DE2525311A1 - Verfahren und vorrichtung zur vorbereitung eines massenspektrometer-leckdetektorsystems fuer den betrieb - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur vorbereitung eines massenspektrometer-leckdetektorsystems fuer den betriebInfo
- Publication number
- DE2525311A1 DE2525311A1 DE19752525311 DE2525311A DE2525311A1 DE 2525311 A1 DE2525311 A1 DE 2525311A1 DE 19752525311 DE19752525311 DE 19752525311 DE 2525311 A DE2525311 A DE 2525311A DE 2525311 A1 DE2525311 A1 DE 2525311A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- mass spectrometer
- helium
- air
- pump
- inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
- G01M3/205—Accessories or associated equipment; Pump constructions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
Leckdetektorsysteme mit Massenspektrometern, die darauf abgestimmt
sind, das Vorhandensein eines Prüfgases zu detektieren,
das ein Leck anzeigt, sind bekannt. In der US-Patentschrift 3-690.151 ist ein solches System beschrieben,
bei dem Helium als Prüfgas durch einen Gasprobeneinlass in ein Massenspektrometer über eine Hochvakuumpumpe passiert,
die dem Massenspektrometer zugeordnet ist. Ein detektierbarer
Teil des Helium-Prüfgases passiert durch die Hochvakuumpumpe in Richtung entgegen dem Gasstrom, der vom
Massenspektrometer gepumpt wird. Dieser Rückstrom wird auf die hohe Geschwindigkeit, die geringe Größe und die chemische
Inaktivität der Heliumatome zurückgeführt, wodurch es möglich wird, daß große Zahlen von ihnen der Pumpwirkung der
Hochvakuumpumpe entweichen können. Als Stand der Technik wird in dieser Vorveröffentlichung ein Leckdetektorsystem
beschrieben, bei dem das Helium als Prüfgas zum Massenspektrometer
passiert, ohne stromaufwärts durch eine Hochvakuumpumpe zu gehen.
Die angezeigte Ablesung des Massenspektrometers ergibt einen Hinweis auf das Vorhandensein eines Lecks. Um das beschriebene
System für den Betrieb vorzubereiten, war es deshalb üblich, eine Verbindung zwischen dem Gasprobeneinlass und
einem sogenannten "Standardleck" herzustellen, das aus einem Behälter mit im wesentlichen reinem Heliumgas besteht,
einer für Helium porösen Membrane und einem Ventil, die gemeinsam in der Lage sind, eine kontrollierte Durchflussrate
für Helium zu liefern. Das vom Standardleck in das Massenspektrometer eingeführte Helium wird dazu verwendet, das
Massenspektrometer abzustimmen und zu kalibrieren. Das Problem besteht darin, daß Standardlecks teuer sind, das
gilt insbesondere, wenn sie in einer Größe hergestellt werden,
509851/0422 .../3
die ausreicht, genug Helium dafür zu liefern, ein System abzustimmen, bei dem das Helium stromaufwärts durch eine
Hochvakuumpumpe passieren muss, so daß nur ein Teil desselben das Massenspektrometer erreicht.
Durch die Erfindung soll ein Verfahren und eine Vorrichtung verfügbar gemacht werden, ein Massenspektrometer-Leckdetektorsystem
für den Betrieb vorzubereiten, ohne daß ein aufwendiges Standardleck erforderlich ist, wie das bisher der
Fall war.
Insbesondere soll durch die Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Vorbereitung eines Massenspektrometer-Leckdetektorsystems
für den Betrieb unter Bezugnahme auf den Partialdruck von Helium in Luft verfügbar gemacht
werden.
Die Erfindung soll anhand der Zeichnung näher erläutert werden; es zeigen:
Fig. 1 schematisch ein Leckdetektorsystem nach der Erfindung;
Fig. 2 das in Fig. 1 mit der Linie 2-2 umschlossene Nadelventil; und
Fig. 3 schematisch ein weiteres Leckdetektorsystem nach der Erfindung.
Eine bevorzugte Ausführungsform eines Leckdetektorsystems nach der Erfindung ist schematisch in Fig. 1 dargestellt,
bei dem ein konventionelles Massenspektrometer 1 mit der Einlassöffnung einer konventionellen Öldiffusionspumpe 3
verbunden ist. Der Ausgang der Diffusionspumpe ist mit einer Vorleitung 5 mit einer konventionellen Vorpumpe 8
verbunden. Eine Einlassleitung 10 ist mit der Vorleitung
509851/0422
verbunden. Das obere oder Einlassende der Einlassleitung ist mit einer konventionellen Kupplung 12 versehen. Ein Lufteinlassventil
14 bildet einen Grundaspekt der Erfindung und ist an der Kupplung 12 in Fig. 1 befestigt. Ein konventionelles
Leitungsventil 16 ist in der Einlassleitung angeordnet und ein konventionelles Leitungsventil 18 ist in
der Vorleitung angeordnet, und zwar zwischen der Einlassleitung 10 und der Diffusionspumpe 3. Ein konventionelles
Gesamtdruck-Vakuummanometer 20 ist zwischen den Ventilen und 18 an die Einlassleitung angeschlossen. Ein konventionelles
Gesamtdruck-Vakuummanometer 22 ist mit dem Massenspektrometer 1 verbunden. Eine konventionelle Ableseeinrichtung
wie ein Messinstrument 24 ist mit dem Ausgang des Massenspektrometers verbunden, um das Vorhandensein oder
Fehlen von Helium im Spektrometer anzuzeigen.
Bei Verwendung des Systems gemäß Fig. 1 zum Detektieren von Lecks wird es in der üblichen Weise betrieben, wie im folgenden
beschrieben. Die Vorpumpe 8 wird in Betrieb gesetzt, wobei das Ventil 16 geschlossen und das Ventil 18 geöffnet
ist, bis das System vorgepumpt ist. Dann wird die Hochvakuumpumpe 3, typischerweise eine Diffusionspumpe, in Betrieb
genommen, bis der Gesamtdruck im Massenspektrometer niedrig genug ist, wie durch Manometer 22 angezeigt, um das Massenspektrometer
in Betrieb zu nehmen, und zu diesem Zeitpunkt wird das Massenspektrometer eingeschaltet. Dann wird das
Lufteinlassventil 14 weggenommen, wenn es bereits an Ort und Stelle ist, und die Einlassfitting 12 wird an eine
konventionelle Leckprüfanordnung angeschlossen, wie sie
beispielsweise in dor US-Patentschrift 3.690.151 beschrieben ist. Das Ventil 18 wird dann geschlossen und Ventil 16 geöffnet.
Wenn das Manometer 20 einen Druck unter etwa 0,2 torr anzeigt, wird Ventil 18 geöffnet. Wenn der mit Helium auf
Lecks geprüfte Gegenstand ein Leck hat, tritt Helium-Prüfgas
durch ihn hindurch, und das Vorhandensein von
50985 1/0422
Helium wird am Ausgangsmessinstrument 24 des Massenspektrometer
angezeigt.
Bei der Vorbereitung des Systems nach Fig. 1 vor Beginn des Betriebes zur Prüfung von Prüflingen auf Lecks wird das
Luftventil 14 mit der Einlassfitting 12 verbunden. Wie
näher in Fig. 2 dargestellt ist, besteht das Luftventil aus einem Körper 30 mit einer Lufteinlassöffnung 31 und
einem Kanal 33, mit dem öffnung 31 mit der Einlassleitung des Systems verbunden wird. Die Passage 33 weist einen verengten
Teil 35 auf, der eine sich verjüngende Ventilnadel aufnimmt, so daß ein eng kontrollierbarer verengter Kanal gebildet
wird. Die Ventilnadel 37 ist an einem konventionellen Mikrometer-Antriebsmechanismus 40 befestigt, der in den
Ventilkörper 30 eingeschraubt ist. Wenn der Knopf 42 des Antriebsmechanismus in Drehung versetzt wird, wird die
Ventilnadel 37 vertikal in der Verengung 35 bewegt.
Der Vorgang zur Vorbereitung des Systems vor dem Beginn der Prüfung auf Lecks in Prüflingen ist wie folgt. Das System
wird herabgepumpt, wie das oben für den Leckprüfbetrieb beschrieben
worden ist, bis zu dem Punkt, an dem das Ventil geöffnet wird. Das Luftventil 14 wird an der Kupplung 12
befestigt, wenn es sich nicht bereits dort befindet. Das Nadelventil 14 sollte geschlossen sein, ehe das Ventil
geöffnet wird, um das System gegen einen.zu hohen Luftstrom zu schützen. Der nächste Schritt besteht darin, das Ventil
zu schließen und Ventil 16 zu öffnen, um den Raum zwischen den Ventilen 16 und 14 soweit herabzupumpen, bis ein Gleichgewichtsdruck
erreicht ist, wie das durch Manometer 20 angezeigt wird. Dann wird das Ventil 14 geöffnet und justiert,
bis die Druckablesung an Manometer 20 einen stabilen, bekannten Wert erreicht hat, beispielsweise 0,1 torr. Dann
wird Ventil 18 wieder geöffnet.
50985 1 /0 A22 .../6
Da der Gesamtdruck in Vorleitung 5 jetzt von Manometer bekannt ist, und da es ebenfalls bekannt ist, daß der
Prozentsatz von Helium in atmosphärischer Luft ein Teil auf 200.000 beträgt, kann der Partialdruck des Heliums in der
Vorleitung leicht berechnet werden. Beispielsweise mit einem Gesamtdruck von 0,1 torr in der Vorleitung beträgt
der Helium-Partialdruck in der Vorleitung 1 v η -i +«v.r.
200.000 x U>
' xorr
oder 5,0 χ 10 ' torr. Wie bereits erwähnt worden ist, ist die
Hochvakuumpumpe 3 von einer Art, die Helium erlaubt, in gewissem Maße durch die Pumpe aufwärts zu strömen. Das Kompressionsverhältnis
für Helium für eine solche Pumpe ist bekannt und gewöhnlich einstellbar. Beispielsweise soll von
einer Öldiffusionspumpe bekannt sein, daß sie bei einer
gegebenen Heizereinstellung ein Diffusionsverhältnis von 100 zu 1 für Helium hat. Mit einem solchen Verhältnis ist
es also bekannt, daß der Helium-Partialdruck im Massenspektro-
1 -7 -Q
meter ^q χ 5,0 χ 10 ' oder 5 χ 10 7 torr beträgt. Das ist
ein reichlicher Helium-Partialdruck, mit dem ein konventionelles Massenspektrometer für den Betrieb vorbereitet
werden kann, da es für so kleine Heliummengen empfindlich ist
—1? wie Helium-Partialdruck von 3 χ 10 torr.
Es ist jetzt möglich, das Massenspektrometer "abzustimmen".
Hierbei handelt es sich um eine bekannte, konventionelle Prozedur. Wenn einmal Helium in das Massenspektrometer eingelassen
ist, entweder von einem Standardleck oder durch die Erfindung," besteht das Vorgehen grundsätzlich darin, das
Massenspektrometer so zu justieren, daß es seine maximale Empfindlichkeit für eine Atommasse entsprechend Helium erreicht.
Mit anderen Worten, das Massenspektrometer wird so abgestimmt, daß es die höchstmögliche Ausgangsablesung für
die im Spektrometer vorhandene Heliummenge ergibt. Um das Massenspektrometer abzustimmen, ist es nicht notwendig, den
Partialdruck des Heliums darin zu kennen, es ist lediglich
509851/0422
erforderlich, über eine Heliummenge zu verfügen, die deutlich über der Minimalempfindlichkeit des Spektrometers liegt.
Innerhalb der Grenzen des Massenspektrometers und des Ableseinstruments 24 gilt, daß es umso leichter und genauer abzustimmen
ist, 3e mehr Helium im Massenspektrometer vorhanden ist.
Zusätzlich zu der beschriebenen Verwendung bei der Abstimmung des Massenspektrometers wird durch die Erfindung auch eine
Möglichkeit geschaffen, das Massenspektrometer zu "kalibrieren" Durch die Erfindung wird ein bekannter Partialdruck von
Helium im Massenspektrometer verfügbar gemacht, wie es in Verbindung mit der Abstimmprozedur beschrieben worden ist.
Beispielsweise ist es in Verbindung mit den für den Abstimmvorgang angegebenen Werten bekannt, daß der Helium-Partial-
_Q
druck 5,0 χ 10 ^ torr beträgt. Die Kalibrierung besteht also
einfach darin, das Massenspektrometer-Ausgangs-Anzeigeinstrument
24 so einzustellen, daß es 5,0 χ 10"^ torr anzeigt,
wenn bekannt ist, daß dieser Helium-Partialdruck im Massenspektrometer vorhanden ist. Wenn die Kalibrierung in einem
Raum durchgeführt wird, v/o überschüssiges Helium vorhanden sein kann, sollte die Nadelventil-Einlassöffnung "5Λ mit
relativ reiner Luft verbunden werden. Eine einfache Einrichtung, reine Luft zu erhalten, besteht darin, ein Ende eines
nicht dargestellten flexiblen Schlauches in die Einlassöffnung 31 einzusetzen und das andere Ende des Schlauches
durch die Viand des Raumes zu einem Bereich relativ reiner Luft zu führen, vorzugsweise zur Außenseite des Gebäudes.
Wie oben erläutert worden 1st, ist die bevorzugte Ausführungsform der Erfindung in Fig. 1 dargestellt, wobei das Helium
stromaufwärts durch eine Hochvakuumpumpe 3 passiert. Eine alternative Anordnung ist eine, bei der das Helium in das
Massenspektrometer eingeführt wird, ohne zuerst durch die Hochvakuumpumpe zu passieren. Eine solche alternative Anordnung
ist in Fig. 3 dargestellt, wobei die gleichen Elemente
509851 /0422
wie in Fig. 1 die gleichen Bezugszeichen tragen. Fig. 3 unterscheidet sich von Fig. 1 darin, daß Gas in der Einlassleitung
10 mit dem Massenspektrometer 1 durch eine Zweigeinlassleitung
50 und eine konventionelle Kühlfalle 52 in Verbindung steht. Ein konventionelles Leitungsventil 54
liegt in der Zweigeinlassleitung 50, und ein ähnliches Ventil 56 liegt in der Leitung 10 zwischen Leitung 50 und Leitung 5·
Das System nach Fig. 3 wird zur Vorbereitung oder für den Betrieb im Leckprüfbetrieb in üblicher Weise abgepumpt,
ähnlich wie in Verbindung mit Fig. 1 beschrieben. Genauer gesagt, die Vorpumpe 8 wird gestartet, während die Ventile
und 54 geschlossen sind und die Ventile 18 und 56 geöffnet. Dann wird die Pumpe 8 in Betrieb gesetzt, um einen Druck von
etwa 0,2 torr an Manometer 20 zu erhalten. Anschließend wird die Pumpe 3 in Betrieb gesetzt, bis der Gesamtdruck im
Massenspektrometer niedrig genug 1st, was durch Manometer angezeigt ist, um das Massenspektrometer in Betrieb zu
setzen, und zu diesem Zeitpunkt wird das Massenspektrometer eingeschaltet. Zur Vorbereitung des Systems wird das Luftventil
14 auf Fitting 12 gesetzt und geschlossen. Dann wird das Ventil 18 geschlossen und Ventil 16 geöffnet, um den
Raum zwischen ihm und Ventil 14 abzupumpen, bis das Ventil wieder 0,2 torr anzeigt. Als nächstes wird Ventil 18 wieder
geöffnet und Ventil 56 geschlossen. Dann wird Ventil 54 geöffnet. Zu diesem Zeitpunkt sollte der Gesamtdruck im
Massenspektrometer im Bereich von 10 torr liegen.
Als nächstes kann Ventil 14 langsam geöffnet werden. Da der
Luftdruck in modernen Massenspektrometern etwa 2,0 χ 10 torr nicht übersteigen soll, sollte das Luftventil 14 nicht über
den Betrag hinaus geöffnet werden, der ausreicht, diesen Druck zu erzielen, wie das mit Manometer 22 angezeigt wird.
Unter der Annahme, daß Ventil 14 so eingestellt wird, daß ein Gesamtdruck von 2,P χ 10" torr im Massenspektrometer aufrechterhalten
wird, beträgt der Partialdruck des Heliums im
509851/0422
-4 1
Massenspektrometer 2,0 χ 10 torr χ (Heliumanteil in Luft) oder 1,0 χ 10~y torr. Da das Helium nicht stromaufwärts
durch die Hochvakuumpumpe 3 in Fig. 3 passiert, wird der Helium-Partialdruck im Massenspektrometer gegenüber dem in
Einlassleitung 10 vorhandenen Wert nicht reduziert. Kalibrieren und Abstimmen erfolgen beim System nach Fig. 3 in
der gleichen Weise wie beim System nach Fig. 1, nur daß der bekannte Partialdruck des Heliums im Massenspektrometer beim
System nach Fig. 3 kleiner ist. Der Grund, warum ein höherer Partialdruck des Heliums mit dem System nach Fig. 1 erreicht
werden kann, ohne daß ein schädlicher hoher Gesamtdruck im Massenspektrometer erreicht wird, besteht darin,
daß Helium leichter als die anderen Elementenbestandteile der Luft stromaufwärts durch die Pumpe 3 passieren kann.
Es sind verschiedene Abweichungen von den beschriebenen Ausführungsbeispielen
innerhalb der Erfindung möglich. Beispielsweise kann das Luftventil ,so eingestellt werden, daß
Luft zugelassen wird,- um Gesamtdrucke und Helium-Partialdrucke zu erreichen, die sich von den oben angegebenen
Vierten unterscheiden, solange nicht zugelassen wird, daß sich der Gesamtdruck im Massenspektrometer auf einen Wert
einstellt, der das Massenspektrometer schädigt, und der Partialdruck des Heliums im Massenspektrometer hoch genug
ist, um vom Massenspektrometer detektiert zu werden.
509851/0422
Claims (8)
1. Verfahren zur Vorbereitung eines Massenspektrometer-Leckdetektorsystems
für den Prüfbetrieb auf Lecks, dadurch gekennzeichnet, daß im Massenspektrometer ein
reduzierter Druck aufgebaut wird und dann atmosphärische Luft in das System derart eingeführt wird, daß im
Massenspektrometer ein Partialdruck des Heliums in der Luft aufgebaut wird, der ausreicht, um vom Massenspektrometer
detektiert zu werden, während die Einführung der Luft in einer Menge, die das Massenspektrometer beschädigen
würde, verhindert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Helium in der in das System eingeführten Luft stromaufwärts
durch eine Diffusionspumpe passiert, um das Massenspektrometer zu erreichen.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß Helium in der in das System eingeführten Luft zum Massenspektrometer durch eine Pumpe passiert, die weniger
effektiv beim Pumpen von Helium ist, als sie es beim Pumpen anderer Luftbestandteile ist.
4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,
daß das Massenspektrometer mit dem darin vorhandenen Helium abgestimmt wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß der Partialdruck des Heliums im Massenspektrometer auf der Basis des Heliumvorkommens
in Luft im Verhältnis von 1 Teil Helium pro 200.000 Teile Luft bestimmt wird.
50 9 851/0422
-Ag-
AA
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Massenspektrometer auf der Basis des bestimmten
Partialdruckes des darin vorhandenen Heliums kalibriert wird.
7. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch eine Einrichtung,
mit der Luft in das System zur Passage zum Massenspektrometer in einer Menge eingeführt wird, die
ausreicht, im Massenspektrometer einen Partialdruck des Heliums oberhalb der Minimalempfindlichkeit des Massenspektrometer
für Helium zu erzeugen, während verhindert wird, daß der Gesamtdruck im Massenspektrometer den
oberen Grenzwert des Massenspektrometer übersteigt.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7 mit einer Diffusionspumpe, deren Einlass mit dem Massenspektrometer verbunden ist,
einer Vorpumpe, einer Vorleitung, die zwischen dem Auslass der Diffusionspumpe und dem Einlass der Vorpumpe liegt,
und einer Einlassleitung, die mit der Vorleitung verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß ein einstellbares
Nadelventil mit dem Einlassende der Einlassleitung verbunden ist, daß das Nadelventil einen Einlass aufweist,
der mit der Atmosphäre in Verbindung steht, und einen Auslass, der mit der Einlassleitung in Verbindung
steht, daß das Nadelventil so einstellbar ist, daß in der Vorleitung ein Gesamtluftdruck von 0,1 torr erzeugt
wird, wenn die Vorpumpe arbeitet, und daß die Einlassleitung derart aufgebaut ist, daß durch das
Nadelventil hindurchtretendes Gas nur durch Durchtritt durch die Diffusionspumpe in das Massenspektrometer
eintreten kann.
509851 /0422
Leerseite
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US05/477,248 US3968675A (en) | 1974-06-07 | 1974-06-07 | Method and apparatus for preparing a mass spectrometer leak detector system for operation |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2525311A1 true DE2525311A1 (de) | 1975-12-18 |
Family
ID=23895140
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19752525311 Withdrawn DE2525311A1 (de) | 1974-06-07 | 1975-06-06 | Verfahren und vorrichtung zur vorbereitung eines massenspektrometer-leckdetektorsystems fuer den betrieb |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3968675A (de) |
DE (1) | DE2525311A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008064964A1 (de) * | 2006-11-29 | 2008-06-05 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksuchgerät |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2452699A1 (fr) * | 1979-03-28 | 1980-10-24 | Cit Alcatel | Dispositif de reniflage pour detecteur de fuites a helium a spectrometre de masse |
DE2917255A1 (de) * | 1979-04-27 | 1980-11-13 | Bayer Ag | Rissanzeigeeinrichtung zur ueberwachung der isolierung von fluessiggastanks |
US4399690A (en) * | 1979-12-04 | 1983-08-23 | Varian Associates, Inc. | Vacuum leak detector having single valve assembly |
FR2475728A1 (fr) * | 1980-02-11 | 1981-08-14 | Cit Alcatel | Detecteur de fuites a helium |
FR2532424A1 (fr) * | 1982-08-27 | 1984-03-02 | Cit Alcatel | Dispositif de mesure et d'affichage du taux q de fuite pour un detecteur de fuites a gaz traceur |
US4534204A (en) * | 1983-06-01 | 1985-08-13 | Martin Marietta Corporation | Calibration method for ultra sensitive noble gas leak detector |
US4499752A (en) * | 1983-06-22 | 1985-02-19 | Varian Associates, Inc. | Counterflow leak detector with cold trap |
US4558587A (en) * | 1984-08-29 | 1985-12-17 | Varian Associates, Inc. | Ball-type vacuum valve for leak detection apparatus |
US4785666A (en) * | 1986-12-19 | 1988-11-22 | Martin Marietta Corporation | Method of increasing the sensitivity of a leak detector in the probe mode |
US4813268A (en) * | 1987-03-23 | 1989-03-21 | Superior Industries International, Inc. | Leakage detection apparatus for drum wheels and method therefore |
US5010761A (en) * | 1990-03-01 | 1991-04-30 | Superior Industries International, Inc. | Automated leak detection apparatus and method therefor |
US5237175A (en) * | 1992-02-26 | 1993-08-17 | Varian Associates, Inc. | Reagent gas control for an ion trap mass spectrometer used in the chemical ionization mode |
JPH0674855A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-03-18 | Hitachi Bill Shisetsu Eng Kk | 真空漏洩検出方法、および同装置 |
DE4228148A1 (de) * | 1992-08-25 | 1994-03-03 | Leybold Ag | Vakuum-Lecksuchgerät für die Testgaslecksuche mit leichten Gasen |
DE4228313A1 (de) * | 1992-08-26 | 1994-03-03 | Leybold Ag | Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe |
SE502355C2 (sv) * | 1994-02-17 | 1995-10-09 | Hans Stymne | Sätt jämte anordning för att avge små mängder gas från ett ämne i kondenserad form till omgivningen med kontrollerbar hastighet |
DE9405028U1 (de) * | 1994-03-24 | 1994-06-09 | Leybold AG, 50968 Köln | Testgas-Lecksuchgerät |
ES2192568T3 (es) * | 1994-12-23 | 2003-10-16 | Unaxis Balzers Ag | Procedimiento para el analisis de gases y analizador de gases. |
US6964187B2 (en) * | 2001-03-20 | 2005-11-15 | Mykrolis Corporation | Vacuum sensor |
US10229824B2 (en) * | 2013-03-11 | 2019-03-12 | 1St Detect Corporation | Chemical analysis instrument with multi-purpose pump |
US10094381B2 (en) | 2015-06-05 | 2018-10-09 | Agilent Technologies, Inc. | Vacuum pump system with light gas pumping and leak detection apparatus comprising the same |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2486199A (en) * | 1945-09-10 | 1949-10-25 | Univ Minnesota | Method and apparatus for determining leaks |
US3690151A (en) * | 1968-07-25 | 1972-09-12 | Norton Co | Leak detector |
US3626760A (en) * | 1969-07-16 | 1971-12-14 | Varian Associates | Leak detection cyclic pumping control |
US3616680A (en) * | 1969-10-27 | 1971-11-02 | Sargent Welch Scientific Co | Leak detector |
US3762212A (en) * | 1971-07-15 | 1973-10-02 | Advanced Technologies Inc | Leak testing apparatus and methods |
-
1974
- 1974-06-07 US US05/477,248 patent/US3968675A/en not_active Expired - Lifetime
-
1975
- 1975-06-06 DE DE19752525311 patent/DE2525311A1/de not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008064964A1 (de) * | 2006-11-29 | 2008-06-05 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksuchgerät |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US3968675A (en) | 1976-07-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2525311A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur vorbereitung eines massenspektrometer-leckdetektorsystems fuer den betrieb | |
DE69228724T2 (de) | Kalibrierungssystem für die Analyse von ultrahoch reinen Gasen | |
DE2926112A1 (de) | Testleck-sonde | |
EP0432305A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Leckprüfung | |
EP0242684B1 (de) | Lecksuchgerät mit Detektor und Testleck | |
DE102009010064A1 (de) | Schnüffellecksucher | |
DE2928336B1 (de) | Leckraten-Messeinrichtung | |
CH688424A5 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Dichtigkeitspruefung von Gehaeusen. | |
DE4339589C1 (de) | Verfahren und Einrichtung zum Prüfen von Filterelementen durch einen Wasserintrusionstest | |
DE69103499T2 (de) | Hochleistungsleckdetektor mit drei Molekularfiltern. | |
DE102016007825A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung der Qualität von gasförmigen Medien | |
DE69819493T2 (de) | Verfahren zum prüfen von tanks | |
DE1473363A1 (de) | Verfahren zur serienmaessigen Pruefung kleiner,geschlossener,gasgefuellter Behaelter | |
DE2201520C3 (de) | Gerät zum Feststellen von Lecks an hohlen Werkstücken | |
DE2702002A1 (de) | Fluessiggas-testleck | |
DE69223380T2 (de) | Verfahren zur Messung des augenblicklichen Feuchtigkeitsgehaltes von einem Gas und zur Feststellung der Änderungen der Luftfeuchtigkeit in einem Raum | |
DE69927603T2 (de) | Druckquelle mit relativer druckerhöhung und verfahren zur diagnose von sicherheitsventilen gegen über- oder unterdruck | |
DE4013373C1 (en) | Pneumatic method ascertaining vol. of hollow chamber - subjecting sample to pressure corresp. to atmos. for comparison with reference vol. in reference vessel | |
Buhl et al. | Avoiding systematic errors in measuring the pumping speed of high vacuum pumps | |
DE102004030766B4 (de) | Prüfsystem und Verfahren zur Messung der Dichtheit von Handschuhen, insbesondere in pharmazeutischen Anlagen | |
DE1211003B (de) | Einlasssystem fuer Massenspektrometer mit Probezufuehrung ueber eine Kapillare mit Drosselstelle und ein Einlassventil, mit Mitteln zur Vermeidung eines Druckstosses beim OEffnen des Ventils | |
DE2135751C3 (de) | Verfahren zur integralen Dichtigkeitsbestimmung | |
DE2553813A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum messen von rauhigkeiten | |
DE1145815B (de) | Messanordnung zur fortlaufenden digitalen Messung von Gasmengen | |
DE102017217374A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Unterscheidung eines aus einem Leck austretenden Prüfgases von Störgas |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8141 | Disposal/no request for examination |