JPS62194401A - 載置型表面粗さ測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く利用分野〉　この発明は、例えば大型のワークの表面
、板状体の表面粗さを測定するとき、そのワーク上に載
置して測定することも出来るようにしたものである。こ
こで表面粗さは、ある面積を有するスキッドを測定面に
押し付け、これによって面の高周波変動（うねり成分）
を除いて、低周波の変位だけを拾い出して測定しようと
するものである。

く従来技術〉　従来粗さ測定機は、ワークを載せるテー
ブルを有し、テーブル上の測定面に対して測定を行なっ
ていた。そこで大きなワーク、板状体等テーブルに乗り
切れないワークにおいては、ワークの一部を切って載せ
るか、もしくは測定しようとする部分を転子して間接的
に測定していた。

従って測定に手間と時間を要する欠点があった。

なお、機種によっては載置を可能としたものもあるがこ
の場合にはピックアップに上下動機構を設けて、ピック
アップの位置を調節して測定を行なうのであるが、検出
器を上下させて、零点出しを行なう必要があり、面倒な
調整に手数を要した。

本発明は装置全体を軽量小型とし、ワークの表面に載置
したときに零点となるようにして置いて、何の調整もな
く、直ちに測定を可能としたものである。

なお従来の装置では、駆動部内に平滑な基準面を設け、
これに沿って滑動部を移動させ、その滑動部にスキッド
の支持部を圧力をもって測定面に押し付ける機構である
が、これでは全体が大型になり、重量も増加して、載置
に要する面積も大となって本発明の目的に適合しない。

そこで本発明においては特殊な機構によった。

〈本発明の実施例〉　第１図に示すように、本発明にお
いてはピックアップ１と駆動部２とからなり、これをピ
ックアップの２本の突出する案内ロッド３．４により駆
動部に差し込み、正規に装着、作動する方式を取る。こ
れによりピックアップを測定対象に応じて自由に交換可
能とする。そしてピックアップ１の先端下面にはスキッ
ド５を有し、その緩やかな曲面を貫通して触針６を突出
させる。

第２図において、ピックアップ１の外殻部１０の図の左
先端下部にスキッド５を固定する。そしてスキッドの下
面を貫通する孔に触針６を貫通させる。そして触針６は
外殻部１０の中に設けられた触針レバー１１の先端（図
の左端）に下向きに取り付けられる。レバー１１はその
中間において第２の板ばね１２により外殻部１０に取り
付けられる。またレバー１１の右端上部には磁性材料の
フェライト板１４を水平に取り付ける。そしてフェライ
ト板１４に相対して外殻部１０にインダクタンス型検出
器１５を取り付け、そのコイル線の両端を相互に絶縁さ
れている２本の案内ロッド３．４に結ぶ。ここでレバー
を支持する第２の板ばね１２は触針６をスキッド５の面
よりわずかに突出した状態でバランスが取れるように弾
性変位可能に支持する。そこで触針の上下動はレバーの
右端のフェライト板１４を上下動させ、検出器のコイル
に流れる電流を変化させる。

この電流の変化を案内ロッド３．４を通して取り出す。

従って案内ロッド３．４はピックアップを駆動部２に正
しく固定するための連結用であると共に、検出器の信号
のコネクターの機能を有する。

駆動部２はピックアップ１を弾性的に保持して、所定の
鉗離を定方向に移動させるための機構を有し、かつその
外殻部２１をワークの面上に置くことにより、ピックア
ップを正規の状態にセットすることので外るピックアッ
プの保持部でもある。

駆動部の外殻部２１の中にはモータ２２）減速器２３、
カップリング２４、送りねじ２５が直結され、この送り
ねじには送り駒２６をはめる。また外殻部２１には滑動
軸３０の軸受け２８．２９が設けられ、輪には連結部３
１が取り付けられて、これによって駒２６と滑動軸３０
とが一体となっている。滑動軸３０の右端にはブロック
３２を取り付け、これに第１の板ばね３３をもって取付
部３４を取り付ける。ここで取付部３４は電気絶縁材料
からできていて、これにはピックアップ１の２本の案内
ロッド３．４の入る孔を設ける。

そして各孔には電気接続部を有して検出器１５のコイル
に連結し、これを外殻部の外に導き出す。ここで測定面
に対してスキッド５が軽く接触するように、第１の板ば
ね３３を下向きに付勢して取り付ける。

外殻部２１は角柱形状であって、その下面の両端にはワ
ーク表面との接触部３５．３６．３７．３８を有して、
接触部のなす面を基準面としてスキッド触針の位置が調
整される。すなわち駆動部を測定面上に載置すると角柱
体の下面の接触部３５．３６．３７．３８が基準面とな
り、ピックアップのスキッドがワークに当たり、触針レ
バーが基準面と平行になり、６一 測定面に対してスキッドの圧力がかかる。そして触針先
端がスキッドの面とが一致した状態で零点が出るように
調整しておく。

なお、外殻部下面中央の軸心方向に、両側に■溝を切っ
て、円柱状測定対象に対して安定するようにする。

以上においてモータ２２を正逆回転することにより、送
りねじは正逆転し、滑動軸３０は軸受け２８．２９中を
定方向に往復運動を行なう。

く効果〉　本発明の構造においては、滑動軸３０を基準
として、送りねじ２５はカップリング２４によって送り
ねじ２５はその位置を取りながら回転する。

このような直結方式が採用されているので、従来の基準
面にブロックを押し付けて移動させ、これによってピッ
クアップ部分を駆動する方式に比して軽量、小型化する
ことが可能である。従って第３図〜第９図に示すような
載置型測定及びマグネットスタンドとの結合測定が簡単
に、かつ正確に行なうことが可能である。第３図は一般
的な水平面測定例である。そして第４図、第５図は円柱
体に載置した状態で測定するのであるが、前述の底面に
設けられたＶ溝により安定してセットすることができる
。第６図はワークの上に簡単なスタンドを置いて測定す
るものであるが、全体が軽量に作ることが出来るので、
スタンドのたわみによる誤差を２ｖ慮する必要なく、特
に剛性の大きなスタンドを使用する必要はない。第７図
は丸孔の内面測定の場合でこのように希望する面の測定
が自由に簡単に出来る。第８図は直角面測定の例である
。

第９図は測定部調整台を用いた段差のあるワークの測定
例である。

また従来検出器として使用されている差動変圧器方式で
ないため電気結線が非常に簡明で取付ロッドとコネクタ
ーのピンとを兼用させることが可能であって、ピックア
ップが配線の影響を受けることがまったくなく、高精度
の測定が可能である特徴を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の概略を示す説明図、第２図はその機構
を示す説明図、第３．４．５．６．７．８．９図は本発
明の測定機の使用状態を示す説明図。 １：ピックアップ　　２：駆動部 ３．４：案内ロッド　　５ニスキツド　　６：触針７：
７−ズビース　　８：ポストマウント９：測定部調整台
　　１ｏ：ピックアップの外殻部１１：触針レバー　　
１２：第２板ばね１４ニアエライト板

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）モータ・カップリング・送りねじを直結して設け
   、この送りねじの送り駒により定方向移動する滑動軸を
   設け、この滑動軸に粗さ測定用ピックアップを取り付け
   るコネクター兼取付部を第１の板ばねによって支持する
   外殻部を角柱体とした駆動部と、２本のコネクターのピ
   ン兼取付ロッドを有して、先端下面にスキッドを有し、
   このスキッド面を貫通する触針を保持する触針レバーを
   弾性的に第２の板ばねによって支持する外殻部に触針の
   変位量を検出するインダクタンス型検出器を有して、検
   出器のコイルの線を前記２本のコネクターピンと直結す
   るピックアップとから構成される載置型の表面粗さ測定
   機。
2. （２）特許請求の範囲第１項の記載において、駆動部外
   殻の角柱体の下面に載置時の基準接触面を設けてなる粗
   さ測定機。
3. （３）特許請求の範囲第１項の記載において、角柱体の
   下面中央の軸線方向にＶ溝を設けた粗さ測定機。
4. （４）特許請求の範囲第１項の記載において、角柱体の
   後面板に機構を付け、測定部触針の高さを自由に変えら
   れる測定部調整台が付加出来る構造を持った粗さ測定機
   。
5. （５）特許請求の範囲第１項の記載において、角柱体の
   後面にポストマウントを付加出来る構造とし、マグネッ
   トスタンドに接続出来る構造を持った粗さ測定機。