de) * 2005-07-27 2007-01-04 Carl Mahr Holding Gmbh Tastgerät
US9109330B2 (en) * 2009-03-09 2015-08-18 Honeywell International Inc. Apparatus and method for measuring properties of unstabilized moving sheets
JP5485676B2 (ja) * 2009-12-16 2014-05-07 株式会社ミツトヨ 表面性状測定機
JP6104557B2 (ja) * 2012-10-18 2017-03-29 株式会社ミツトヨ 表面粗さ測定ユニット、三次元測定装置
CN104913709B (zh) * 2015-06-23 2018-04-03 南车戚墅堰机车有限公司 转轴轴伸锥度接触面检测仪
EP3228974B1 (de) * 2016-04-06 2022-06-01 Klingelnberg AG Rauheitsmesstaster, vorrichtung mit rauheitsmesstaster und entsprechende verwendung
JP6458335B1 (ja) * 2018-02-07 2019-01-30 株式会社東京精密 表面形状測定機
CN108981534B (zh) * 2018-09-11 2024-02-27 江苏擎弓科技股份有限公司 一种复合材料板簧用检测装置

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3621580A (en) * 1967-10-04 1971-11-23 Tovaglieri & C Spa Machine for the dimensional control of elements for nuclear fuels
US3852601A (en) * 1971-07-15 1974-12-03 Ital Elettionica Spa Scanning device for scintigraphy according to three orthogonal planes
US3996669A (en) * 1972-12-01 1976-12-14 Finike Italiana Marposs-Soc. In Accomandita Semplice Di Mario Possati & C. Wide-range device for measuring the linear sizes of mechanical workpieces
DE2613451C3 (de) * 1976-03-30 1978-11-30 C. Stiefelmayer Kg, 7300 Esslingen Meß- und/oder Anreißgerät
US4050294A (en) 1976-07-06 1977-09-27 The Boeing Company Apparatus and method of measuring surface roughness
DE2655049A1 (de) * 1976-12-04 1978-06-08 Bayerische Motoren Werke Ag Vorrichtung zum vermessen eines werkstueckes
US4146966A (en) * 1977-06-06 1979-04-03 New Hermes, Incorporated Engraving machine for rings and bangle bracelets
SE421562B (sv) * 1980-09-12 1982-01-04 Samefa Ab Anordning vid en anleggning for bestemmning och eventuell korrigering av leget av valda kontrollpunkter av ett fordons karosseri eller chassi
DE3147354A1 (de) 1981-11-30 1983-06-09 Hommelwerke GmbH, 7730 Villingen-Schwenningen Einrichtung zur anlage eines laengenmesstasters an die oberflaeche eines messobjekts
JPS61155701A (ja) 1984-12-27 1986-07-15 Mitsutoyo Mfg Co Ltd 自動送り型測定機
JPS61155901A (ja) 1984-12-28 1986-07-15 Mitsutoyo Mfg Co Ltd 触針式測定機
JPS62194401A (ja) * 1985-08-08 1987-08-26 Tokyo Seimitsu Co Ltd 載置型表面粗さ測定機
CH668123A5 (de) * 1985-11-12 1988-11-30 Hans Meyer Geraet zur messung von hoehenabstaenden.
DE3623362A1 (de) * 1986-07-11 1988-01-21 Opel Adam Ag Mess- und pruefvorrichtung zur ermittlung der bogenlaenge halbkreisfoermiger lagerschalen
DE3700053C1 (de) * 1987-01-02 1988-01-07 Erowa Ag Spielfreies,umschaltbares Reibungswendegetriebe
JPH0424408Y2 (de) * 1987-05-12 1992-06-09
DE3722876A1 (de) * 1987-07-10 1989-01-19 Zett Mess Technik Gmbh Hoehenmess- und anreissgeraet
JPH01104504U (de) 1987-12-29 1989-07-14
JPH044Y2 (de) 1989-01-26 1992-01-06
IT1232093B (it) * 1989-05-08 1992-01-23 Dea Spa Macchina di misura provvista di mezzi di impugnatura per lo spostamen to di una testa di misura della macchina stessa lungo tre assi
DE3936463A1 (de) * 1989-11-02 1991-05-08 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet
DE4005292A1 (de) * 1990-02-20 1991-08-22 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet
DE4132724C2 (de) 1991-10-01 1995-09-28 Perthen Feinpruef Gmbh Vorschubgerät
JP2853794B2 (ja) 1993-03-04 1999-02-03 株式会社東京精密 表面形状測定機の測定力調整手段
GB2281779B (en) * 1993-09-14 1997-04-23 Rank Taylor Hobson Ltd Metrological instrument
DE4433917A1 (de) * 1994-09-23 1996-03-28 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Messung von Werkstücken mit einem handgeführten Koordinatenmeßgerät
DE4437033C2 (de) 1994-10-17 1996-08-22 Mahr Gmbh Goettingen Vorschubgerät für die Oberflächenmessung nach dem Tastschnitt-Verfahren

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010079019A2 (de) * 2008-12-19 2010-07-15 Klingelnberg Ag Vorrichtung mit rauheitsmesstaster und entsprechende verfahren
WO2010079019A3 (de) * 2008-12-19 2012-05-24 Klingelnberg Ag Vorrichtung mit rauheitsmesstaster und entsprechende verfahren
US8959986B2 (en) 2008-12-19 2015-02-24 Klingelnberg Ag Apparatus having a roughness measurement sensor and corresponding methods

Also Published As

Publication number Publication date
EP0926464A3 (de) 1999-10-13
US6397667B1 (en) 2002-06-04
EP0926464A2 (de) 1999-06-30
EP0926464B1 (de) 2003-07-30
DE69816771D1 (de) 2003-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69816771T2 (de) Oberflächentaster mit länglichem ringförmigen Gleitblock
DE3690033C2 (de) Koordinaten-Messinstrument
DE10131306B4 (de) Elektrisch angetriebenes Stellglied
DE2808649C3 (de) Pipettiervorrichtung mit einstellbarem Volumen
DE60017328T2 (de) Höhenmessgerät mit gekoppeltem Doppelschieber
DE10243596B4 (de) Linearer Aktuator mit zwei durch Verbindungsstäbe verbundenen Drehelementen und einem Hauptkörper aus zwei getrennten Rahmen
DE3338695C2 (de) Zweirichtungs-Tastvorrichtung
EP0479974A1 (de) Führungsvorrichtung mit messeinrichtung
DE3426315C2 (de) Zahnmeßtaster
DE3426607A1 (de) Vorrichtung, insbesondere hubwischeranlage fuer kraftfahrzeuge
DE2910882A1 (de) Baugruppe fuer die praezise und reproduzierbare montage eines mess- oder werkzeugs an einer maschine
DE3724137C2 (de) Elektronisches Meßgerät mit Digitalanzeige
DE2943440C2 (de) Klappankermagnet
DE3238336A1 (de) Zylinder-messuhr
DE2751207A1 (de) Kreuztisch fuer mikroskope
DE3438277C2 (de)
DE19913659A1 (de) Positionserfassungsgerät
DE2625976A1 (de) Schieblehre
DE4209668A1 (de) Steuergerät, insbesondere zur Fernbedienung von hydraulischen Komponenten
DE3111980C2 (de) Mikrometer
DE3608392C2 (de)
DE3039730C2 (de) Linear-Meßlehre
EP1473538B1 (de) Messschlitten
DE3737461C2 (de) Führungsvorrichtung für einen Prüfkörper eines Härtemeßgerätes
DE3243088C2 (de) Koordinatenmeßmaschine

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition