JP3474504B2 - 駆動装置 - Google Patents
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- JP3474504B2 JP3474504B2 JP31093999A JP31093999A JP3474504B2 JP 3474504 B2 JP3474504 B2 JP 3474504B2 JP 31093999 A JP31093999 A JP 31093999A JP 31093999 A JP31093999 A JP 31093999A JP 3474504 B2 JP3474504 B2 JP 3474504B2
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- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/28—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/34—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、駆動装置に関す
る。たとえば、被測定物の表面粗さ、うねり、形状等の
表面性状を測定する測定器を被測定物の表面に沿って移
動させる駆動装置に関する。
る。たとえば、被測定物の表面粗さ、うねり、形状等の
表面性状を測定する測定器を被測定物の表面に沿って移
動させる駆動装置に関する。
【０００２】
【背景技術】たとえば、被測定物の表面粗さ、うねり、
形状等を測定する測定器を被測定物の表面に沿って移動
させる駆動装置として、特公平４−６０５２３号公報
に開示された駆動装置が知られている。この駆動装置
は、箱状のフレームと、このフレーム内に前記測定器の
移動方向に沿って平行に設けられかつ測定器を保持した
滑動軸と、この滑動軸をその軸方向に沿って移動させる
駆動手段とを備えている。滑動軸の両端は、転がり軸受
けによって軸方向へ摺動可能に支持されている。
形状等を測定する測定器を被測定物の表面に沿って移動
させる駆動装置として、特公平４−６０５２３号公報
に開示された駆動装置が知られている。この駆動装置
は、箱状のフレームと、このフレーム内に前記測定器の
移動方向に沿って平行に設けられかつ測定器を保持した
滑動軸と、この滑動軸をその軸方向に沿って移動させる
駆動手段とを備えている。滑動軸の両端は、転がり軸受
けによって軸方向へ摺動可能に支持されている。
【０００３】このような駆動装置は、滑動軸が径の小さ
い棒から形成されているので、滑動軸にたわみ等が生じ
やすく、滑動軸の真直度が損なわれる可能性がある。こ
のため、この滑動軸に固定された測定器の移動方向にお
いても真直度が損なわれるという問題がある。また、滑
動軸をその軸方向へ移動させることで測定器を移動させ
ているので、滑動軸自体の長さおよびその移動距離だけ
フレームを大きくする必要があり、測定器の移動方向に
おいて、駆動装置自体の長さ寸法に比べて測定器の移動
距離が短いという問題がある。
い棒から形成されているので、滑動軸にたわみ等が生じ
やすく、滑動軸の真直度が損なわれる可能性がある。こ
のため、この滑動軸に固定された測定器の移動方向にお
いても真直度が損なわれるという問題がある。また、滑
動軸をその軸方向へ移動させることで測定器を移動させ
ているので、滑動軸自体の長さおよびその移動距離だけ
フレームを大きくする必要があり、測定器の移動方向に
おいて、駆動装置自体の長さ寸法に比べて測定器の移動
距離が短いという問題がある。
【０００４】上述した駆動装置の問題を解決するため
に、特開平１１−１９０６０７号公報に開示された駆
動装置が提案されている。この駆動装置は、箱状のフレ
ームと、このフレームに固定されたメインシャフトおよ
びサブシャフトと、測定器を保持するとともに前記メイ
ンシャフトに摺動可能に設けられかつ前記サブシャフト
に係合されるスライダと、このスライダを前記メインシ
ャフトに沿って移動させる駆動手段とを備えている。
に、特開平１１−１９０６０７号公報に開示された駆
動装置が提案されている。この駆動装置は、箱状のフレ
ームと、このフレームに固定されたメインシャフトおよ
びサブシャフトと、測定器を保持するとともに前記メイ
ンシャフトに摺動可能に設けられかつ前記サブシャフト
に係合されるスライダと、このスライダを前記メインシ
ャフトに沿って移動させる駆動手段とを備えている。
【０００５】このような駆動装置は、の滑動軸のよう
な棒状部材を測定器の移動方向に移動させるのではな
く、フレームに固定されたメインシャフトおよびサブシ
ャフトに沿ってスライダを移動させているため、シャフ
トの長さだけスライダ（つまり、測定器）を移動させる
ことができ、の駆動装置に比べて測定器の移動距離を
長くすることができる。従って、ととの駆動装置で
は、測定器の移動距離が同じであっても、の駆動装置
の方を小型化することができる。
な棒状部材を測定器の移動方向に移動させるのではな
く、フレームに固定されたメインシャフトおよびサブシ
ャフトに沿ってスライダを移動させているため、シャフ
トの長さだけスライダ（つまり、測定器）を移動させる
ことができ、の駆動装置に比べて測定器の移動距離を
長くすることができる。従って、ととの駆動装置で
は、測定器の移動距離が同じであっても、の駆動装置
の方を小型化することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、の駆
動装置は、測定器を保持したスライダをサブシャフトに
係合させながらメインシャフトに沿って移動させること
で、スライダをメインシャフトに対して回動不能とした
構造であるから、スライダをメインシャフトに対して回
動不能にするためにサブシャフトを設ける必要がある
等、構造が複雑で、大型化、大重量化の問題がある。ま
た、およびの駆動装置の駆動手段は、モータと、こ
のモータの軸と直列に設けられた送りねじ軸とから構成
されているため、駆動装置自体の大きさ（モータと送り
ねじ軸との全長）に比べて、測定器の移動距離（つま
り、送りねじ軸の長さ）を長くすることができなかっ
た。つまり、測定器の移動距離を長くしようとすると、
それだけ駆動装置自体が大型化されるという問題があ
る。
動装置は、測定器を保持したスライダをサブシャフトに
係合させながらメインシャフトに沿って移動させること
で、スライダをメインシャフトに対して回動不能とした
構造であるから、スライダをメインシャフトに対して回
動不能にするためにサブシャフトを設ける必要がある
等、構造が複雑で、大型化、大重量化の問題がある。ま
た、およびの駆動装置の駆動手段は、モータと、こ
のモータの軸と直列に設けられた送りねじ軸とから構成
されているため、駆動装置自体の大きさ（モータと送り
ねじ軸との全長）に比べて、測定器の移動距離（つま
り、送りねじ軸の長さ）を長くすることができなかっ
た。つまり、測定器の移動距離を長くしようとすると、
それだけ駆動装置自体が大型化されるという問題があ
る。
【０００７】本発明の目的は、簡単な構造で測定器の移
動方向の真直度を確保できるとともに、小型化かつ軽量
化が可能な駆動装置を提供することにある。
動方向の真直度を確保できるとともに、小型化かつ軽量
化が可能な駆動装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の駆動装置は、上
記目的を達成するために、次の構成を備える。本発明の
駆動装置は、測定器を被測定物の表面に沿って移動させ
る駆動装置であって、フレームと、このフレームに設け
られるとともに前記測定器の移動方向と平行でかつ互い
に所定角度を有する少なくとも２つの基準面を有したガ
イドレールと、このガイドレールの基準面に沿って摺動
可能に設けられかつ前記測定器を保持したスライダと、
このスライダを前記ガイドレールの少なくとも２つの基
準面にそれぞれ付勢する付勢手段と、前記スライダを前
記ガイドレールに沿って移動させる駆動手段とを備え、
前記ガイドレールは略コ字状に形成され、前記スライダ
は前記ガイドレールの形状に対応した略コ字状に形成さ
れ、前記測定器は前記ガイドレールの前記略コ字状開口
内に位置されていることを特徴とするものである。
記目的を達成するために、次の構成を備える。本発明の
駆動装置は、測定器を被測定物の表面に沿って移動させ
る駆動装置であって、フレームと、このフレームに設け
られるとともに前記測定器の移動方向と平行でかつ互い
に所定角度を有する少なくとも２つの基準面を有したガ
イドレールと、このガイドレールの基準面に沿って摺動
可能に設けられかつ前記測定器を保持したスライダと、
このスライダを前記ガイドレールの少なくとも２つの基
準面にそれぞれ付勢する付勢手段と、前記スライダを前
記ガイドレールに沿って移動させる駆動手段とを備え、
前記ガイドレールは略コ字状に形成され、前記スライダ
は前記ガイドレールの形状に対応した略コ字状に形成さ
れ、前記測定器は前記ガイドレールの前記略コ字状開口
内に位置されていることを特徴とするものである。
【０００９】この発明によれば、測定器を保持したスラ
イダは、測定器の移動方向と平行でかつ互いに所定角度
を有する少なくとも２つの基準面を備えた１本のガイド
レールに沿って回動することなく移動される。従って、
装置全体を大型化することなくガイドレールの断面形状
を大きくできるから、従来の２本のシャフトを用いた場
合に比べ小型化および軽量化をはかりつつ、高い剛性を
確保できる。このため、ガイドレールの基準面に沿って
移動されるスライダおよび測定器の移動方向の真直度も
高精度に実現できる。また、スライダは、付勢手段によ
り、常にガイドレールの基準面に付勢されているから、
スライダとガイドレールとの間にクリアランスがあって
も、そのスライダの位置を一定に保持することができる
ので、摺動部のクリアランスによってスライダ（つま
り、測定器）の位置や姿勢が不安定になることがないた
め、測定器の移動を確実に繰り返すことができる。さら
に、ガイドレールおよびスライダは、略コ字状に形成さ
れているので、軽量かつ剛性を高く保持できる。
イダは、測定器の移動方向と平行でかつ互いに所定角度
を有する少なくとも２つの基準面を備えた１本のガイド
レールに沿って回動することなく移動される。従って、
装置全体を大型化することなくガイドレールの断面形状
を大きくできるから、従来の２本のシャフトを用いた場
合に比べ小型化および軽量化をはかりつつ、高い剛性を
確保できる。このため、ガイドレールの基準面に沿って
移動されるスライダおよび測定器の移動方向の真直度も
高精度に実現できる。また、スライダは、付勢手段によ
り、常にガイドレールの基準面に付勢されているから、
スライダとガイドレールとの間にクリアランスがあって
も、そのスライダの位置を一定に保持することができる
ので、摺動部のクリアランスによってスライダ（つま
り、測定器）の位置や姿勢が不安定になることがないた
め、測定器の移動を確実に繰り返すことができる。さら
に、ガイドレールおよびスライダは、略コ字状に形成さ
れているので、軽量かつ剛性を高く保持できる。
【００１０】
【００１１】この発明において、前記付勢手段は、前記
スライダを前記ガイドレールの一の基準面に付勢する第
１付勢手段および前記スライダを前記ガイドレールの他
の基準面に付勢する第２付勢手段を有していることを特
徴とするものである。この発明によれば、スライダをガ
イドレールの一の基準面および他の基準面に付勢する第
１および第２付勢手段が設けられているから、スライダ
をガイドレールの各基準面に対して適切な力で付勢でき
る。たとえば、２つの基準面が水平および垂直な場合、
水平な基準面に対してはスライダの重力が作用するため
比較的弱い力でスライダをガイドレールに対して付勢
し、垂直な基準面に対しては比較的大きな力でスライダ
をガイドレールに対して付勢することにより、スライダ
をガイドレールの各基準面に対して適切な力で付勢でき
る。このため、摺動性の確保とスライダの真直性とを同
時に満足させることができる。
スライダを前記ガイドレールの一の基準面に付勢する第
１付勢手段および前記スライダを前記ガイドレールの他
の基準面に付勢する第２付勢手段を有していることを特
徴とするものである。この発明によれば、スライダをガ
イドレールの一の基準面および他の基準面に付勢する第
１および第２付勢手段が設けられているから、スライダ
をガイドレールの各基準面に対して適切な力で付勢でき
る。たとえば、２つの基準面が水平および垂直な場合、
水平な基準面に対してはスライダの重力が作用するため
比較的弱い力でスライダをガイドレールに対して付勢
し、垂直な基準面に対しては比較的大きな力でスライダ
をガイドレールに対して付勢することにより、スライダ
をガイドレールの各基準面に対して適切な力で付勢でき
る。このため、摺動性の確保とスライダの真直性とを同
時に満足させることができる。
【００１２】この発明において、前記付勢手段は、一端
が前記スライダに固定される板ばねと、この板ばねの他
端に保持されかつ前記ガイドレールに当接される摺動子
とを含んで構成されていることを特徴とするものであ
る。この発明によれば、スライダに固定された板ばね
が、摺動子をガイドレールに押し当てることで、スライ
ダがガイドレール側に付勢されるから、簡単な構成の付
勢手段により、スライダをガイドレール側に確実に付勢
できる。また、摺動子に、たとえば、テフロン等の摩擦
係数の小さい素材を用いることで、板ばねと摺動子とか
らなる付勢手段によりスライダをガイドレールに付勢し
ても、摺動子のガイドレール当接面とガイドレールとの
間に大きな摩擦力が生じないので、スライダをガイドレ
ールに沿って円滑に摺動させることができる。
が前記スライダに固定される板ばねと、この板ばねの他
端に保持されかつ前記ガイドレールに当接される摺動子
とを含んで構成されていることを特徴とするものであ
る。この発明によれば、スライダに固定された板ばね
が、摺動子をガイドレールに押し当てることで、スライ
ダがガイドレール側に付勢されるから、簡単な構成の付
勢手段により、スライダをガイドレール側に確実に付勢
できる。また、摺動子に、たとえば、テフロン等の摩擦
係数の小さい素材を用いることで、板ばねと摺動子とか
らなる付勢手段によりスライダをガイドレールに付勢し
ても、摺動子のガイドレール当接面とガイドレールとの
間に大きな摩擦力が生じないので、スライダをガイドレ
ールに沿って円滑に摺動させることができる。
【００１３】この発明において、前記駆動手段は、モー
タと、このモータの軸と並列に設けられかつ連結機構を
介して前記モータに連結された送りねじ軸と、この送り
ねじ軸に螺合されかつ前記スライダが固定される送り駒
とを含んで構成されていることを特徴とするものであ
る。この発明によれば、モータを回転させ、このモータ
の回転力が連結機構を介して送りねじ軸に伝達されるこ
とで、送りねじ軸に螺合された送り駒が進退され、スラ
イダおよび測定器が移動される。このような駆動手段に
おいて、モータの軸と、送りねじ軸とが並列に設けられ
ているから、駆動装置の長手方向の長さを最大限利用し
て送りねじ軸を設置でき、測定器の移動距離を従来より
も長くとることができる。つまり、測定器の移動距離が
同じ場合、従来の駆動装置に比べて駆動装置自体を小型
化できる。
タと、このモータの軸と並列に設けられかつ連結機構を
介して前記モータに連結された送りねじ軸と、この送り
ねじ軸に螺合されかつ前記スライダが固定される送り駒
とを含んで構成されていることを特徴とするものであ
る。この発明によれば、モータを回転させ、このモータ
の回転力が連結機構を介して送りねじ軸に伝達されるこ
とで、送りねじ軸に螺合された送り駒が進退され、スラ
イダおよび測定器が移動される。このような駆動手段に
おいて、モータの軸と、送りねじ軸とが並列に設けられ
ているから、駆動装置の長手方向の長さを最大限利用し
て送りねじ軸を設置でき、測定器の移動距離を従来より
も長くとることができる。つまり、測定器の移動距離が
同じ場合、従来の駆動装置に比べて駆動装置自体を小型
化できる。
【００１４】この発明において、前記ガイドレールの一
端および他端は、前記フレームの一端側および他端側に
一体的に固定されていることを特徴とするものである。
この発明によれば、ガイドレールの両端がフレームに一
体的に固定され、ガイドレールが駆動装置の構造部材を
兼用しているので、駆動装置の大きさに比べて、ガイド
レールを大型化できるとともに、フレームの剛性をガイ
ドレールによってさらに強化できる。これにより、たと
えば、駆動装置自体を片持ちで支持しても、フレームお
よびガイドレールが歪まないから、測定器の移動方向の
真直性を保持できる。
端および他端は、前記フレームの一端側および他端側に
一体的に固定されていることを特徴とするものである。
この発明によれば、ガイドレールの両端がフレームに一
体的に固定され、ガイドレールが駆動装置の構造部材を
兼用しているので、駆動装置の大きさに比べて、ガイド
レールを大型化できるとともに、フレームの剛性をガイ
ドレールによってさらに強化できる。これにより、たと
えば、駆動装置自体を片持ちで支持しても、フレームお
よびガイドレールが歪まないから、測定器の移動方向の
真直性を保持できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１には、被測定物の表面粗さ、
うねり、形状等を測定する測定器１を保持した駆動装置
２が示されている。このうち、測定器１は、被測定物の
表面に当接されるスタイラス１１を有し、このスタイラ
ス１１の上下方向の変位から被測定物の表面粗さ等を検
出するようになっている。
に基づいて説明する。図１には、被測定物の表面粗さ、
うねり、形状等を測定する測定器１を保持した駆動装置
２が示されている。このうち、測定器１は、被測定物の
表面に当接されるスタイラス１１を有し、このスタイラ
ス１１の上下方向の変位から被測定物の表面粗さ等を検
出するようになっている。
【００１６】駆動装置２は、箱状のフレーム３と、この
フレーム３に設けられるとともに測定器１の移動方向と
平行に配置されたガイドレール４と、このガイドレール
４に沿って摺動可能に設けられかつ測定器１を保持した
スライダ５と、このスライダ５をガイドレール４に付勢
する付勢手段６と、スライダ５をガイドレール４に沿っ
て移動させる駆動手段７とを備えている。
フレーム３に設けられるとともに測定器１の移動方向と
平行に配置されたガイドレール４と、このガイドレール
４に沿って摺動可能に設けられかつ測定器１を保持した
スライダ５と、このスライダ５をガイドレール４に付勢
する付勢手段６と、スライダ５をガイドレール４に沿っ
て移動させる駆動手段７とを備えている。
【００１７】フレーム３は、正面側（図１中左側）に配
置される前ガイド３１と、この前ガイド３１と対向した
位置に配置される後ガイド３２と、これら前ガイド３１
および後ガイド３２の対向面にそれぞれ取り付けられる
前フレーム３３および後フレーム３４と、前ガイド３１
および後ガイド３２間に架設された筒状のフレームカバ
ー３５とを備えている。
置される前ガイド３１と、この前ガイド３１と対向した
位置に配置される後ガイド３２と、これら前ガイド３１
および後ガイド３２の対向面にそれぞれ取り付けられる
前フレーム３３および後フレーム３４と、前ガイド３１
および後ガイド３２間に架設された筒状のフレームカバ
ー３５とを備えている。
【００１８】ガイドレール４は、図２および図３に示す
ように、下側に開口した略コ字状に形成されており、互
いに所定角度（９０°）を有する垂直な第１基準面４Ａ
および水平な第２基準面４Ｂを有している。なお、ガイ
ドレール４の開口内の角部は丸められており、これによ
り、ガイドレール４の剛性が強化されている。また、ガ
イドレール４の一端および他端は、フレーム３の前フレ
ーム３３および後フレーム３４に一体的に固定されてい
る。
ように、下側に開口した略コ字状に形成されており、互
いに所定角度（９０°）を有する垂直な第１基準面４Ａ
および水平な第２基準面４Ｂを有している。なお、ガイ
ドレール４の開口内の角部は丸められており、これによ
り、ガイドレール４の剛性が強化されている。また、ガ
イドレール４の一端および他端は、フレーム３の前フレ
ーム３３および後フレーム３４に一体的に固定されてい
る。
【００１９】スライダ５は、図１および図３に示すよう
に、ガイドレール４の形状に対応した略コ字状に形成さ
れており、下側に開口した状態で、ガイドレール４の長
手方向へ摺動可能に嵌合されている。
に、ガイドレール４の形状に対応した略コ字状に形成さ
れており、下側に開口した状態で、ガイドレール４の長
手方向へ摺動可能に嵌合されている。
【００２０】付勢手段６は、図３に示すように、スライ
ダ５をガイドレール４の第１および第２基準面４Ａ，４
Ｂにそれぞれ付勢する第１付勢手段６１および第２付勢
手段６２を有している。第１付勢手段６１はスライダ５
の一方の側面（ガイドレール４の第１基準面４Ａに近接
していない方の側面）の前後（フレーム３の前フレーム
３３側および後フレーム３４側）に、第２付勢手段６２
はスライダ５の両下端面の前後にそれぞれ位置してい
る。
ダ５をガイドレール４の第１および第２基準面４Ａ，４
Ｂにそれぞれ付勢する第１付勢手段６１および第２付勢
手段６２を有している。第１付勢手段６１はスライダ５
の一方の側面（ガイドレール４の第１基準面４Ａに近接
していない方の側面）の前後（フレーム３の前フレーム
３３側および後フレーム３４側）に、第２付勢手段６２
はスライダ５の両下端面の前後にそれぞれ位置してい
る。
【００２１】具体的には、第１付勢手段６１は、図４に
示すように、スライダ５の側面に形成された孔５Ａの周
縁にねじ６１１を介して一端が固定された板ばね６１２
と、この板ばね６１２の他端に保持されかつガイドレー
ル４の外側面に当接される摺動子６１３とを有してい
る。板ばね６１２で、スライダ５の孔５Ａからガイドレ
ール４側に突出された摺動子６１３が、ガイドレール４
に押し当てられることで、スライダ５がガイドレール４
の第１基準面４Ａに付勢される。
示すように、スライダ５の側面に形成された孔５Ａの周
縁にねじ６１１を介して一端が固定された板ばね６１２
と、この板ばね６１２の他端に保持されかつガイドレー
ル４の外側面に当接される摺動子６１３とを有してい
る。板ばね６１２で、スライダ５の孔５Ａからガイドレ
ール４側に突出された摺動子６１３が、ガイドレール４
に押し当てられることで、スライダ５がガイドレール４
の第１基準面４Ａに付勢される。
【００２２】第２付勢手段６２は、図５に示すように、
スライダ５の下端面に設けられた第１保持ブロック５１
と、この第１保持ブロック５１にねじ６２１を介して一
端が固定された板ばね６２２と、この板ばね６２２の他
端に保持されかつガイドレール４の下端面に当接される
摺動子６２３とを有している。板ばね６２２で、摺動子
６２３がガイドレール４に押し当てられることで、スラ
イダ５がガイドレール４の第２基準面４Ｂに付勢され
る。
スライダ５の下端面に設けられた第１保持ブロック５１
と、この第１保持ブロック５１にねじ６２１を介して一
端が固定された板ばね６２２と、この板ばね６２２の他
端に保持されかつガイドレール４の下端面に当接される
摺動子６２３とを有している。板ばね６２２で、摺動子
６２３がガイドレール４に押し当てられることで、スラ
イダ５がガイドレール４の第２基準面４Ｂに付勢され
る。
【００２３】ここで、第２付勢手段６２の第１保持ブロ
ック５１のうち、スライダ５の後側（図１中右側）に設
けられた第１保持ブロック５１間には、断面矩形状の第
２保持ブロック５２がかけ渡されており、この第２保持
ブロック５２には、測定器１の後端側（スタイラス１１
が設けられた側の反対側）が取り付けられている。つま
り、測定器１は、ガイドレール４の開口内に位置してい
る。
ック５１のうち、スライダ５の後側（図１中右側）に設
けられた第１保持ブロック５１間には、断面矩形状の第
２保持ブロック５２がかけ渡されており、この第２保持
ブロック５２には、測定器１の後端側（スタイラス１１
が設けられた側の反対側）が取り付けられている。つま
り、測定器１は、ガイドレール４の開口内に位置してい
る。
【００２４】駆動手段７は、フレーム３に固定されたモ
ータ７１と、このモータ７１の軸と並列に設けられかつ
連結機構７２を介してモータ７１に連結された送りねじ
軸７３と、この送りねじ軸７３に螺合されかつスライダ
に固定される送り駒７４とを有している。なお、連結機
構７２には、歯車、ベルトやチェーン等が適宜用いられ
る。
ータ７１と、このモータ７１の軸と並列に設けられかつ
連結機構７２を介してモータ７１に連結された送りねじ
軸７３と、この送りねじ軸７３に螺合されかつスライダ
に固定される送り駒７４とを有している。なお、連結機
構７２には、歯車、ベルトやチェーン等が適宜用いられ
る。
【００２５】次に、本実施形態の作用を説明する。被測
定物の表面性状を測定する際には、まず、測定器を保持
した駆動装置をスタンド（図示せず）等に固定、あるい
は、被測定物上に載置し、測定器１のスタイラス１１を
被測定物の表面に当接させる。次に、測定器１（スタイ
ラス１１）を被測定物表面に沿って移動させる。具体的
には、モータ７１を回転させると、このモータの回転力
が連結機構７２を介して送りねじ軸７３に伝達される。
送りねじ軸７３が回転されると、この送りねじ軸７３に
螺合された送り駒７４が進退し、送り駒７４に固定され
たスライダ５および測定器１がガイドレール４に沿って
進退（移動）される。スライダ５は、各付勢手段６１，
６２により、ガイドレール４の第１および第２基準面４
Ａ，４Ｂに摺接しながら移動されるから、測定機１は回
転することなくまっすぐに移動される。このように測定
器１を被測定物表面に沿って移動させ、スタイラス１１
の上下方向の変位から被測定物の表面粗さ等を検出す
る。
定物の表面性状を測定する際には、まず、測定器を保持
した駆動装置をスタンド（図示せず）等に固定、あるい
は、被測定物上に載置し、測定器１のスタイラス１１を
被測定物の表面に当接させる。次に、測定器１（スタイ
ラス１１）を被測定物表面に沿って移動させる。具体的
には、モータ７１を回転させると、このモータの回転力
が連結機構７２を介して送りねじ軸７３に伝達される。
送りねじ軸７３が回転されると、この送りねじ軸７３に
螺合された送り駒７４が進退し、送り駒７４に固定され
たスライダ５および測定器１がガイドレール４に沿って
進退（移動）される。スライダ５は、各付勢手段６１，
６２により、ガイドレール４の第１および第２基準面４
Ａ，４Ｂに摺接しながら移動されるから、測定機１は回
転することなくまっすぐに移動される。このように測定
器１を被測定物表面に沿って移動させ、スタイラス１１
の上下方向の変位から被測定物の表面粗さ等を検出す
る。
【００２６】上述のような本実施形態によれば、次のよ
うな効果がある。すなわち、本実施形態では、測定器１
を保持したスライダ５は、測定器１の移動方向と平行で
かつ互いに所定角度を有する第１および第２基準面４
Ａ，４Ｂを備えた１本のガイドレール４に沿って、回動
することなく移動される。従って、駆動装置２全体を大
型化することなくガイドレール４の断面形状を大きくで
きるから、従来の２本のシャフトを用いた場合に比べ小
型化および軽量化をはかりつつ、高い剛性を確保でき
る。このため、ガイドレール４の第１および第２基準面
４Ａ，４Ｂに沿って移動されるスライダ５および測定器
１の移動方向の真直度も高精度に実現できる。また、ス
ライダ５は、付勢手段６により、常にガイドレール４の
第１および第２基準面４Ａ，４Ｂに付勢されているか
ら、スライダ５とガイドレール４との間にクリアランス
があっても、そのスライダ５の位置を一定に保持するこ
とができるので、摺動部のクリアランスによってスライ
ダ５（つまり、測定器１）の位置や姿勢が不安定になる
ことがないため、測定器１の移動を確実に繰り返すこと
ができる。
うな効果がある。すなわち、本実施形態では、測定器１
を保持したスライダ５は、測定器１の移動方向と平行で
かつ互いに所定角度を有する第１および第２基準面４
Ａ，４Ｂを備えた１本のガイドレール４に沿って、回動
することなく移動される。従って、駆動装置２全体を大
型化することなくガイドレール４の断面形状を大きくで
きるから、従来の２本のシャフトを用いた場合に比べ小
型化および軽量化をはかりつつ、高い剛性を確保でき
る。このため、ガイドレール４の第１および第２基準面
４Ａ，４Ｂに沿って移動されるスライダ５および測定器
１の移動方向の真直度も高精度に実現できる。また、ス
ライダ５は、付勢手段６により、常にガイドレール４の
第１および第２基準面４Ａ，４Ｂに付勢されているか
ら、スライダ５とガイドレール４との間にクリアランス
があっても、そのスライダ５の位置を一定に保持するこ
とができるので、摺動部のクリアランスによってスライ
ダ５（つまり、測定器１）の位置や姿勢が不安定になる
ことがないため、測定器１の移動を確実に繰り返すこと
ができる。
【００２７】ガイドレール４およびスライダ５は、略コ
字状に形成されているので、軽量かつ剛性を高く保持で
きる。特に、ガイドレール４の開口内の角部は丸められ
ているから、ガイドレール４の剛性をより強化できる。
字状に形成されているので、軽量かつ剛性を高く保持で
きる。特に、ガイドレール４の開口内の角部は丸められ
ているから、ガイドレール４の剛性をより強化できる。
【００２８】略コ字状に形成されたガイドレール４およ
びスライダ５において、スライダ５をガイドレール４の
第１および第２基準面４Ａ，４Ｂに付勢する第１および
第２付勢手段６１，６２が設けられているから、スライ
ダ５をガイドレール４の各基準面４Ａ，４Ｂに対して適
切な力で付勢できる。また、垂直な第１基準面４Ａに対
しては比較的大きな力でスライダ５をガイドレール４に
対して付勢し、水平な第２基準面４Ｂに対してはスライ
ダ５の重力が作用するため比較的弱い力でスライダ５を
ガイドレール４に対して付勢することにより、スライダ
５をガイドレール４の各基準面４Ａ，４Ｂに対して適切
な力で付勢できる。このため、摺動性の確保とスライダ
５の真直性とを同時に満足させることができる。
びスライダ５において、スライダ５をガイドレール４の
第１および第２基準面４Ａ，４Ｂに付勢する第１および
第２付勢手段６１，６２が設けられているから、スライ
ダ５をガイドレール４の各基準面４Ａ，４Ｂに対して適
切な力で付勢できる。また、垂直な第１基準面４Ａに対
しては比較的大きな力でスライダ５をガイドレール４に
対して付勢し、水平な第２基準面４Ｂに対してはスライ
ダ５の重力が作用するため比較的弱い力でスライダ５を
ガイドレール４に対して付勢することにより、スライダ
５をガイドレール４の各基準面４Ａ，４Ｂに対して適切
な力で付勢できる。このため、摺動性の確保とスライダ
５の真直性とを同時に満足させることができる。
【００２９】付勢手段６において、スライダ５に固定さ
れた板ばね６１２，６２２が、摺動子６１３，６２３を
ガイドレール４に押し当てることで、スライダ５がガイ
ドレール４側に付勢されるから、簡単な構成の付勢手段
６により、スライダ５をガイドレール６側に確実に付勢
できる。また、摺動子６１３，６２３に、たとえば、テ
フロン等の摩擦係数の小さい素材を用いることで、板ば
ね６１２，６２２と摺動子６１３，６２３とからなる第
１および第２付勢手段６１，６２によりスライダ５をガ
イドレール４に付勢しても、摺動子６１３，６２３のガ
イドレール当接面とガイドレール４との間に大きな摩擦
力が生じないので、スライダ５をガイドレール４に沿っ
て円滑に摺動させることができる。
れた板ばね６１２，６２２が、摺動子６１３，６２３を
ガイドレール４に押し当てることで、スライダ５がガイ
ドレール４側に付勢されるから、簡単な構成の付勢手段
６により、スライダ５をガイドレール６側に確実に付勢
できる。また、摺動子６１３，６２３に、たとえば、テ
フロン等の摩擦係数の小さい素材を用いることで、板ば
ね６１２，６２２と摺動子６１３，６２３とからなる第
１および第２付勢手段６１，６２によりスライダ５をガ
イドレール４に付勢しても、摺動子６１３，６２３のガ
イドレール当接面とガイドレール４との間に大きな摩擦
力が生じないので、スライダ５をガイドレール４に沿っ
て円滑に摺動させることができる。
【００３０】駆動手段７において、モータ７１の軸と、
送りねじ軸７３とは並列に設けられているから、駆動装
置２の長手方向の長さを最大限利用して送りねじ軸７３
を設置でき、測定器１の移動距離を従来よりも長くとる
ことができる。つまり、測定器１の移動距離が同じ場
合、従来の駆動装置に比べて駆動装置２自体を小型化で
きる。
送りねじ軸７３とは並列に設けられているから、駆動装
置２の長手方向の長さを最大限利用して送りねじ軸７３
を設置でき、測定器１の移動距離を従来よりも長くとる
ことができる。つまり、測定器１の移動距離が同じ場
合、従来の駆動装置に比べて駆動装置２自体を小型化で
きる。
【００３１】フレーム３は、正面側（図１中左側）に配
置される前ガイド３１と、この前ガイド３１と対向した
位置に配置される後ガイド３２と、これら前ガイド３１
および後ガイド３２の対向面にそれぞれ取り付けられる
前フレーム３３および後フレーム３４と、前ガイド３１
および後ガイド３２間に架設された筒状のフレームカバ
ー３５とを備え、このフレーム３の前フレーム３３およ
び後フレーム３４にガイドレール４の両端が一体的に固
定されている。従って、駆動装置２の大きさに比べてガ
イドレール４を大型化できるので、駆動装置２全体の剛
性をさらに高くすることができる。これにより、たとえ
ば、駆動装置２自体を片持ちで支持しても、フレーム３
およびガイドレール４が歪まないから、測定器１の移動
方向の真直性を保持できる。
置される前ガイド３１と、この前ガイド３１と対向した
位置に配置される後ガイド３２と、これら前ガイド３１
および後ガイド３２の対向面にそれぞれ取り付けられる
前フレーム３３および後フレーム３４と、前ガイド３１
および後ガイド３２間に架設された筒状のフレームカバ
ー３５とを備え、このフレーム３の前フレーム３３およ
び後フレーム３４にガイドレール４の両端が一体的に固
定されている。従って、駆動装置２の大きさに比べてガ
イドレール４を大型化できるので、駆動装置２全体の剛
性をさらに高くすることができる。これにより、たとえ
ば、駆動装置２自体を片持ちで支持しても、フレーム３
およびガイドレール４が歪まないから、測定器１の移動
方向の真直性を保持できる。
【００３２】なお、本発明は前記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変
形、改良は、本発明に含まれるものである。たとえば、
前記実施形態の駆動手段７において、送りねじ軸７３
は、モータ７１の軸と並列に設けられているが、本発明
に係る駆動手段はこれに限定されるものではなく、送り
ねじ軸とモータの軸とを直列に配置してもよい。また、
駆動手段に減速機等を設けることで、測定器の移動速度
を調整してもよい。
ものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変
形、改良は、本発明に含まれるものである。たとえば、
前記実施形態の駆動手段７において、送りねじ軸７３
は、モータ７１の軸と並列に設けられているが、本発明
に係る駆動手段はこれに限定されるものではなく、送り
ねじ軸とモータの軸とを直列に配置してもよい。また、
駆動手段に減速機等を設けることで、測定器の移動速度
を調整してもよい。
【００３３】前記実施形態では、付勢手段６は、板ばね
６１２，６２２と、摺動子６１３，６２３とを含んで構
成されているが、他の適宜な部材から構成されてもよ
く、要するに、スライダをガイドレールの基準面に付勢
する構成であればよい。また、スライダを付勢する方向
は、垂直および水平方向に限らず、斜め方向等であって
もよい。
６１２，６２２と、摺動子６１３，６２３とを含んで構
成されているが、他の適宜な部材から構成されてもよ
く、要するに、スライダをガイドレールの基準面に付勢
する構成であればよい。また、スライダを付勢する方向
は、垂直および水平方向に限らず、斜め方向等であって
もよい。
【００３４】前記実施形態では、ガイドレール４および
スライダ５は、略コ字状に形成されているが、たとえ
ば、両側に傾斜した上面を各基準面とする逆Ｖ字状に形
成されていてもよい。要するに、ガイドレールは、測定
器の移動方向と平行でかつ互いに所定角度を有する少な
くとも２つの基準面を有した形状に、スライダは、ガイ
ドレールの２つの基準面に対応した形状に形成されてい
ればよい。
スライダ５は、略コ字状に形成されているが、たとえ
ば、両側に傾斜した上面を各基準面とする逆Ｖ字状に形
成されていてもよい。要するに、ガイドレールは、測定
器の移動方向と平行でかつ互いに所定角度を有する少な
くとも２つの基準面を有した形状に、スライダは、ガイ
ドレールの２つの基準面に対応した形状に形成されてい
ればよい。
【００３５】
【発明の効果】本発明の駆動装置によれば、簡単な構造
で測定器の移動方向の真直度を確保できるとともに、小
型化かつ軽量化ができる。
で測定器の移動方向の真直度を確保できるとともに、小
型化かつ軽量化ができる。
【図１】本発明に係る駆動装置の一実施形態を示す全体
斜視図である。
斜視図である。
【図２】前記実施形態に用いられるガイドレールを示す
斜視図である。
斜視図である。
【図３】前記実施形態の縦断面図である。
【図４】前記実施形態の要部（第１付勢手段）を示す斜
視図である。
視図である。
【図５】前記実施形態の他の要部（第２付勢手段）を示
す平面図である。
す平面図である。
１ 測定器
２ 駆動装置
３ フレーム
４ ガイドレール
４Ａ，４Ｂ 基準面である第１および第２基準面
５ スライダ
６ 付勢手段
７ 駆動手段
６１ 第１付勢手段
６２ 第２付勢手段
７１ モータ
７２ 連結機構
７３ 送りねじ軸
７４ 送り駒
６１２，６２２ 板ばね
６１３，６２３ 摺動子
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平11−240220（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−190607（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−307013（ＪＰ，Ａ)
実開 平６−80107（ＪＰ，Ｕ)
実開 平５−73510（ＪＰ，Ｕ)
実公 平５−17447（ＪＰ，Ｙ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 21/30 - 21/32
F16H 25/20
Claims (5)
- 【請求項１】 測定器を被測定物の表面に沿って移動さ
せる駆動装置であって、フレームと、このフレームに設
けられるとともに前記測定器の移動方向と平行でかつ互
いに所定角度を有する少なくとも２つの基準面を有した
ガイドレールと、このガイドレールの基準面に沿って摺
動可能に設けられかつ前記測定器を保持したスライダ
と、このスライダを前記ガイドレールの少なくとも２つ
の基準面にそれぞれ付勢する付勢手段と、前記スライダ
を前記ガイドレールに沿って移動させる駆動手段とを備
え、 前記ガイドレールは略コ字状に形成され、前記スライダ
は前記ガイドレールの形状に対応した略コ字状に形成さ
れ、前記測定器は前記ガイドレールの前記略コ字状開口
内に位置され ていることを特徴とする駆動装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の駆動装置において、前
記付勢手段は、前記スライダを前記ガイドレールの一の
基準面に付勢する第１付勢手段および前記スライダを前
記ガイドレールの他の基準面に付勢する第２付勢手段を
有していることを特徴とする駆動装置。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の駆動装
置において、前記付勢手段は、一端が前記スライダに固
定される板ばねと、この板ばねの他端に保持されかつ前
記ガイドレールに当接される摩擦係数の小さい素材によ
り形成された摺動子とを含んで構成されていることを特
徴とする駆動装置。 - 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれかに記
載の駆動装置において、前記駆動手段は、モータと、こ
のモータの軸と並列に設けられかつ連結機構を介して前
記モータに連結された送りねじ軸と、この送りねじ軸に
螺合されかつ前記スライダが固定される送り駒とを含ん
で構成されていることを特徴とする駆動装置。 - 【請求項５】 請求項１ないし請求項４のいずれかに記
載の駆動装置において、前記ガイドレールの一端および
他端は、前記フレームの一端側および他端側に一体的に
固定されていることを特徴とする駆動装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31093999A JP3474504B2 (ja) | 1999-11-01 | 1999-11-01 | 駆動装置 |
| US09/695,851 US6425285B1 (en) | 1999-11-01 | 2000-10-26 | Drive unit |
| DE10054113.5A DE10054113B4 (de) | 1999-11-01 | 2000-10-31 | Antriebseinheit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31093999A JP3474504B2 (ja) | 1999-11-01 | 1999-11-01 | 駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001133249A JP2001133249A (ja) | 2001-05-18 |
| JP3474504B2 true JP3474504B2 (ja) | 2003-12-08 |
Family
ID=18011213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31093999A Expired - Fee Related JP3474504B2 (ja) | 1999-11-01 | 1999-11-01 | 駆動装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6425285B1 (ja) |
| JP (1) | JP3474504B2 (ja) |
| DE (1) | DE10054113B4 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4755429B2 (ja) * | 2005-03-04 | 2011-08-24 | 株式会社ミツトヨ | 検出器駆動装置 |
| DE102005035786B3 (de) * | 2005-07-27 | 2007-01-04 | Carl Mahr Holding Gmbh | Rauheitstaster |
| EP2199732B1 (de) * | 2008-12-19 | 2017-10-11 | Klingelnberg AG | Vorrichtung mit Rauheitsmesstaster |
| CN102135419B (zh) * | 2010-01-23 | 2015-02-11 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 微动测量装置 |
| GB2582375B (en) * | 2019-03-22 | 2022-07-06 | Taylor Hobson Ltd | Metrological apparatus and method of manufacture |
| CN111168161A (zh) * | 2020-02-28 | 2020-05-19 | 重庆机床(集团)有限责任公司 | 一种磨齿机在线测量机构 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4765181A (en) | 1985-08-08 | 1988-08-23 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Surface texture measuring instrument |
| DE4437033C2 (de) * | 1994-10-17 | 1996-08-22 | Mahr Gmbh Goettingen | Vorschubgerät für die Oberflächenmessung nach dem Tastschnitt-Verfahren |
| JP3405515B2 (ja) | 1997-12-26 | 2003-05-12 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機 |
| JP3640201B2 (ja) * | 1997-12-26 | 2005-04-20 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機 |
| US6397667B1 (en) * | 1997-12-26 | 2002-06-04 | Mitutoyo Corporation | Surface property measuring device |
-
1999
- 1999-11-01 JP JP31093999A patent/JP3474504B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-10-26 US US09/695,851 patent/US6425285B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-10-31 DE DE10054113.5A patent/DE10054113B4/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6425285B1 (en) | 2002-07-30 |
| JP2001133249A (ja) | 2001-05-18 |
| DE10054113A1 (de) | 2001-06-21 |
| DE10054113B4 (de) | 2015-01-08 |
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