DE69416654T2 - Vibrationskreisel - Google Patents

Vibrationskreisel

Info

Publication number
DE69416654T2
DE69416654T2 DE69416654T DE69416654T DE69416654T2 DE 69416654 T2 DE69416654 T2 DE 69416654T2 DE 69416654 T DE69416654 T DE 69416654T DE 69416654 T DE69416654 T DE 69416654T DE 69416654 T2 DE69416654 T2 DE 69416654T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
circuit board
vibrator
cover
work
vibrating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69416654T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69416654D1 (de
Inventor
Jyunichi Hashimoto
Yoshiaki Heinouchi
Kiyoshi Iwai
Tsuguji Kanbayashi
Yoshio Kawai
Akira Kumada
Atushi Morikawa
Takeshi Nakamura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP5321843A external-priority patent/JPH07174567A/ja
Priority claimed from JP6060250A external-priority patent/JPH07243857A/ja
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Publication of DE69416654D1 publication Critical patent/DE69416654D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69416654T2 publication Critical patent/DE69416654T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5642Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
    • G01C19/5663Manufacturing; Trimming; Mounting; Housings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Description

    Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Vibrationsgyroskop und insbesondere auf ein Vibrationsgyroskop, das bei einem Navigationssystem verwendet wird, das die Position eines mobilen Gegenstands erfaßt, in dem die Rotationswinkelgeschwindigkeit erfaßt wird, und das dasselbe korrekt führt, oder das bei einem System zum Dämpfen einer Schwingung eingesetzt wird, wie z. B. bei einem Gerät zum Schutz vor einem ungleichmäßigen Halten, welches eine externe Schwingung erfaßt und dieselbe korrekt dämpft, oder dergleichen.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Ein bekanntes Vibrationsgyroskop ist beispielsweise in dem U.S. Patent Nr. 5,345,822 offenbart. Fig. 10 ist eine Schnittansicht, die ein bekanntes Vibrationsgyroskop zeigt, während Fig. 11 eine perspektivische Explosionsansicht desselben ist, und während Fig. 12 eine perspektivische Explosionsansicht ist, die einen wesentlichen Teil desselben darstellt.
  • Das in den Fig. 10 bis 12 gezeigte Vibrationsgyroskop 200 umfaßt einen Schwinger 202. Der Schwinger 202 umfaßt beispielsweise einen gleichmäßig dreieckigen prismenförmigen Schwingkörper 204. Piezoelektrische Elemente 206a, 206b und 206c sind mit Mittenabschnitten von drei Seitenflächen des Schwingkörpers 204 jeweils verbunden. Diese piezoelektrischen Elemente 206a-206c umfassen piezoelektrische Schichten, die beispielsweise aus Keramik bestehen, wobei auf beiden Oberflächen der piezoelektrischen Schichten jeweils Elektroden gebildet sind.
  • Der Schwinger 202 wird beispielsweise durch zwei U-förmige Trägerbauglieder 208a und 208b getragen. In diesem Fall sind Mittenabschnitte der Trägerbauglieder 206a und 206b an Abschnitten einer Gratlinie des Schwingkörpers 204 befestigt. Beide Endabschnitte der Trägerbauglieder 208a und 208b sind an Befestigungsplatinen 210a bzw. 210b befestigt. Diese Befestigungsplatinen 210a und 210b sind auf einer Hauptoberfläche einer Arbeitsplatte 214 über Dämpfungsbauglieder 212a und 212b befestigt. Die Arbeitsplatte 204 ist auf einer Hauptoberfläche einer Schaltungsplatine 220 über ein Dämpfungsbauglied 216, Zuführungsanschlüsse 218 usw. eingebaut. Ferner ist eine Arbeitsabdeckung 222 mit der Arbeitsplatte 214 in Eingriff, um den Schwinger 202 usw. zu bedecken.
  • Der Schwinger 202 usw. ist in einem Gehäuse 224 enthalten. In diesem Fall sind die anderen Dämpfungsbauglieder 226 und 228 um und über die Arbeitsabdeckung 222 in dem Gehäuse 224 vorgesehen. Die Schaltungsplatine 220 ist angebracht, um das Gehäuse 224 zu berühren.
  • Eine Schwingschaltung (nicht gezeigt) ist zwischen die piezoelektrischen Elemente 206a und 206b und das piezoelektrische Element 206c geschaltet. Durch die Schwingschaltung biegt sich und schwingt der Schwingkörper 204 in einer Richtung senkrecht zu der Hauptoberfläche des piezoelektrischen Elements 206c. Wenn in diesem Zustand eine Rotation um eine Achse des Schwingkörpers 204 angelegt wird, wird die Schwingrichtung des Schwingkörpers 204 durch die Coriolis- Kraft verändert, wodurch eine Differenz in den Ausgangsspannungen der piezoelektrischen Elemente 206a und 206b erzeugt wird. Somit kann durch Messen der Differenz zwischen den Ausgangsspannungen die Drehwinkelgeschwindigkeit, die an das Vibrationsgyroskop angelegt ist, erfaßt werden.
  • Bei dem in den Fig. 10 bis 12 gezeigten Vibrationsgyroskop 200 wird, da die Dämpfungsbauglieder 216, 226, und 228 um den Schwinger 302 herum angeordnet sind, eine Schwingung von außen durch diese Dämpfungsbauglieder 216, 226 und 228 ab sorbiert, wobei die Schwingung von außen kaum auf den Schwinger 202 übertragen wird. Somit ist bei dem Vibrationsgyroskop 200 die Charakteristik gegen die Schwingung von außen stabil.
  • Bei dem in den Fig. 10 bis 12 gezeigten Vibrationsgyroskop 200 wird jedoch, da der Schwinger 202 durch die Schaltungsplatine 220 getragen wird, und da die Schaltungsplatine 220 das Gehäuse 224 berührt, ein Stoß von außen, wie z. B. ein Fallen, über die Schaltungsplatine 220 usw. an den Schwinger 202 angelegt.
  • Da bei dem in den Fig. 10 bis 12 gezeigten Vibrationsgyroskop 200 der Schwinger 202 durch das Dämpfungsbauglied 216, die Führungsanschlüsse 218 usw. lose an der Schaltungsplatine 220 angebracht ist, wird, wenn ein Stoß an den Schwinger 202 angelegt wird, eine plastische Verformung, wie z. B. ein Verdrehen, ohne weiteres zwischen dem Schwinger 202 und der Schaltungsplatine 220 beispielsweise bezüglich der Dämpfungsbauglieder 216 oder der Führungsanschlüsse 218 erzeugt. Wenn eine plastische Verformung zwischen dem Schwinger 202 und der Schaltungsplatine 220 erzeugt wird, verändert sich die Charakteristik.
  • Somit verändert sich bei dem Vibrationsgyroskop, das in den Fig. 10 bis 12 gezeigt ist, die Charakteristik sehr wahrscheinlich, wenn ein Stoß von außen, wie z. B. ein Fallen, auftritt.
  • Da bei dem in den Fig. 10 bis 12 gezeigten Vibrationsgyroskop 200 die Arbeitsabdeckung 222 nur mit der Arbeitsplatte 214 in Eingriff ist, bewegt sich die Arbeitsabdeckung 222 oder entfernt sich dieselbe sogar, wenn eine Schwingung oder ein Stoß angelegt wird. In diesem Fall wird die Trägheitskraft des Schwingers 202 an Abschnitte angelegt, an denen der Schwinger 202 an den Trägerbaugliedern 208a und 208b angebracht ist, wodurch die Trägerbauglieder 208a und 208b plastisch verformt werden, woraufhin die Tragewirkung für den Schwinger 202 instabil wird. Folglich kann keine stabile Schwingung des Schwingers 202 erhalten werden, weshalb keine gute Empfindlichkeitscharakteristik möglich ist.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Es ist daher ein Hauptziel der vorliegenden Erfindung, ein Vibrationsgyroskop zu schaffen, bei dem die Charakteristik stabil gegenüber einem Stoß von außen, wie z. B. einem Fallen, ist.
  • Ein Vibrationsgyroskop gemäß der vorliegenden Erfindung, wie es in Anspruch 1 definiert ist, umfaßt einen Schwinger, eine Schaltungsplatine zum Tragen des Schwingers, ein Gehäuse zum Aufnehmen des Schwingers und der Schaltungsplatine in sich, und ein Dämpfungsbauglied, das zwischen der Schaltungsplatine und dem Gehäuse vorgesehen ist, wobei die Schaltungsplatine das Gehäuse nicht berührt.
  • Das Vibrationsgyroskop gemäß der vorliegenden Erfindung kann ferner eine Arbeitsabdeckung umfassen, die um den Schwinger herum vorgesehen ist, die an der Schaltungsplatine angebracht ist, und die in dem Gehäuse enthalten ist, wobei das Dämpfungsbauglied zwischen der Schaltungsplatine, der Arbeitsabdeckung und dem Gehäuse vorgesehen sein kann.
  • Durch das Dämpfungsbauglied wird bei dem Vibrationsgyroskop gemäß der vorliegenden Erfindung ein Stoß von außen, wie z. B. ein Fallen, absorbiert. Somit besteht nur eine geringe Wahrscheinlichkeit, daß ein Stoß von außen an die Schaltungsplatine und den Schwinger angelegt wird.
  • Durch die Arbeitsabdeckung wird eine Verschiebung des Schwingers gegenüber der Schaltungsplatine eingeschränkt. Selbst wenn somit ein Stoß an den Schwinger angelegt wird, wird zwischen dem Schwinger und der Schaltungsplatine kaum eine plastische Verformung erzeugt.
  • Da gemäß der vorliegenden Erfindung ein Stoß von außen, wie z. B. ein Fallen, kaum an den Schwinger angelegt wird, wird kaum eine plastische Verformung zwischen dem Schwinger und der Schaltungsplatine erzeugt. Somit ist bei dem Vibrationsgyroskop gemäß der vorliegenden Erfindung die Charakteristik gegenüber einem Stoß von außen, wie z. B. einem Fallen, stabil.
  • Bei dem Vibrationsgyroskop gemäß der vorliegenden Erfindung ist ferner die Charakteristik gegenüber einem großen Stoß von außen stabil, wenn dasselbe außerdem die Arbeitsabdeckung umfaßt, da kaum eine plastische Verformung zwischen dem Schwinger und der Schaltungsplatine erzeugt wird, selbst wenn ein Stoß an den Schwinger angelegt wird.
  • Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Vibrationsgyroskop zu schaffen, bei dem ein Trägerbauglied nicht aufgrund einer Schwingung oder eines Stoßes verformt wird, wodurch folglich eine stabile Schwingung und eine gute Empfindlichkeitscharakteristik erhalten werden können.
  • Ein weiteres Vibrationsgyroskop gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt einen Schwinger, einer Arbeitsabdeckung, die um den Schwinger herum eingebaut ist, eine Arbeitsplatte, die um den Schwinger herum eingebaut ist, und eine Schaltungsplatine, an der die Arbeitsabdeckung und die Arbeitsplatte befestigt sind.
  • Noch ein weiteres Vibrationsgyroskop gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt einen Schwinger, eine Arbeitsabdeckung, die um den Schwinger herum eingebaut ist, eine Arbeitsplatte, die um den Schwinger herum eingebaut ist und an der die Arbeitsabdeckung befestigt ist, und eine Schaltungsplatine, an der die Arbeitsplatte befestigt ist.
  • Bei einem weiteren Vibrationsgyroskop und bei noch weiteren Vibrationsgyroskopen gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Arbeitsabdeckung nicht bewegt oder kann sich nicht entfernen, da die Arbeitsplatte an der Schaltungsplatine befestigt ist, und da die Arbeitsabdeckung an der Schaltungsplatine oder der Arbeitsplatte befestigt ist.
  • Da gemäß der vorliegenden Erfindung die Arbeitsabdeckung nicht bewegt wird oder sich nicht entfernen kann, selbst wenn die Trägheit des Schwingers durch eine Schwingung oder einen Stoß an einen Abschnitt angelegt wird, an dem der Schwinger auf dem Trägerbauglied eingebaut ist, ist es möglich, eine plastische Verformung des Trägerbauglieds zu verhindern. Folglich kann eine stabile Schwingung des Schwingers erhalten werden, und zudem kann ein Vibrationsgyroskop mit guter Empfindlichkeitscharakteristik erhalten werden.
  • Die obigen und weitere Ziele, Merkmale, Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung der Ausführungsbeispiele bezugnehmend auf die beigefügten Zeichnungen offensichtlicher.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Fig. 2 ist eine Schnittansicht des in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiels.
  • Fig. 3 ist eine perspektivische Explosionsansicht des in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiels.
  • Fig. 4 ist ein Schaltungsdiagramm des in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiels.
  • Fig. 5 ist eine perspektivische Explosionsansicht, in der ein wesentlicher Abschnitt des in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiels gezeigt ist.
  • Fig. 6 ist eine perspektivische Explosionsansicht, in der ein wesentlicher Abschnitt eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung gezeigt ist.
  • Fig. 7 ist eine Ansicht von vorne, die einen wesentlichen Abschnitt des in Fig. 6 gezeigten Ausführungsbeispiels zeigt.
  • Fig. 8 ist eine perspektivische Explosionsansicht, in der ein wesentlicher Abschnitt noch eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung gezeigt ist.
  • Fig. 9 ist eine Ansicht von vorne, die einen wesentlichen Abschnitt des in Fig. 8 gezeigten Ausführungsbeispiels zeigt.
  • Fig. 10 ist eine Schnittansicht, in der ein bekanntes Vibrationsgyroskop gezeigt ist.
  • Fig. 11 ist eine perspektivische Explosionsansicht des in Fig. 10 gezeigten Vibrationsgyroskops.
  • Fig. 12 ist eine perspektivische Explosionsansicht, in der ein wesentlicher Abschnitt des in Fig. 10 gezeigten Vibrationsgyroskops gezeigt ist.
  • Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele
  • Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht, in der ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gezeigt ist. Fig. 2 ist eine Schnittansicht desselben. Fig. 3 ist eine perspektivische Explosionsansicht desselben. Fig. 4 ist ein Schaltungsdiagramm desselben. Fig. 5 ist eine perspektivische Explosionsansicht, in der ein wesentlicher Abschnitt desselben gezeigt ist.
  • Ein Vibrationsgyroskop 10 umfaßt einen Schwinger 12. Der Schwinger 12 umfaßt beispielsweise einen gleichmäßigen dreieckigen prismenförmigen Schwingkörper 14, wie es besonders in Fig. 5 gezeigt ist. Der Schwingkörper 14 ist aus einem konstant elastischen Metallmaterial, wie z. B. Nickel, Eisen, Chrom, Titan oder ihren Legierungen, wie z. B. Elinvar, einer Eisen-Nickel-Legierung, gebildet. Der Schwingkörper 14 kann aus einem Material gebildet sein, welches im allgemeinen eine mechanische Schwingung erzeugt, wie z. B. Quarz, Glas, Kristall, Keramik neben Metall.
  • Wie es besonders in Fig. 4 gezeigt ist, sind die piezoelektrischen Elemente 16a, 16b und 16c an Mittenabschnitten der drei Seitenflächen des Schwingkörpers 14 jeweils befestigt. Diese piezoelektrischen Elemente 16a-16c umfassen jeweils piezoelektrische Schichten 18, die beispielsweise aus Keramik bestehen, wobei auf beiden Oberflächen der piezoelektrischen Schichten 18 jeweils Elektroden 20a und 20b gebildet sind. Die drei Elektroden 20a auf einer Hauptoberfläche der piezoelektrischen Elemente 16a-16c sind mit den Seitenflächen des Schwingkörpers 16 beispielsweise mittels eines Klebstoffs verbunden. Bei dem Ausführungsbeispiel werden die zwei piezoelektrischen Elemente 16a und 16b zum Treiben verwendet, um eine Schwingung zu erzeugen, und dieselben treiben den Schwingkörper 14, und sie werden zum Erfassen verwendet, um eine Verschiebung des Schwingkörpers 14 zu erfassen, während das andere piezoelektrische Element 14c zur Rückkopplung verwendet wird, um ein Treibersignal zu den zwei piezoelektrischen Elementen 16a und 16b rückzukoppeln. Wie es besonders in Fig. 2 und Fig. 5 gezeigt ist, sind die zwei Trägerbauglieder 22a und 22b an dem Schwinger 12 befestigt. Jedes der Trägerbauglieder ist beispielsweise in einer U-Form aus einem Metalldraht gebildet. Mittenabschnitte der Trägerbauglieder 22a und 22b sind an Abschnitten einer Firstlinie des Schwingkörpers 14 zwischen den zwei pie zoelektrischen Elementen 16a und 16b befestigt. In diesem Fall sind die Trägerbauglieder 22a und 22b in der Nähe von Knotenpunkten des Schwingkörpers 14 befestigt, um die Schwingung des Schwingkörpers 14 nicht negativ zu beeinträchtigen. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Trägerbauglieder 22a und 22b an Positionen befestigt, die um 0,224 L von beiden Enden des Schwingkörpers 14 entfernt sind, wobei L die Länge des Schwingkörpers 14 darstellt.
  • Obwohl die Trägerbauglieder 22a und 22b an dem Schwingkörper 14 beispielsweise durch Verbinden mit einem Klebstoff, durch Löten oder Schweißen befestigt sind, wird, wenn sie durch Löten oder Schweißen befestigt sind, unter Berücksichtigung der Stärke des Trägerbauglieds und der Lötbarkeit und Schweißbarkeit des Trägerbauglieds an den Schwingkörper bevorzugt, das Trägerbauglied aus einem Draht zu bilden, wobei ein Metalldraht mit hoher Stärke, wie z. B. Molybdän, Wolfram oder dergleichen, mit einem Material bedeckt wird, das eine gute Lötbarkeit und eine gute Schweißbarkeit aufweist, wie z. B. Nickel, Platin, Gold, Silber, Kupfer, rostfreier Stahl, Eisen oder dergleichen.
  • Beide Endabschnitte der Trägerbauglieder 22a und 22b sind jeweils beispielsweise an rechteckigen Befestigungsplatinen 24a und 24b befestigt, die aus einem isolierten Material bestehen. Das heißt, daß in der Befestigungsplatine 24a zwei Löcher 26 gebildet sind, wobei die weiteren zwei Löcher 26 auf der anderen Trägerplatine 24b gebildet sind. Beide Endabschnitte des Trägerbauglieds 22a werden durch die zwei Löcher 26 der Befestigungsplatine 24a eingeführt und an einer Strukturelektrode (nicht gezeigt) auf der Befestigungsplatine 24a gelötet. Auf ähnliche Art und Weise werden beide Endabschnitte des anderen Trägerbauglieds 22b durch die zwei Löcher 26 der anderen Befestigungsplatine 24b eingeführt und an einer Strukturelektrode (nicht gezeigt) auf der Befestigungsplatine 24b gelötet.
  • Enden der vier Führungsanschlüsse 28a, 28b, 28c und 28d, die beispielsweise L-förmig sind, sind an der Befestigungsplatine 24b in Intervallen befestigt. In diesem Fall sind die Führungsanschlüsse 28a-28d derart befestigt, daß sich die anderen Enden nach unten erstrecken. Die drei Elektroden 20b auf der anderen Hauptoberfläche der drei piezoelektrischen Elemente 16a-16c des Schwingers 12 sind mit den Führungsanschlüssen 28a-28d durch Führungsdrähte (nicht gezeigt) jeweils elektrisch angeschlossen. Das Trägerbauglied 22b ist mit dem anderen Führungsanschluß 28d durch eine Strukturelektrode (nicht gezeigt) auf der Befestigungsplatine 24b befestigt.
  • Die Befestigungsplatinen 24a und 24b sind durch Dämpfungsbauglieder 30a und 30b an Intervallen auf einer Hauptoberfläche der beispielsweise rechteckigen Arbeitsplatte 32 verbunden. Jedes der Dämpfungsbauglieder 30a und 30b ist aus einem Material gebildet, das aus Gummi besteht, wie z. B. Ethylen-Propylen-Gummi, Silikongummi oder Butyl-Gummi, oder aus einem synthetischen Harz, wie z. B. Urethan, welches geschäumt ist, derart, daß jeweilige Zellen des Schaums nicht zusammenhängen oder daß in geschlossenen Zellen geschäumt ist.
  • Flansche 34 mit beispielsweise L-förmigem Querschnitt sind an Mittelabschnitten auf beiden Seiten der Arbeitsplatte 32 jeweils gebildet. Haltebauglieder 36, die sich nach unten erstrecken, sind an beiden Enden der beiden Seiten der Arbeitsplatte 32 jeweils gebildet. Vorstände 38, die nach außen vorstehen, sind an Mittelabschnitten der Haltebauglieder 36 jeweils gebildet. Beinbauglieder 40, die sich nach unten erstrecken, sind jeweils an beiden longitudinalen Enden der Arbeitsplatte 32 gebildet. Vorstände 42, die sich nach unten erstrecken, sind an unteren Enden der Beinbauglieder 40 jeweils gebildet. Die Arbeitsplatte 32 ist aus einem Material mit Magnetismus und Leitfähigkeit, wie z. B. aus Eisen, das mit Lötmittel plattiert ist, aus Eisen, das mit Zinn plattiert ist, oder aus einer Legierung, die 42% Nickel enthält, oder dergleichen gebildet.
  • Eine Arbeitsabdeckung 44 ist an der Arbeitsplatte 32 angebracht, um den Schwinger 12 usw. zu bedecken. Die Arbeitsabdeckung 44 umfaßt ein rechteckiges Oberflächenbauglied 46. Seitenbauglieder 48, die sich nach unten erstrecken, sind jeweils an beiden Seiten des Oberflächenbauglieds 46 gebildet. Ausgeschnittene Abschnitte 50 sind in Mittelabschnitten der hinteren Abschnitte der Seitenbauglieder 48 gebildet, um den Flanschen 34 der Arbeitsplatte 32 jeweils zu entsprechen. Löcher 52 sind auf beiden Seitenabschnitten der Seitenbauglieder 48 gebildet, um jeweils den Vorständen 38 der Arbeitsplatte 32 zu entsprechen. Vorstände 54, die sich nach unten erstrecken, sind an beiden Seiten der unteren Abschnitte der Seitenbauglieder 48 jeweils gebildet. Schutzbauglieder 56, die sich nach unten erstrecken, sind jeweils an longitudinalen Enden des Oberflächenbauglieds 46 gebildet. Die Arbeitsabdeckung 44 ist aus einem Material mit Magnetismus und Leitfähigkeit gebildet, wie z. B. aus Eisen, das mit Lötmittel plattiert ist, aus Eisen, das mit Zinn plattiert ist, aus einer Legierung, die 42% Nickel aufweist, oder aus einem ähnlichen Material.
  • Die Seitenbauglieder 48 der Arbeitsabdeckung 44 sind außen mit den Haltebaugliedern 36 der Arbeitsplatte 32 in Eingriff. Gleichzeitig sind die Flansche 34 und die Vorstände 38 der Arbeitsplatte 32 mit den ausgeschnittenen Abschnitten 50 und den Löchern 52 der Arbeitsabdeckung 44 jeweils in Eingriff. Somit ist die Arbeitsabdeckung 44 fest an der Arbeitsplatte 32 angebracht. Das Oberflächenbauglied 46, die Seitenbauglieder 48 und die Schutzbauglieder 56 der Arbeitsabdeckung 44 sind in der Nähe des Schwingers mit einem Abstand von beispielsweise 0,5 mm von dem Schwinger 12 positioniert. Das Oberflächenbauglied 46, die Seitenbauglieder 48 und die Schutzbauglieder 56 der Arbeitsabdeckung 44 sind entworfen, um die Trägerbauglieder 22a und 22b gegen eine plastische Verformung zu schützen, dieselben sind jedoch derart entworfen, daß sie keine unnötige Verschiebung des Schwingers 12 zulassen.
  • Wie es in Fig. 2 und Fig. 3 gezeigt ist, sind der Schwinger 12, die Arbeitsplatte 32, die Arbeitsabdeckung 44 usw. auf einer Hauptoberfläche einer beispielsweise kreuzförmigen Schaltungsplatine 58 angebracht. Das heißt, daß viele Löcher 60 in der Schaltungsplatine 58 gebildet sind, um den anderen Enden der Führungsanschlüsse 28a-28d, den Vorständen 42 der Arbeitsplatte 32 und den Vorständen 54 der Arbeitsabdeckung 44 zu entsprechen. Die anderen Enden der Führungsanschlüsse 28a-28d, die Vorstände 42 der Arbeitsplatte 32 und die Vorstände 54 der Arbeitsabdeckung 44 sind durch die Löcher 60 der Schaltungplatine 58 eingeführt und an Strukturelektroden (nicht gezeigt) auf der Schaltungsplatine 58 jeweils gelötet. Somit sind der Schwinger 12, die Arbeitsplatte 32, die Arbeitsabdeckung 44 usw. fest auf der Schaltungsplatine 58 angebracht.
  • Eine Schwingschaltung 62, eine Synchronerfassungsschaltung 64 und eine Gleichspannungsverstärkerschaltung 66 sind auf der anderen Hauptoberfläche der Schaltungsplatine 58 angeordnet. Ferner ist eine weitere Schaltung, eine weitere Komponente usw. auf der einen Hauptoberfläche der Schaltungsplatine 58 angebracht.
  • Die Schwingschaltung 62 dient zum Erzeugen eines Treibersignals zum Treiben und zum in Schwingung versetzen des Schwingers 12, und dieselbe umfaßt einen Quarz zum Stabilisieren einer Schwingfrequenz und eine Phasenkorrekturschaltung zum Einstellen der Schwingfrequenz. Ein Eingangsanschluß der Schwingschaltung 62 ist mit der Elektrode 20b des piezoelektrischen Elements 16c des Schwingers 12 über eine Strukturelektrode (nicht gezeigt) auf der Schaltungsplatine 58, den Führungsanschluß 28c usw. verbunden. Zwei Ausgangsanschlüsse der Schwingschaltung 62 sind jeweils mit den Elektroden 20b der piezoelektrischen Elemente 16a und 16b über Strukturelektrodne (nicht gezeigt) auf der Schaltungsplatine 58, die Führungsanschlüsse 28a und 28b usw. verbunden. Durch die Schwingungsschaltung 62 biegt sich und schwingt der Schwingkörper 14 in einer Richtung senkrecht zu der Hauptoberfläche des piezoelektrischen Elements 16c. Wenn in diesem Zustand eine Drehung um eine Achse des Schwingkörpers 14 angelegt wird, wird die Schwingrichtung des Schwingkörpers 14 aufgrund der Coriolis-Kraft verändert, wodurch eine Differenz zwischen Ausgangsspannungen der piezoelektrischen Elemente 16a und 16b erzeugt wird. Somit kann durch Messen der Differenz zwischen den Ausgangsspannungen die Rotationswinkelgeschwindigkeit, die an das Vibrationsgyroskop angelegt wird, erfaßt werden.
  • Die Synchronerfassungsschaltung 64 dient zum Erfassen eines Differenzsignals zwischen zwei Signalen, die von den piezoelektrischen Elementen 16a und 16b erhalten werden, in Synchronität zu dem Treibersignal, und dieselbe besteht beispielsweise aus einem Differenzverstärker, einem Schaltelement, usw.. Zwei Eingangsanschlüsse der Synchronerfassungsschaltung 64 sind jeweils mit den Elektroden 20b der piezoelektrischen Elemente 16a und 16b über Strukturelektroden (nicht gezeigt) auf der Schaltungsplatine 58, die Führungsanschlüsse 28a und 28b usw. verbunden. Ein weiterer Eingangsanschluß der Sychronerfassungsschaltung 64 ist mit einem weiteren Ausgangsanschluß der Schwingschaltung 62 über eine Strukturelektrode (nicht gezeigt) auf der Schaltungsplatine 58 verbunden.
  • Die Gleichspannungsverstärkerschaltung 66 dient zum Glätten und Verstärken eines Ausgangssignals aus der Synchronerfassungsschaltung 64 und besteht beispielsweise aus einer Glättungsschaltung, einer Verstärkerschaltung, usw.. Ein Eingangsanschluß der Gleichspannungsverstärkerschaltung 66 ist mit einem Ausgangsanschluß der Synchronerfassungsschaltung 64 über eine Strukturelektrode (nicht gezeigt) auf der Schaltungsplatine 58 verbunden.
  • Eine Abschirmungsabdeckung 68 ist auf der anderen Hauptoberfläche der Schaltungsplatine 58 angebracht, um die Schwingungsschaltung 62, die Synchronerfassungsschaltung 64 und die Gleichspannungsverstärkerschaltung 66 zu bedecken. Die Abschirmungsabdeckung 68 umfaßt ein Oberflächenbauglied 70. Seitenbauglieder 72 sind an beiden Seiten des Oberflächenbauglieds 70 jeweils gebildet. Beinbauglieder 74 sind jeweils an beiden Enden der Seitenbauglieder 72 gebildet. Vorstände 76 sind an den Beinbaugliedern 74 jeweils gebildet. Die Abschirmungsabdeckung 68 ist aus einem Material mit Leitfähigkeit, wie z. B. Nickel, Silber, Phosphorbronze, einer Zinnplatte oder dergleichen, gebildet. Die Vorstände 76 der Abschirmungsabdeckung 68 sind durch die Löcher 60 der Schaltungsplatine 58 eingeführt und an Strukturelektroden (nicht gezeigt) auf der Schaltungsplatine 58 jeweils verlötet. Somit ist die Abschirmungsabdeckung 68 fest an der Schaltungsplatine 58 angebracht.
  • Beide Endabschnitte der Arbeitsabdeckung 44 und beide Endabschnitte der Schaltungsplatine 58 sind jeweils beispielsweise durch zwei konvexe Dämpfungsbauglieder 78 umgeben. In diesem Fall sind eine Rille 80, die dem Endabschnitt der Schaltungsplatine 58 entspricht und eine Ausnehmung 82, die dem Endabschnitt der Arbeitsabdeckung 44 entspricht, auf einer Hauptoberfläche des Dämpfungsbauglieds 78 gebildet. Die beiden Endabschnitte der Schaltungsplatine 58 und die beiden Endabschnitte der Arbeitsabdeckung 44 sind jeweils in die Rillen 80 und in die Ausnehmungen 82 der zwei Dämpfungsbauglieder 78 eingeführt. Ferner ist eine weitere Ausnehmung 84 unter der Ausnehmung 82 auf der einen Hauptoberfläche des Dämpfungsbauglieds 78 als Raum für die Führungsanschlüsse, die Vorstände, die auf der anderen Hauptoberfläche des Schaltungsplatine 58 vorstehen, usw., gebildet. Auf der anderen Hauptoberfläche des Dämpfungsbauglieds 78 sind beide Endabschnitte derselben zahnförmig, wobei ein Vorstand 86 in der Mitte desselben gebildet ist. Jedes Dämpfungsbauglied 78 ist aus einem Material gebildet, das aus Gummi besteht, wie z. B. aus Ethylen-Propylen-Gummi, aus Silikongummi oder Butylgummi, oder einem synthetischen Harz, z. B. Urethan, das geschäumt ist, derart, daß jeweilige Zellen des Schaums nicht aneinanderhängen, oder daß in geschlossene Zellen geschäumt ist, und zwar genauso wie bei dem oben erwähnten Dämpfungsbauglied 30a oder dem Dämpfungsbauglied 30b.
  • Die Arbeitsabdeckung 44, die Schaltungsplatine 58, die Dämpfungsbauglieder 78 usw. sind in einem Gehäuse 88 enthalten, das aus einem synthetischen Harz besteht, wie z. B. aus Polybutylen-Terephthalat (PBT), Polyphenylen-Oxid (PPO) oder Polyphenylen-Sulfid (PPS). Das Gehäuse 88 umfaßt eine rechteckige untere Platte 90. Die untere Platte 90 hat einen Kantenabschnitt 92, der auf einer Hauptoberfläche derselben vorsteht. Pfosten 94 mit einem Schraubenloch sind jeweils an vier Ecken der Hauptoberfläche der unteren Platte 90 gebildet, wobei jeweils Haltestücke 96 in der Nähe der Pfosten 94 gebildet sind. Eine Packungsschicht 98, die beispielsweise aus Gummi besteht, ist innerhalb des Kantenabschnitts 92 auf der einen Hauptoberfläche der unteren Platte 90 angeordnet. In diesem Fall hat die Packung 98 Löcher, die dem Pfosten 94 und den Haltestücken 96 entsprechen, wobei die Pfosten 94 und die Haltestücke 96 durch die Löcher eingeführt werden. Vorstände 86 der zwei Dämpfungsbauglieder 78 werden jeweils zwischen die zwei Haltestücke 96 und die anderen beiden Haltestücke 96 eingeführt. Ein Kastengehäusekörper 100 ist an der unteren Platte 90 angebracht, um die Arbeitsabdeckung 44, die Schaltungsplatine 58, die Dämpfungsbauglieder 78 usw. zu bedecken. In diesem Fall sind der Gehäusekörper 100 und die vier Pfosten 94 der unteren Platte 90 durch vier Schrauben 102 befestigt. Obwohl untere Seiten und obere Seiten der Dämpfungsbauglieder 78 jeweils eine Oberfläche der Packung 98 und eine innere Seite des Gehäusekörpers 100 berühren, berühren die Arbeitsabdeckung 44, die Schaltungsplatine 58 und die Abschirmungsabdeckung 68 das Gehäuse 88 nicht.
  • Da bei dem Vibrationsgyroskop 10 die Dämpfungsbauglieder 78 zwischen der Schaltungsplatine 58 und dem Gehäuse 88 vorgesehen sind, wird ein Stoß von außen, wie z. B. ein Fallen, durch die Dämpfungsbauglieder 78 absorbiert. Somit wird ein Stoß von außen, wie z. B. ein Fallen, kaum auf den Schwinger 12 und die Schaltungsplatine 58 übertragen. Somit ist bei dem Vibrationsgyroskop 10 die Charakteristik gegen einen Stoß von außen, wie z. B. Fallen, stabil.
  • Da bei dem Vibrationsgyroskop 10 die Arbeitsabdeckung 44 um den Schwinger 12 herum vorgesehen ist, wird, selbst wenn ein Stoß, wie z. B. ein Fallen, auf den Schwinger 12 ausgeübt wird, kaum eine plastische Verformung zwischen dem Schwinger 12 und der Schaltungsplatine 58 beispielsweise zu den Trägerbaugliedern 22a und 22b erzeugt. Somit ist bei dem Vibrationsgyroskop 10 die Charakteristik gegen einen großen Stoß von außen, wie z. B. ein Fallen, ebenfalls stabil.
  • Da bei dem Vibrationsgyroskop 10 die Arbeitsplatte 32 und die Arbeitsabdeckung 44 fest an der Schaltungsplatine 58 befestigt ist, werden die Arbeitsplatte 32 und die Arbeitsabdeckung 44 nicht bewegt, oder dieselben entfernen sich nicht aufgrund eines großen Stoßes von außen, wie z. B. eines Fallens.
  • Die Tabelle 1 zeigt Ergebnisse, wenn ein Stoß auf das Vibrationsgyroskop 10 durch Fallenlassen des Vibrationsgyroskops 10 aus einer Höhe von 1 m ausgeübt wird.
  • Die Tabelle 2 zeigt Ergebnisse, wenn ein Stoß auf das Vibrationsgyroskop 200, das in Fig. 10 bis Fig. 12 gezeigt ist, durch Fallenlassen des Vibrationsgyroskops 200 aus einer Höhe von 50 cm ausgeübt wird.
  • In der Tabelle 1 und der Tabelle 2 stellt die Zeile mit der Bezeichnung "AUSGABE BEI STILLSTAND (V)" eine Spannung (V) einer Ausgabe, die von dem Vibrationsgyroskop bei Stillstand in der Tat erhalten wird. Die Zeile mit der Bezeichnung "ÄNDERUNGSRATE DER AUSGABE BEI DREHUNG (%)" stellt eine Änderungsrate (%) einer Ausgabe dar, die in der Tat von dem Vibrationsgyroskop bei einer Drehung erhalten wird.
  • Bei dem bekannten Vibrationsgyroskop 200, das in den Fig. 4 bis 12 gezeigt ist, wird, wie es in den Ergebnissen, die in Tabelle 2 gezeigt sind, zu sehen ist, die Schwingung angehalten, und es wird bei einer Rotation keine Ausgabe mehr erhalten, wenn dasselbe lediglich aus einer Höhe von 50 cm dreimal fällt. Andererseits sind bei dem Vibrationsgyroskop 10 gemäß der vorliegenden Erfindung, wie es durch die in der Tabelle 1 dargestellten Resultate gezeigt ist, Ausgaben bei Stillstand und Rotation stabil, selbst wenn dasselbe aus einer Höhe von 1 m sechsmal fällt.
  • Da bei dem Vibrationsgyroskop 10 die Arbeitsplatte 32 und die Arbeitsabdeckung 44 um den Schwinger 12 als Abschirmungsbauglieder, die aus einem Material mit Magnetismus bestehen, vorgesehen sind, ist der Schwinger 12 gegen die Außenwelt magnetisch abgeschirmt, wodurch eine Verschlechterung der Charakteristika durch äußeren Magnetismus vermieden werden kann.
  • Da bei dem Vibrationsgyroskop 10 der Schwinger 12, der auf einer Hauptoberfläche der Schaltungsplatine 58 vorgesehen ist, mit der Schwingungsschaltung 62 und der Synchronerfassungsschaltung 64 auf der anderen Hauptoberfläche der Schaltungsplatine 58 über die Führungsanschlüsse 28a-28c usw. elektrisch verbunden ist, ist es unnötig, irgendeinen Führungsdraht von einer Hauptoberfläche zu der anderen Hauptoberfläche der Schaltungsplatine 58 zu erstrecken.
  • Da bei dem Vibrationsgyroskop 10 die Abschirmungsabdeckung 68, die aus einem Material mit Leitfähigkeit besteht, derart vorgesehen ist, um die Schwingungsschaltung 62 usw. zu bedecken, kann eine Auswirkung eines Hochfrequenzrauschens, das durch die Schwingungsschaltung 62 erzeugt wird, und eine Auswirkung eines äußeren Rauschens verhindert werden.
  • Ferner kann bei dem Vibrationsgyroskop 10, das in den Fig. 1 bis 5 gezeigt ist, trotz der Tatsache, daß die zwei konvexen Dämpfungsbauglieder 78 zwischen der Arbeitsabdeckung 44, der Schaltungsplatine 58, dem Gehäuse 88 usw. vorgesehen sind, ein Dämpfungsbauglied mit einer anderen Form eingesetzt werden. Ein Dämpfungsbauglied wird nur zwischen der Schaltungsplatine 58 und dem Gehäuse 88 vorgesehen.
  • Fig. 6 ist eine perspektivische Explosionsansicht, die einen wesentlichen Abschnitt eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung zeigt, während Fig. 7 eine Ansicht von vorne ist, die einen wesentlichen Abschnitt des in Fig. 6 gezeigten Ausführungsbeispiels zeigt. Bei dem in dem Fig. 6 und 7 gezeigten Ausführungsbeispiel sind im Vergleich zu dem in den Fig. 1 bis 5 gezeigten Ausführungsbeispiel Beinbauglieder 40, die sich nach unten erstrecken, jeweils an beiden Seiten einer Arbeitsplatte 32 gebildet. Vorstände 42, die sich nach unten erstrecken, sind jeweils auf beiden Seiten der unteren Abschnitte der Beinbauglieder 44 gebildet. Die Arbeitsplatte 32 ist auf einer Hauptoberfläche einer Schaltungsplatine 58 angebracht. In diesem Fall werden die Vorstände 42 der Arbeitsplatte 32 durch Löcher 60a, die in der Schaltungsplatine 58 gebildet sind, eingeführt und an einem Massemuster (nicht gezeigt) auf der anderen Hauptoberfläche der Schaltungsplatine 58 mittels Löten befestigt. Somit ist die Arbeitsplatte 32 fest an der Schaltungsplatine 58 angebracht.
  • Ferner ist eine Arbeitsabdeckung 44 an der Schaltungsplatine 58 angebracht, um außerhalb der Arbeitsplatte 32 positioniert zu sein. In diesem Fall werden Vorstände 54 der Arbeitsabdeckung 44 durch Löcher 60b, die an der Schaltungsplatine 58 gebildet sind, eingeführt und an einem Massemuster (nicht gezeigt) auf der anderen Hauptoberfläche der Schaltungsplatine 58 durch Löten befestigt. Somit ist auch die Arbeitsabdeckung 44 fest an der Schaltungsplatine 58 angebracht.
  • Bei dem in Fig. 6 und Fig. 7 gezeigten Vibrationsgyroskop 10 wird, da die Arbeitsabdeckung 44 um den Schwinger 12 herum vorgesehen ist, selbst wenn ein Stoß, wie z. B. Fallen, an den Schwinger 12 angelegt wird, kaum eine plastische Ver formung zwischen dem Schwinger 12 und der Schaltungsplatine 58 beispielsweise zu den Trägerbauglieder 22a und 22b hin erzeugt. Somit sind die Charakteristika des Vibrationsgyroskops 10 gegenüber einen großen Stoß von außen, wie z. B. durch Fallen stabil. Da ferner bei dem Vibrationsgyroskop 10, das in den Fig. 6 und 7 gezeigt ist, die Arbeitsplatte 32 und die Arbeitsabdeckung 44 fest an der Schaltungsplatine 58 befestigt sind, werden die Arbeitsplatte 32 und die Arbeitsabdeckung 44 nicht bewegt, oder dieselben entfernen sich nicht aufgrund eines großen Stoßes von außen, wie z. B. aufgrund eines Fallens.
  • Obwohl die Arbeitsplatte 32 und die Arbeitsabdeckung 44 ferner an der Schaltungsplatine 58 durch Löten bei jedem in den Fig. 1 bis 7 gezeigten Ausführungsbeispiel befestigt sind, ist ein Verfahren zum Befestigen nicht auf die Ausführungsbeispiele begrenzt, es kann stattdessen ein anderes Verfahren, wie z. B. Schweißen, Bonden oder Verbinden oder Ineingriffnehmen durch Einführen der Vorstände 42 der Arbeitsplatte 32 und der Vorstände 54 der Arbeitsabdeckung 44 durch die Löcher der Schaltungsplatine 58 nach dem Biegen verwendet werden.
  • Fig. 8 ist eine perspektivische Explosionsansicht, die einen wesentlichen Abschnitt eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung zeigt. Fig. 9 ist eine Ansicht von vorne, die einen wesentlichen Abschnitt des in Fig. 8 gezeigten Ausführungsbeispiels darstellt. Das in den Fig. 8 und 9 gezeigte Ausführungsbeispiel umfaßt im Vergleich zu dem in den Fig. 6 und 7 gezeigten Ausführungsbeispiel eine breite Arbeitsplatte 32. Die Fußbauglieder 44, die sich nach unten erstrecken, sind jeweils an beiden Seiten einer Arbeitsplatte 32 gebildet. Vorstände 42, die sich nach unten erstrecken, sind jeweils an beiden Seiten von unteren Abschnitten der Beinbauglieder 40 gebildet.
  • Zwei Rillen 41 sind gebildet, um sich von einem zu dem anderen Ende auf einer Hauptoberfläche der Arbeitsplatte 32 zu erstrecken, und zwar beispielsweise durch Drücken. Zwei Löcher 43 sind in der Rille 41 in einem festen Abstand gebildet, wobei die anderen beiden Löcher 43 in der Rille 41 in einem festen Abstand gebildet sind. Darüberhinaus sind die Befestigungsplatinen 24a und 24b zwischen den zwei Rillen 41 der Arbeitsplatte 32 über Dämpfungsbauglieder 30a und 30b befestigt.
  • Eine Arbeitsabdeckung 44 ist an der Arbeitsplatte 32 angebracht. In diesem Fall sind untere Enden der Seitenbauglieder 48 der Arbeitsabdeckung 44 in Ineingriffnahme mit den Rillen 41 der Arbeitsplatte 32. Ferner sind die Vorstände 54 der Arbeitsplatte 44 durch Einführen durch die Löcher 43 der Arbeitsplatte 32 nach dem Biegen in Eingriff. Somit ist die Arbeitsabdeckung 44 fest an der Arbeitsplatte 32 angebracht.
  • Die Arbeitsplatte 32 ist auf einer Hauptoberfläche einer Schaltungsplatine 58 eingebaut. In diesem Fall sind die Vorstände 42 der Arbeitsplatte 32 durch Einführen durch Löcher 60, die in der Schaltungsplatine 58 gebildet sind, und durch Löten an eine Massestruktur (nicht gezeigt) auf der anderen Hauptoberfläche der Schaltungsplatine 58 befestigt. Somit ist die Arbeitsplatte 32 fest an der Schaltungsplatine 58 angebracht.
  • Da bei dem Vibrationsgyroskop 10, das in den Fig. 8 und 9 gezeigt ist, die Arbeitsabdeckung 44 um den Schwinger 12 herum vorgesehen ist, wird, selbst wenn ein Stoß, wie z. B. ein Fallen, an den Schwinger 12 angelegt wird, kaum eine plastische Verformung zwischen dem Schwinger 12 und der Schaltungsplatine 58 beispielsweise der Trägerbauglieder 22a und 22b erzeugt. Somit sind die Charakteristika des Vibrationsgyroskops 10 gegenüber einem großen Stoß von außen, wie z. B. Fallen ebenfalls stabil.
  • Bei dem in den Fig. 8 und 9 gezeigten Vibrationsgyroskop 10 werden ferner, da die Arbeitsabdeckung 44 fest an der Arbeitsplatte 32 befestigt ist, und da die Arbeitsplatte 32 fest an der Schaltungsplatine 58 befestigt ist, die Arbeitsplatte 32 und die Arbeitsabdeckung 44 nicht bewegt, oder dieselben entfernen sich nicht aufgrund eines großen Stoßes von außen, wie z. B. Fallen.
  • Obwohl ferner die Arbeitsabdeckung 44 an der Arbeitsplatte 32 durch Einführen der Vorstände 54 der Arbeitsabdeckung 44 durch die Löcher 43 der Arbeitsplatte 32 befestigt ist, und zwar nach dem Biegen und Ineingriffnehmen bei dem in den Fig. 8 und 9 gezeigten Ausführungsbeispiel, ist die Herstellung nicht auf dieses Verfahren begrenzt. Stattdessen können weitere Verfahren, wie z. B. Schweißen, Bonden, Löten oder dergleichen, verwenden. Obwohl die Arbeitsplatte 32 auf der Schaltungsplatine 58 durch Löten befestigt ist, kann dazu ein weiteres Verfahren verwendet werden, wie z. B. Schweißen, Bonden oder Ineingriffnehmen durch Einführen der Vorstände 42, die auf der Arbeitsplatte 32 vorgesehen sind, durch die Löcher der Schaltungsplatine 58 nach dem Biegen.
  • Obwohl das gleichmäßige dreieckförmige prismenartige Vibrationsgyroskop 14 als Schwingkörper eines Schwingers bei dem oben erwähnten Ausführungsbeispiel verwendet worden ist, kann auch ein anderes polygonales prismenförmiges Schwingkörperelement, wie z. B. ein rechteckiger prismenförmiger Schwingkörper oder ein gleichförmiger prismenförmiger Schwingkörper bei der vorliegenden Erfindung verwendet werden.
  • Obwohl drei piezoelektrische Elemente 16a-16c auf den Seitenflächen des Schwingkörpers 14 des Schwingers 12 bei jedem oberen erwähnten Ausführungsbeispiel gebildet sind, können zwei oder mehrere piezoelektrische Elemente auf den Seitenflächen des Schwingkörpers bei der vorliegenden Erfindung gebildet werden.
  • Ferner kann ein Schwingkörper eines Schwingers aus einem piezoelektrischen Material gebildet sein. In diesem Fall kann eine Elektrode auf der Seitenfläche des Schwingkörpers statt des piezoelektrischen Elements gebildet sein.
  • Aus dem vorangegangenen wird es offensichtlich sein, daß, während die vorliegende Erfindung detailliert und ausführlich beschrieben worden ist, dies nur eine spezielle beispielhafte Darstellung war, wobei die Erfindung auf diese Darstellung nicht begrenzt ist. Der Schutzbereich der Erfindung ist nur durch die beigefügten Ansprüche begrenzt. Tabelle 1 Fallenlassen des erfindungsgemäßen Vibrationsgyroskops aus einer Höhe von 1 Meter Tabelle 2 Fallenlassen des bekannten Vibrationsgyroskops aus einer Höhe von 50 Zentimetern

Claims (4)

1. Ein Vibrationsgyroskop (10) mit folgenden Merkmalen:
einem Schwingkörper (14);
einer Schaltungsplatine (58), die den Schwingkörper (14) trägt; und
einem Gehäuse (88), das den Schwingkörper (14) und die Schaltungsplatine (58) in demselben enthält;
gekennzeichnet durch
ein Dämpfungsbauglied (78), das als Dämpfung, die zwischen der Schaltungsplatine und dem Gehäuse vorgesehen ist, wirkt, wobei die Schaltungsplatine (58) das Gehäuse (88) nicht berührt.
2. Ein Vibrationsgyroskop (10) gemäß Anspruch 1, das ferner eine Arbeitsabdeckung (44) aufweist, die um den Schwingkörper (14) herum vorgesehen ist, die an der Schaltungsplatine (58) angebracht ist, und die in dem Gehäuse (88) enthalten ist; wobei das Dämpfungsbauglied (78) zwischen der Schaltungsplatine (58), der Arbeitsabdeckung (44) und dem Gehäuse (88) vorgesehen ist.
3. Ein Vibrationsgyroskop (10) gemäß Anspruch 2, das ferner eine Arbeitsplatte (32) aufweist, die um den Schwingkörper (14) herum vorgesehen ist, die an der Schaltungsplatine (58) angebracht ist, und die in dem Gehäuse (88) enthalten ist; wobei das Dämpfungsbauglied (78) zwischen der Schaltungsplatine (58), der Arbeitsabdeckung (44), der Arbeitsplatte (32) und dem Gehäuse (88) vorgesehen ist.
4. Ein Vibrationsgyroskop (10) gemäß Anspruch 1, mit folgenden Merkmalen:
einer Arbeitsabdeckung (44), die um den Schwingkörper (14) herum angebracht ist; und
einer Arbeitsplatte (32), die um den Schwingkörper (14) herum angebracht ist;
wobei die Arbeitsabdeckung (44) und die Arbeitsplatte (32) an der Schaltungsplatine (58) befestigt sind.
DE69416654T 1993-12-21 1994-12-21 Vibrationskreisel Expired - Fee Related DE69416654T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5321843A JPH07174567A (ja) 1993-12-21 1993-12-21 振動ジャイロ
JP6060250A JPH07243857A (ja) 1994-03-04 1994-03-04 振動ジャイロ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69416654D1 DE69416654D1 (de) 1999-04-01
DE69416654T2 true DE69416654T2 (de) 1999-09-16

Family

ID=26401321

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69416654T Expired - Fee Related DE69416654T2 (de) 1993-12-21 1994-12-21 Vibrationskreisel
DE69423014T Expired - Fee Related DE69423014T2 (de) 1993-12-21 1994-12-21 Vibrationskreisel

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69423014T Expired - Fee Related DE69423014T2 (de) 1993-12-21 1994-12-21 Vibrationskreisel

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5668316A (de)
EP (2) EP0807802B1 (de)
DE (2) DE69416654T2 (de)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3045053B2 (ja) * 1995-10-11 2000-05-22 株式会社村田製作所 振動ジャイロ
US6367326B1 (en) 1996-07-10 2002-04-09 Wacoh Corporation Angular velocity sensor
EP1132712A4 (de) 1999-09-10 2006-05-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd Drehgeschwindigkeitssensor
JP4654480B2 (ja) * 2000-03-17 2011-03-23 パナソニック株式会社 角速度センサ
JP4701505B2 (ja) 2001-01-29 2011-06-15 パナソニック株式会社 慣性トランスデューサ
US20040129078A1 (en) * 2001-06-18 2004-07-08 Kicher Thomas P. Acceleration transducer and method
US6880399B1 (en) * 2001-11-29 2005-04-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Angular velocity sensor
EP2947422B1 (de) * 2001-11-29 2018-07-11 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Winkelgeschwindigkeitsmesser
US6711951B2 (en) * 2002-03-22 2004-03-30 Kicher & Co. Acceleration measurement system and method
DE10241512A1 (de) * 2002-04-30 2003-11-13 Continental Teves Ag & Co Ohg Halteelement für Fahrzeugsensoren
JP4590853B2 (ja) * 2003-10-17 2010-12-01 パナソニック株式会社 回転率センサおよび多軸検出型回転率センサ
JP2005214878A (ja) * 2004-01-30 2005-08-11 Sony Corp 角速度センサ
JP2005331258A (ja) * 2004-05-18 2005-12-02 Denso Corp 振動型角速度センサ
US20060061035A1 (en) * 2004-09-21 2006-03-23 Hasbro, Inc. Board game with gyroscopic top timer
JP4492432B2 (ja) * 2005-05-13 2010-06-30 株式会社デンソー 物理量センサ装置の製造方法
JP4919750B2 (ja) * 2006-09-27 2012-04-18 富士通株式会社 マイクロ構造体製造方法およびマイクロ構造体
JP2008256570A (ja) * 2007-04-05 2008-10-23 Fujitsu Media Device Kk 角速度センサ
US20080285250A1 (en) 2007-05-15 2008-11-20 Honeywell International, Inc. Packaging assembly for an optical chip in a gyroscopic unit
CN100439864C (zh) * 2007-06-01 2008-12-03 北京沃尔康科技有限责任公司 一种新型硅微机械陀螺
DE102010001023A1 (de) * 2010-01-19 2011-07-21 Robert Bosch GmbH, 70469 Sensorvorrichtung
JP5737848B2 (ja) * 2010-03-01 2015-06-17 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイス、センサーデバイスの製造方法、モーションセンサー及びモーションセンサーの製造方法
WO2012005062A1 (ja) 2010-07-06 2012-01-12 日立オートモーティブシステムズ株式会社 慣性センサ
US8693204B2 (en) * 2011-01-10 2014-04-08 Apple Inc. Electronic devices having multi-purpose cowling structures and a compass mounted on a flex circuit
CN102278983B (zh) * 2011-07-22 2014-03-26 上海交通大学 具有三角形振子的硅微陀螺仪及其制作方法
CN102980584B (zh) * 2011-09-02 2017-12-19 深圳市大疆创新科技有限公司 一种无人飞行器惯性测量模块
WO2016161562A1 (en) 2015-04-07 2016-10-13 SZ DJI Technology Co., Ltd. System and method for providing a simple and reliable inertia measurement unit (imu)
JP6545918B1 (ja) * 2019-05-22 2019-07-17 Imv株式会社 加速度センサコアユニット、加速度センサを載置する基板のたわみを防止する方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH057835Y2 (de) * 1986-06-10 1993-02-26
US5130600A (en) * 1989-06-02 1992-07-14 Mitsubishi Petrochemical Co., Ltd. Acceleration sensor
US5345822A (en) * 1991-06-28 1994-09-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibratory gyroscope having a support member
JP3036145B2 (ja) * 1991-08-12 2000-04-24 株式会社村田製作所 振動ジャイロ
JPH05164775A (ja) * 1991-12-17 1993-06-29 Atsugi Unisia Corp 加速度センサ

Also Published As

Publication number Publication date
EP0807802B1 (de) 2000-02-09
US5668316A (en) 1997-09-16
EP0660081B1 (de) 1999-02-24
DE69423014T2 (de) 2000-08-31
DE69416654D1 (de) 1999-04-01
EP0660081A1 (de) 1995-06-28
DE69423014D1 (de) 2000-03-16
EP0807802A1 (de) 1997-11-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69416654T2 (de) Vibrationskreisel
DE69207282T2 (de) Vibrationskreisel
DE2009379C3 (de) Piezoelektrischer Oszillator in Form einer Stimmgabel als Zeitnormal für zeithaltende Geräte
DE69416750T2 (de) Drehratensensor mit zentral montierter Stimmgabel
DE3515799A1 (de) Beschleunigungsmessvorrichtung
DE69310315T2 (de) Vibratordrehungsmessaufnehmer
DE2414790C3 (de) Kristall-Oszillator und Verfahren zu seiner Herstellung
DE69832843T2 (de) Vibrationskreisel
DE3121887C2 (de) Bildaufnahmeeinrichtung mit einem Festkörper
DE69522134T2 (de) Piezoelektrischer Vibrator
DE69621372T2 (de) Vibrationskreisel
DE69517657T2 (de) Schwingkreisel
DE10105395A1 (de) Beschleunigungssensor
DE69211228T2 (de) Vibrationskreisel
DE69307680T2 (de) Halterungsaufbau für einen Schwingungserzeuger
DE69310799T2 (de) Vibrator mit abgeglichenen Kantenbereichen
DE19800333A1 (de) Schwingerträgeranordnung
DE10255609A1 (de) Vibrationsgyroskop und elektronische Vorrichtung, die dasselbe verwendet
DE69510164T2 (de) Schwingkreisel
DE69604127T2 (de) Vibrationskreisel
DE2651094B1 (de) Schwingquarzhalterung
DE69506590T2 (de) Schwingkreisel
DE69606747T2 (de) Beschleunigungssensor
DE3882865T2 (de) Oszillierender Kreisel mit H-förmigem Vibrator.
DE69616169T2 (de) Vibrationskreisel

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee