CN214252392U - 一种探针弯折装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种探针弯折装置，涉及半导体电子测试器件技术领域。本实用新型一种探针弯折装置，包括，底座，其表面设有弯折角度测量结构和弯折长度测量结构，所述弯折长度测量结构的基准零点对应于所述弯折角度测量结构的圆心，所述弯折长度测量结构的刻度线对应于所述弯折角度测量结构的零刻度线；探针夹持部，其设在所述底座上，所述探针夹持部夹持待弯曲探针；弯折固定支撑体，其设置在所述底座上，并对所述基准零点位置的所述探针进行限位。本实用新型可准确控制探针待弯折部分的长度及弯折的角度，提升晶圆电路测试的精准度，提高工作效率。

Description

一种探针弯折装置

技术领域

本实用新型属于半导体电子测试器件技术领域，特别是涉及一种探针弯折装置。

背景技术

在晶圆厂生产测试过程中，经常会用到各种探针，例如钨探针及猫须针等，对晶圆中的集成电路进行电性测试。为方便探针与电路测试仪器配合使用，需将生产出的直探针进行弯折，使得弯折的针头具有一定的长度和角度，以便于其装配到测试仪器的针座上对放置于仪器上的晶圆进行测试。针对探针的弯折加工，由于探针的体积较小，难以使用传统的加工设备进行加工，目前主要是靠人借助简单的工具手动完成的，但是此过程中工作人员往往凭借个人经验对探针进行弯折，从而经常导致弯折的角度和长度未能达到使用需求，影响晶圆电路测试的准确性。因此需要提出一种探针弯折装置，能精确确定探针弯折的角度和长度，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种探针弯折装置，用于解决目前人工对探针进行弯折加工时，无法精确控制针头的长度和角度，从而影响晶圆电路测试准确性的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种探针弯折装置，包括：

底座，其表面设有弯折角度测量结构和弯折长度测量结构，所述弯折长度测量结构的基准零点对应于所述弯折角度测量结构的圆心，所述弯折长度测量结构的刻度线对应于所述弯折角度测量结构的零刻度线；

探针夹持部，其设在所述底座上，所述探针夹持部夹持待弯曲探针；

弯折固定支撑体，其设置在所述底座上，并对所述基准零点位置的所述探针进行限位。

在本实用新型的一个示例中，所述探针弯折装置还包括弯折驱动装置，所述弯折驱动装置设置在底座上，并且所述弯折驱动装置于底座上围绕所述基准零点位置移动。

在本实用新型的一个示例中，所述弯折驱动装置的一端的顶部为尖端台体。

在本实用新型的一个示例中，所述底座上设有多个圆轨道，所述多个圆轨道的圆心对应于所述弯折角度测量结构的圆心，所述弯折驱动装置设置在所述圆轨道上。

在本实用新型的一个示例中，所述探针夹持部为套管，所述套管内设有夹持稳定机构。

在本实用新型的一个示例中，所述夹持稳定机构包括至少两组垫体支撑结构，每一所述垫体支撑结构包括两个对称设置在所述套管内壁上的垫体。

在本实用新型的一个示例中，所述探针弯折装置还包括探针推进装置。

在本实用新型的一个示例中，所述探针推进装置一端为推进盘体，所述推进盘体直径大于等于所述探针直径。

在本实用新型的一个示例中，所述底座的形状为圆形，所述底座的圆心对应于所述弯折角度测量结构的圆心。

在本实用新型的一个示例中，所述弯折固定支撑体为圆柱型阻挡装置，所述圆柱型阻挡装置对称地设在所述弯折长度测量结构的所述基准零点的两侧。

本实用新型一种探针弯折装置，通过在探针弯折装置上设置有探针夹持部、弯折角度测量结构和弯折长度测量结构，将探针夹持部与弯折长度测量结构沿弯折角度测量结构的零刻度线方向分别设置于弯折角度测量结构圆心的两侧，在使用时可使探针穿过探针夹持部的弯折部分长度可以被弯折长度测量结构精确测量，在弯折过程中探针弯折部分所弯折的角度也可以被弯折角度测量结构所确定。由此可见，本实用新型提供的探针弯折装置能在探针弯折过程中同时确定探针弯折的角度和长度，使弯折的探针可以统一标准，并使探针能适用不同规格的弯折角度和长度，提高了晶圆电路测试的精准度，提高了工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型所述一种探针弯折装置的结构俯视图。

图2为本实用新型所述一种探针弯折装置的结构示意图，其中剖面线部分为夹持稳定机构内部结构截面示意图。

图3为本实用新型所述一种探针弯折装置中夹持稳定机构内部结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1 底座

2 弯折角度测量结构

3 弯折长度测量结构

4 探针夹持部

41 夹持稳定机构

5 弯折固定支撑体

6 弯折驱动装置

7 圆轨道

8 探针推进装置

81 推进盘体

82 推进把手

9 待弯曲探针

91 探针待弯折部分

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

请参见图1至图3，图1示出了本探针弯折装置的结构俯视图，图2示出了本探针弯折装置的结构示意图，其中剖面线部分为夹持稳定机构内部结构截面示意图，图3示出了探针弯折装置中夹持稳定机构内部结构截面俯视图。

请再参见图1至图3，本实用新型提供了一种探针弯折装置，用于解决目前人工对探针进行弯折加工时，无法精确控制针头的长度和角度，从而影响晶圆电路测试准确性的技术问题。

如图1至图3所示，本实用新型探针弯折装置可包括底座1、弯折角度测量结构2、弯折长度测量结构3、探针夹持部4及弯折固定支撑体5。

如图1及图2所示，上述底座1为一台状支撑体，底座1的表面为水平面，底座1的表面上设有弯折角度测量结构2和弯折长度测量结构3。上述弯折角度测量结构2可为例如圆刻度尺，上述弯折长度测量结构3可为例如直刻度尺，弯折长度测量结构3的基准零点对应于弯折角度测量结构2的圆心，弯折长度测量结构3的刻度线对应于弯折角度测量结构2的零刻度线。其中，弯折角度测量结构2及弯折长度测量结构3在底座1表面的设置形式可以不受限定，例如，弯折角度测量结构2及弯折长度测量结构3可以为刻度尺的形式固定安装在底座1表面上，也可以通过刻度线刻蚀的方式将弯折角度测量结构2及弯折长度测量结构3设置在底座1的表面上，在本实用新型的一实施例中，弯折角度测量结构2及弯折长度测量结构3以刻蚀刻度线的方式设置于底座1表面，上述设置方式可以有效避免装置在弯折待弯曲探针9的过程中受到弯折角度测量结构2及弯折长度测量结构3的干扰。

如图1及图2所示，上述探针夹持部4设置在底座1的表面上，探针夹持部4的一端设置于弯折角度测量结构2圆心靠近180°刻度线的一侧，探针夹持部4的另一端设置在弯折角度测量结构2的圆心至180°刻度线直线方向上。本装置的探针夹持部4可夹持待弯曲探针9，并使待弯曲探针9沿弯折角度测量结构2的零刻度线方向延伸。上述设置方式可使待弯曲探针9伸出探针夹持部4的探针待弯折部分91与弯折长度测量结构3的刻度线重合，以便于确定探针待弯折部分91的长度。

如图1及图2所示，上述弯折固定支撑体5设置在底座1的表面上，弯折固定支撑体5位于弯折角度测量结构2的圆心与弯折长度测量结构3的刻度线的交界处，可对对基准零点位置的待弯折探针9进行限位，使得待弯折探针9可围绕弯折角度测量结构2的圆心进行弯折转动，便于通过弯折角度测量结构2确定探针待弯折部分91所转动的角度。

在上述探针弯折装置中，通过在探针弯折装置的底座1上设置有探针夹持部4、弯折角度测量结构2和弯折长度测量结构3，将探针夹持部4与弯折长度测量结构3沿弯折角度测量结构2的零刻度线方向分别设置于弯折角度测量结构2圆心的两侧，在使用时可使待弯折探针9穿过探针夹持部4的探针待弯折部分91长度可以被弯折长度测量结构3精确测量，在弯折过程中探针待弯折部分91的所弯折的角度也可以被弯折角度测量结构2所确定。由此可见，本实用新型提供的探针弯折装置能在待弯折探针9弯折过程中同时确定探针弯折的角度和长度，使弯折的探针可以统一标准，并使探针能适用不同规格的弯折角度和长度，提高了晶圆电路测试的精准度，提升了工作效率。

如图1及图2所示，上述探针弯折装置还包括弯折驱动装置6，上述弯折驱动装置6设置在底座1上，并且弯折驱动装置6于底座1上围绕弯折长度测量结构3的基准零点位置转动，能够起到推动底座1上的探针待弯折部分91的作用，使探针待弯折部分91绕弯折角度测量结构2的圆心转动。

如图1及图2所示，在本实用新型的一实施例中，上述弯折驱动装置6的主体为例如长方体，弯折驱动装置6的一端的顶部为尖端台体。

请再参见图1，在本实施例中，底座1的表面设有多个圆轨道7，上述多个圆轨道7的圆心对应于弯折角度测量结构2的圆心，并且多个圆轨道7具有不同的半径长度。上述多个圆轨道7的设置形式可以不受限定，例如，圆轨道7可以为设置于底座1表面的凹槽。弯折驱动装置6可设置于任意一圆轨道7中，弯折驱动装置6沿着圆轨道7的轨迹运动可推动探针待弯折部分91围绕角度测量结构2的圆心转动。其中，弯折驱动装置6推进方式可以不受限定，例如，弯折驱动装置6可以通过人为手动推进，也可以通过与圆轨道7底部设置推进装置，底座1表面设置电机对弯折驱动装置6进行电动推进。

请再参见图1至图3，在本实用新型的一实施例中，上述探针夹持部4为例如套管，套管于底座1表面的安装方式可以为任何合适的安装方式，例如焊接和螺栓连接等安装方式。

如图2及图3所示，在本实施例中，上述套管内设有夹持稳定机构41，上述夹持稳定机构41包括至少两组垫体支撑结构，每一垫体支撑结构包括两个对称设置在套管内壁上的垫体，两个垫体的间距与待弯折探针9的直径相等，至少两组垫体支撑结构沿待弯折探针9的前进方向直线排布设置在套管内。

如图1至图3所示，在本实用新型的一实施例中，上述探针弯折装置还包括探针推进装置8，上述探针推进装置8用于推动待弯折探针9穿过探针夹持部4至指定的弯折位置。

如图1至图3所示，在本实施例中，探针推进装置8的一端为推进盘体81，探针推进装置8的另一端为推进把手82。在具体使用时，工作人员通过推进把手82操作探针推进装置8使推进盘体81与待弯折探针9的底部接触，进而将位于探针夹持部4内的待弯折探针9推动到指定位置。其中，推进盘体82的直径大于待弯折探针9的直径且小于探针夹持部4内管直径。

请再参见图1，在本实用新型的一实施例中，底座1的形状可为例如圆形，上述底座1的圆心对应于弯折角度测量结构2的圆心。

请再参见图1，在本实用新型的一实施例中，弯折固定支撑体5为圆柱型阻挡装置，上述弯折固定支撑体5对称地设置在弯折长度测量结构3的基准零点的两侧，上述对称设置于基准零点两侧的弯折固定支撑体5的圆心在同一直线上且与弯折长度测量结构3的零刻度线重合，使得对于探针待弯折部分91的长度测量从探针9的弯折圆点开始计算。并且对称设置于基准零点的两侧的弯折固定支撑体5之间的最短间距与待弯曲探针9的直径相等，使得探针待弯折部分91与弯折固定支撑体5紧密贴合，不留空隙。

综上所述，通过本实用新型的探针弯折装置，可准确控制探针待弯折部分的长度及弯折的角度，提高了晶圆电路测试的精准度，提升了工作效率。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (10)

1.一种探针弯折装置，其特征在于，包括：

底座，其表面设有弯折角度测量结构和弯折长度测量结构，所述弯折长度测量结构的基准零点对应于所述弯折角度测量结构的圆心，所述弯折长度测量结构的刻度线对应于所述弯折角度测量结构的零刻度线；

探针夹持部，其设在所述底座上，所述探针夹持部夹持待弯曲探针；

弯折固定支撑体，其设置在所述底座上，并对所述基准零点位置的所述探针进行限位。

2.根据权利要求1所述的探针弯折装置，其特征在于，所述探针弯折装置还包括弯折驱动装置，所述弯折驱动装置设置在底座上，并且所述弯折驱动装置于底座上围绕所述基准零点位置移动。

3.根据权利要求2所述的探针弯折装置，其特征在于，所述弯折驱动装置的一端的顶部为尖端台体。

4.根据权利要求2或3所述的探针弯折装置，其特征在于，所述底座上设有多个圆轨道，所述多个圆轨道的圆心对应于所述弯折角度测量结构的圆心，所述弯折驱动装置设置在所述圆轨道上。

5.根据权利要求1所述的探针弯折装置，其特征在于，所述探针夹持部为套管，所述套管内设有夹持稳定机构。

6.根据权利要求5所述的探针弯折装置，其特征在于，所述夹持稳定机构包括至少两组垫体支撑结构，每一所述垫体支撑结构包括两个对称设置在所述套管内壁上的垫体。

7.根据权利要求1所述的探针弯折装置，其特征在于，所述探针弯折装置还包括探针推进装置。

8.根据权利要求7所述的探针弯折装置，其特征在于，所述探针推进装置一端为推进盘体，所述推进盘体直径大于等于所述探针直径。

9.根据权利要求1所述的探针弯折装置，其特征在于，所述底座的形状为圆形，所述底座的圆心对应于所述弯折角度测量结构的圆心。

10.根据权利要求1所述的探针弯折装置，其特征在于，所述弯折固定支撑体为圆柱型阻挡装置，所述圆柱型阻挡装置对称地设在所述弯折长度测量结构的所述基准零点的两侧。

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