DE19913659A1 - Positionserfassungsgerät - Google Patents

Positionserfassungsgerät

Info

Publication number
DE19913659A1
DE19913659A1 DE19913659A DE19913659A DE19913659A1 DE 19913659 A1 DE19913659 A1 DE 19913659A1 DE 19913659 A DE19913659 A DE 19913659A DE 19913659 A DE19913659 A DE 19913659A DE 19913659 A1 DE19913659 A1 DE 19913659A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
scale
head
signal
original signal
recording medium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19913659A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19913659B4 (de
Inventor
Tadahiko Shimano
Takamoto Yoshioka
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DMG Mori Co Ltd
Original Assignee
Sony Precision Technology Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Precision Technology Inc filed Critical Sony Precision Technology Inc
Publication of DE19913659A1 publication Critical patent/DE19913659A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19913659B4 publication Critical patent/DE19913659B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2454Encoders incorporating incremental and absolute signals
    • G01D5/2455Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
    • G01D5/2457Incremental encoders having reference marks
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D2205/00Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
    • G01D2205/80Manufacturing details of magnetic targets for magnetic encoders

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Positionserfassungsgerät, das ein Übersprechen zwischen einem Skalensignal und einem Ursprungsignal unterdrücken kann und eine Position mit hoher Genauigkeit zu erfassen vermag. DOLLAR A Ein Aufzeichnungsmedium (12) einer runden Stabform weist ein magnetisches Signal mit abwechselnd umgekehrter Polarität unter einer vorbestimmten Aufzeichnungswellenlänge lambda¶1¶ auf, das als ein Skalensignal in der Längsrichtung des Aufzeichnungsmediums (12) aufgezeichnet ist. Dieses Skalensignal ist über der gesamten äußeren Umfangsfläche des Aufzeichnungsmediums (12) und nahezu über der gesamten Länge des Aufzeichnungsmediums (12) aufgezeichnet. Darüber hinaus hat das Aufzeichnungsmedium (12) ein Einwellenlängen-Ursprungsignal einer Aufzeichnungswellenlänge lambda¶2¶, das wenigstens an einer Position über dem Skalensignal aufgezeichnet ist. Die Aufzeichnungswellenlänge lambda¶2¶ dieses Ursprungsignals ist länger als die Aufzeichnungswellenlänge lambda¶1¶ des Skalensignals. Das Ursprungsignal ist an einem Teil des äußeren Umfanges aufgezeichnet. Ein Ursprungsignal-Detektionskopf (35b) ist so angeordnet, daß er dem Ursprungsignal gegenüberliegt, während ein Skalensignal-Detektionskopf (35a) vorgesehen ist, um dem Ursprungsignal-Detektionskopf (35b) so gegenüberzuliegen, daß das Aufzeichnungsmedium (12) dazwischen vorgesehen ist.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Gerät zur Erfassung der Position, also auf ein Positionserfassungsgerät, zur Verwendung bei der Positions­ steuerung bzw. -regelung eines beweglichen Teiles eines Maschinenwerkzeuges oder eines industriellen Gerätes, und insbesondere auf ein Positionserfassungs­ gerät zum Erfassen einer Position eines beweglichen Teiles, das eine Linear­ bewegung ausführt.
Gewöhnlich wird ein sogenanntes Positionserfassungsgerät verwendet, um eine Positionssteuerung bzw. -regelung eines beweglichen Teiles vorzunehmen, das eine Linearbewegung ausführt.
Das Positionserfassungsgerät umfaßt im allgemeinen einen Hauptkörper und ein Kopfgleitstück, das im Hauptkörper so vorgesehen ist, daß das Kopfgleitstück in einer Linearbewegung fahren kann.
In dem Hauptkörper ist ein Aufzeichnungsmedium vorgesehen, das beispiels­ weise in einen runden Stab geformt ist und als "Skala" bezeichnet wird. Auf dieser Skala wird ein Positionssignal entlang der Längsrichtung der Skala auf­ gezeichnet. Außerdem hat das Kopfgleitstück einen Detektionskopf zum Erfassen des auf der Skala aufgezeichneten Positionssignales. Dieser Detek­ tionskopf ist beispielsweise an einer diesem Positionssignal gegenüberliegenden Stelle vorgesehen und bewegt sich in der Längsrichtung der Skala zusammen mit der Linearbewegung des Kopfgleitstückes.
In einem solchen Skalengerät aus dem Hauptkörper und dem Kopfgleitstück sind diese auf einem Bezugsblock und einem beweglichen Block eines Maschinenwerkzeuges angebracht, welche eine relative Linearbewegung aus­ führen. Das heißt, der Hauptblock oder das Kopfgleitstück ist auf dem Bezugs­ block festgelegt, und das andere Teil ist auf dem beweglichen Block angebracht. Hier ist der Hauptkörper so befestigt, daß die Längsrichtung der Skala parallel zu der Bewegung des beweglichen Blockes ist. Demgemäß wird in dem Skalen­ gerät die Relativposition bzw. -lage zwischen diesem Hauptblock und dem Kopfgleitstück verändert, wenn der bewegliche Block in einer Linearbewegung verfahren wird.
Bei diesem Positionsdetektionsgerät mit dem obigen Aufbau erfaßt der in dem Kopfgleitstück vorgesehene Detektionskopf das Positionssignal, das sich ent­ sprechend der Änderung der Relativlage verändert, um so die Position bzw. Lage der beweglichen Stelle zu steuern.
Bei dem Positionserfassungsgerät werden ein Skalensignal und ein Ursprungsignal als das Positionssignal in der Längsrichtung der Skala auf­ gezeichnet.
Das Skalensignal hat ein Grübchen bzw. ein Pit und eine Marke bzw. Mar­ kierung, die nacheinander unter einem vorbestimmten Intervall in der Längs­ richtung der Skala wiederholt sind. Beispielsweise ist das Skalensignal ein magnetisches Signal, in welchem sich die Polarität bei einer vorbestimmtn Aufzeichnungswellenlänge umkehrt. Durch Verwenden der Skala mit einem derartigen Skalensignal ist es möglich, linear eine Änderung einer relativen Bewegungsposition zwischen dem Hauptkörper und dem Gleitstück zu erfassen, um kontinuierlich die relative Position zwischen dem Referenz- bzw. Bezugs­ block und dem beweglichen Block zu steuern.
Das Ursprungsignal ist ein Signal, in welchem wenigstens ein Pit oder eine Marke diskret in der Längsrichtung der Skala aufgezeichnet ist. Beispielsweise wird ein magnetisches Signal mit einer Wellenlänge unter einer vorbestimmten Position in der Längsrichtung der Skala aufgezeichnet. Durch Verwenden der Skala mit einem derartigen Ursprungsignal kann das Positionserfassungsgerät eine Bezugsposition, wie beispielsweise eine anfängliche Einstellposition und eine Ursprungposition des Hauptkörpers und des Kopfgleitstückes erfassen, um die relative Position des Bezugsblockes und des beweglichen Blockes bei der Bezugsposition einzustellen.
Bei einem Maschinenwerkzeug oder dergleichen, das eine NC-(numerische Steuerungs-)Rückkopplung ausführt, ist es erforderlich, eine relative Bewegungsgröße des beweglichen Blockes zu steuern, sowie den beweglichen Block zu einer Bezugsposition zu verfahren. Hierzu erfordert das Maschinen­ werkzeug, das eine derartige NC-Rückkopplung ausführt, ein Positionser­ fassungsgerät mit einer eingebauten Skala, auf welcher zwei Signale, d. h. ein Skalensignal und ein Ursprungsignal aufgezeichnet sind.
Das Positionserfassungsgerät mit einer eingebauten Skala einschließlich eines Skalensignales und eines Ursprungssignales, die aufgezeichnet sind, umfaßt einen Erfassungs- oder Detektionskopf zum Erfassen des Skalensignales und einen Erfassungs- oder Detektionskopf zum Erfassen des Ursprungsignales. Jeder der Erfassungsköpfe erfaßt lediglich ein entsprechendes Signal zur Ein­ speisung in ein Steuergerät zum Ansteuern des Maschinenwerkzeuges.
Wenn jedoch in einem derartigen Positionserfassungsgerät zwei Signale eines Skalensignales und eines Ursprungsignales auf einer Skala aufgezeichnet werden, wird ein Übersprechen zwischen den beiden Signalen erzeugt, was eine Verschlechterung der von den jeweiligen Detektionsköpfen erfaßten Signale hervorruft.
Da die eingebaute Skala für eine Verringerung der Abmessung des Positionser­ fassungsgerätes kleiner wird, hat das Übersprechen zwischen den beiden Signalen einen größeren Effekt, was es schwierig macht, diesen Effekt zu elimi­ nieren.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Positionserfassungsgerät zu schaffen, das das Übersprechen zwischen dem Skalensignal und dem Ursprung zu unterdrücken vermag und damit eine Lageerfassung mit hoher Genauigkeit ermöglicht.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist erfindungsgemäß ein Positionserfassungsgerät mit den Merkmalen des Patentanspruches vorgesehen.
Das erfindungsgemäße Positionserfassungsgerät umfaßt:
Ein rundes, stabförmig gestaltetes Aufzeichnungsmedium mit einem Skalensignal einer vorbestimmten Aufzeichnungswellenlänge, das über der gesamten Umfangs- bzw. Mantelfläche des Aufzeichnungsmediums aufgezeichnet ist und sich nacheinander in der Längsrichtung wiederholt, und mit einem Ursprungsignal einer größeren Aufzeichnungswellenlänge als das Skalensignal, das bei einem Teil des äußeren Umfanges von wenigstens einer Position in der Längsrichtung vorgesehen ist, einen Skalensignal-Detektionskopf, der relativ in der Längsrichtung des Aufzeichnungsmediums verfährt, während ein vorbestimmter Abstand von der äußeren Umfangsfläche des Aufzeichnungs­ mediums beibehalten ist, und ein Skalensignal erfaßt, und einen Ursprungsignal-Detektionskopf, der sich bezüglich der Längsrichtung des Auf­ zeichnungsmedium verfährt, während ein vorbestimmter Abstand von der Außenumfangsfläche beibehalten wird, wobei dieser Abstand größer als der Abstand von der äußeren Umfangsfläche des Aufzeichnungsmediums zu dem Skalensignal-Detektionskopf ist, wobei ein Skalensignal-Detektionskopf an einer Stelle gelegen ist, die nicht dem Ursprungsignal gegenüberliegt, und der Ursprungsignal-Detektionskopf an einer Stelle liegt, die dem auf dem Aufzeich­ nungsmedium aufgezeichneten Ursprungsignal gegenüberliegt.
Bei diesem Positionserfassungsgerät bewegen sich der Skalensignal-Detektions­ kopf und der Ursprungsignal-Detektionskopf relativ in einer Richtung parallel zu der Längsrichtung des Aufzeichnungsmediums, um eine Relativposition bezüg­ lich des Aufzeichnungsmediums zu erfassen. Das heißt, bei diesem Positionser­ fassunggerät wird das Skalensignal, das über der gesamten äußeren Umfangs­ fläche des Aufzeichnungsmediums aufgezeichnet ist, durch den Skalensignal- Detektionskopf detektiert, um eine Relativposition bezüglich des Aufzeichnungs­ mediums zu erfassen. Weiterhin wird das Ursprungsignal mit einer größeren Aufzeichnungswellenlänge als diejenige des Skalensignales bei einem Teil des äußeren Umfanges des Aufzeichnungsmediums aufgezeichnet, wobei das Ursprungsignal durch den Ursprungsignal-Detektionskopf erfaßt wird, der unter einem größeren Abstand als der Skalensignal-Detektionskopf von der äußeren Umfangsfläche des Aufzeichnungsmediums als der Skalensignal-Detektionskopf entfernt ist, um so eine relative Bewegungsposition bezüglich des Aufzeich­ nungsmediums zu erfassen.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 ist eine perspektivische Darstellung eines Positionserfassungs­ gerätes gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
Fig. 2 ist eine Seitendarstellung des Positionserfassungsgerätes.
Fig. 3 ist eine Schnittdarstellung des Positionserfassungsgerätes zur Erläuterung einer internen Konfiguration.
Fig. 4 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung eines Kopfhalte­ blockes des Kopferfassungsgerätes.
Fig. 5 dient zur Erläuterung eines Skalensignales und eines Ursprungsignales, die auf einer Skala des Positionserfassungs­ gerätes aufgezeichnet sind.
Fig. 6 zeigt eine Lagebeziehung zwischen der Skala mit dem Skalen­ signal und dem aufgezeichneten Ursprungsignal und einem Skalensignal-MR-Kopf sowie einem Ursprungsignal-MR-Kopf.
Fig. 7 zeigt Ausgangskennlinien des Skalensignal-MR-Kopfes und des Ursprungsignal-MR-Kopfes gemäß einem Abstand von der Skala unter einer folgenden Bedingung: Die Skala besteht aus einem magnetischen Metallglied mit einem Durchmesser von 2 mm, die Skalensignal-Aufzeichnungswellenlänge ist auf 0,4 mm ein­ gestellt, und die Aufzeichnungssignal-Wellenlänge ist auf 1 mm eingestellt.
Im folgenden wird ein Positionserfassungsgerät gemäß einem Ausführungs­ beispiel der vorliegenden Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen beschrieben.
Fig. 1 ist eine Perspektivdarstellung des Positionserfassungsgerätes gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Fig. 2 ist eine Seiten­ darstellung dieses Positionserfassungsgerätes. Fig. 3 ist eine Schnittdarstellung dieses Skalengerätes, welche eine interne Konfiguration des Positionser­ fassungsgerätes erläutert.
Das Positionserfassungsgerät 1 gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegen­ den Erfindung umfaßt einen Hauptkörper 2 und ein Kopfgleitstück 3, das auf diesem Hauptkörper 1 angebracht bzw. montiert ist.
Das Positionserfassungsgerät 1 wird zum Erfassen einer Relativposition von zwei Gliedern verwendet, die ein Maschinenwerkzeug bilden und sich längs einer geraden Linie relativ zueinander bewegen. Beispielsweise erfaßt das Skalengerät 1 einen Bezugsblock 4, der bei einer vorbestimmten festen Position vorgesehen ist, und eine Position eines beweglichen Blockes 5, der sich in der Richtung von X1 und X2 bezüglich dieses Bezugsblockes 2 bewegt. Bei diesem Positionserfassungsgerät 1 ist eine Einheit aus dem Hauptkörper 2 und dem Kopfgleitstück 3 auf dem Bezugsblock 4 befestigt, und die andere Einheit ist an dem beweglichen Block 5 angebracht. Die Fig. 1 und 2 zeigen ein Beispiel, in welchem der Hauptkörper 2 an dem Bezugsblock 4 angebracht ist, und in welchem das Kopfgleitstück 5 auf dem beweglichen Block 5 befestigt ist.
Der Hauptkörper 2 ist ein Aufzeichnungsmedium, das aus einem Rahmen 11 besteht, und ein rundes stabförmiges Aufzeichnungsmedium, das aus einem Material mit einer hohen Koerzitivkraft hergestellt ist. Auf der Seite des Rahmens 11 ist eine Skala 12 vorgesehen, deren beiden Enden durch Klammern 13, 14 gehalten sind, so daß die beide Enden auf vorbestimmten Positionen in dem Rahmen 11 festgelegt sind. Es sei darauf hingewiesen, daß zur Verein­ fachung der Zeichnung Fig. 1 nicht die Klammern 13 und 14 zeigt.
Der Rahmen 11 hat beispielsweise ein hohles Parallelpipedon mit einer Seite mit einem darin gebildeten Schlitz 15. Darüber hinaus hat der Rahmen 11 Rahmen­ befestigungöffnungen von angenähert kreisförmiger Gestalt mit den Bezugs­ zeichen 21, 22, 23 und 24 an den Enden in der Längsrichtung der Seitenflächen 17 und 18, die vertikal die Seitenflächen mit dem Schlitz 15 schneiden.
Die Skala 12 wird durch die Klammern 13, 14 gehalten und innerhalb des Rahmens 11 festgelegt. Die Skala 12 ist parallel zu der Längsrichtung des Rahmens 11 und auf der Mittenachse des Parallelpipedons angeordnet. Darüber hinaus werden ein Skalensignal und ein Ursprungsignal als das Positionssignal auf dieser Skala 12 aufgezeichnet. Das Skalensignal und das Ursprungsignal werden weiter unten näher erläutert werden.
Darüber hinaus umfaßt das Kopfgleitstück 3: Einen Kopfhalterblock 31, der innerhalb des Hauptkörpers vorgesehen ist, einen Kopfträger 32, der außerhalb des Hauptkörpers 2 vorgesehen ist, und einen Verbindungsblock 32 zum Verbinden des Kopfhalteblockes 31 mit dem Kopfträger 32. Das Kopfgleitstück 3 ist derart befestigt, daß sich das Kopfgleitstück 3 in der Längsrichtung der Skala 12 bewegen kann.
Fig. 4 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung des wesentlichen Teiles dieses Kopfhalters 31.
Der Kopfhalteblock 31 hat einen Kopfhalter 34. Dieser Kopfhalter 34 hat ein Einführloch für die Skala 12. Die Skala 12 wird in dieses Einführloch so ein­ geführt, daß der Kopfhalter 34 auf der Skala 12 derart befestigt ist, daß sich der Kopfhalter 34 in der Längsrichtung der Skala 12 bewegen kann.
Der Kopfhalter 34 ist durch ein Kopfhaltergehäuse 36 bedeckt und weist einen (Magnetwiderstand- bzw.) MR-Kopf 35a für das Skalensignal und einen MR-Kopf 35b für das Ursprungsignal auf. Der Skalensignal-MR-Kopf 35a erfaßt das auf der Skala 12 aufgezeichnete Skalensignal. Darüber hinaus erfaßt der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b das auf der Skala 12 aufgezeichnete Ursprungsignal. Der Skalensignal-MR-Kopf 35a und der Ursprungsignal-MR- Kopf 35b werden jeweils auf dem Kopfhalter 34 gehalten, so daß sie sich zusammen mit dem Kopfhalter 34 in der Längsrichtung der Skala 12 bewegen. Die Lageanordnungen des Skalensignal-MR-Kopfes 35a und des Ursprungsignal- MR-Kopfes 35b bezüglich der Skala 12 werden weiter unten näher erläutert werden.
An den beiden Enden des Kopfhalters 34 ist ein Paar aus Gleitlagergliedern 37, 38 in der Längsrichtung der Skala 12 vorgesehen. Jedes der Gleitlagerglieder 37, 38 hat eine ungefähr zylindrische Gestalt mit einem Einführloch zum Einführen der Skala 12. Wenn die Skala in die Einführlöcher eingeführt ist, werden die Gleitlagerglieder 37, 38 gleitend auf dieser Skala 12 getragen. Wenn darüber hinaus der Kopfhalter 34 in der Längsrichtung der Skala 12 verfahren wird, verhindern die Gleitlagerglieder 37, 38, daß sich der Kopfhalter 34 in einer Richtung bewegt, die senkrecht die Gleitrichtung schneidet.
Darüber hinaus hat der Kopfhalteblock 31 ein Paar von ersten Abstandsgliedern 39, 40 und ein Paar von zweiten Abstandsgliedern 41, 42.
Das Paar von ersten Abstandsgliedern 39, 40 hat ein Einführloch zum Einführen der Skala 12. Wenn die Skala 12 durch die Löcher eingeführt wird, wird das Paar der ersten Abstandsglieder 39 und 40 auf der Skala 12 so bewegt, daß sie in der Längsrichtung der Skala 12 fahren können. Darüber hinaus stößt das Paar der ersten Abstandsglieder 39, 40 an eine Endfläche der Gleitlager­ glieder 37, 38 an.
Außerdem hat jedes der zweiten Abstandsglieder 41, 42 ein Loch zum Einführen der Skala 12. Wenn die Skala 12 in die Löcher eingeführt ist, werden die Abstandsglieder 41, 42 auf der Skala 12 so befestigt, daß sich die Abstands­ glieder 41, 42 in der Längsrichtung der Skala 12 bewegen können. Darüber hinaus stoßen die Abstandsglieder 41, 42 an eine Endfläche der ersten Abstandsglieder 39, 40 an und liegen nicht an den Gleitlagergliedern 37, 38.
Außerdem hat der Kopfhalteblock 31 ein Paar von Kopfhalte-Sandwichgliedern 43, 44 und eine Feder 45.
Jedes der Kopfhalte-Sandwichglieder 43, 44 hat ein Einführloch zum Einführen der Skala 12. Wenn die Skala 12 in die Löcher eingeführt ist, sind die Kopf­ halte-Sandwichglieder 43, 44 auf der Skala 12 so befestigt, daß sich die Sand­ wichglieder 43, 44 in der Längsrichtung der Skala 12 bewegen können. Darüber hinaus sind die Kopfhalte-Sandwichgleider 43, 44 auf dem Gelenk- bzw. Verbin­ dungsblock 33 festgelegt. Dieses Paar von Sandwichgliedern 43, 44 schließt den Koplhalter 34 mit den Gleitlagergliedern 37, 38 über die ersten Abstandsglieder 39, 40 und die zweiten Abstandsglieder 41, 42 in der Längsrichtung der Skala 12 ein. Darüber hinaus ist die Feder 45 zwischen dem Kopfhalte-Sandwichglied 43 und dem Abstandsglied 41 angeordnet. Dieses Feder 45 treibt den Kopfhalter 34 in der Richtung von dem Kopfhalte-Sandwichglied 43 zu dem Kopfhalte- Sandwichglied 44.
Darüber hinaus ist ein Rotationsverhinderungstift 46 in dem Kopfhalter 34 vor­ gesehen. Dieser Rotationsverhinderungsstift 46 weist ein Ende auf, das an dem Kopfhalter 34 festgelegt ist, und das andere Ende ist in ein Rotationsregulier­ loch 47 eingeführt, das in dem Verbindungsblock 33 vorgesehen ist. Dieses reguliert die Drehung des Kopfhalters 34 um die Skala 12.
Darüber hinaus liegen die ersten Abstandsglieder 39, 40 und die zweiten Abstandsglieder 41, 42 an einer sphärischen Stoß- bzw. Lagerfläche an. Wenn die Kopfhalter-Sandwichglieder 43, 44 in einer die Skala 12 senkrecht schneidenden Richtung verschoben werden, bewirken die sphärischen Lager­ flächen eine Reduzierung des Biegemoments, das von den Gleitlagergliedern 37, 38 auf die Skala 12 ausgeübt ist.
Wie oben beschrieben ist, ist der Kopfhalteblock 31 auf der Skala 12 so befestigt, daß sich der Kopfhalteblock 31 in der Längsrichtung der Skala 12 bewegen kann. Gemäß dieser Bewegung erfassen der Skalensignal-MR-Kopf 35a und der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b das Positionssignal und das Ursprungsignal, die auf dieser Skala 12 aufgezeichnet sind.
Diese Kopfhalteverriegelung 31 ist mit dem Kopfträger 32 über den Verbin­ dungsblock 33 verbunden. Der Verbindungsblock 33 weist ein Ende auf, das an den Kopfhalter-Sandwichgliedern 43, 44 festgelegt ist, und das andere Ende ragt aus dem Schlitz 15 vor, um durch den Kopfträger 32 festgelegt zu sein, der außerhalb des Hauptkörpers 2 angeordnet ist.
Somit wird das Kopfgleitstück 3 durch den Kopfhaletblock 31, den Kopfträger 32 und den Verbindungsblock 33 gebildet und auf dem Hauptkörper 2 derart befestigt, daß das Kopfgleitstück 3 in der Längsrichtung der Skala 12 fahren kann. Das Skalensignal und das Ursprungsignal, die durch den Skalensignal- MR-Kopf 35a und den Ursprungsignal-MR-Kopf 35b gemäß der Relativbewegung bezüglich des Hauptkörpers 2 erfaßt sind, werden über ein Signalkabel 28, das in dem Kopfträger 32 vorgesehen ist, zu einem (nicht gezeigten) Steuergerät gespeist.
Bei dem Positionserfassungsgerät 1 mit dem obigem Aufbau ist die Skala 12 parallel zu der Relativbewegung zwischen dem Referenzblock 4 und dem beweglichen Block 5, und der Schlitz 15 öffnet sich auf der Seite des beweg­ lichen Blockes 5. In dem so aufgebauten Skalengerät 1 ist der Hauptkörper 2 befestigt, wobei als die Befestigungsfläche eine der Seitenflächen verwendet wird, die nicht den Schlitz 15 aufweist. Der Hauptkörper 2 ist an dem Referenz­ block 4 mittels Befestigungsgliedern, wie beispielsweise Hauptkörperbolzen bzw. -schrauben 51, 52 und einer Unterlagscheibe 55 an der Stelle der Rahmen­ befestigungslöcher 21, 22, 23, 24 festgelegt, welche an den Enden des Rahmens in der Längsrichtung der Skala 12 vorgesehen sind. Darüber hinaus ist das Kopfgleitstück 3 des Positionserfassungsgerätes 1 an dem beweglichen Block 5 mittels Gleitstückschrauben bzw. -bolzen 53, 54 festgelegt.
Gemäß diesem Positionserfassungsgerät 1 wird die relative Lage bzw. Position zwischen dem Hauptkörper 2 und dem Kopfgleitstück 3 entsprechend der Linearbewegung des beweglichen Blockes 5 verändert. Das Skalensignal und das Ursprungsignal, die sich gemäß dieser relativen Lage verändern, werden durch den Skalensignal-MR-Kopf 35a und den Ursprungsignal-MR-Kopf 35b, vorgesehen in dem Kopfgleitstück 3, erfaßt, um so die Bewegungsposition des beweglichen Blockes 5 zu ermitteln.
Im folgenden werden das Skalensignal und das Ursprungsignal, aufgezeichnet auf der Skala 12, erläutert.
Das Skalensignal hat ein Pit und eine Marke, die nacheinander unter einem vorbestimmten Intervall in der Längsrichtung der Skala 12 wiederholt sind. Beispielsweise ist das Skalensignal ein magnetisches Signal, bei dem sich die Polarität unter einer vorbestimmten Aufzeichnungswellenlänge umkehrt. Durch Verwenden der Skala 12 mit einem derartigen Skalensignal ist es möglich, linear eine Änderung einer relativen Bewegungsposition zwischen dem Hauptkörper 2 und dem Gleitstück 3 zu erfassen, um so kontinuierlich die relative Lage zwischen dem Referenzblock 4 und dem beweglichen Block 5 zu steuern.
Das heißt, auf der Skala 12 des Positionserfassungsgerätes 1 wird, wie in Fig. 5 gezeigt ist, ein magnetisches Signal, das abwechselnd die Polarität bei einer vor­ bestimmten Aufzeichnungswellenlänge λ1 umkehrt, entlang der Längsrichtung aufgezeichnet. Dieses Skalensignal wird auf dem gesamten äußeren Umfang bzw. Mantel der runden Stabform der Skala 12 aufgezeichnet. Außerdem wird dieses Skalensignal nahezu über der gesamten Länge der Skala 12 in der Längs­ richtung aufgezeichnet.
Das Ursprungsignal ist ein Signal, in welchem wenigstens ein Pit oder eine Marke diskret in der Längsrichtung der Skala 12 aufgezeichnet ist. Beispiels­ weise ist ein Einwellenlängenmagnetsignal an einer vorbestimmten einen Position in der Längsrichtung der Skala 12 aufgezeichnet. Durch Verwenden der Skala 12 mit einem derartigen Ursprungsignal kann das Positionserfassungs­ gerät 1 eine Bezugsposition, wie beispielsweise eine Anfangseinstellposition, und eine Ursprungposition des Hauptkörpers 2 und des Kopfgleitstückes 3 erfassen, um so die relative Lage bzw. Position des Referenzblockes 4 und des beweglichen Blockes 5 bei der Referenzposition einzustellen.
Das heißt, auf der Skala 12 des Positionserfassungsgerätes 1 ist, wie in Fig. 5 gezeigt ist, ein Einwellenlängen-Ursprungsignal der Aufzeichnungswellänge λ2 als das Ursprungsignal wenigstens an einer Position über dem oben erwähnten Skalensignal aufgezeichnet. Die Aufzeichnungswellenlänge λ2 dieses Ursprungsignales ist beispielsweise um das Zwei- oder Mehrfache länger als die Aufzeichnungswellenlänge λ1 des Skalensignales. Außerdem ist dieses Ursprungsignal bei einem bestimmten Teil des äußeren Umfanges der runden Stabform der Skala 12 aufgezeichnet. Beispielsweise ist das Ursprungsignal auf einer Zone des äußeren Umfanges in dem Bereich von etwa 60° des Mitten­ winkels aufgezeichnet.
Das Skalensignal kann mit dem Ursprungsignal wie folgt verglichen werden.
Die Aufzeichnungswellenlänge λ2 des Urprungsignales ist beispielsweise um das Zwei- oder Mehrfache länger als die Aufzeichnungswellenlänge λ1 des Skalen­ signales. Das Skalensignal ist ein magnetisches Signal, das abwechselnd die Po­ larität umkehrt, und nahezu über der gesamten Länge der Skala 12 in deren Längsrichtung aufgezeichnet, während das Ursprungsignal ein Einwellenlängen- Magnetsignal ist, das diskret an wenigstens einer Position in der Längsrichtung der Skala aufgezeichnet ist. Darüber hinaus ist das Skalensignal ein Signal, das über dem gesamten äußeren Umfang der runden Stabgestalt der Skala 12 aufge­ zeichnet ist, d. h. über 360° des Mittelwinkels, während das Ursprungsignal le­ diglich bei einer bestimmten Zone des äußeren Umfanges beispielsweise in ei­ nem Bereich von 60° des Mittenwinkels aufgezeichnet ist.
Im folgenden wird die Lageanordnung des das Skalensignal erfassenden Skalen­ signal-MR-Kopfes 35a und die Lageanordnung des das Ursprungsignal erfassen­ den Ursprungsignal-MR-Kopfes 35b erläutert.
Wie oben beschrieben ist, werden der Skalensignal-MR-Kopf 35a und der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b durch den auf der Skala 12 befestigten Kopfhalter 34 gehalten.
Wie in Fig. 6 gezeigt ist, ist der Ursprungssignal-MR-Kopf 35b so angeordnet, daß er dem auf einem Teil des äußeren Umfanges der Skala 12 aufgezeichneten Ursprungsignal gegenüberliegt, wenn der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b in einer Richtung parallel zu der Längsrichtung der Skala 12 bewegt bzw. verfahren wurde. Das heißt, der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b ist an einer Stelle vor­ gesehen, so daß er der Zone eines 60°-Mittenwinkels der Skala 12 gegenüber­ liegt.
Der Skalensignal-MR-Kopf 35a ist beispielsweise so angeordnet, daß die Skala 12 zwischen dem Skalensignal-MR-Kopf 35a und dem Ursprungsignal-MR-Kopf 35b vorgesehen ist.
Hier ist der Skalensignal-MR-Kopf 35a unter einer Entfernung x1 von dem äußeren Umfang der Skala 12 angeordnet. Dieser Abstand x1 wird gemäß Material und Radius der Skala 12 bestimmt, um einen ausreichenden Detek­ tionsausgang zu erhalten. Darüber hinaus ist der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b unter einem Abstand x2, der größer als der Abstand x1 ist, von der Skala 12 angeordnet. Beispielsweise beträgt der Abstand x2 zwischen der Skala 12 und dem Ursprungsignal-MR-Kopf 35b das doppelte des Abstands x1 zwischen der Skala 12 und dem Skalensignal-MR-Kopf 35a.
Der Skalensignal-MR-Kopf 35a und der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b, die so angeordnet sind, werden durch den Kopfhalter 34 derart gehalten, daß ein Paar des Gleitlagergliedes 37, 38 an beiden Enden in der Längsrichtung der Skala 12 vorliegt. Dies ermöglicht es dem Kopfhalter 34, den Skalensignal-MR-Kopf 35a und den Ursprungsignal-MR-Kopf 35b zu bewegen, ohne eine Lageablenkung in einer Vertikalrichtung zu der Längsrichtung der Skala 12 zu verursachen. Darüber hinaus hat, wie dies oben erläutert ist, der Kopfhalter 34 den . Rotationsverhinderungsstift 46. Dieser Rotationsverhinderungsstift 46 reguliert eine Drehung des Kopfhalters 34 und die Skala 12. Dies ermöglicht es dem Ursprungsignal-MR-Kopf 35b immer an einer Stelle beibehalten zu sein, die der Seitenfläche längs eines Teiles des äußeren Umfanges der Skala 12, wo das Ursprungsignal aufgezeichnet ist, gegenüberliegt.
Der Skalensignal-MR-Kopf 35a ist unter einem geeigneten Abstand angeordnet, um ausreichend das Skalensignal zu erfassen, und so vorgesehen, daß er der Zone des äußeren Umfanges der Skala 12 gegenüberliegt, die kein aufgezeich­ netes Ursprungsignal hat. Demgemäß kann der Skalensignal-MR-Kopf 35a das auf dem gesamten äußeren Umfang der Skala 12 aufgezeichnete Skalensignal erfassen, ohne durch das Ursprungsignal beeinträchtigt zu werden.
Darüber hinaus ist der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b an einer Stelle, die der Zone des äußeren Umfanges der Skala 12 gegenüberliegt, die das aufgezeichnete Ursprungsignal hat, und unter einem größeren Abstand von dem äußeren Umfang der Skala 12 als der Skalensignal-MR-Kopf 35a angeordnet, so daß das Skalensignal gedämpft wird. Hier hat die Skala 12 das aufgezeichnete Ursprungsignal mit einer längeren Aufzeichnungswellenlänge als die Aufzeich­ nungswellenlänge des Skalensignales. Folglich kann nach der grundlegenden Theorie des sogenannten magnetischen Spaltverlustes, nach welcher "die räum­ liche magnetische Dämpfung umso größer ist, je kürzer die Aufzeichnungslänge (Wellenlänge) ist", der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b das Ursprungsignal erfassen, ohne durch das Skalensignal beeinträchtigt zu sein.
Da der Skalensignal-MR-Kopf 35a und der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b so in dem Positionserfassungsgerät 1 angeordnet sind, ist es möglich, das Über­ sprechen zu unterdrücken, was ein Erfassen eines Skalensignales und Ursprungsignales von hoher Qualität erlaubt.
Fig. 7 zeigt Ausgangskennlinien des Skalensignal-MR-Kopfes 35a und des Ursprungsignal-MR-Kopfes 35b gemäß einem Abstand von der Skala 12 unter den folgenden Bedingungen: Die Skala 12 verwendet ein magnetisches Metall­ glied mit einem Durchmesser von 2 mm; die Skalensignal-Aufzeichnungswellen­ länge λ1 ist auf 0,4 mm eingestellt; die Ursprungsignal-Aufzeichnungswellen­ länge λ2 ist auf 1 mm eingestellt.
Der Skalensignal-MR-Kopf 35a ist an einer Position angeordnet, die nicht durch das Ursprungsignal beeinträchtigt ist. Demgemäß ist es für die Position des Skalensignal-MR-Kopfes 35a erforderlich, unter einem Abstand zu sein, der es erlaubt, einen ausreichend großen Detektionsausgang zu erzielen. Unter der Bedingung, die eine solche Ausgangskennlinie erfüllt, kann der Abstand zwischen dem Skalensignal-MR-Kopf 35a und der Skala 12 in einen Bereich von 0,08 mm bis 0,15 mm eingestellt werden.
Andererseits wird das Skalensignal auch auf dem Ursprung- bzw. Skalensignal aufgezeichnet. Wenn der Abstand zwischen dem Ursprungsignal-MR-Kopf 35b und der Skala 12 in einer supergesättigten Zone eingestellt ist, wo die Aus­ gangskennlinie stabilisiert ist, wird das Verhältnis des Skalensignales bezüglich des Ursprungsignales zu groß, was es unmöglich macht, das Übersprechen zu unterdrücken. Entsprechend ist der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b an einer Stel­ le angeordnet, die ein ausreichendes Ursprungsignal erfaßt und nicht durch das Skalensignal beeinträchtigt ist. Unter der Bedingung, die es erlaubt, diese Aus­ gangskennlinie zu erhalten, kann der Abstand zwischen dem Ursprungsignal- MR-Kopf 35b und der Skala 12 in einen Bereich von 0.27 bis 0,35 mm einge­ stellt werden.
Durch Einstellen des Abstandes zwischen dem Skalensignal-MR-Kopf 35a und dem Ursprungsignal-MR-Kopf 35b auf diese Weise ist es möglich, ein vorzugs­ weises Skalensignal und Ursprungsignal zu erfassen, ohne durch das jeweils andere Signal beeinträchtigt zu sein.
Es sollte bemerkt werden, daß die Aufzeichnungswellenlänge des auf der Skala 12 aufgezeichneten Ursprungsignales abhängig von der Erfassungsemfindlich­ keit des Skalensignal-MR-Kopfes 35a und derjenigen des Ursprungsignal-MR- Kopfes 35b abweicht. Beispielsweise ist die Aufzeichnungswellenlänge des Ursprungsignales vorzugsweise 1,5- bis 10-fach größer und mehr, insbesondere 2- bis 4-fach größer eingestellt.
Außerdem sind in dem Positionserfassungsgerät 1 der Skalensignal-MR-Kopf 35a und der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b so positioniert, daß die Skala 12 sandwichartig eingeschlossen ist. Das heißt, der Skalensignal-MR-Kopf 35a und der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b sind unter 180° positioniert, wobei die Mittenachse der Skala 12 als das Zentrum angenommen wird. Jedoch können der Skalensignal-MR-Kopf 35a und der Ursprungsignal-MR-Kopf 35b unter einem von 180° abweichenden Winkel positioniert werden, wenn der Skalen­ signal-MR-Kopf 35a nicht durch das Ursprungsignal beeinträchtigt wird. Wenn beispielsweise das Ursprungsignal in einer Zone eines Mittenwinkels von 60° (± 30°) eingestellt ist, ist die Anordnung mit einem Winkel von 45° um die Mittenachse der Skala 12 ausreichend, um nicht beeinträchtigt zu werden.
In dem Positionserfassungsgerät gemäß der vorliegenden Erfindung erfaßt der Skalensignal-Detektionskopf das um die gesamte Umfangsfläche eines Aufzeich­ nungsmediums aufgezeichnete Skalensignal, um eine Relativposition bezüglich des Aufzeichnungsmediums zu ermitteln. Darüber hinaus ist in diesem Positionserfassungsgerät der Ursprungsignal-Detektionskopf unter einem größeren Abstand als der Skalensignal-Detektionskopf von dem äußeren Umfang des Aufzeichnungsmediums vorgesehen und erfaßt das Ursprungsignal, das mit einer größeren Aufzeichnungswellenlänge als diejenige des Skalensignales über einem Teil des äußeren Umfanges des Aufzeichnungsmediums aufgezeichnet wurde, um eine relative Bewegungsposition bezüglich des Aufzeichnungs­ mediums zu erfassen.
Dies ermöglich es, daß das erfindungsgemäße Positionserfassungsgerät das Übersprechen zwischen dem Skalensignal und dem Ursprungsignal unterdrückt und das Skalensignal sowie das Ursprungsignal mit großer Genauigkeit erfaßt. Entsprechend kann dieses Positionserfassungsgerät genau die relative Bewegungsposition zwischen dem Aufzeichnungsmedium und den jeweiligen Detektionsköpfen erfassen.
Darüber hinaus kann das vorliegende Positionserfassungsgerät das Über­ sprechen zwischen dem Skalensignal und dem Ursprungsignal unterdrücken, ohne eine komplizierte Detektionsschaltung oder einen komplizierten Detek­ tionskopf zu benötigen. Dies führt zu einer Reduktion von Kosten und Geräte­ abmessungen.

Claims (1)

1. Positionserfassungsgerät, umfassend:
Ein rundes, stabförmiges Aufzeichnungsmedium (12) mit einem Skalen­ signal einer vorbestimmten Aufzeichnungswellenlänge (λ1), das über der gesamten äußeren Umfangsfläche des Aufzeichnungsmediums (12) aufgezeichnet ist und sich nacheinander in der Längsrichtung wiederholt, und mit einem Ursprungsignal einer größeren Wellenlänge (λ2) als das Skalensignal, auf­ gezeichnet an einem Teil des äußeren Umfanges wenigstens an einer Position in der Längsrichtung,
einen Skalensignal-Detektionskopf (35a), der relativ in der Längsrichtung des Aufzeichnungsmediums (12) verfahrbar ist, während ein vorbestimmter Abstand von dem äußeren Umfang des Aufzeichnungsmediums (12) beibehalten ist, und der das Skalensignal erfaßt, und
einen Ursprungsignal-Detektionskopf (35b), der relativ in der Längs­ richtung des Aufzeichnungsmedium verfahrbar ist, während ein vorbestimmter Abstand von dem äußeren Umfang beibehalten wird, wobei dieser Abstand größer als der Abstand von dem äußeren Umfang des Aufzeichnungsmediums zu dem Skalensignal-Detektionskopf (35a) ist, und der das Ursprungsignal erfaßt,
wobei der Skalensignal-Detektionskopf (35a) an einer Position gelegen ist, die dem Ursprungsignal nicht gegenüberliegt, und der Ursprungsignal- Detektionskopf (35b) an einer Position gelegen ist, die dem auf dem Aufzeichnungsmedium (12) aufgezeichneten Ursprungsignal gegenüberliegt.
DE19913659.9A 1998-03-31 1999-03-25 Positionserfassungsgerät Expired - Fee Related DE19913659B4 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPP10-087438 1998-03-31
JP08743898A JP4174095B2 (ja) 1998-03-31 1998-03-31 位置検出装置
US09/274,364 US6145214A (en) 1998-03-31 1999-03-23 Position detection apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19913659A1 true DE19913659A1 (de) 1999-10-07
DE19913659B4 DE19913659B4 (de) 2016-12-08

Family

ID=26428719

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19913659.9A Expired - Fee Related DE19913659B4 (de) 1998-03-31 1999-03-25 Positionserfassungsgerät

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6145214A (de)
JP (1) JP4174095B2 (de)
DE (1) DE19913659B4 (de)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3292709B2 (ja) * 1999-07-01 2002-06-17 エスエムシー株式会社 計測機能付きエアチャック
JP4434452B2 (ja) * 2000-08-15 2010-03-17 ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 測尺装置
DE10210326B4 (de) * 2002-03-08 2019-02-21 Asm Automation Sensorik Messtechnik Gmbh Magnetisieren von magnetischen Meßkörpern
BRPI0410120A (pt) 2003-05-06 2006-05-09 Stanford Res Inst Int sistemas e métodos de gravação de informação de posição de haste de pistão em uma camada magnética em uma haste de pistão
JP2006275680A (ja) * 2005-03-29 2006-10-12 Sony Corp 磁気スケール
US7259553B2 (en) 2005-04-13 2007-08-21 Sri International System and method of magnetically sensing position of a moving component
DE102005021345A1 (de) * 2005-05-04 2006-11-09 Schaeffler Kg Linearführungseinheit mit Längenmesssystem
JP4297146B2 (ja) * 2006-09-21 2009-07-15 ヤマハ株式会社 スライド操作装置
JP2013519882A (ja) * 2010-02-11 2013-05-30 エスアールアイ インターナショナル 磁気符号化を用いた変位測定システム及び方法
GB2532789B (en) * 2014-11-28 2017-02-15 Imp Innovations Ltd Absolute rotary encoder

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4523381A (en) * 1981-09-28 1985-06-18 Sony Magnescale Incorporation Scaling device
US4400890A (en) * 1981-10-26 1983-08-30 Sony Corporation Length measuring device
DE3204012C1 (de) * 1982-02-05 1983-02-03 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Messeinrichtung
DE69312109T2 (de) * 1992-02-13 1998-01-08 Japan Servo Absolutkodierer
US5434602A (en) * 1992-04-23 1995-07-18 Canon Kabushiki Kaisha Recording apparatus with magnetic linear encoder
US5497083A (en) * 1992-12-24 1996-03-05 Kayaba Kogyo Kabushiki Kaisha Rod axial position detector including a first scale having equidistant magnetic parts and a second scale having unequally distant parts and differing field strengths
EP0668486A3 (de) * 1994-02-22 1997-07-30 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längen- oder Winkelmesseinrichtung.
US6222361B1 (en) * 1997-12-04 2001-04-24 Sony Precision Technology Inc. Position detecting device using varying width magneto-resistive effect sensor

Also Published As

Publication number Publication date
US6145214A (en) 2000-11-14
DE19913659B4 (de) 2016-12-08
JPH11281396A (ja) 1999-10-15
JP4174095B2 (ja) 2008-10-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2742817C3 (de) Tastkopf
DE3690033C2 (de) Koordinaten-Messinstrument
DE69909262T2 (de) Messkopf zum Kontrollieren linearer Dimensionen mit einem flachen Dämpfungselement
DE2812284A1 (de) Ausrichtvorrichtung fuer optische einzelfaserleitungen
DE3322635C2 (de)
DE3338695C2 (de) Zweirichtungs-Tastvorrichtung
DE69912341T2 (de) Positionserfassungsvorrichtung
DE4325347A1 (de) Anordnung zum Tragen und Führen eines beweglichen Organs
DE19913659B4 (de) Positionserfassungsgerät
DE2829425B2 (de) Vorrichtung zum Messen von Beschleunigungen an schwingenden Körpern
DE69816771T2 (de) Oberflächentaster mit länglichem ringförmigen Gleitblock
DE3426315C2 (de) Zahnmeßtaster
DE2910882A1 (de) Baugruppe fuer die praezise und reproduzierbare montage eines mess- oder werkzeugs an einer maschine
DE2701377C2 (de) Längenmeßtaster mit steuerbar veränderlicher Meßrichtung
EP0617253B1 (de) Messvorrichtung zum Vermessen der Form von Zylindern
DE3438277C2 (de)
DE2631960A1 (de) Sondentraeger fuer einen verschiebungsmesswandler
DE2602101C2 (de) Bandführung
DE3141655C2 (de) Präzisions-Potentiometerkupplung
DE3110337C2 (de) Meßgeber zur Erfassung von Weglängen
DE2529562A1 (de) Elektromagnetischer kontaktgeber
DE19517215C1 (de) Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE3737461C2 (de) Führungsvorrichtung für einen Prüfkörper eines Härtemeßgerätes
EP0237614B1 (de) Messtaster
DE3608392C2 (de)

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8125 Change of the main classification

Ipc: G01B 702

8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORP., TOKIO/TOKYO, JP

R082 Change of representative

Representative=s name: MUELLER - HOFFMANN & PARTNER PATENTANWAELTE, DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: MORI SEIKI CO., LTD., JP

Free format text: FORMER OWNER: SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORP., TOKIO/TOKYO, JP

Effective date: 20120711

Owner name: MORI SEIKI CO., LTD., JP

Free format text: FORMER OWNER: MAGNESCALE CO., LTD., TOKYO, JP

Effective date: 20120730

Owner name: DMG MORI SEIKI CO., LTD., JP

Free format text: FORMER OWNER: SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORP., TOKIO/TOKYO, JP

Effective date: 20120711

Owner name: DMG MORI SEIKI CO., LTD., JP

Free format text: FORMER OWNER: MAGNESCALE CO., LTD., TOKYO, JP

Effective date: 20120730

Owner name: DMG MORI SEIKI CO., LTD., YAMATOKORIYAMA-SHI, JP

Free format text: FORMER OWNER: MAGNESCALE CO., LTD., TOKYO, JP

Effective date: 20120730

Owner name: DMG MORI SEIKI CO., LTD., YAMATOKORIYAMA-SHI, JP

Free format text: FORMER OWNER: SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORP., TOKIO/TOKYO, JP

Effective date: 20120711

R082 Change of representative

Representative=s name: MUELLER - HOFFMANN & PARTNER PATENTANWAELTE, DE

Effective date: 20120711

Representative=s name: MUELLER - HOFFMANN & PARTNER PATENTANWAELTE, DE

Effective date: 20120730

Representative=s name: MUELLER HOFFMANN & PARTNER PATENTANWAELTE MBB, DE

Effective date: 20120711

Representative=s name: MUELLER HOFFMANN & PARTNER PATENTANWAELTE MBB, DE

Effective date: 20120730

R016 Response to examination communication
R082 Change of representative

Representative=s name: MUELLER - HOFFMANN & PARTNER PATENTANWAELTE, DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: DMG MORI SEIKI CO., LTD., JP

Free format text: FORMER OWNER: MORI SEIKI CO., LTD., YAMATOKORIYAMA, JP

Effective date: 20140115

Owner name: DMG MORI SEIKI CO., LTD., YAMATOKORIYAMA-SHI, JP

Free format text: FORMER OWNER: MORI SEIKI CO., LTD., YAMATOKORIYAMA, NARA, JP

Effective date: 20140115

R082 Change of representative

Representative=s name: MUELLER - HOFFMANN & PARTNER PATENTANWAELTE, DE

Effective date: 20140115

Representative=s name: MUELLER HOFFMANN & PARTNER PATENTANWAELTE MBB, DE

Effective date: 20140115

R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee