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ALLGEMEINER
STAND DER TECHNIK
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GEBIET DER
ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein System zur Steuerung der Zirkulation
von Entwicklungs- oder Prozessflüssigkeit,
das einen Verfahrenstank aufweist, in dem Entwicklungsflüssigkeit
zum Entwickeln von fotoempfindlichem Material enthalten ist, einen Hilfstank,
der mit einem oberen Bereich des Entwicklungstanks verbunden ist,
einen Zirkulationsdurchtritt, der die Verbindung zwischen dem Hilfstank
und einem unteren Bereich des Verfahrenstanks herstellt, und eine
Zirkulationspumpe zur Erzeugung einer Zirkulation der Entwicklungsflüssigkeit
vom oberen Bereich des Entwicklungstanks durch den Hilfstank, den Zirkulationsdurchtritt,
den unteren Bereich des Verfahrenstanks und dann zurück zu dem
oberen Bereich des Verfahrenstanks.
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BESCHREIBUNG
DER ZUGRUNDE LIEGENDEN TECHNIK
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Ein
System wie oben beschrieben ist beispielsweise aus US-A-5,424,799
bekannt.
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Eine
fotografische Entwicklungsvorrichtung zum Entwickeln fotoempfindlichen
Materials, etwa eines fotografischen Films oder eines Druckpapiers, weist
einen Verfahrenstank auf, in dem Prozessflüssigkeit enthalten ist. Wenn
bewirkt wird, dass sich das fotoempfindliche Material durch die
Flüssigkeit bewegt,
findet zwischen der Prozessflüssigkeit
und dem Material eine chemische Reaktion statt, wodurch das Material
fotografisch entwickelt wird. Während
dieses Vorgangs wird, um die chemische Reaktion zwischen der Prozessflüssigkeit
und dem fotoempfindlichen Material zu begünstigen, ein aktiver Flüssigkeitszirkulationsstrom
erzeugt, um die Kontaktmöglichkeit
zwischen dem Material und fri scher, d. h. unverbrauchter Prozessflüssigkeit
zu verbessern. Dieser Flüssigkeitsstrom
wird unter Verwendung einer Zirkulationspumpe erzeugt, die für eine erzwungene
Zirkulation der Prozessflüssigkeit
aus einem oberen Bereich des Verfahrenstanks durch den Hilfstank,
den Zirkulationsdurchtritt und wieder zurück zu dem oberen Bereich des
Verfahrenstanks sorgt. Außerdem
wird während
dieser Zirkulation Nachfüllflüssigkeit,
d. h. frische Prozessflüssigkeit aus
dem Hilfstank in den Zirkulationsdurchtritt geliefert.
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Jedoch
führt die
Erzeugung einer derart starken, durch Pumpen erzwungenen Zirkulation zwangsläufig zu
einem Vermischen der Prozessflüssigkeit,
wodurch eine bessere Kontaktmöglichkeit zwischen
der Luft, die an die Oberfläche
der Flüssigkeit
grenzt, und dieser Prozessflüssigkeit
gegeben ist, was dazu führt,
dass die Prozessflüssigkeit
durch Oxidieren altert. Deshalb ist eine solche Verwirklichung einer
kräftigen
Zirkulation insofern von Nachteil gewesen, als sie dazu führt, dass
sie die Alterung der Prozessflüssigkeit
durch Oxidieren beschleunigt.
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KURZDARSTELLUNG
DER ERFINDUNG
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Eine
Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Schaffung eines
verbesserten Systems wie im Anspruch 1 definiert, um die Zirkulation
von Prozessflüssigkeit
zu steuern, die zwei einander widersprechende Wirkungen aufweist:
die Begünstigung
der Reaktion zwischen der Prozessflüssigkeit und dem fotoempfindlichen
Material und die Beschleunigung der Alterung durch Oxidieren der
Prozessflüssigkeit.
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Um
die oben angegebene Aufgabe zu lösen weist
das System gemäß der vorliegenden
Erfindung in dem zu Beginn beschriebenen System zur Steuerung der
Zirkulation von Entwicklungsflüssigkeit
die im Anspruch 1 definierten Merkmale auf.
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Das
Steuerungssystem wie oben angegeben beachtet die Tatsache, dass
es wenigstens zwei verschiedene Zustände des Verfahrenstanks gibt,
d. h. einen Zustand (den "ersten
Benutzungszustand"),
in dem eine aktive Zirkulation der Prozessflüssigkeit in dem Tank erzeugt
werden sollte, und den anderen Zustand (den "zweiten Benutzungszustand"), in dem eine derartige
aktive Zirkulation nicht immer erforderlich oder erstrebenswert
ist. Wenn die aktive Zirkulation der Prozessflüssigkeit notwendig ist, insbesondere
dann, wenn sich fotoempfindliches Material im Inneren des Verfahrenstanks
befindet, wird die Zirkulationspumpe in einen Modus einer großen Zirkulationsmenge
versetzt, um die Reaktion zwischen der Prozessflüssigkeit und dem fotoempfindlichen
Material zu begünstigen.
Hingegen wird dann, wenn eine derartige aktive Zirkulation nicht
erforderlich ist oder nur in einem sehr begrenzten Ausmaß erforderlich ist,
die Pumpe in den Modus einer geringen Zirkulationsmenge versetzt,
um die Alterung der Prozessflüssigkeit
durch Oxidieren zu minimieren. Derartige Systeme sind z. B. aus
DE-A-31 27 824 oder aus der Zusammenfassung von JP-A-2 246 059 bekannt.
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Im
Vergleich zu dem herkömmlichen
System, bei dem die Zirkulationspumpe ständig mit einer unveränderlichen
Zirkulationsmenge betrieben wird, bietet das oben beschriebene System
den Vorteil, dass es die Alterung der Prozessflüssigkeit infolge der Oxidation
einschränkt,
obwohl die gleiche Wirkung der Begünstigung der Entwicklungsreaktion zwischen
der Flüssigkeit
und dem fotoempfindlichen Material erreicht wird.
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Gemäß der Erfindung
erfassen die Benutzungszustandsdetektionsmittel die Anwesenheit
von fotoempfindlichem Material im Verfahrenstank als den ersten
Benutzungszustand und die Abwesenheit von fotoempfindlichem Material
im Verfahrenstank als den zweiten Benutzungszustand. Damit könnte das
in den Verfahrenstank eingebrachte fotoempfindliche Material durch
das aktive Zirkulieren der Prozessflüssigkeit einer verbesserten
Entwicklungsreaktion ausgesetzt werden. Andererseits wird dann, wenn
kein fotoempfindliches Material in dem Tank vorliegt, die Alterung
der Prozessflüssigkeit
durch Oxidieren auf Grund des Fehlens einer starken Zirkulation
dieser vorteilhaft eingeschränkt,
gleichwohl über
den Zirkulationsdurchtritt ein minimale erforderliche Menge frischer
Flüssigkeit
nachgefüllt
werden könnte.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung enthalten die Benutzungszustandsdetektionsmittel einen Eintrittsdetektionssensor
zum Erkennen des Eintretens von fotoempfindlichem Material in den
Verfahrenstank und einen Timer zum Messen einer abgeschätzten Zeitdauer,
bis das eingebrachte fotoempfindliche Material erwartungsgemäß den Verfahrenstank
verlässt.
Bei dieser Ausführung
wird das Eintreten von fotoempfindlichem Materials durch den Eintrittsdetektionssensor
erfasst, der entweder als ein Sensor vom kontaktlosen Typ, etwa
als ein opti scher Sensor, oder als ein Sensor vom Kontakttyp, etwa
als ein Grenztaster, verwirklicht sein kann. Auf diese Erfassung
hin wird die Zirkulationspumpe in den Modus starker Zirkulation
geschaltet. Außerdem
berechnet der Timer die geschätzte
Zeitdauer bis zum erwarteten Austritt des fotoempfindlichen Materials
aus dem Tank, um daraus den richtigen Zeitpunkt zu ermitteln, zu
dem die Zirkulationspumpe aus dem Modus starker Zirkulation in den
Modus schwacher Zirkulation umgeschaltet wird.
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Ein
weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung sieht vor, dass die Zirkulationspumpe
im Modus starker Zirkulation für
eine Fördermenge
sorgt, die ungefähr
doppelt so groß wie
jene im Modus schwacher Zirkulation ist. Mit dieser Einstellung
kann ein optimales Gleichgewicht zwischen der Begünstigung der
Reaktion des fotoempfindlichen Materials, der Einschränkung der
Alterung der Prozessflüssigkeit durch
Oxidieren und einer kleinstmöglichen,
noch wirksamen Zuführung
von Nachfüllflüssigkeit
erhalten werden.,
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Zum
Entwickeln des fotoempfindlichen Materials werden im Allgemeinen
mehrere Arten Prozessflüssigkeit
benötigt,
beispielsweise Entwicklungsflüssigkeit,
Bleichflüssigkeit,
Fixierflüssigkeit
und Stabilisierungsflüssigkeit.
Und diese verschiedenen Flüssigkeiten
sind voneinander getrennt in mehreren Verfahrenskammern enthalten,
die im Inneren des Verfahrenstanks ausgebildet sind. Dann wird bewirkt, dass
das fotoempfindliche Material diese Kammern nacheinander durchläuft. Deshalb
ist bei diesem Typ von Entwicklungsvorrichtung für jede Art von Prozessflüssigkeit
eine Zirkulationspumpe vorzusehen. Dann sollte die Steuerungsentscheidung,
ob die Pumpe im Modus starker Zirkulation oder im Modus schwacher
Zirkulation betrieben wird, in Übereinstimmung
mit einem Signal von den Benutzungszustandsdetektionsmitteln getroffen
werden, die wenigstens zwei verschiedene Benutzungszustände jeder
Verfahrenskammer erfassen.
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Der
erste und der zweite Benutzungszustand, auf die sich die Steuerung
jeder Zirkulationspumpe gründet,
sind auf die Anwesenheit bzw. Abwesenheit des fotoempfindlichen
Materials in jedem Verfahrenstank bezogen. In diesem könnte dann,
da die Benutzungszustandsdetektionsmittel einen Eintrittsdetektionssensor
zum Erkennen des Eintretens von fotoempfindlichem Materials in die
erste der Verfahrenskammern für
eine erste Behandlung des fotoempfindlichen Materials und einen
Timer zum Messen abgeschätzter
Zeitdauern, die sich vom Ein treten des fotoempfindlichen Materials
in die entsprechenden Prozesskammern und bis zum Austreten aus diesen
erstrecken, enthalten, die Anwesenheit/Abwesenheit des fotoempfindlichen
Materials im Inneren jeder Prozesskammer mittels eines einzigen
Eintrittsdetektionssensors und eines einzigen Timers ermittelt werden,
so dass sich der Aufbau des Steuerungssystems in vorteilhafter Weise
vereinfacht.
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Weitere
und andere Aufgaben, Merkmale und Wirkungen der Erfindung werden
aus der folgenden ausführlicheren
Beschreibung von Ausführungsformen
der Erfindung deutlicher, die auf die beigefügte Zeichnung Bezug nimmt.
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KURZBESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNG
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1 ist eine Gesamtansicht
einer Konstruktionszeichnung einer automatischen Filmentwicklungsvorrichtung,
die ein System zur Steuerung der Zirkulation der Entwicklungsflüssigkeit
gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung verwendet;
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2 ist eine schematische
Schnittansicht eines Filmentwicklungsabschnitts der automatischen Filmentwicklungsvorrichtung
von 1;
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3 ist eine schematische
Schnittansicht eines Entwicklungsverfahrenstanks;
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4 ist eine Schnittansicht
längs der
Linie IV-IV in 3;
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5 ist ein Blockschaltplan
des Systems zur Steuerung der Zirkulation von Entwicklungsflüssigkeit
gemäß der Ausführungsform;
und
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6 ist eine schematische
Darstellung der Ablaufsteuerung durch das Steuersystem.
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BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Als
Nächstes
werden bevorzugte Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung, die eine automatische Filmentwicklungsvorrichtung 1 betreffen,
mit Bezug auf die beigefügte
Zeichnung beschrieben.
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Wie
in 1 gezeigt ist, enthält die automatische
Filmentwicklungsvorrichtung 1 einen Filmladeabschnitt 3,
um einen Film 2 (als Beispiel für das fotoempfindliche Material)
zu laden, mit einer Führung, die
mit dem Vorspann des Films verbunden wird, einen Filmentwicklungsabschnitt 4,
um den Film 2, der vom Filmladeabschnitt 3 zugeführt wird,
zu entwickeln, einen Filmtrocknungsabschnitt 5, um den
entwickelten Film 2 zu trocknen, und einen Filmaufnahmeabschnitt 6,
um den Film 2 nach seinem Trocknen vorübergehend zu halten.
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Der
Filmladeabschnitt 3 enthält eine Transportwalze 3a,
eine Filmschneideeinrichtung 3b, um ein Endband des Films 2,
der vollständig
aus einer Filmpatrone 7 herausgezogen worden ist, abzuschneiden,
einen Filmschneideeinrichtungs-Tauchmagneten 3c,
der eines von zwei Schneidemessern der Filmschneideeinrichtung 3b in
eine gleitende Bewegung versetzt, eine freibewegliche Rolle 3e,
die im angepressten Zustand betrieben werden kann, um den Film 2 gegen
die Transportwalze 3a zu pressen, und einen Druck ausübenden Tauchmagneten 3d, um
die freibewegliche Rolle 3e durch Bewegen dieser Rolle 3e in
vertikaler Richtung zwischen dem anpressenden Zustand und einem
nicht pressenden Zustand umzuschalten. Der vollständig aus
der Patrone herausgezogene und von dieser abgeschnittene Film 2 wird
transportiert, wenn er zwischen die Transportwalze 3a und
die freibewegliche Rolle 3e geklemmt ist, um in den Filmentwicklungsabschnitt 4 eingebracht
zu werden.
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Der
Filmentwicklungsabschnitt 4 enthält einen Verfahrenstank 40 mit
insgesamt 7 (sieben) voneinander getrennten Kammern, die
individuell eine Vielzahl von Verfahrensflüssigkeiten enthalten, wie etwa
Entwicklungsflüssigkeit,
Bleichflüssigkeit,
Fixierflüssigkeit,
Stabilisierungsflüssigkeit
usw., um eine Reihe von Verfahrensschritten wie etwa Entwickeln,
Bleichen, Fixieren usw. auszuführen.
Außerdem
weist der Entwicklungsabschnitt 4 mehrere Transportwalzeneinheiten 4b auf,
um den Film 2 innerhalb dieses Entwicklungsabschnitts 4 zu
transportieren.
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Der
Filmtrocknungsabschnitt 5, der auf dem Filmtransportweg
an einer nachgeschalteten Position in Bezug auf den Filmentwicklungsabschnitt 4 angeordnet
ist, umfasst einen Heiztrockner 5a, um den Film 2 zu
trocknen, einen Trocknungslüfter 5b,
um den Filmtransportweg mit Warmluft zu versorgen, und einen Temperatursensor 5c,
der die Temperatur innerhalb des Filmtrocknungsabschnitts 5 erfasst,
so dass der Film, während
er durch diesen Filmtrocknungsab schnitt 5 transportiert
wird, nach und nach getrocknet wird. Dann wird dieser getrocknete
Film 2 an den Filmaufnahmeabschnitt 6 abgegeben.
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2 zeigt nur den Filmentwicklungsabschnitt 4 genauer.
Ein optischer Sensor 10 ist neben einer Eintrittsöffnung des
Filmentwicklungsabschnitts 4 angeordnet, um das Eintreten
des Films 2 vom Filmladeabschnitt 3 zu erfassen.
Dieser optische Sensor 10 ist an eine Steuervorrichtung 100 angeschlossen,
die später
ausführlich
beschrieben wird. Wie zuvor beschrieben worden ist, enthält der Verfahrenstank 40 sieben
Verfahrenskammern 41 bis 47. Insbesondere ist,
aus der Eintrittsrichtung des Films 2 betrachtet, zuerst
die Entwicklungsflüssigkeitskammer 41 vorgesehen,
die von allen Kammern die größte Tiefe
aufweist, und dann sind eine Bleichflüssigkeitskammer 42 und
zwei Fixierungsflüssigkeitskammern 43, 44 vorgesehen,
die flacher als die Entwicklungskammer 41 sind. Danach
sind drei Stabilisierungsflüssigkeitskammern 45 bis 47 vorgesehen,
die von allen Kammern am flachsten sind. Abgesehen davon, dass sie
sich in der Tiefe unterscheiden, sind diese Kammern 41 bis 47 völlig gleich
aufgebaut. 3 zeigt einen
Vertikalschnitt durch die Entwicklungsflüssigkeitskammer 41,
und 4 zeigt einen Horizontalschnitt
derselben Kammer 41 bzw. der Bleichflüssigkeitskammer 42.
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Die
Entwicklungskammer 41 umfasst neben ihrem oberen Bereich
einen Hilfstank 41a, wobei der obere Bereich der Kammer 41 und
der Hilfstank 41a miteinander verbunden sind. Der Hilfstank 41a ist
außerdem über einen
Zirkulationsdurchtritt 51, in dem eine Zirkulationspumpe 61 enthalten
ist, mit dem tiefsten Teil der Kammer 41 verbunden. Im
Innenraum des Hilfstanks 41a sind eine Heizeinrichtung 11,
um die Entwicklungsflüssigkeit
zu erwärmen,
ein Temperatursensor 12, um die Temperatur der Entwicklungsflüssigkeit
zu erfassen, eine zwischen die Heizeinrichtung 11 und den
Temperatursensor 12 eingeschobene Trennplatte 13,
ein Überlaufrohr 14, ein
Flüssigkeitsstandssensor 15,
um den Flüssigkeitsstand
der Entwicklungsflüssigkeit
zu erfassen, und ein Filter 16 vorgesehen. Die Heizeinrichtung 11 wird
mittels eines Rückkopplungsschemas
unter Verwendung des Temperatursensors 12 so geregelt, dass
die Temperatur der Entwicklungsflüssigkeit konstant gehalten
wird. Der Hilfstank 41a ist, wie in den 2 und 3 schematisch
dargestellt ist, mit einer Versorgungsrohrleitung 70 verbunden.
Um das Entwicklungsvermögen
der Entwicklungslösung
konstant zu halten wird bei Bedarf eine Versorgungspumpe 71 betrieben,
um zusätzliche,
frische Entwicklungsflüssigkeit
aus einem Versorgungstank 72 über die Rohrlei tung 70 nachzufüllen.
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Der
Filter 16 ist ein zylindrischer Filter mit einer mittigen
Bohrung, in welche ein Rohr 17 eingesetzt ist, das eine
Anzahl Schlitze 17a definiert. Im Betrieb fließt durch
diese Schlitze 17a gefilterte Flüssigkeit in das Rohr 17.
Ferner ist ein unteres Ende dieses Rohrs 17 mit dem Zirkulationsdurchtritt 51 verbunden.
Dies hat die Bildung einer geschlossenen Zirkulationsbahn vom oberen
Bereich der Entwicklungskammer 41, dem Hilfstank 41a, über den
Filter 16, den Zirkulationsdurchtritt 51, der
die Zirkulationspumpe 61 enthält, den unteren Bereich der
Entwicklungsflüssigkeitskammer 41 und
dann zurück
zu dem oberen Bereich derselben zur Folge, wodurch die Entwicklungsflüssigkeit
im Inneren dieser Entwicklungsflüssigkeitskammer 41 umgewälzt wird.
Dieser Aufbau ist, was den Hilfstank und die Zirkulationsbahn anbelangt,
bei den übrigen
Kammern völlig gleich.
Deshalb wird der Aufbau der übrigen
Kammern nicht noch einmal beschrieben.
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Die
Stärke
der Flüssigkeitszirkulation
im Inneren der Kammer ist im Allgemeinen durch die Durchsatzleistung
der Zirkulationspumpe bestimmt. In der derzeitigen Ausführungsform
ist die Zirkulationspumpe als eine Pumpe vom Typ mit variabler Fördermenge
ausgelegt, die unter der Steuerung durch die Steuervorrichtung 100 ein
Umschalten ihrer Fördermenge
zwischen einer hohen und einer niedrigen Stufe erlaubt. 5 ist ein Plan dieses Systems
zur Steuerung der Zirkulationsstärke.
Wie aus dieser Figur ersichtlich ist, sind die Kammern 41 bis 47 über entsprechende
Zirkulationsdurchtritte 51 bis 57 jeweils mit
ihren entsprechenden Hilfstanks 41a bis 47a verbunden,
und diese Zirkulationsdurchtritte 51 bis 57 enthalten
eine erste bis siebte Zirkulationspumpe 61 bis 67.
Diese Zirkulationspumpen 61 bis 67 werden mittels
entsprechender Pumpentreiber 102 von der Steuervorrichtung 100 zwischen
den zwei Stufen, dem Zustand einer hoher Fördermenge und dem Zustand einer
geringer Fördermenge,
umgeschaltet. D. h. die Steuervorrichtung 100 und die Pumpentreiber 102 bilden
gemeinsam, unter Verwendung der Zirkulationspumpen 61 bis 67,
die Mittel zur Steuerung der Zirkulationsstärke.
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In
der vorliegenden Ausführungsform
erfolgt das Umschalten der Zirkulationspumpe zwischen der hohen
und der niedrigen Stufe so, dass die Pumpe im Fall eines ersten
Benutzungszustandes, in dem sich ein zu behandelnder Film im Inneren
der entsprechenden Kammer befindet, im Modus starker Zirkulation
be trieben wird, und die Pumpe im Fall eines zweiten Benutzungszustandes,
bei dem sich kein zu behandelnder Film in der entsprechenden Kammer befindet,
im Modus schwacher Zirkulation betrieben wird. Die Erfassung dieser
zwei verschiedenen Zustände
erfolgt durch die Steuervorrichtung 100 unter Verwendung
eines Timers 101. Dieser Timer 101 berechnet einen
Zeitraum, in dem der Film erwartungsgemäß im Inneren der entsprechenden
Kammer verbleibt, auf der Grundlage eines Erfassungssignals von
dem optischen Sensor 10, der ein Benutzungszustandsdetektionsmittel
bildet, wobei der Zeitraum von dem Zeitpunkt an gerechnet wird,
zu dem dieses Erfassungssignal empfangen wird.
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Genauer
wird, wie aus der Darstellung der Ablaufsteuerung der 6 besser verständlich wird, zuerst,
nach Ablauf einer geschätzten
Zeitdauer t1, die sich vom Empfang des Signals vom optischen Sensor 10,
das die Erfassung des Films 2 angibt, bis zum Transport
des Films 2 von der Position des optischen Sensors 10 zu
der Entwicklungsflüssigkeitskammer 41 erstreckt,
ein erster Timer für
die erste Zirkulationspumpe 61 gestartet. Gleichzeitig
zu diesem Start des ersten Timers wird ein Steuersignal mit hohem
Ausgangspegel (high) für
die erste Zirkulationspumpe 61 an den Treiber 102 übermittelt,
so dass die erste Zirkulationspumpe 61 in den Modus starker Zirkulation
geschaltet wird, um die Kammer 41 in einen Zustand starker
Flüssigkeitszirkulation
zu versetzen. Als Nächstes,
nach Ablauf einer geschätzten Zeitdauer
t2, die sich von dem Zeitpunkt, zu dem der Film 2 die Position
des optischen Sensors 10 verlässt, bis zu einer erwarteten
Ankunft dieses in der zweiten Kammer, z. B. der Bleichflüssigkeitskammer 42,
erstreckt, wird ein zweiter Timer für die zweite Zirkulationspumpe 62 gestartet.
Gleichzeitig zu diesem Start des zweiten Timers wird ein Steuersignal
mit hohem Ausgangspegel (high) für
die zweite Zirkulationspumpe 62 an ihren entsprechenden
Treiber 102 übermittelt,
so dass die zweite Zirkulationspumpe 62 in den Modus starker
Zirkulation geschaltet wird, um die Kammer 42 in einen
Zustand starker Flüssigkeitszirkulation
zu versetzen. Mit Ablauf einer geschätzten Zeitdauer t11, die sich
vom Eintreten des vorderen Endes des Films 2 in die Kammer 41 bis
zum erwarteten Austreten des hinteren Endes des Films 2 aus der
Kammer 41 erstreckt, läuft
der erste Timer ab, woraufhin die zeitgesteuerte Ausgabe des Steuersignals
mit hohem Pegel an die erste Zirkulationspumpe 61 beendet
wird und statt dessen ein Ausgabesignal mit niedrigem Pegel an den
Treiber 102 ausgegeben wird, wodurch die Kammer 42 in
einen Zustand schwacher Flüssigkeitszirkulation
versetzt wird. Die übrigen
Zirkulationspumpen 63 bis 67 werden in derselben
Art und Weise wie oben beschrieben betrieben. Deshalb zeigt die
Darstellung der Ablaufsteuerung der 6,
um Redundanz zu vermeiden, nur die zeitliche Steuerung der ersten
und der zweiten Zirkulationspumpe.
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Auf
die oben beschriebenen Art und Weise wird mit dem Eintritt des Films 2 in
jede Kammer die entsprechende Zirkulationspumpe aus dem Modus einer
niedrigen Zirkulations-Förderleistung
in den Modus einer hohen Zirkulations-Förderleistung
umgeschaltet, wodurch die Kammer im Zustand einer starken Flüssigkeitszirkulation
betrieben wird. Außerdem
wird mit dem Austritt des Films 2 aus der Kammer die Zirkulationspumpe
aus dem Modus einer hohen Zirkulations-Förderleistung in den Modus einer niedrigen
Zirkulations-Förderleistung
umgeschaltet, wodurch die Kammer im Zustand einer schwachen Flüssigkeitszirkulation
betrieben wird.
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Die
große
Zirkulationsmenge und die geringe Zirkulationsmenge könnten in
Abhängigkeit
von solchen Faktoren wie etwa dem Fassungsvermögen des Verfahrenstanks 40 oder
von beliebigen anderen Verfahrensbedingungen variieren. Es ist jedoch
experimentell bestätigt
worden, dass dann, wenn ein solcher Faktor wie eine Gleichmäßigkeit
der Qualität der
Entwicklungslösung
zu berücksichtigen
ist, im Allgemeinen die große
Zirkulationsmenge der für
die Durchführung
einer Entwicklungsoperation üblichen Zirkulationsmenge
entsprechen sollte und die geringe Zirkulationsmenge etwa der Hälfte dieser
großen Zirkulationsmenge
entsprechen sollte. Auf jeden Fall bietet das System der Erfindung,
das gezielt für
den Zustand der geringen Zirkulationsmenge sorgt, wenn dies erforderlich
ist, im Vergleich zu dem herkömmlichen
System, das ständig
im Zustand der großen
Zirkulationsmenge arbeitet, den Vorteil, dass die Alterung der Prozessflüssigkeit
durch Oxidieren eingeschränkt
wird.
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Der
Timer ist in Form einer Software vorgesehen, die in einem Mikrocomputer
gespeichert ist, der die Steuervorrichtung 100 bildet,
so dass die geschätzten
Dauern, die weiter oben beschrieben worden sind, einstellbar sind,
um Unterschiede in der Filmlänge,
der Filmtransportgeschwindigkeit und dergleichen zu meistern. Außerdem weist
die Steuervorrichtung 100 einen Schalter für ein durch
eine Leeranweisung oder manuell erzwungenes Setzen entweder des
ersten Benutzungszustandes oder des zweiten Benutzungszustandes
ungeachtet der Anwesenheit/Abwesenheit eines Films im Inneren einer Kammer
auf, so dass eine Zirkulation einer gewünschten Kammer entsprechend
dem Zustand einer großen
oder einer geringen Zirkulationsmenge während eines gewünschten
Zeitraums ermöglicht wird.
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In
der vorangehenden Ausführungsform
wird die Anwesenheit/Abwesenheit eines Films in einer Kammer auf
der Grundlage eines Erfassungssignals von dem optischen Sensor zur
Erfassung des Eintritts eines Films in den Verfahrenstank 40 und
der erwarteten Zeitdauer bestimmt, die danach bis zum Austritt des
Films aus der Kammer gemessen ist. Ein Filmerfassungssensor, der
stattdessen für
jede Kammer vorgesehen ist, fällt
ebenfalls in den Geltungsbereich der vorliegenden Erfindung.
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Ferner
wird in der vorangehenden Ausführungsform
das Umschalten zwischen der großen/geringen
Zirkulationsmenge für
jede einzelne Zirkulationspumpe bewerkstelligt. Stattdessen könnte dieses Umschalten,
wenn erforderlich, nur für
eine oder nur für
einige der Zirkulationspumpen ausgeführt werden.