JP3443050B2

JP3443050B2 - 姿勢調整装置

Info

Publication number: JP3443050B2
Application number: JP29950799A
Authority: JP
Inventors: 宣良藤井
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 1999-10-21
Filing date: 1999-10-21
Publication date: 2003-09-02
Anticipated expiration: 2019-10-21
Also published as: DE10052207A1; US6505497B1; JP2001116543A; DE10052207B4

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、姿勢調整装置に係
り、詳しくは、被測定物の表面性状、たとえば被測定物
の表面粗さやうねりまたは形状等を検出する表面性状検
出センサと、この表面性状検出センサを基線方向へ移動
させる駆動手段とを備えた表面性状測定器、あるいは被
測定物の姿勢を調整する姿勢調整装置に関する。

【０００２】

【背景技術】被測定物の表面性状、たとえば被測定物の
表面粗さを検出する表面性状検出センサと、この表面性
状検出センサを基線方向へ移動させる駆動手段とを備え
た表面性状測定器が知られている。この表面性状測定器
では、表面性状検出センサが移動される基線（駆動手段
の基線という場合もある）と、被測定物表面とが平行で
ないと、表面性状検出センサによる測定データが右上が
りまたは左上がりとなり、表面性状検出センサの測定レ
ンジをオーバしてしまうという問題があった。特に、高
分解能測定の場合には、表面性状検出センサの測定レン
ジがより狭くなるため、被測定物表面と駆動手段の基線
とが平行でないと、測定レンジをオーバしやすい。この
ような問題を解決するために、被測定物表面と駆動手段
の基線とを平行にすべく、被測定物の姿勢を調整する姿
勢変更手段を備えた粗さ測定機が提案されている（実公
平４−１９４６１号公報参照）。

【０００３】この粗さ測定機は、基台と、この基台に載
置されかつ被測定物が載置される姿勢変更手段と、前記
基台に立設された支柱と、この支柱に沿って上下方向へ
昇降可能に設けられた粗さ測定器とを備えている。姿勢
変更手段は、基台に立設された支軸と、この支軸を支点
として起伏可能に設けられかつ被測定物が載置される載
物台とから構成されており、載物台を支軸を支点として
起伏させることで被測定物の姿勢が調整される。粗さ測
定器は、被測定物の表面粗さを検出する表面性状検出セ
ンサと、この表面性状検出センサを基線方向へ移動させ
る駆動手段とから構成されている。

【０００４】被測定物の表面粗さを測定する場合、ま
ず、被測定物表面の傾斜を求めるために予備測定を行
う。予備測定は、載物台上に被測定物を載せ、この状態
で、被測定物表面に沿って表面性状検出センサを移動さ
せると、このときの被測定物表面の表面軌跡が求められ
る。この表面軌跡の中心線を求めると、その中心線の傾
きから傾斜補正量、つまり、被測定物表面が基線に対し
て平行となる補正量が求まるから、この補正量だけ載物
台を起伏させる。この結果、被測定物表面は、粗さ測定
器の基線と略平行になるので、粗さ測定器の測定レンジ
を越えることなく、高分解能の表面性状測定を行うこと
ができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような姿勢変更手段では、被測定物を載物台に載せて
被測定物の姿勢を調整しているから、載物台よりも小さ
な、あるいは軽量の被測定物の測定にしか利用できない
という問題がある。この問題を解消するために、姿勢変
更手段を大きく、更には剛性を高くすればよいが、姿勢
変更手段が大きくなると、その姿勢変更手段を載置した
基台をも大きくする必要があり、装置全体が大型化し、
コスト面で不経済になるばかりでなく、大きな設置スペ
ースが必要となる。

【０００６】本発明の目的は、被測定物の大きさに制限
されることなく、かつ、経済的に構成できる表面性状測
定器の姿勢調整装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の姿勢調整手段
は、上記目的を達成するため、次の構成を採用する。請求
項１に記載の姿勢調整装置は、被測定物の表面性状を検
出する表面性状検出センサと、この表面性状検出センサ
を基線方向へ移動させる駆動手段とを備えた表面性状測
定器の姿勢を調整する姿勢調整装置であって、前記表面
性状測定器を上下方向摺動可能に保持し前記被測定物上
に載置される本体と、前記被測定物に載置される脚を有
しかつその脚の高さ調整によって前記本体および前記表
面性状測定器の姿勢を調整可能な姿勢調整手段と、前記
表面性状測定器を前記姿勢調整手段にて姿勢調整された
状態で前記本体に対して平行にかつ上下方向へ昇降させ
る高さ調整手段とを備えていることを特徴とするもので
ある。

【０００８】この発明によれば、表面性状測定器を保持
した本体を姿勢調整手段を介して被測定物に載せ、この
状態で、姿勢調整手段の脚の高さ調整をすることによ
り、表面性状測定器の姿勢を被測定物表面の傾斜に合わ
せて調整できる。つまり、表面性状検出センサの移動方
向（基線方向）を被測定物表面と平行に調整できる。従
って、被測定物の寸法が大きくても、被測定物上に本体
を載置できるスペースがあればよいから、被測定物の大
きさに制限されることなく表面性状測定を行うことがで
きるうえ、一つの姿勢調整装置を被測定物の大小に関わ
らず利用できるので、コスト面についても従来よりも経
済的にできる。また、姿勢調整装置には、表面性状測定
器を前記本体に対して平行にかつ上下方向へ昇降させる
高さ調整手段が設けられているから、表面性状測定器を
傾斜調整した姿勢のまま被測定物表面に対して最適な高
さ位置に位置させることができる。

【０００９】請求項２に記載の姿勢調整装置は、請求項
１に記載の姿勢調整装置において、前記高さ調整手段
は、前記本体に設けられたガイドと、このガイドに対し
て上下方向へ摺動可能に設けられかつ前記表面性状測定
器が固定される摺動部材と、この摺動部材を前記ガイド
に沿って上下方向へ昇降させる昇降機構とを含んで構成
されていることを特徴とするものである。この発明によ
れば、表面性状測定器は、摺動部材を介してガイドに沿
って昇降されるので、表面性状測定器を本体に対して平
行なまま上下方向へ容易にかつ安定して昇降できる。ま
た、高さ調整手段は、簡単な構造であるから製作を容易
にできる。

【００１０】請求項３に記載の姿勢調整装置は、請求項
２に記載の姿勢調整装置において、前記昇降機構は、前
記本体に回転可能かつ軸方向へ変位不能に支持されると
ともに一端が前記摺動部材に螺合されかつ他端が本体か
ら突出されたねじ軸と、このねじ軸の他端に固定される
つまみとを含んで構成されていることを特徴とするもの
である。この発明によれば、つまみを回すとねじ軸がそ
の位置で回転し、ねじ軸に螺合された摺動部材が昇降さ
れる。従って、手動で表面性状測定器を昇降させること
ができるうえ、モータ等を用いた場合よりも簡単な構造
であるから安価にできる。

【００１１】請求項４に記載の姿勢調整装置は、請求項
１ないし請求項３のいずれかに記載の姿勢調整装置にお
いて、前記姿勢調整手段は、前記本体の一端側にかつ前
記基線の両側に高さ調整可能に螺合された第１脚及び第
２脚と、前記本体の他端側にかつ前記基線上に高さ調整
可能に螺合された第３脚とを備えることを特徴とするも
のである。この発明によれば、姿勢調整手段は、本体の
一端側にかつ基線の両側に高さ調整可能に螺合された第
１脚及び第２脚と、本体の他端側にかつ基線上に高さ調
整可能に螺合された第３脚とを備えているから、たとえ
ば、丸棒状の被測定物上にも姿勢調整装置をバランスよ
く載置できる。また、第１及び第２脚に対して第３脚の
高さ調整をすることで、本体（つまり、表面性状測定
器）を基線方向へ傾斜させることができ、第１及び第２
脚の高さ調整をすることで基線に対して直交方向に傾斜
させることができる。さらに、第１及び第２脚の高さ調
整をすることで、径の異なる丸棒状の被測定物にもバラ
ンスよく載置できる。

【００１２】請求項５に記載の姿勢調整装置は、請求項
１ないし請求項４のいずれかに記載の姿勢調整装置にお
いて、前記表面性状測定器に対して取り外し可能に設け
られていることを特徴とするものである。この発明によ
れば、表面性状測定器の姿勢を調整する必要があるとき
だけ、表面性状測定器に姿勢調整装置を取り付ければよ
く、既製の表面性状測定器にも利用できる。

【００１３】請求項６に記載の姿勢調整装置は、請求項
１ないし請求項５のいずれかに記載の姿勢調整装置にお
いて、前記本体の上面には、被測定物が載置可能な平面
部が形成されていることを特徴とするものである。この
発明によれば、被測定物が小さい場合、姿勢調整装置を
載物台として用いることができる。具体的には、本体上
面に形成された平面部上に被測定物を載置し、姿勢調整
手段により、被測定物の姿勢を調整することができる。
なお、このような場合、表面性状測定器はスタンド等に
取り付けられる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１には被測定物の表面粗さを測
定する表面性状測定器１を保持した姿勢調整装置２が示
されており、図２には姿勢調整装置２の縦断面図が示さ
れており、図３には姿勢調整装置２の正面図が示されて
いる。表面性状測定器１は、被測定物の表面に接するス
タイラス１１１の上下方向の変位から被測定物の表面粗
さ等を検出する表面性状検出センサ１１と、この表面性
状検出センサ１１を基線１２Ａ方向へ移動させる駆動手
段１２（モータ等）とを備えている。

【００１５】姿勢調整装置２は、表面性状測定器１を保
持する本体２０と、この本体２０の姿勢を調整する姿勢
調整手段３０と、表面性状測定器１を本体２０に対して
平行にかつ上下方向へ昇降させる高さ調整手段４０とを
備えており、表面性状測定器１に対して取り外し可能に
設けられている。

【００１６】本体２０は、略コ字状に形成され、表面性
状測定器１を上部から覆うようにして保持しており、本
体２０の前面開口からは、表面性状測定器１のスタイラ
ス１１１側が突出されている。また、本体２０の上面に
は、被測定物が載置可能な平面部５０が形成されてい
る。

【００１７】姿勢調整手段３０は、本体２０の下部に垂
直方向へ螺合された３本の脚から構成されており、具体
的には、本体２０の一端側にかつ基線１２Ａの両側に高
さ調整可能に螺合された第１脚３１及び第２脚３２と、
本体２０の他端側にかつ基線１２Ａ上に高さ調整可能に
螺合された第３脚３３とから構成されている。第３脚３
３には、つまみ３３Ａが設けられており、このつまみ３
３Ａを回転させて第３脚３３の高さ調整がされると、本
体２０が第１及び第２脚３１，３２を支点に傾斜され、
本体２０の姿勢が調整される。つまり、本体２０に固定
された表面性状測定器１の姿勢が基線１２Ａ方向へ調整
される。なお、本実施形態ではつまみ３３Ａの一回転で
本体２０が０．３度傾くようになっており、つまみに目
盛（図示せず）を形成することで所望の傾斜角を本体２
０に与えることができる。また、第３脚３３と同様に、
第１及び第２脚３１，３２の高さ調整をそれぞれするこ
とで、本体２０（つまり、表面性状測定器１）の姿勢を
基線１２Ａの直交方向へも傾斜調整できる。

【００１８】高さ調整手段４０は、本体２０に設けられ
たガイド４１と、このガイド４１に対して上下方向へ摺
動可能に設けられかつ表面性状測定器１が固定される摺
動部材４２と、この摺動部材４２をガイド４１に沿って
上下方向へ昇降させる昇降機構４３とを含んで構成され
ている。なお、摺動部材４２には、本体２０の前面開口
を塞ぐ略Ｌ字状のカバー４４が設けられており、本体２
０内部への埃等の侵入を防止している。

【００１９】ガイド４１には上下方向に凹条部４１Ａが
形成され、この凹条部４１Ａに対応した凸条部４２Ａが
摺動部材４２に形成され、摺動部材４２は、ガイド４１
に嵌合された状態で、昇降される。

【００２０】昇降機構４３は、本体２０に回動可能に支
持されるとともに一端が摺動部材４２に螺合されかつ他
端が本体２０から突出されたねじ軸４３１と、このねじ
軸４３１の他端に固定されたつまみ４３２とを有してい
る。また、ねじ軸４３１の雄ねじ部位の上部には、止め
輪４３１Ａが設けられ、この止め輪４３１Ａによりねじ
軸４３１は、本体２０に対して軸方向に変位不能とされ
ている。つまみ４３２を回すとねじ軸４３１がその位置
で回転し、ねじ軸４３１に螺合された摺動部材４２が本
体２０のガイド４１に沿って昇降され、摺動部材４２に
固定された表面性状測定器１及びカバー４４が一体的に
昇降される。なお、本実施形態ではつまみ４３２の一回
転で、表面性状測定器１が本体２０に対して０．５ｍｍ
上昇または下降されるようになっている。

【００２１】次に、本実施形態の作用を説明する。たと
えば、図３に示すように、大きな丸棒状の被測定物Ｗ
（実線）の表面粗さを測定する場合、まず、従来と同様
に、被測定物Ｗの傾斜を求めるために予備測定を行う。
予備測定は、被測定物Ｗ上に表面性状測定器１を保持し
た姿勢調整装置２を載せ、この状態で、被測定物Ｗの表
面に沿って表面性状検出センサ１１を移動させると、こ
のときの被測定物Ｗの表面軌跡が求められる。この表面
軌跡の中心線を求めると、その中心線の傾きから傾斜補
正量、つまり、被測定物Ｗの表面が基線１２Ａに対して
平行となる補正量が求まるから、この補正量だけ姿勢調
整手段３０の第３脚３３の高さ調整をして、本体２０及
び表面性状測定器１の姿勢を調整する。

【００２２】すなわち、予備測定によって基線１２Ａに
対する被測定物Ｗの表面の傾きが求まると、表面性状測
定器１の傾きを補正する補正量が表示手段（図示せず）
に表示される。傾きを補正するにあたって、表面性状検
出センサ１１のスタイラス１１１に無理な力がかかるの
を防ぐために、昇降機構４３のつまみ４３２を回して表
面性状測定器１を上昇させ、一旦、スタイラス１１１を
被測定物Ｗから離す。次に、表示手段に表示された補正
量から、姿勢調整手段３０の第３脚３３のつまみ３３Ａ
を所定回転方向に所定量だけ回転させ、本体２０及び表
面性状測定器１の姿勢を調整する。

【００２３】この後、再度高さ調整手段４０のつまみ４
３２を回して、表面性状測定器１を下降させ、スタイラ
ス１１１を被測定物Ｗに接触させる。このとき、表面性
状測定器１の測定レンジを所望のレンジに切り換えると
ともに、スタイラス１１１の変位が測定レンジのほぼ中
程の位置となるように、高さ調整手段４０のつまみ４３
２で、表面性状測定器１の高さ位置を微調節する。この
結果、表面性状測定器１の基線１２Ａと、被測定物Ｗの
表面とを略平行にすることができるから、表面性状測定
器１の測定レンジを越えることなく、高分解能の表面性
状測定（以下、本測定）を行うことができる。

【００２４】一方、上述した被測定物Ｗよりも直径の寸
法が小さい被測定物ｗ（二点鎖線）の表面粗さを測定を
する場合、第１及び第２脚３１，３２の高さを大きい被
測定物Ｗのときと同じままで、姿勢調整装置２を被測定
物ｗに載置すると、表面性状測定器１を被測定物ｗ上に
安定して載置できない場合がある。これを避けるため、
図３の二点鎖線で示すように、第１及び第２脚３１，３
２を同量だけ延ばすことで、各脚３１，３２の高さ調整
をして、表面性状検出センサ１１が最適な高さ位置で被
測定物に当接されるようにする。また、このとき、姿勢
調整装置２に設けられた高さ調整手段４０を用いて、表
面性状検出センサ１１を最適な高さ位置に調整する。こ
のように姿勢調整装置２（すなわち、表面性状測定器
１）を被測定物ｗに載置したら、上述した被測定物Ｗの
測定と同様に予備測定及び表面性状測定器の姿勢調整、
本測定を順に行う。

【００２５】また、姿勢調整装置２を載置できないよう
なより小さな被測定物の表面粗さを測定する場合、ま
ず、姿勢調整装置２を表面性状測定器１から取り外し
て、本体２０上面に形成された平面部５０上に被測定物
を載せる。一方、表面性状測定器１をスタンド等に取り
付ける。まず、予備測定を行って傾斜補正量を求める。
この傾斜補正量に合わせて姿勢調整手段３０の第３脚３
３のつまみ３３Ａを回転させることで、被測定物の姿勢
を調整する。これにより、表面性状測定器１の基線１２
Ａと、被測定物表面とを略平行にすることができるか
ら、この状態で本測定を行う。つまり、公知の被測定物
の姿勢を調整する姿勢変更手段を備えた粗さ測定機（た
とえば、実公平４−１９４６１号公報に開示された粗さ
測定機）において、被測定物が載置される姿勢変更手段
の代わりに、姿勢調整装置２を用いれば、手動による被
測定物の傾き調整が可能となる。

【００２６】上述のような本実施形態によれば、次のよ
うな効果がある。すなわち、本実施形態では、表面性状
測定器１を保持した本体２０を姿勢調整手段３０を介し
て被測定物に載せ、この状態で、姿勢調整手段３０の各
脚３１，３２，３３の高さ調整をすることにより、表面
性状測定器１の姿勢を被測定物表面の傾斜に合わせて調
整できる。つまり、表面性状検出センサ１１の移動方向
（基線１２Ａ方向）を被測定物表面と平行に調整でき
る。従って、被測定物の寸法が大きくても、被測定物上
に本体２０を設置できるスペースがあればよいから、被
測定物の大きさに制限されることなく高分解能の表面性
状測定を行うことができるうえ、一つの姿勢調整装置２
を被測定物の大小に関わらず利用できるので、コスト面
についても従来よりも経済的にできる。また、姿勢調整
装置２には、表面性状測定器１を本体２０に対して平行
にかつ上下方向へ昇降させる高さ調整手段４０が設けら
れているから、表面性状測定器１を傾斜調整した姿勢の
まま被測定物表面に対して最適な高さ位置に位置させる
ことができる。また、これにより、表面性状検出センサ
１１の測定レンジの範囲において、表面性状検出センサ
１１のスタイラス１１１の変位を最適位置に位置決めで
きる。

【００２７】表面性状測定器１は、摺動部材４２を介し
てガイド４１に沿って昇降されるので、表面性状測定器
１を本体２０に対して平行なまま上下方向へ容易にかつ
安定して昇降できる。また、高さ調整手段４０は、簡単
な構造であるから製作を容易にできる。

【００２８】高さ調整手段４０において、つまみ４３２
を回すとねじ軸４３１がその位置で回転し、ねじ軸４３
１に螺合された摺動部材４２が昇降される。従って、手
動で表面性状測定器１を昇降させることができるうえ、
モータ等を用いた場合よりも簡単な構造であるから安価
にできる。

【００２９】姿勢調整手段３０は、本体２０の一端側に
かつ基線１２Ａの両側に高さ調整可能に螺合された第１
脚３１及び第２脚３２と、本体２０の他端側にかつ基線
１２Ａ上に高さ調整可能に螺合された第３脚３３とを備
えているから、たとえば、丸棒状の被測定物上にも姿勢
調整装置２をバランスよく載置できる。また、第１及び
第２脚３１，３２に対して第３脚３３の高さ調整をする
ことで、本体２０（つまり、表面性状測定器１）を基線
１２Ａ方向へ傾斜させることができ、第１及び第２脚３
１，３２の高さ調整をすることで基線１２Ａに対して直
交方向に傾斜させることができる。さらに、第１及び第
２脚３１，３２の高さ調整をすることで、径の異なる丸
棒状の被測定物にもバランスよく載置できる。

【００３０】姿勢調整装置２は、表面性状測定器１に対
して取り外し可能に設けられているので、表面性状測定
器１の姿勢を調整する必要があるときだけ、表面性状測
定器１に姿勢調整装置２を取り付ければよく、既製の表
面性状測定器にも利用できる。

【００３１】本体２０の上面には、被測定物が載置可能
な平面部５０が形成されているから、被測定物が小さい
場合には、姿勢調整装置２を載物台として用いること
で、被測定物の姿勢を調整することができ、このような
場合、表面性状測定器１はスタンド等に取り付けられれ
ばよい。

【００３２】姿勢調整手段３０の第３脚３３には、目盛
付きのつまみ３３Ａが設けられているので、表面性状測
定器１に所望の傾斜角を与えることができる。なお、本
実施形態ではつまみ３３Ａの一回転で、表面性状測定器
１が第１及び第２脚３１，３２を支点に０．３度傾くよ
うになっているが、他の適宜な角度に設定されていても
よい。また、高さ調整手段４０の昇降機構４３のつまみ
４３２に関しても同様である。

【００３３】高さ調整手段４０の摺動部材４２には、カ
バー４４が取り付けられ、このカバー４４は、摺動部材
４２及び表面性状測定器１と一体的に昇降移動するの
で、本体２０内部、特に高さ調整手段４０に埃等が侵入
するのをより確実に防止できるうえ、外観も良好にでき
る。

【００３４】なお、本発明は前記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変
形、改良は、本発明に含まれるものである。たとえば、
前記実施形態では、摺動部材４２にカバー４４が取り付
けられているが、本発明はこれに限定されるものではな
く、カバーはなくともよい。

【００３５】前記実施形態では、姿勢調整手段３０の第
３脚３３に、目盛付きのつまみ３３Ａが設けられている
が、本発明はこれに限定されるものではなく、つまみに
目盛を設けなくともよく、また、つまみ自体設けなくと
もよい。しかし、目盛付きのつまみがない場合、表面性
状測定器の傾きを所望の角度に設定するのが困難となる
ため、目盛付きのつまみを設けることが望ましい。目盛
付きのつまみとする場合の目盛は、つまみの回転角度で
あってもよいが、つまみを回転させることによって補正
される表面性状測定器の角度である方が好ましい。ま
た、この目盛は、つまみの回転角度や表面性状測定器の
補正傾斜角度に限定されるものではなく、要するに、表
示手段に表示される補正量と関連した目盛であればよ
い。

【００３６】前記実施形態では、姿勢調整手段３０の第
１及び第２脚３１，３２には、つまみ及び目盛が設けら
れていないが、第１及び第２脚３１，３２にもつまみ及
び目盛が設けられた方が好ましく、このような場合に
は、第１及び第２脚の高さ調整が容易となる。また、第
１及び第２脚に、それぞれ設けたつまみとは別に、操作
性のよいつまみ、たとえば、一つのつまみを操作するこ
とで第１脚と第２脚とが連動して両者の高さ調整をでき
るつまみを設けてもよい。なお、このような連動構造
は、ねじや歯車等によって構成されればよい。

【００３７】前記実施形態では、昇降機構４３のつまみ
４３２には、目盛が形成されていないが、目盛を形成し
た方が望ましく、このような場合には、つまみ４３２の
操作による表面性状測定器１の高さ調整量の把握が容易
にできる。

【００３８】前記実施形態では、姿勢調整装置２は、表
面性状測定器１に取り外し可能に設けられているが、本
発明に係る姿勢調整装置はこれに限定されるものではな
く、取り外し不可であってもよい。しかし、取り外し可
能であった方が、被測定物が小さい場合に姿勢調整装置
を載物台として利用でき、姿勢調整装置の利用範囲を拡
大できる。

【００３９】前記実施形態において、姿勢調整手段３０
は３本の脚３１，３２，３３から構成されているが、本
発明に係る姿勢調整手段はこれに限定されるものではな
く、１本、２本または４本以上の脚から構成されていて
もよい。

【００４０】前記実施形態において、高さ調整手段４０
の昇降機構４３は、ねじ軸４３１とつまみ４３２とから
構成されているが、本発明に係る昇降機構はこれに限定
されるものではなく、モータ等を用いてもよい。

【００４１】前記実施形態のガイド４１に形成される凹
条部４１Ａは、いわゆるアリ溝でも良く、このような場
合、摺動部材４２に形成された凸条部４２Ａは、アリ溝
に嵌合可能な形状であればよい。また、摺動部材４２と
ガイド４１との間に、いわゆるカミソリを挿入し、摺動
面間の隙間を最適に調整可能としてもよい。このような
構造とすれば、摺動部のがたつきを低減できる。

【００４２】前記実施形態では、高さ調整手段４０にお
いて、ねじ軸４３１を摺動部材４２に直接螺合している
が、たとえば、摺動部材４２にナットを固定し、このナ
ットにねじ軸を螺合させてもよい。このような場合、さ
らに、ナットにスリ割りを形成し、ボルト等でスリ割り
の間隔を調整すれば、ねじ軸とナットとの隙間が調整さ
れ、昇降機構におけるがたつきを低減できるから、操作
感のよい高さ調整手段を構成でき、表面性状測定器のよ
り微小な高さ調整が可能となる。

【００４３】前記実施形態において、表面性状測定器１
を摺動部材４２に取り付ける構造は種々のものが考えら
れ、たとえば、ボルトで固定したり、蝶ねじを用いた
り、フックを用いて係止する構造等が考えられる。

【００４４】

【発明の効果】本発明の姿勢調整装置によれば、被測定
物の大きさに制限されることなく、かつ、経済的に構成
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る姿勢調整装置の一実施形態を示す
全体斜視図である。

【図２】前記実施形態の縦断面図である。

【図３】前記実施形態の作用を示す正面図である。

【符号の説明】

１表面性状測定器２姿勢調整装置１１表面性状検出センサ１２駆動手段１２Ａ基線２０本体３０姿勢調整手段３１第１脚３２第２脚３３第３脚４０高さ調整手段４１ガイド４２摺動部材４３昇降機構５０平面部４３１ねじ軸４３２つまみ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平６−129810（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−96810（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−96811（ＪＰ，Ａ) 特開平11−118409（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−155901（ＪＰ，Ａ) 実開昭63−107814（ＪＰ，Ｕ) 実開平５−77710（ＪＰ，Ｕ) 実開平７−2908（ＪＰ，Ｕ) 特許166764（ＪＰ，Ｃ２) 独国特許出願公開4132724（ＤＥ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 21/30 G01B 5/28 G01B 7/34

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定物の表面性状を検出する表面性状
検出センサと、この表面性状検出センサを基線方向へ移
動させる駆動手段とを備えた表面性状測定器の姿勢を調
整する姿勢調整装置であって、前記表面性状測定器を上下方向摺動可能に保持し前記被
測定物上に載置される本体と、前記被測定物に載置され
る脚を有しかつその脚の高さ調整によって前記本体およ
び前記表面性状測定器の姿勢を調整可能な姿勢調整手段
と、前記表面性状測定器を前記姿勢調整手段にて姿勢調
整された状態で前記本体に対して平行にかつ上下方向へ
昇降させる高さ調整手段とを備えていることを特徴とす
る姿勢調整装置。
【請求項２】請求項１に記載の姿勢調整装置におい
て、前記高さ調整手段は、前記本体に設けられたガイド
と、このガイドに対して上下方向へ摺動可能に設けられ
かつ前記表面性状測定器が固定される摺動部材と、この
摺動部材を前記ガイドに沿って上下方向へ昇降させる昇
降機構とを含んで構成されていることを特徴とする姿勢
調整装置。
【請求項３】請求項２に記載の姿勢調整装置におい
て、前記昇降機構は、前記本体に回転可能かつ軸方向へ
変位不能に支持されるとともに一端が前記摺動部材に螺
合されかつ他端が本体から突出されたねじ軸と、このね
じ軸の他端に固定されるつまみとを含んで構成されてい
ることを特徴とする姿勢調整装置。
【請求項４】請求項１ないし請求項３のいずれかに記
載の姿勢調整装置において、前記姿勢調整手段は、前記
本体の一端側にかつ前記基線の両側に高さ調整可能に螺
合された第１脚及び第２脚と、前記本体の他端側にかつ
前記基線上に高さ調整可能に螺合された第３脚とを備え
ることを特徴とする姿勢調整装置。
【請求項５】請求項１ないし請求項４のいずれかに記
載の姿勢調整装置において、前記表面性状測定器に対し
て取り外し可能に設けられていることを特徴とする姿勢
調整装置。
【請求項６】請求項１ないし請求項５のいずれかに記
載の姿勢調整装置において、前記本体の上面には、被測
定物が載置可能な平面部が形成されていることを特徴と
する姿勢調整装置。