DE696058C

DE696058C - Vorrichtung zum Einfuehren eines Gases, Dampfes oder Gas-Dampf-Gemisches in einen unter vermindertem Druck stehenden Apparat

Info

Publication number: DE696058C
Application number: DE1937B0179461
Authority: DE
Inventors: Otto Schmidt
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1937-08-04
Filing date: 1937-08-04
Publication date: 1940-09-10

Description

Vorrichtung zum Einführen eines Gases, Dampfes oder Gas-Dampf-Gemisches in einen unter vermindertem Druck stehenden Apparat Die Erfindung bletrifft eine Vorrichtung zum Einführen eines Gases, Dampfes oder Gas-Dampf-Gemisches in einen unter vermmdertem Druck stehenden Apparat unter Verwendung einer porösen Wand in der Gasleitung zum Vakuumapparat, durch die das Gas in den Vakuumapparat eintritt.
Derartige Vorrichtungen bzw. Ventile für Gase, bei denen eine Quecksilbersäule eine waagerecht angeordnete Diffusionsplatte, durch die Gas hindurchtritt, abdeckt, sind bereits bekannt. Diese bekannten Ventile sind aber nicht für eine feine Duckabstufung geeignet. Nach der Erfindung wird dieser Nachteil dadurch behoben, daß in einer Erweiterung des vorzugsweise aus Glas bestehenden Gaszuleitungsrohres ein poröses Rohr, z. B. aus Ton, Porzellan, gesintertem Glas 0. dgl., koaxial so eingeschmolzen ist, daß das Gas nur durch das poröse Rohr in die Erweiterung und ein an diese angesetztes Gasableitungsrohr übertreten kann und daß Adie Höhe einer innerhalb des porösen Rohres verschiebbaren Quecksilbersäule, die dess!enwirksame Diffusionsiläche mehr oder weniger abzudecken gestattet, mit Hilfe -eines Niveaugefäßes eingestellt wird, dessen Raum oberhalb des Quecksilberspiegels durch eine Leitung mit dem Gaszuleitungsrohr in Verbindung steht.
Die neue Vorrichtung kann mit einer Höhenverstelleinrichtung für das Niveaugefäß versehen sein, die durch eine Mikromleter schraube 0. dgl. betätigt wird; sie kann ferner ein mit dem porösen Rohr kommunizierendes Rohr besitzen, das mit seinem oberen freien Ende an die Gaszuleitung oberhalb der porösen Wand angeschlossen ist und den Quecksilberstand an einer Skala abzulesen gestattet. An der Vorrichtung ist ferner eine mit einem Abstellhabn versehene Umgehungsleitung angeordnet, die von der Gaszuleitung zu der Gaslableitung führt.
Die beschriebene Vorrichtung gestattet eine besonders feine und gleichmäßige Regelut der Gaszufuhr in den angeschlossenen Vaknumapparat beliebiger Art, z. B. in Kathodenzerstäubungsapparate oder Apparate zur thermischen Verdampfung oder sonstige chemische oder physikalische Vakuum apparate.
Die Porengröße der porösen Wand kann je nach den zu verwendenden Gasen oder Dämpfen größer oder kleiner gewählt werden. Für leichte Gase, wie Wasserstoff, wird man im allgemeinen feinporöse Diffusionskörper verwenden, während man für Gase oder Dlämpfe mit größeren Molekülen gröbere Porensysteme zur Anwendung bringt: In der Zeichnung ist die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert, und zwar zeigt die Abbildung einen Vertikalschnitt durch den Apparat in schematischer Darstellung.
Dem Vakuumapparat 1, z. B. einer Kathodenzerstäubungskammer, wird aus dem Gasbehälter 2 über das Regelventil 3, das Rohr 4, den porösen Diffusionskörper 5, den erweiterten Raum 6 und die Leitung 7 Gas zugeführt.
8 ist eine Umgehungsleitung mit einem Ventil 9. 10 ist ein kommunizierendes Rohr, ii ein Maßstab, 12 und 13 sind Gummischläuche, Iq ist das Niveaugefäß, 15 das Quecksilber, 16 eine Verstellvorrichtung für das Niveaugefäß mit Mikrometerschraube 17.
I8 ist ein Stativ zum H.alten des Apparates.
Wie aus der Abbildung ersichtlich ist, ist die als Zylinder ausgebildete poröse Wand, z. B. aus gesintertem Glas oder aus Porzellan o. dgl., in den enveiterten Raum 6 an den Stellen 19 und 20 eingeschmolzen. 2I ist eine Vakuumpumpe, die über einen Absperrbahn mit dem Vakuumgefäß I in Verbindung steht.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: I. Vorrichtung zum Einführen eines Gases, Dampfes oder Gas-Dampf-Gemisches in einen unter vermindertem Druck stehenden Apparat unter Verwendung einer porösen Wand in der Gaszuleitung zum Vakuumapparat, durch die das Gas in den Vakuumapparat eintritt, dadurch gekennzeichnet, daß in einer Erweiterung des vorzugsweise aus Glas bestehenden Gaszuleitungsrohres ein poröses Rohr, z. B. aus Ton, Porzellan, gesintertem Glas o dgl., koaxial so eingeschmolzen ist, daß das Gas nur durch das poröse Rohr in die Erweiterung und ein an diese angeletztes Gasableitungsrohr übertreten kann und daß die Höhe einer innerhalb des porösen Rohres verschiebbaren Quecksilbersäule, die dessen wirksame Difusionsfläche mehr oder weniger abzudecken gestattet, mit Hilfe eines Niveaugefäßes eingestellt wird, dessen Raum oberhalb des Quecksilberspiegels durch eine Leitung mit dem Gaszuleitungsrohr in Verbindung steht.
2. Vorrichtung nach Anspruch I, gekennzeichnet durch eine Höhenstellvorrichtung für das Niveaugefäß, die durch eine Mikrometerschraube 0. dgl. betätigt wird.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch ein mit dem porösen Rohr kommunizierendes Rohr, das mit seinem oberen freien Ende an die Gaszuleitung oberhalb des porösen Rohres angeschlossen ist und den Quecksilberstand an einer Skala abzulesen gestattet.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, ge kennzeichnet durch eine mit einem Absperrhahn versehene Umgehungsleitung die von der Gaszuleitung zu der Gasableitung führt.